JP2007178661A - 顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

【課題】予め搭載されていない光学部品を用いて観察法を切り換える場合にも、光学条件が可変な可変光学ユニットの設定を容易かつ確実に最適化することができること。
【解決手段】顕微鏡装置１００は、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を、未配置を含めて検知するフォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃと、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６の種別を検知するレボ穴検知部１４と、ミラーユニット１１および対物レンズ６の種別ごとに、開口絞りユニット１０の絞り径を対応付けて記憶する光学条件記憶テーブル１７ａと、開口絞りユニット１０の絞り径を、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃが検知したミラーユニット１１の種別およびレボ穴検知部１４が検知した対物レンズ６の種別に対応付けられた絞り径に切り換える制御を行うコントロール部１５と、を備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、観察法に応じて光軸上に配置される光学部品の種別に基づいて、光学条件が可変な可変光学ユニットの光学条件を切り換える顕微鏡装置に関する。

近年、微細な回路パターンが形成されたウェハの検査工程など、各種工業分野の検査工程等では、観察法を切り換えて試料を観察できる顕微鏡装置が広く利用されている。かかる顕微鏡装置では、観察法に応じた最適な光学条件下で観察を行うことが必要であり、特に、対物レンズの倍率や観察法の違いに応じて、開口絞りの絞り径を最適化することが重要である。

このような絞り径を最適化する技術として、例えば特許文献１に開示されたものがある。特許文献１に記載の技術は、観察法の切換時に、切換後の観察法に対応した絞り条件を制御パラメータテーブルから読み出し、読み出した絞り条件に基づいて各絞り制御手段に絞り径を指示するようにしているため、観察法の切換に応じて最適な絞り径が設定可能とされている。

特許第３５３７２０５号公報

しかしながら、特許文献１に記載された技術では、例えば照明光路と観察光路とを分岐するミラーユニット等、観察法に応じて光軸上に配置される光学部品のうち、顕微鏡装置に予め搭載された光学部品に対してのみ、絞り条件が制御パラメータテーブルに登録されているため、それ以外の光学部品を用いて観察法を切り換える場合、顕微鏡装置を改造し、制御パラメータテーブルに絞り条件を登録し直す必要があった。

また、これによって、観察法の切り換えに多大な手間やコストを要するばかりか、絞り条件の登録ミス等、設定の切り換えに誤りを生じさせる場合があった。具体的には、例えば絞り条件の登録を誤って照明光を明るくしすぎることによって、検鏡者に不快感を与える、観察像の写真撮影を露出過剰として観察データを消失させる、などの不具合を生じさせるという問題があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、観察法に応じて光軸上に配置される光学部品のうち、予め搭載されていない光学部品を用いて観察法を切り換える場合にも、絞り径が可変な可変絞りユニット等、光学条件が可変な可変光学ユニットの設定を容易かつ確実に最適化することができる顕微鏡装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１にかかる顕微鏡装置は、観察法に応じて光学部品を光軸上に配置し、この配置した前記光学部品の種別に基づいて、光学条件が可変な可変光学ユニットの該光学条件を切り換える顕微鏡装置において、前記光軸上に配置された前記光学部品の種別を、未配置を含めて検知する検知手段と、前記光学部品の種別ごとに、前記可変光学ユニットの光学条件を対応付けて記憶する記憶テーブルと、前記可変光学ユニットの光学条件を、前記検知手段が検知した前記光学部品の種別に対応付けられた前記光学条件に切り換える制御を行う制御手段と、を備えたことを特徴とする。

また、請求項２にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記可変光学ユニットは、該可変光学ユニットが有する光学素子の開口径を切り換える開口径切換機構と、前記光学条件が異なる複数の光学素子の配置を切り換える配置切換機構との少なくとも一方を有し、前記制御手段は、前記開口径切換機構および前記配置切換機構の少なくとも一方を駆動させて、前記可変光学ユニットの光学条件を切り換える制御を行うことを特徴とする。

また、請求項３にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、複数の前記光学部品は、前記光軸と交差する方向に移動可能な移動手段が有する複数の保持部に各々保持され、前記検知手段は、複数の前記保持部ごとに、該保持部が保持する前記光学部品の種別を検知する保持部品検知手段と、前記移動手段によって移動された複数の前記保持部の位置を検知する保持位置検知手段と、を有し、前記保持部品検知手段および前記保持位置検知手段の各検知結果に基づいて、前記光軸上に配置された前記光学部品の種別を検知することを特徴とする。

また、請求項４にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、複数の前記光学部品の各々は、未配置を含む固有の配設パターンで磁石が配設され、前記検知手段または前記保持部品検知手段は、前記光軸上の前記光学部品に配設された磁石の前記固有の配設パターンを検知して、該光学部品の種別を検知することを特徴とする。

また、請求項５にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記検知手段または前記保持部品検知手段は、前記磁石の配設パターンに対応して配設された複数のホール素子を備え、該複数のホール素子によって前記固有の配設パターンを検知することを特徴とする。

また、請求項６にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記光学部品は、観察法に応じて照明光路と観察光路とを分岐するミラーユニットと、対物レンズとの少なくとも一方であり、前記可変光学ユニットは、絞り径が可変な可変絞りユニットであり、前記記憶テーブルは、前記ミラーユニットおよび前記対物レンズの少なくとも一方の種別ごとに、前記可変絞りユニットの絞り径を対応付けて記憶することを特徴とする。

また、請求項７にかかる顕微鏡装置は、上記の発明において、前記光学部品は、微分干渉観察法で用いる微分干渉用プリズムユニットであり、前記可変光学ユニットは、観察法に応じて照明光路と観察光路とを分岐する複数のミラーユニットを前記光軸上に切換配置するミラー切換機構と、複数の対物レンズを前記光軸上に切換配置する対物切換機構と、絞り径が可変な可変絞りユニットとの少なくとも１つであり、前記記憶テーブルは、前記微分干渉用プリズムの種別ごとに、前記ミラーユニットの反射特性と、前記対物レンズの結像特性と、前記可変絞りユニットの絞り径との少なくとも１つを対応付けて記憶することを特徴とする。

本発明にかかる顕微鏡装置によれば、観察法に応じて光軸上に配置される光学部品のうち、予め搭載されていない光学部品を用いて観察法を切り換える場合にも、絞り径が可変な可変絞りユニット等、光学条件が可変な可変光学ユニットの設定を容易かつ確実に最適化することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明にかかる顕微鏡装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。

（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡装置について説明する。図１は、本実施の形態１にかかる顕微鏡装置１００の要部構成を示す図である。図１に示すように、顕微鏡装置１００は、標本１が載置されるステージ２と、ステージホルダ３ａを介してステージ２を支持する顕微鏡本体３と、顕微鏡本体３の柱状突起した上部に搭載され、図示しない照明光学系を内部に有する落射投光管４とを備える。落射投光管４の後端部（図中右端部）にはランプハウス５が設けられ、このランプハウス５の内部には、照明光源としての光源５ａが照明光学系の光軸ＯＡ１上に配置されている。

落射投光管４の前部下側には、複数の対物レンズ６が交換可能に取り付けられたレボルバ７が配置されており、このレボルバ７の回転駆動によって、対物レンズ６は、観察光学系の光軸ＯＡ２上に、標本１に対向するように選択的に配置される。なお、標本１は、顕微鏡本体３の側面部に突設された焦準ハンドル３ｂの回動操作に連動して駆動される図示しない焦準機構によって、ステージ２を介して昇降移動され、ピント合わせされる。また、落射投光管４の前部上側には、図示しない観察光学系を内部に有する鏡筒８が配置されており、この鏡筒８の正面側には、一対の接眼レンズ９が斜め上向きに取り付けられている。

さらに、落射投光管４の内部には、照明光学系の一部として、絞り径が可変な開口絞りを有する開口絞りユニット１０と、観察法に応じて照明光路と観察光路とを分岐する複数のミラーユニット１１を交換可能に備えた観察切換部１２とが配置されている。一方、レボルバ７には、微分干渉観察法で用いる微分干渉用プリズムユニットとしてのＤＩＣスライダを挿着して保持するためのスロット１３と、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６が取り付けられているレボルバ７の取り付け穴（レボ穴）の番号を検知するレボ穴検知部１４とが設けられている。また、レボルバ７には、対物レンズ６を光軸ＯＡ２上に切換配置するために回転駆動する図示しない電動駆動機構が備えられている。

ここで、開口絞りユニット１０、観察切換部１２およびレボ穴検知部１４等は、顕微鏡本体３内部に配設されたコントロール部１５に電気的に接続されており、このコントロール部１５からの制御を受ける。また、コントロール部１５等、電気駆動される各部は、顕微鏡本体３内部に配置された電源１６から電力供給を受ける。

コントロール部１５は、図２に示すように、ＲＯＭおよびＲＡＭを用いて構成されて各種処理プログラム、処理パラメータおよび処理データ等を記憶する記憶部１７と、記憶部１７に記憶された処理プログラムを実行するＣＰＵを用いて構成され、電気的に接続された各部位の処理および動作を制御する制御部１８とを備える。記憶部１７は、特に、開口絞りユニット１０における絞り径等の光学条件を記憶した光学条件記憶テーブル１７ａを備える。

また、コントロール部１５は、例えばキーボード、マウス、タッチパネル等の操作手段により、外部から処理パラメータおよび処理データ等を入力する入力部１９と、ディスプレイ、プリンタ等の出力装置に、制御部１８が処理した処理データ等を出力する出力部２０とを備える。なお、この入力部１９および出力部２０は、通信装置を用いて外部装置とデータ通信等を行うようにしてもよい。

つぎに、観察切換部１２の構成について説明する。図３は、観察切換部１２の外観構成を示す平面図である。図３に示すように、観察切換部１２は、落射投光管４の内部に固定配置される固定保持部３１と、固定保持部３１に対して左右方向（図中上下方向）にスライド可能なスライド保持部３２と、スライド保持部３２の背面部（図中右側面部）に交換可能に取り付けられたミラーユニット１１としてのミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃと、を用いて構成されている。

固定保持部３１は、上下（図上、紙面に垂直な方向）に２本平行に並べて配設された左右に長いガイド棒３１ａを有し、スライド保持部３２は、前面部（図中左側面部）に形成された凸状部３２ｄの図示しない２つの貫通孔に各々ガイド棒３１ａが挿通されて、固定保持部３１に支持されている。また、スライド保持部３２は、背面部にアリ部３２ａ〜３２ｃを有し、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃは、アリ溝１１ａを介して各々アリ部３２ａ〜３２ｃに取り付けられ、ビス３３によって固定されている。アリ部３２ａ〜３２ｃは、スライド保持部３２上で左右方向に所定間隔で配設されている。

さらに、スライド保持部３２は、右側面部（図中下面部）にガイド棒３１ａに平行に取り付けられたレバー３４を有し、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃは、レバー３４の左右方向の移動操作に応じて、スライド保持部３２と一体で、光軸ＯＡ２と直交する方向に移動される。これによって、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃは、個別に光軸ＯＡ２上に配置され、背面部から光軸ＯＡ１に沿って入射する照明光を光軸ＯＡ２に沿って下方に反射し、下面部から光軸ＯＡ２に沿って入射する観察光を上方に透過させることとなる。なお、図３は、ミラーユニット１１Ｂが光軸ＯＡ２上に配置された状態を例示している。

また、固定保持部３１は、上面部にフォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃを備え、スライド保持部３２は、凸状部３２ｄの前側に張り出した状態でビス３３によって上面部に固定されたセンサ板３７を有している。フォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃは、スライド保持部３２上のアリ部３２ａ〜３２ｃと等しい配設間隔で、ガイド棒３１ａに沿って配設されている。また、センサ板３７は、前側先端部が約９０度で下方に折り曲げられており、この折り曲げられた先端部（屈曲端部）が、スライド保持部３２の移動にともなって、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃの谷状の各センシング空間３６Ａ〜３６Ｃを通過するように、取り付けられている。

これによって、保持位置検知手段としてのフォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃは、スライド保持部３２によって一体に移動される保持部としてのアリ部３２ａ〜３２ｃの位置を検知することができる。より具体的には、例えば図３に示すように、フォトインタラプタ３５Ｂは、センシング空間３６Ｂ内に位置したセンサ板３７の屈曲部を検出することで、アリ部３２ｂがミラーユニット１１Ｂを光軸ＯＡ２上に配置させるように移動されたことを検知する。また、フォトインタラプタ３５Ａ，３５Ｃは、各々センシング空間３６Ａ，３６Ｃ内に位置したセンサ板３７の屈曲部を検出することで、アリ部３２ｃ，３２ａがミラーユニット１１Ｃ，１１Ａを光軸ＯＡ２上に配置させるように移動されたことを検知する。

一方、図４−１は、図３におけるＡＡ方向から見た観察切換部１２の側面を示す図であり、図４−２は、図４−１に示した観察切換部１２のミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃを取り外した状態を示す図である。図４−２に示すように、スライド保持部３２は、アリ部３２ａ〜３２ｃ上にそれぞれホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃを備え、ホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃは、それぞれ基板表面上で上下方向（図中左右方向）に所定間隔で配設された一対のホールＩＣを有している。この一対のホールＩＣとして、ホールＩＣ基板３７ＡはホールＩＣ３７Ａａ，３７Ａｂを有し、ホールＩＣ基板３７ＢはホールＩＣ３７Ｂａ，３７Ｂｂを有し、ホールＩＣ基板３７ＣはホールＩＣ３７Ｃａ，３７Ｃｂを有している。また、ホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃは、それぞれケーブル３８Ａ〜３８Ｃによって、コントロール部１５に電気的に接続されている。

これに対応して、アリ部３２ａ〜３２ｃに取り付け可能な複数のミラーユニットの各々には、未配置を含む固有の配設パターンで磁石が配設されている。具体的には、例えば図５に示すように、４つのミラーユニットのアリ溝１１ａとしてのアリ溝１１ａ−１〜１１ａ−４の各溝内面１１ｂに、０〜２個の磁石１１ｃが異なる配設パターンで配設されている。この配設パターンとしての「パターンＡ」では、２つの磁石１１ｃが、上述した各ホールＩＣ基板３７Ａ〜３７ＣにおけるホールＩＣの配設間隔とほぼ等しい間隔で、上下方向（図中左右方向）に配設されている。また、「パターンＢ」、「パターンＣ」では、「パターンＡ」における一方の磁石１１ｃのみが配設され、「パターンＤ」では、磁石１１ｃが未配置とされている。

さらに、このような配設パターンとしての「パターンＡ」〜「パターンＤ」は、例えば図６に示すように、光学条件が異なる４つのミラーユニット「ＢＦ」、「ＤＩＣ」、「ＦＬ」および「ＤＦ」に予め対応付けられ、各ホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃに記憶されている。ここで、「ＢＦ」は、明視野観察法用として内部にハーフミラーを備え、「ＤＩＣ」は、微分干渉観察法用として内部にハーフミラー、ポラライザおよびアナライザを備えたミラーユニットである。また、「ＦＬ」は、蛍光観察法用として内部にダイクロイックミラー、励起フィルタおよび吸収フィルタを備え、「ＤＦ」は、暗視野観察法用として内部に中空ミラーを備えたミラーユニットである。

以上のような構成によって、観察切換部１２では、４つのミラーユニット「ＢＦ」、「ＤＩＣ」、「ＦＬ」および「ＤＦ」のうち３つのミラーユニットが、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃとしてアリ部３２ａ〜３２ｃに取り付けられる。そして、保持部品検知手段としてのホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃは、各々備えるホールＩＣからの出力に基づいて、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃに配設された磁石１１ｃの配設パターン「パターンＡ」〜「パターンＤ」を検知し、各ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの種別、すなわち「ＢＦ」、「ＤＩＣ」、「ＦＬ」または「ＤＦ」を検知して、この検知結果をコントロール部１５に出力する。

なお、コントロール部１５は、ホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃに、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの種別として「パターンＡ」〜「パターンＤ」の検知結果のみ出力させ、この検知結果をもとに、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの種別「ＢＦ」、「ＤＩＣ」、「ＦＬ」または「ＤＦ」を判別することもできる。この場合、図６に例示した磁石１１ｃの配設パターンとミラーユニット種別と対応付けは、コントロール部１５内の記憶部１７に記憶させるとよい。

また、上述した観察切換部１２では、３個のミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃが同時に取り付けられるものとして説明したが、２個のみ、または４個以上のミラーユニットが取り付けられる構成としてもよい。また、交換可能な複数のミラーユニットにおける磁石１１ｃの固有の配設パターンとして、０〜２個の磁石１１ｃを上下方向に配設するものとして説明したが、これに限定する必要はなく、３個以上の磁石を用い、左右方向あるいは２次元的に磁石を配設して、ミラーユニットごとに固有の配設パターンを対応付けてもよい。この場合、アリ部３２ａ〜３２ｃ上には、磁石の配設パターンに応じて、ホールＩＣおよびホールＩＣ基板を配設するとよい。さらに、磁石の配設パターンに限定して解釈する必要はなく、無線ＩＣタグ、１次元または２次元コード等を用いて、複数のミラーユニットを識別するようにしてもよい。

つぎに、開口絞りユニット１０の構成について説明する。図７−１および７−２は、光軸ＯＡ１方向から見た開口絞りユニット１０の外観構成を示す図である。ここで、図７−１は、開口絞り４１の絞り径を開放径（最大径）の７０％に絞った状態を示し、図７−２は、開口絞り４１を開放した状態を示している。

図７−１および７−２に示すように、開口絞りユニット１０は、落射投光管４内に固定配置される絞り枠４０の内部に、複数の絞り羽根４１ａからなる開口絞り４１と、各絞り羽根４１ａを摺動して開口絞り４１の絞り径を変更する図示しない絞り開閉機構とを備える。また、絞り開閉機構に連結され、開口絞り４１の開閉動作に応動して左右方向に移動するラック４２と、このラック４２に噛合されたピニオン４３と、絞り枠４０に支持され、ピニオン４３の回転中心に連結された回転軸４４ａを回動するパルスモータ４４とを備える。

これによって、開口絞りユニット１０は、パルスモータ４４を駆動し、回転軸４４ａとともにピニオン４３を回動して、ラック４２を左右方向に移動させることで、開口絞り４１を開閉駆動し、その絞り径を変化させる。このとき、パルスモータ４４は、電気的に接続されたコントロール部１５からの制御に基づいて駆動される。なお、コントロール部１５は、初期状態として絞り径を最も絞った状態からの絞り径の変化量と、パルスモータ４４の駆動量（パルス量）との対応関係を予め記憶し、所望の絞り径に応じたパルス量だけパルスモータ４４を駆動させて絞り径を変化させる。また、コントロール部１５は、開口絞り４１を開放した状態を初期状態として、この初期状態からの絞り径の変化量をもとにパルスモータ４４を駆動させることもできる。

なお、ここでは、開口絞りユニット１０が、絞り径が可変な開口絞り４１を備えるものとして説明したが、かかる構成に限定する必要はなく、例えば絞り径が異なる複数の絞りを光軸ＯＡ１上に切換配置する構成としてもよい。

つぎに、コントロール部１５に記憶された光学条件記憶テーブル１７ａについて説明する。光学条件記憶テーブル１７ａは、例えば図８に示すように、レボルバ７に設けられたレボ穴のレボ穴番号「１」〜「５」と、各レボ穴に取り付けられた対物レンズ６の倍率と、観察切換部１２に取り付け可能な複数のミラーユニットの種別と、開口絞りユニット１０の光学条件としての開口絞り４１の絞り径とを対応付けて記憶している。

かかる光学条件記憶テーブル１７ａをもとに、コントロール部１５は、例えばレボ穴番号「３」に取り付けられた対物レンズ６が光軸ＯＡ２上に配置されるとともに、ミラーユニット「ＢＦ」または「ＤＩＣ」が光軸ＯＡ２上に配置された場合、開口絞り４１の絞り径をφ７．５ｍｍに設定する制御を行う。一方、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニットが「ＦＬ」または「ＤＦ」であった場合には、絞り径を開放（φｍａｘ）に設定する制御を行う。そしてこの状態から、光軸ＯＡ２上に配置される対物レンズ６またはミラーユニット１１の少なくとも一方の種別が変更された場合、コントロール部１５は、開口絞り４１の絞り径を、変更後の種別に対応付けられた絞り径に切り換える制御を行う。

つぎに、コントロール部１５の制御に基づいて顕微鏡装置１００が行う各種処理手順について説明する。図９は、顕微鏡装置１００の電源が投入された場合、もしくは顕微鏡装置１００の設定がリセットされた場合に実行されるイニシャライズ処理の処理手順を示すフローチャートである。

図９に示すように、イニシャライズ処理では、コントロール部１５は、まず開口絞り４１の絞り径を基準径に設定し（ステップＳ１０１）、つづいて観察切替部１２におけるミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの位置を検知する（ステップＳ１０２）。さらに、観察切換部１２に取り付けられたミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの種別を検知した後（ステップＳ１０３）、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６に対応するレボ穴番号を検知して（ステップＳ１０４）、一連のイニシャライズ処理を終了する。

ステップＳ１０１では、コントロール部１５は、開口絞り４１の絞り径を、例えば基準径としての最小径（最も絞った径）に設定する。ただし、基準径は最小径に限定されるものではなく、最大径（開放した径）あるいは所定の大きさの径に設定することもできる。

ステップＳ１０２では、コントロール部１５は、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃの検出結果に基づきアリ部３２ａ〜３２ｃの位置を検知することで、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの位置を検知する。このとき、特に、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニットを検知する。そして、この処理における検知結果を記憶部１７に記録する。なお、コントロール部１５は、この検知結果をもとに、各ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃを所定の初期位置（例えば、図３に示した状態）に配置し直すこともできる。

ステップＳ１０３では、コントロール部１５は、アリ部３２ａ〜３２ｃに取り付けられたミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの種別を検知するとともに、検知したミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの種別とアリ部３２ａ〜３２ｃとの対応関係を、記憶部１７に記録する。

なお、ステップＳ１０１〜Ｓ１０４の処理順序は、図９に示す順序に限定する必要はなく、各処理順序を適宜入れ換えてもよい。また、ステップＳ１０３にかかるミラーユニットの種別の検知は、このイニシャライズ処理において実行を省略し、後述するミラーユニット切換処理ごとに実行するようにしてもよい。

つぎに、ミラーユニット１１の配置切換に応じて実行するミラーユニット切換処理について説明する。このミラーユニット切換処理は、観察切換部１２に突設されたレバー３４がガイド棒３１ａに沿って左右方向に移動操作され、例えば図３および図１０に示すように、光軸ＯＡ２上に配置されるミラーユニット１１が、ミラーユニット１１Ｂからミラーユニット１１Ａに切り換えられた場合に実行される。図１１は、そのミラーユニット切換処理の処理手順を示すフローチャートである。

図１１に示すようにミラーユニット切換処理では、コントロール部１５は、まず、切り換え後のミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの位置を検知して、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を検知する（ステップＳ１１１）。つづいて、光軸上ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１が「ＢＦ」または「ＤＩＣ」であるかを判断する（ステップＳ１１２）。

光軸ＯＡ２上のミラーユニット１１が「ＢＦ」または「ＤＩＣ」である場合（ステップＳ１１２：Ｙｅｓ）、コントロール部１５は、光軸ＯＡ２上の対物レンズ６に対応するレボ穴番号を検知し（ステップＳ１１３）、この検知したレボ穴番号およびミラーユニット種別「ＢＦ」もしくは「ＤＩＣ」に対応付けられた絞り径を、光学条件記憶テーブル１７ａから読み出す（ステップＳ１１４）。その後、開口絞り４１の絞り径を、この読み出した絞り径に変更し（ステップＳ１１５）、一連のミラーユニット切換処理を終了する。一方、光軸ＯＡ２上のミラーユニット１１が「ＢＦ」および「ＤＩＣ」でない場合（ステップＳ１１２：Ｎｏ）、コントロール部１５は、開口絞り４１を開放し（ステップＳ１１６）、一連のミラーユニット切換処理を終了する。

ステップＳ１１１では、コントロール部１５は、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃの検出結果に基づいてアリ部３２ａ〜３２ｃの位置を検知し、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１を検知する。そして、この位置の検知結果と、イニシャライズ処理におけるステップＳ１０３で記録したミラーユニット種別の検知結果とに基づいて、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を検知する。また、ステップＳ１１５では、コントロール部１５は、ステップＳ１１４で読み出した絞り径に応じたパルス量だけパルスモータ４４を駆動させて、開口絞り４１の絞り径を切り換える。

なお、ここでは、ミラーユニット１１が予め切り換えられたものとしてミラーユニット切換処理手順を説明したが、ミラーユニット１１の切り換え自体は、例えば、イニシャライズ処理後に、ステップＳ１０２にかかるミラーユニット位置の検知処理を継続して繰り返すことで、適宜検知することができる。あるいは、ミラーユニット１１の切り換え動作を検知する検知機構等を設けてもよい。

つぎに、対物レンズ６の切り換えに応じて実行する対物レンズ切換処理について説明する。この対物レンズ切換処理は、ミラーユニット１１の配置状態を維持したまま、レボルバ７を回動して対物レンズ６を切り換えることで、光軸ＯＡ２上に配置する対物レンズ６の倍率等、光学条件が変更された場合に実行される。図１２は、その対物レンズ切換処理の処理手順を示すフローチャートである。

図１２に示すように対物レンズ切換処理では、コントロール部１５は、まず、切り換え後に光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６に対応するレボ穴番号を検知する（ステップＳ１２１）。つづいて、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃの位置を検知して、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を検知し（ステップＳ１２２）、光軸上ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１が「ＢＦ」または「ＤＩＣ」であるかを判断する（ステップＳ１２３）。

光軸ＯＡ２上のミラーユニット１１が「ＢＦ」または「ＤＩＣ」である場合（ステップＳ１２３：Ｙｅｓ）、コントロール部１５は、光軸ＯＡ２上の対物レンズ６に対応するレボ穴番号およびミラーユニット種別「ＢＦ」もしくは「ＤＩＣ」に対応付けられた絞り径を、光学条件記憶テーブル１７ａから読み出す（ステップＳ１２４）。そして、開口絞り４１の絞り径を、この読み出した絞り径に変更し（ステップＳ１２５）、一連の対物レンズ切換処理を終了する。一方、光軸ＯＡ２上のミラーユニット１１が「ＢＦ」および「ＤＩＣ」でない場合（ステップＳ１２３：Ｎｏ）、コントロール部１５は、開口絞り４１を開放したままとし、一連のミラーユニット切換処理を終了する。

ステップＳ１２２では、コントロール部１５は、ミラーユニット切り換え処理におけるステップＳ１１１と同様の処理によって、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を検知する。また、ステップＳ１２５では、コントロール部１５は、ステップＳ１１５と同様にして開口絞り４１の絞り径を切り換える。

なお、ここでは、対物レンズ６が予め切り換えられたものとして対物レンズ切換処理手順を説明したが、対物レンズ６の切り換え自体は、例えば、イニシャライズ処理後に、ステップＳ１０４にかかるレボ穴番号の検知処理を継続して繰り返すことで、適宜検知することができる。あるいは、対物レンズ６の切り換え動作、すなわちレボルバ７の回動動作を検知する検知機構等を設けてもよい。

以上説明したように、本実施の形態１にかかる顕微鏡装置１００は、光軸ＯＡ２上に配置されたミラーユニット１１の種別を、未配置を含めて検知するフォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃと、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６の種別を検知するレボ穴検知部１４と、ミラーユニット１１および対物レンズ６の種別ごとに、開口絞りユニット１０が有する開口絞り４１の絞り径を対応付けて記憶する光学条件記憶テーブル１７ａと、開口絞りユニット１０の絞り径を、フォトインタラプタ３５Ａ〜３５ＣおよびホールＩＣ基板３７Ａ〜３７Ｃが検知したミラーユニット１１の種別およびレボ穴検知部１４が検知した対物レンズ６の種別に対応付けられた絞り径に切り換える制御を行うコントロール部１５と、を備えているため、観察法に応じて光軸ＯＡ２上に配置されるミラーユニット１１および対物レンズ６のうち、予め搭載されていないミラーユニット１１または対物レンズ６を用いて観察法を切り換える場合にも、開口絞りユニット１０の絞り径の設定を容易かつ確実に最適化することができる。

また、これによって、顕微鏡装置１００のみならず、顕微鏡装置１００を用いたシステム全体の操作性の向上、セットアップ時間の短縮化、操作ミスの削減を実現することができるとともに、このシステムにかかる作業の標準化を促進させることができる。

（実施の形態２）
つぎに本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡装置について説明する。図１３は、本実施の形態２にかかる顕微鏡装置２００の要部構成を示す図である。図１３に示すように、顕微鏡装置２００は、顕微鏡装置１００を基にして、観察切り換え部１２およびコントロール部１５に替えて、観察切り換え部５２およびコントロール部５５を備える。また、新たにスライダ検知部５３を備える。

図１４は、コントロール部５５の構成を示すブロック図である。図１４に示すように、コントロール部５５は、コントロール部１５を基にして、記憶部１７および制御部１８に替えて、記憶部５７および制御部５８を備える。さらに、記憶部５７は、光学条件記憶テーブル１７ａに代わる光学条件記憶テーブル５７ａを備える。なお、図１３および図１４では、顕微鏡装置１００と同じ構成部分に、実施の形態１と同一の符号を付して示している。

スライダ検知部５３は、微分干渉観察法で用いる微分干渉用プリズムユニットとしてのＤＩＣスライダがスロット１３に挿着された場合、その挿着されたＤＩＣスライダの種別を検知する。具体的には、例えば図１５−１〜図１５−３に示すように、スロット１３に挿着可能なＤＩＣスライダである「スライダＥ」〜「スライダＧ」としてＤＩＣスライダ６１Ａ〜６１Ｃがあり、それぞれに固有の配設パターンで１〜２個の磁石６２が配設されている。スライダ検知部５３は、スロット１３に挿着されたＤＩＣスライダに配設されている磁石６２の配設パターンを検知して、この挿着されたＤＩＣスライダがＤＩＣスライダ「スライダＥ」〜「スライダＧ」のいずれであるかを検知する。

図１６は、スロット１３にＤＩＣスライダ６１Ａが挿着された状態を例示する平面図である。図１６に示すように、ＤＩＣスライダ６１Ａは、顕微鏡装置２００の正面側（図中左側）から矢印Ｓで示される方向に水平に挿着され、ＤＩＣスライダ６１Ａ内に設けられた微分干渉用プリズムとしてのＤＩＣプリズム６３が、光軸ＯＡ２上に配置される。この状態で、光軸ＯＡ２方向の照明光は、開口部６１Ａａを通過し、ＤＩＣプリズム６３によってシア（shear）され、シアされた状態の観察光は、開口部６１Ａａを通過し、ＤＩＣプリズム６３によって同軸にされて干渉させられる。

ＤＩＣスライダ６１Ａは、レボルバ７内でスロット１３の近傍に配設されたスライダ検知部５３に対向する側面部に、固有の配設パターンとして２個の磁石６２が所定の配置間隔で配設されている。スライダ検知部５３は、ホールＩＣ基板５３ａと、このホールＩＣ基板５３ａ上に所定の間隔で配置されたホールＩＣ５３ｂ，５３ｃとを用いて構成されている。このホールＩＣ５３ｂと５３ｃとの間隔は、磁石６２の配置間隔にほぼ等しくされている。なお、ホールＩＣ基板５３ａは、ケーブル５４によってコントロール部５５に電気的に接続されている。

これによって、保持部品検知手段としてのスライダ検知部５３は、ホールＩＣ５３ｂ，５３ｃからの出力に基づき、ＤＩＣスライダ６１Ａに配設された磁石６２の配設パターンを検知して、スロット１３に挿着されたＤＩＣスライダがＤＩＣスライダ６１Ａであること、すなわち「ＤＩＣスライダＥ」であることを検知する。そして、この検知結果をコントロール部５５に出力する。

一方、ＤＩＣスライダ６１Ｂ，６１Ｃは、図１５−２および図１５−３に示すように、スライダ検知部５３に対応する側面部に、固有の配設パターンとしてそれぞれ磁石６２が１個ずつ配設されている。この各々の配設パターンは、ＤＩＣスライダ６１Ａにおける一方の磁石６２のみを配設した配設パターンに相当する。したがって、ＤＩＣスライダ６１Ｂをスロット１３に挿着した場合には、ホールＩＣ５３ｂに対向する位置にのみ磁石６２が配置され、ＤＩＣスライダ６１Ｃを挿着した場合には、ホールＩＣ５３ｃに対してのみ磁石６２が配置される。

これによって、スライダ検知部５３は、ホールＩＣ５３ｂ，５３ｃからの出力に基づき、磁石６２の配設パターンを検知し、スロット１３に挿着されたＤＩＣスライダがＤＩＣスライダ６１Ｂまたは６１Ｃであること、つまり「ＤＩＣスライダＦ」または「ＤＩＣスライダＧ」であることを検知する。そして、この検知結果をコントロール部５５に出力する。

なお、ここでは、磁石６２の各配設パターンとＤＩＣスライダの種別とが予め対応付けられて、スライダ検知部５３に記憶されており、このためスライダ検知部５３が、磁石６２の配設パターンに応じてＤＩＣスライダの種別を検知できるものとして説明した。これに対して、例えばスライダ検知部５３に、磁石６２の配設パターンのみを検知結果として出力させ、この検知結果をもとに、コントロール部５５にＤＩＣスライダの種別を判別させるようにしてもよい。この場合、磁石６２の各配設パターンとＤＩＣスライダの種別との対応付けは、コントロール部５５の記憶部５７に記憶させるとよい。

ところで、「ＤＩＣスライダＥ」としてのＤＩＣスライダ６１Ａは、図１５−１に示すように、ウォラストンプリズム等からなるＤＩＣプリズム６３が、スロット１３内で光軸ＯＡ２上に配置されるように設けられている。このＤＩＣプリズム６３は、ＤＩＣスライダ６１Ａに突設されたツマミ６１Ａｂの矢印Ｒ方向の回転操作に応じて、光軸ＯＡ２に直交する方向（図中上下方向）に移動され、レバー６１Ａｃの矢印Ｚ方向の押し引き操作に応じて、ＤＩＣスライダ６１Ａ内で上下方向（図上、紙面に垂直な方向）に２段階に移動される。

これによって、ＤＩＣスライダ６１Ａは、ツマミ６１Ａｂの回転操作に応じて、照明光のシア量を変化させることができる。また、レバー６１Ａｃの押し引き操作に応じて、対物レンズ６における長作動タイプおよび高解像タイプに対する対応を切り換えることができる。

具体的には、対物レンズ６には、例えば図１７に示すように、「長作動タイプ」としての対物レンズ６Ａと、「高解像タイプ」としての対物レンズ６Ｂとがあり、対物レンズ６Ａの作動距離Ｄ１と射出瞳６Ａａの高さＬ１とは、それぞれ対物レンズ６Ｂの作動距離Ｄ２および射出瞳６Ｂａの高さＬ２より大きい。ＤＩＣプリズム６３は、通常、各対物レンズ６Ａ，６Ｂの射出瞳６Ａａ，６Ｂａの位置に配置する必要があるため、対物レンズ６Ａ，６Ｂの両方に対して用いるには、その配置高さを切り換える必要がある。これに対して、ＤＩＣスライダ６１Ａは、レバー６１Ａｃの押し引き操作に応じてＤＩＣプリズム６３の高さを切り換えることができるため、対物レンズ６Ａ，６Ｂのいずれにも適応させることができる。

一方、図１５−２に示した「ＤＩＣスライダＦ」としてのＤＩＣスライダ６１Ｂは、内部でＤＩＣプリズム６３が、射出瞳６Ａａの高さＬ１に対応する高さに固定配置されている。また、図１５−３に示した「ＤＩＣスライダＧ」としてのＤＩＣスライダ６１Ｃは、内部でＤＩＣプリズム６３が、射出瞳６Ｂａの高さＬ２に対応する高さに固定配置されている。このため、ＤＩＣスライダ６１Ｂ，６１Ｃは、それぞれ対物レンズ６Ａ，６Ｂの一方にのみ適応可能とされている。

図１８は、このようなＤＩＣスライダ６１Ａ〜６１Ｃと対物レンズ６Ａ，６Ｂとの適応関係を示している。図１８において、「○」は適応可能を示し、「×」は適応不可を示している。コントロール部５５は、かかる適応関係を、光学条件記憶テーブル５７ａの一部として記憶している。

なお、ＤＩＣスライダ６１Ｂ，６１Ｃでは、それぞれツマミ６１Ｂｂ，６１Ｃｂの矢印Ｒ方向への回転操作に応じて、ＤＩＣプリズム６３が光軸ＯＡ２に直交する方向（図中上下方向）に移動される。これによって、ＤＩＣスライダ６１Ｂ，６１Ｃは、照明光のシア量を変化させることができる。

つぎに、観察切換部５２の構成について説明する。図１９−１は、観察切換部５２の外観構成を示す平面図である。また、図１９−２は、観察切換部５２の正面図であって、図１９−１に対する左側面である。観察切換部５２は、観察切換部１２の構成をもとに、固定保持部３１およびスライド保持部３２に替えて、固定保持部７１およびスライド保持部７２を用いて構成されている。平面的にＨ字状に形成されたスライド保持部７２の正面部にはラック７２ａが設けられ、このラック７２ａに噛合するピニオン７３の回転中心に軸連結されたモータ７４が、固定保持部７１に設けられている。

スライド保持部７２は、図示しない貫通孔にガイド棒３１ａが挿通され、ガイド棒３１ａに沿って移動可能に固定保持部７１に支持されている。また、スライド保持部７２に設けられたラック７２ａは、固定保持部７１に設けられた開口部７１ａを介して正面側に突設されている。スライド保持部７２の背面部には、スライド保持部３２と同様に、アリ部３２ａ〜３２ｃが設けられ、このアリ部３２ａ〜３２ｃの各々にミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃが、アリ溝１１ａを介して取り付けられている。また、スライド保持部７２の上面部には、センサ板３７が取り付けられ、センサ板３７の屈曲端部は、スライド保持部７２の移動にともなって、固定保持部７１の上面部に配設されたフォトインタラプタ３５Ａ〜３５Ｃに検出される。

かかる構成の観察切換部５２では、モータ７４を駆動して回動されるピニオン７３の回転がラック７２ａに伝達され、ラック７２ａが移動されることによって、スライド保持部７２がガイド棒３１ａに沿って、光軸ＯＡ２と直交する方向に移動される。そして、この移動にともなって、ミラーユニット１１Ａ〜１１Ｃは、個別に光軸ＯＡ２上に配置される。ここで、モータ７４は、コントロール部５５に電気的に接続されており、コントロール部５５の制御を受けて駆動される。

つぎに、コントロール部５５に記憶された光学条件記憶テーブル５７ａについて説明する。光学条件記憶テーブル５７ａは、図８に例示した光学条件記憶テーブル１７ａに加えて、図１８に例示したＤＩＣスライダ６１Ａ〜６１Ｂと対物レンズ６との適応関係を記憶している。すなわち、光学条件記憶テーブル５７ａでは、ミラーユニット「ＤＩＣ」に対して、対物レンズ６の倍率、レボ穴番号および絞り径に加えて、対物レンズ６が「長作動タイプ」であるか「高解像タイプ」であるかが対応付けられている。そして、このような光学条件記憶テーブル５７ａから、コントロール部５５は、スロット１３に挿着されたＤＩＣスライダ６１Ａ〜６１Ｃの種別に適応する対物レンズ６の種別を選択し、この選択した対物レンズ６の種別とミラーユニット「ＤＩＣ」とに対応する開口絞り４１の絞り径を読み出すことができる。

以上のように構成された顕微鏡装置２００において、コントロール部５５は、スライダ検知部５３からの出力に基づいて、スロット１３にＤＩＣスライダ６１Ａ〜６１Ｂのいずれかが挿着されたことを検知した場合、観察切換部５２のモータ７４を駆動し、スライド保持部７２に取り付けられたミラーユニット「ＤＩＣ」を光軸ＯＡ２上に配置させる。また、スライダ検知部５３によって、スロット１３に挿着されたＤＩＣスライダの種別を検知し、検知したＤＩＣスライダの種別に適応する対物レンズ６を光軸ＯＡ２上に配置するように、レボルバ７を駆動制御する。さらに、コントロール部５５は、光軸ＯＡ２上に配置した対物レンズ６と、ミラーユニット「ＤＩＣ」とに対応する絞り径を読み出し、開口絞り４１の絞り径を、この読み出した絞り径に変更するように、開口絞りユニット１０を駆動制御する。

ここで、コントロール部５５は、スロット１３に挿着されたＤＩＣスライダに適合しない対物レンズ６が光軸ＯＡ２上に配置されないように、つまり、この適合しない対物レンズ６が取り付けられたレボ穴を光軸ＯＡ２上に停止させないように、レボルバ７の回動操作を制御することができる。これによって、コントロール部５５は、作業者等、外部からの切換指示に応じて対物レンズ６を切り換える場合にも、不適当な対物レンズ６の誤使用を防止することができる。この場合、コントロール部５５は、外部からの切換指示が不適当である旨の警告を、出力部２０に出力させることもできる。

また、コントロール部５５は、ＤＩＣスライダがスロット１３から取り外された場合、例えばミラーユニット「ＢＦ」等、予め定められたデフォルト設定としてのミラーユニットを光軸ＯＡ２上に配置することができる。さらに、このとき、開口絞り４１の絞り径を基準径に切り換えることもできる。

なお、ここでは、コントロール部５５が、ＤＩＣスライダの挿着に応じて、対物レンズ６、ミラーユニット１１および開口絞り４１の絞り径を連動して切り換えるものとして説明したが、ミラーユニット１１のみ「ＤＩＣ」に切り換えるように制御してもよい。あるいはミラーユニット１１と対物レンズ６のみ、もしくはミラーユニット１１と絞り径のみを連動して切り換えるようにしてもよい。

以上説明したように、本実施の形態２にかかる顕微鏡装置２００は、スライダ検知部５３によって、スロット１３に対するＤＩＣスライダの挿着の有無を検知するとともに、挿着された場合にＤＩＣスライダの種別を検知するようにしているため、予め搭載されていないＤＩＣスライダを用いて観察法を切り換える場合にも、観察切換部５２のミラーユニット１１、レボルバ７に取り付けられた対物レンズ６、開口絞りユニット１０の絞り径等の設定を容易かつ確実に最適化することができる。また、これによって、顕微鏡装置２００のみならず、顕微鏡装置２００を用いたシステム全体の操作性の向上、セットアップ時間の短縮化、操作ミスの削減を実現することができるとともに、このシステムにかかる作業の標準化を促進させることができる。

なお、本発明は、上述した実施の形態１および２に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。例えば、上述した実施の形態１および２では、
ミラーユニット１１が、ハーフミラー等のミラー素子とともに各種フィルタ素子を備えるものとして説明したが、フィルタ素子をミラーユニット１１から分離して配置し、コントロール部がフィルタ素子の切り換えを個別に制御するように構成してもよい。この場合、異なる観察法間でミラー素子を供用することができるとともに、フィルタ素子のみ切り換えて観察法の切り換えを行うことができる。また、これによって、簡易な構成で、より多様に観察法の切り換えが可能となる。

さらに、上述した実施の形態１および２では、複数の対物レンズ６の種別とレボルバ７のレボ穴番号とが、予め対応付けられて記憶されており、レボ穴検知部１４がレボ穴番号を検知することで、光軸ＯＡ２上に配置された対物レンズ６の種別が検知されるものとして説明したが、レボ穴検知部１４に替えて、対物レンズ６の種別を直接検知する検知機構を設けてもよい。かかる検知機構は、例えば各対物レンズ６に無線ＩＣタグ、１次元または２次元コード等を設け、これらの読取装置（リーダー）をレボルバ７に配設することで実現される。

また、上述した実施の形態１および２では、ミラーユニット１１の種別として、明視野観察法、微分干渉観察法、蛍光観察法および暗視野観察法に対応する「ＢＦ」、「ＤＩＣ」、「ＦＬ」および「ＤＦ」を示したが、これらに限定して解釈する必要はなく、位相差観察法や偏光観察法に対応するミラーユニット等、他の観察法に対応するミラーユニットを用いることもできる。

さらに、上述した実施の形態１および２では、本発明にかかる顕微鏡装置を、標本の上部から照明および観察を行う正立顕微鏡として説明したが、標本の下部から照明および観察を行う倒立顕微鏡として構成することもできる。

なお、上述した「観察法」は、明視野観察法、暗視野観察法、微分干渉観察法、位相差観察法、蛍光観察法、偏光観察法等の他、対物レンズの種々の倍率に応じた観察も、異なる観察法として意味するものである。

本発明の実施の形態１にかかる顕微鏡装置の構成を示す図である。 図１に示したコントロール部の構成を示すブロック図である。 図１に示した観察切換部の構成を示す平面図である。 図１に示した観察切換部の構成を示す側面図である。 図４−１に示した観察切換部においてミラーユニットを取り除いた状態を示す図である。 ミラーユニットに配設される磁石の配設パターンを示す図である。 ミラーユニットにおける磁石の配設パターンとミラーユニット種別との対応関係を示す図である。 開口絞りユニットの外観構成を示す正面図である。 開口絞りユニットの外観構成を示す正面図である。 光学条件記憶テーブルを示す図である。 実施の形態１にかかる顕微鏡装置が行うイニシャライズ処理の処理手順を示すフローチャートである。 図３に示した観察切換部のミラーユニットを移動させた状態を示す図である。 実施の形態１にかかる顕微鏡装置が行うミラーユニット切換処理の処理手順を示すフローチャートである。 実施の形態１にかかる顕微鏡装置が行う対物レンズ切換処理の処理手順を示すフローチャートである。 本発明の実施の形態２にかかる顕微鏡装置の構成を示す図である。 図１３に示したコントロール部の構成を示すブロック図である。 図１３に示したスロットに挿着されるＤＩＣスライダの外観構成を示す平面図である。 図１３に示したスロットに挿着されるＤＩＣスライダの外観構成を示す平面図である。 図１３に示したスロットに挿着されるＤＩＣスライダの外観構成を示す平面図である。 図１５−１に示したＤＩＣスライダを挿着した状態を示す平面図である。 対物レンズタイプを説明する図である。 ＤＩＣスライダ種別と対物レンズタイプとの適応関係を示す図である。 図１３に示した観察切換部の構成を示す平面図である。 図１３に示した観察切換部の構成を示す正面図である。

符号の説明

１ 標本
２ ステージ
３ 顕微鏡本体
３ａ ステージホルダ
３ｂ 焦準ハンドル
４ 落射投光管
５ ランプハウス
５ａ 光源
６，６Ａ，６Ｂ 対物レンズ
６Ａａ，６Ｂａ 射出瞳
７ レボルバ
８ 鏡筒
９ 接眼レンズ
１０ 開口絞りユニット
１１Ａ〜１１Ｃ ミラーユニット
１１ａ，１１ａ−１〜１１ａ−４ アリ溝
１１ｂ 溝内面
１１ｃ，６２ 磁石
１２，５２ 観察切換部
１３ スロット
１４ レボ穴検知部
１５，５５ コントロール部
１６ 電源
１７，５７ 記憶部
１７ａ，５７ａ 光学条件記憶テーブル
１８，５８ 制御部
１９ 入力部
２０ 出力部
３１，７１ 固定保持部
３１ａ ガイド棒
３２，７２ スライド保持部
３２ａ〜３２ｃ アリ部
３２ｄ 凸状部
３３ ビス
３４ レバー
３５Ａ〜３５Ｃ フォトインタラプタ
３６Ａ〜３６Ｃ センシング空間
３７ センサ板
３７Ａ〜３７Ｃ，５３ａ ホールＩＣ基板
３７Ａａ，３７Ａｂ，３７Ｂａ，３７Ｂｂ，３７Ｃａ，３７Ｃｂ，５３ｂ，５３ｃ ホールＩＣ
３８Ａ〜３８Ｃ ケーブル
４０ 絞り枠
４１ 開口絞り
４１ａ 絞り羽
４２ ラック
４３ ピニオン
４４ パルスモータ
４４ａ 回転軸
５３ スライダ検知部
５４ ケーブル
６１Ａ〜６１Ｃ ＤＩＣスライダ
６１Ａａ 開口部
６１Ａｂ，６１Ｂｂ，６１Ｃｂ ツマミ
６１Ａｃ レバー
６３ ＤＩＣプリズム
７１ａ 開口部
７２ａ ラック
７３ ピニオン
７４ モータ
１００，２００ 顕微鏡装置
ＯＡ１，ＯＡ２ 光軸

Claims (7)

1. 観察法に応じて光学部品を光軸上に配置し、この配置した前記光学部品の種別に基づいて、光学条件が可変な可変光学ユニットの該光学条件を切り換える顕微鏡装置において、
   前記光軸上に配置された前記光学部品の種別を、未配置を含めて検知する検知手段と、
   前記光学部品の種別ごとに、前記可変光学ユニットの光学条件を対応付けて記憶する記憶テーブルと、
   前記可変光学ユニットの光学条件を、前記検知手段が検知した前記光学部品の種別に対応付けられた前記光学条件に切り換える制御を行う制御手段と、
   を備えたことを特徴とする顕微鏡装置。
2. 前記可変光学ユニットは、該可変光学ユニットが有する光学素子の開口径を切り換える開口径切換機構と、前記光学条件が異なる複数の光学素子の配置を切り換える配置切換機構との少なくとも一方を有し、
   前記制御手段は、前記開口径切換機構および前記配置切換機構の少なくとも一方を駆動させて、前記可変光学ユニットの光学条件を切り換える制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
3. 複数の前記光学部品は、前記光軸と交差する方向に移動可能な移動手段が有する複数の保持部に各々保持され、
   前記検知手段は、
   複数の前記保持部ごとに、該保持部が保持する前記光学部品の種別を検知する保持部品検知手段と、
   前記移動手段によって移動された複数の前記保持部の位置を検知する保持位置検知手段と、
   を有し、前記保持部品検知手段および前記保持位置検知手段の各検知結果に基づいて、前記光軸上に配置された前記光学部品の種別を検知することを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡装置。
4. 複数の前記光学部品の各々は、未配置を含む固有の配設パターンで磁石が配設され、
   前記検知手段または前記保持部品検知手段は、前記光軸上の前記光学部品に配設された磁石の前記固有の配設パターンを検知して、該光学部品の種別を検知することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の顕微鏡装置。
5. 前記検知手段または前記保持部品検知手段は、前記磁石の配設パターンに対応して配設された複数のホール素子を備え、該複数のホール素子によって前記固有の配設パターンを検知することを特徴とする請求項４に記載の顕微鏡装置。
6. 前記光学部品は、観察法に応じて照明光路と観察光路とを分岐するミラーユニットと、対物レンズとの少なくとも一方であり、
   前記可変光学ユニットは、絞り径が可変な可変絞りユニットであり、
   前記記憶テーブルは、前記ミラーユニットおよび前記対物レンズの少なくとも一方の種別ごとに、前記可変絞りユニットの絞り径を対応付けて記憶することを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡装置。
7. 前記光学部品は、微分干渉観察法で用いる微分干渉用プリズムユニットであり、
   前記可変光学ユニットは、観察法に応じて照明光路と観察光路とを分岐する複数のミラーユニットを前記光軸上に切換配置するミラー切換機構と、複数の対物レンズを前記光軸上に切換配置する対物切換機構と、絞り径が可変な可変絞りユニットとの少なくとも１つであり、
   前記記憶テーブルは、前記微分干渉用プリズムの種別ごとに、前記ミラーユニットの反射特性と、前記対物レンズの結像特性と、前記可変絞りユニットの絞り径との少なくとも１つを対応付けて記憶することを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡装置。

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