JP4918405B2 - 光学顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は、光学顕微鏡の技術に関し、特に、微分干渉観察の技術に関する。

顕微鏡は、医学や生物学の分野を始めとして、工業分野においても、ＩＣウェハや磁気ヘッドの検査や金属組織等の品質管理、新素材等の研究開発などの用途で使用されている。

ＩＣウェハなどの製造工程では、光の干渉を利用して位相の差（リタデーション）を色彩のコントラストに変換する微分干渉観察法を用いて、透明膜の傷や透明膜の厚みのバラツキなどといった製造上の欠陥の有無の検査が行われている。

微分干渉観察法では、光学顕微鏡が備えている通常の光学系に、ポラライザ、ノマルスキープリズム、アナライザ等の光学素子を追加して、微分干渉観察光学系を形成する。
ポラライザは、照明光の光路に挿入され、照明光を特定方向の直線偏光にする。

ノマルスキープリズムは、このポラライザを透通した直線偏光を、振動方向が互いに直交している２つの直線偏光に分解すると共に、観察試料からの２つの光を再び重ね合わせる微分干渉プリズムである。なお、落射照明の場合には１つのノマルスキープリズムが照明光と観察法用とを兼ねるが、透過照明の場合には１対のノマルスキープリズムが必要となる。

アナライザは、ノマルスキープリズムを通過した光束を同一の振動方向に揃えて干渉させる。アナライザを通過して干渉した光のうち、ある波長のものは干渉によって打ち消される一方、ある波長のものは透過する。このため、アナライザを通過させた光と可視光とを重ね合わせると色彩が表れる。これを干渉色という。

微分干渉観察機能を備えた光学顕微鏡の技術に関し、例えば特許文献１には、ポラライザ、アナライザ、及びノマルスキープリズムを電動で駆動させるためのアクチュエータを備えており、観察者が操作部を操作することでこれらの光学素子を駆動させることができる顕微鏡が開示されている。この顕微鏡では、観察者が操作部を操作して微分干渉観察法を選択すると、制御部がアクチュエータに駆動指示を出してこれらの光学素子を光路に挿入させる。その後、観察者が操作部を操作してリタデーションの調整（ノマルスキープリズムにおいて分解される２つの直線偏光間での位相差の調整）を行う指示を出すと、制御部がアクチュエータに駆動指示を出してノマルスキープリズムを移動させ、リタデーションの調整が行われる。

リタデーションの調整におけるノマルスキープリズムの位置の設定は非常にシビアであるため、ノマルスキープリズムを電動で駆動するアクチュエータの駆動分解能は非常に小さいことが望まれる。また、一般に、観察に適したリタデーション位置は観察試料や検査工程により異なっており、同一試料でも複数のリタデーション位置を観察することもあるため、ノマルスキープリズムを広い範囲で迅速に移動できるようにする必要もある。更に、検出対象である欠陥によっては、特定の干渉色でのみ検出可能なものもあるので、干渉色の設定は非常に重要である。

微分干渉観察機能を備えた光学顕微鏡でのリタデーション調整の技術に関し、例えば特許文献２には、ダイヤル式のリタデーション位置調整指示部を操作部として備えるようにし、このダイヤルを回すスピードを変化させる、若しくは操作部の他の操作子の操作することにより、ノマルスキープリズムを電動で駆動するアクチュエータの駆動分解能を変化させるようにした顕微鏡が開示されている。
特開平９−３２５２８１号公報 特開平１１−３２６７７７号公報

前述の先行文献２に開示されている顕微鏡では、ダイヤルの操作に応じてノマルスキープリズムを移動させると、観察される干渉色が連続的に変化する。この干渉色の変化の判断は観察者による官能的な判断である。従って、リタデーションの調整において最適な干渉色となる位置にノマルスキープリズムを配置するには、回転方向の反転を繰り返しながらダイヤルを操作するという作業が観察者に求められることとなるが、この設定作業には長い時間を要することとなる。

また、経験の浅い検査者や検査工程作成者が観察者である場合には、干渉色の官能判断が適切でないことがあるため、干渉色の最適な設定が行えずに、欠陥を見落としてしまうことがあり得る。

また、先行文献２に開示されている顕微鏡では、ダイヤルを１回転させると、微分干渉観察により観察される干渉色のうちの代表的なものが観察される位置にノマルスキープリズムが移動するように構成されている。しかし、観察者が接眼レンズを覗きながらダイヤルを操作している等の場合では、ダイヤルを正確に３６０度回転させることは容易な操作ではない。従って、例えば、予め定めておいた複数のリタデーション位置（ノマルスキープリズムの配置位置）で第一の試料の微分干渉観察を行い、その後続けて第一の試料の観察時と同一である複数のリタデーション位置において第二の試料の微分干渉観察を行うことを所望しても、第二の試料の観察の際に第一の試料の観察の際のリタデーション位置を再現させることは困難である。

また、複数のリタデーション位置を観察する場合に各々のリタデーション位置が大きく離れている場合には、ダイヤルを何回転も回す操作が必要となるため、作業が煩雑となり、また観察に時間を要することにもなる。

更に、ノマルスキープリズムを予め設定されている移動範囲の終端の位置まで移動させても観察に適した干渉色が見つからなかった場合や、試料の観察を終えて次の試料の観察を開始する場合には、ノマルスキープリズムを予め設定されている移動範囲の始端まで一旦戻すことになる。しかし、ノマルスキープリズムをこの始端まで戻すためにはダイヤルを何回転も回す操作が必要となるため、作業が煩雑となり、また観察に時間を要することにもなる。

本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡のリタデーション調整において、最適なリタデーション位置を迅速かつ精度良く設定できるようにすることである。

本発明の態様のひとつである光学顕微鏡は、微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡であって、微分干渉観察光学系を構成するために使用される微分干渉プリズムと、該微分干渉プリズムを移動させる指示を取得する指示取得手段と、該微分干渉プリズムの移動方向の指示を含み、該指示取得手段による該指示の取得に応じ、該光学顕微鏡の光学系の光軸に直交する方向に該微分干渉プリズムを移動させて、微分干渉観察におけるリタデーションの調整を行う調整手段と、該指示取得手段により取得される該指示の継続時間を計時すると共に、該調整手段を制御して該微分干渉プリズムの移動量を該指示の継続時間に応じて変化させる制御手段と、微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と該光学顕微鏡による微分干渉観察において該干渉色が観察されるときの該微分干渉プリズムの該方向における位置との関係を示すテーブルが予め格納されているテーブル記憶部と、を備え、該制御手段は、該指示の継続時間が所定の閾値時間を経過したか否かを判定する判定手段を有しており、該指示の継続時間が該閾値時間を経過したことを該判定結果が示しているときには、該調整手段により、該制御直前における該微分干渉プリズムの位置から、該移動方向の指示に係る方向においての直近の位置であって該テーブルにおいて該干渉色の名称との関係が示されている該直近の位置へ、該微分干渉プリズムを移動させる制御を行い、該指示の継続時間が該閾値時間を経過していないことを該判定結果が示しているときには、該調整手段により、該テーブルに示されている該微分干渉プリズムの位置の各々の間隔のうち最狭のものよりも短い移動量で、該微分干渉プリズムを移動させる制御を行う、ことを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。

また、本発明の別の態様のひとつである光学顕微鏡は、微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡であって、微分干渉観察光学系を構成するために使用される微分干渉プリズムと、該微分干渉プリズムを移動させる指示を取得する指示取得手段と、該指示取得手段による該指示の取得に応じ、該光学顕微鏡の光学系の光軸に直交する方向に該微分干渉プリズムを移動させて、微分干渉観察におけるリタデーションの調整を行う調整手段と、該指示取得手段により取得される該指示の継続時間を計時すると共に、該調整手段を制御して該微分干渉プリズムの移動量を該指示の継続時間に応じて変化させる制御手段と、微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と、該光学顕微鏡による微分干渉観察において該干渉色が観察されるときの該微分干渉プリズムの該方向における位置との関係を示すテーブルが予め格納されているテーブル記憶部と、を備え、該制御手段は、該指示の継続時間が所定の閾値時間を経過したか否かを判定する判定手段を有しており、該指示の継続時間が該閾値時間を経過したことを該判定結果が示しているときには、該調整手段により、観察されている該干渉色が代表的な他の干渉色となるように該微分干渉プリズムを大きく移動させる干渉色移動モードでの制御を行い、該指示の継続時間が該閾値時間を経過していないことを該判定結果が示しているときには、該微分干渉プリズムを僅かずつ移動させる微動モードでの制御を行う、ことを特徴とするものであり、この特徴によって前述した課題を解決する。

前述した本発明に係る光学顕微鏡において、該制御手段による該調整手段の制御は、該干渉色移動モードにおいては、該テーブルにおける該干渉色の名称との関係が示されている位置へ該微分干渉プリズムを移動させる制御である、ように構成することができる。

なお、このとき、該指示取得手段により取得される該指示には、該微分干渉プリズムの移動方向の指示が含まれており、該制御手段による該調整手段の制御は、該干渉色移動モードにおいては、該制御直前における該微分干渉プリズムの位置から、該移動方向の指示に係る方向においての直近の位置であって該テーブルにおいて該干渉色の名称との関係が示されている該直近の位置へ、該微分干渉プリズムを移動させる制御である、ように構成することもできる。

また、このとき、該制御手段は、該調整手段の制御を行った後も該指示取得手段により取得される該指示が更に継続しているときには、該調整手段の制御を再度行うように構成することもできる。

また、このとき、該調整手段は、該微動モードにおいては、該指示取得手段による該指示の取得の継続が検出される度に、該テーブルに示されている該微分干渉プリズムの位置の各々の間隔のうち最狭のものよりも短い移動量で、該微分干渉プリズムを移動させるように構成することもできる。

また、前述した本発明に係る光学顕微鏡において、該調整手段により調整される該微分干渉プリズムの現在位置を示す数値を表示する表示部を更に備えるように構成することもできる。

なお、このとき、該表示部は、更に、該微分干渉プリズムが配置されている場合に観察される干渉色を、該テーブル記憶部に記憶されている該テーブルに基づいて表示するように構成することができる。

本発明によれば、以上のようにすることにより、微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡のリタデーション調整において、最適なリタデーション位置を迅速かつ精度良く設定できるようなるという効果を奏する。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

まず図１について説明する。図１は、本発明を実施する光学顕微鏡の概略構成を示している。この顕微鏡は、微分干渉観察機能を有している。
図１において、顕微鏡フレーム１には、レボルバ１０４が取り付けられている。レボルバ１０４は、Ｘ−Ｙステージ１０３に対向する位置に配置されており、対物レンズ１０５を最大６つまで設置可能である。レボルバ１０４は、対物レンズ１０５を取り付けるマウンタ１０６と、対物レンズ１０５を光軸に挿入させるためにマウンタ１０６を電動で回転させるレボルバモータ１０７と、レボルバセンサ群１０８とより構成されている。

レボルバセンサ群１０８は、レボルバ１０４が接続されていることを検知する不図示のレボルバ接続センサと、光軸に現在挿入されている対物レンズ１０５が設置されているマウンタ１０６の穴番号を検知する不図示の穴番号センサと、対物レンズ１０５が光軸に挿入されたことを検知する不図示の移動完了センサとより構成されている。

Ｘ−Ｙステージ１０３には試料１０２が載置される。Ｘ−Ｙステージ１０３は、Ｘ−Ｙ方向に移動可能であり、光軸方向であるＺ方向に移動可能なＺステージ１０９の上に取り付けられている。なお、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向は互いに直交する方向である。

Ｚステージ１０９は、観察者が操作部３を操作して駆動指示をすることで、Ｚステージモータ１１０により電動で駆動し、試料１０２をＺ方向に移動させる。
レボルバ１０４の上方には、ＤＩＣ（Differential Interference Contrast）キューブ１１１が設置されている。ＤＩＣキューブ１１１は、微分干渉観察光学系を構成するために使用される光学部品であり、ハーフミラー１１２と、偏光板であるポラライザ１１３と、アナライザ１１４とより構成されている。ここで、ポラライザ１１３とアナライザ１１４とは直交ニコル（Crossed Nicols）の状態になるように配置されている。

なお、図１に示した顕微鏡には、微分干渉観察用のＤＩＣキューブ１１１の他に、不図示の明視野観察法用のＢＦ（Bright Field）キューブ及び暗視野観察法用のＤＦ（Dark Field）キューブが光学部品として備えられている。観察者が操作部３を操作して観察法を指示すると、キューブモータ１１５が駆動して観察法に応じたキューブを光軸に挿入する。

レボルバ１０４には、ＤＩＣユニット１１６が取り付けられている。ＤＩＣユニット１１６は、微分干渉観察光学系を構成するために使用される微分干渉プリズムであるノマルスキープリズム１１７と、ＤＩＣモータ１１８と、図１では不図示のＤＩＣセンサより構成されている。ＤＩＣモータ１１８はステッピングモータの軸を直動運動させるアクチュエータであり、その軸にはノマルスキープリズム１１７が接続されている。従って、ＤＩＣモータ１１８を駆動させることにより、その軸の方向であってこの顕微鏡の光学系の光軸に直交する方向にノマルスキープリズム１１７を移動させることができ、ノマルスキープリズム１１７を光軸に対し挿脱させる移動動作、及びリタデーション位置を変更する移動動作が可能となる。

顕微鏡フレーム１には、光源１１９を備えたランプハウス１２０が取り付けられている。光源１１９からの光は集光レンズ１２１及びポラライザ１１３を通ることで特定方向の直線偏光となり、ハーフミラー１１２へと導かれる。ハーフミラー１１２により９０度反射された直線偏光は、ノマルスキープリズム１１７を通ると、互いに振動方向を直行する２つの直線偏光に分解され、対物レンズ１０５を通った後に、照明光として試料１０２へ照射される。

試料１０２で反射された光がノマルスキープリズム１１７を再び通ると、２つの振動方向の光の重ね合わせが行われる。その後、この光がハーフミラー１１２を透通してアナライザ１１４へと導かれると、振動方向が同一に揃えられて干渉が生じる。

この干渉光は、その後、３眼鏡筒１２２へ導かれると、３眼鏡筒１２２内部の結像レンズ１２３により、接眼レンズ１２４とＣＣＤカメラ１２５とで試料１０２の像を結像させる。このとき、接眼レンズ１２４を覗くことにより、若しくはＣＣＤカメラ１２５で得られた画像を不図示のモニタで表示させることにより、観察者が試料１０２の画像を微分干渉観察法により観察することが可能となる。

顕微鏡フレーム１には、この顕微鏡の各種の電動部を制御する制御部２が接続されている。制御部２は、観察者がこの顕微鏡に指示をするために操作される操作部３が接続されている。この制御部２及び操作部３の構成について、図２を用いて説明する。

制御部２は、図２に示すように、ＣＰＵ（中央演算装置）２０１と、演算データなどの各種のデータが一時的に格納されるＲＡＭ２０２と、制御プログラムや各種のデータなどが予め格納されているＲＯＭ２０３と、この顕微鏡の各種の電動部及び操作部３との間での各種のデータの授受を管理する各種のＩ／Ｆ（インタフェース）部２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ、２０４ｄ、及び２０４ｅと、より構成されており、ＣＰＵ２０１による管理の下、これらの各構成要素間でバス線２０５を介して各種のデータ授受を行うことができる。

図１の顕微鏡は、電動部としてレボルバ１０４、各キューブ、ＤＩＣユニット１１６、及びＺステージ１０９を有しているので、制御部２は、これらとの間での各種のデータの授受を管理するレボルバＩ／Ｆ部２０４ａ、キューブＩ／Ｆ部２０４ｂ、ＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃ、及びＺステージＩ／Ｆ部２０４ｄを有している。これらは、ＣＰＵ２０１から駆動指示があるとそれぞれ電動部が備えているモータを、指定の駆動量で駆動させると共に、これらの電動部に備えられているセンサ（レボルバセンサ群１０８、キューブセンサ２０６、ＤＩＣセンサ２０７、及びＺステージセンサ２０８）による検出信号を受信してＣＰＵ２０１に渡す。ＣＰＵ２０１は、この検出信号に基づいて、各電動部の現在の状態の管理を行う。

また、制御部２が有している操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅは、操作部３に設けられている各種スイッチの押下状態を示す情報の管理と、ＣＰＵ２０１から指示される操作部３での情報表示における表示内容の管理とを行う。

次に図３について説明する。図３は操作部３の外観構成を示している。図３に示されているように、操作部３は、対物レンズ駆動ボタン群３０１と、観察法切換えボタン群３０２と、Ｚステージ操作ボタン群３０３と、ＤＩＣ操作ボタン群３０４と、表示部３０５とを備えて構成されている。

対物レンズ駆動ボタン群３０１は、ＵＰボタン３０１ａとＤＯＷＮボタン３０１ｂとより構成されている。ＵＰボタン３０１ａは、マウンタ１０６を穴番号が増える方向に駆動する指示を行うときに観察者により押下されることで、当該指示を取得するスイッチである。ＤＯＷＮボタン３０１ｂは、マウンタ１０６を穴番号が減る方向に指示を行うときに観察者により押下されることで、当該指示を取得するスイッチである。

観察法切換えボタン群３０２は、ＢＦボタン３０２ａと、ＤＦボタン３０２ｂと、ＤＩＣボタン３０２ｃとより構成されている。これらは、図１の顕微鏡での観察法を、明視野観察法、暗視野観察法、若しくは微分干渉観察法に切り換える指示を行うときにそれぞれ観察者により押下されることで、当該指示を取得するスイッチである。

Ｚステージ操作ボタン群３０３は、ＵＰボタン３０３ａとＤＯＷＮボタン３０３ｂとより構成されている。これらは、試料１０２を対物レンズ１０５のピント位置に移動させるときに操作される。ＵＰボタン３０３ａは、Ｚステージ１０９を対物レンズ１０４に近づく方向に駆動させる指示を行うときに観察者により押下されることで、当該指示を取得するスイッチである。ＤＯＷＮボタン３０３ｂは、Ｚステージ１０９を対物レンズ１０５から離れる方向に駆動させる指示を行うときに観察者により押下されることで、当該指示を取得するスイッチである。

ＤＩＣ操作ボタン群３０４は、ＯＲＧボタン３０４ａ、ＵＰボタン３０４ｂ、及びＤＯＷＮボタン３０４ｃより構成されている。これらは、ノマルスキープリズム１１７を移動させる指示を行うときにそれぞれ観察者により押下されることで、当該指示を取得するスイッチである。

表示部３０５は、操作部３に備えられている各種のスイッチによって取得された観察者の指示の内容を表示する。この表示内容は、現在選択されている観察法と、現在光軸に挿入されている対物レンズ１０５が設置されているマウンタ１０６の穴番号とであり、観察法として微分干渉観察法が選択されている場合には、更に、リタデーション位置と、その位置にノマルスキープリズム１１７が配置されている場合に観察される干渉色が表示部３０５に表示される。

図３に示した例では、表示部３０５には、「１ ＤＩＣ ５５０ ＤＡＲＫＢＵＬＥ」と表示されている。これは、マウンタ１０６の穴番号１番、微分干渉観察法による観察、リタデーション位置５５０、干渉色は濃青、という指示を取得したことを示している。

次に図４Ａについて説明する。図４ＡはＲＡＭ２０２のメモリマップである。
ＲＡＭ２０２のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地には、ＤＩＣモータ１１８の軸の現在位置、すなわちノマルスキープリズム１１７の現在位置を示す数値が格納される。なお、この数値は、位置の変化がＤＩＣセンサ２０７により検出される度に最新のものに更新される。

また、ＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地には、ＤＩＣ操作ボタン群３０４の押下操作に基づいて指示される、ノマルスキープリズム１１７の移動先位置を示す数値が格納される。また、ｉ番地及びｊ番地は、ＤＩＣモータ１１８の駆動時の演算のために必要となるステップカウンタｉ及び干渉色カウンタｊとして、それぞれ使用される。更に、ｆｌｇ番地は、ＤＩＣ操作ボタン群３０４のうちのＯＲＧボタン３０４ａに対する押下操作に応じて行われるトグル動作のために使用されるフラグｆｌｇの値（「０」または「１」のどちらか）が格納される。

次に図４Ｂについて説明する。図４ＢはＲＯＭ２０３のメモリマップである。
ＲＯＭ２０３のＩＣＣ［１］番地からＩＣＣ［１０］番地の各記憶領域には、微分干渉観察を行うと観察される代表的な干渉色の名称を表しているテキスト情報が予め格納されている。また、ＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地からＩＣ［１０］番地の各記憶領域には、その干渉色が図１の顕微鏡により観察されるときのＤＩＣモータ１１８の軸の位置、すなわちノマルスキープリズム１１７の位置を示す数値情報が予め格納されている。

図４Ｂのデータ例において、例えば、干渉色「ＤＡＲＫＢＵＬＥ」（濃青）は、ＩＣＣ［９］番地に格納されている。ここで、ＩＣ［９］番地には「５５０」が格納されている。従って、図１の顕微鏡において、ノマルスキープリズム１１７を「５５０」の位置に配置すると、干渉色として濃青色が観察されることが分かる。つまり、ＲＯＭ２０３には、微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と、図１の顕微鏡による微分干渉観察において当該干渉色が観察されるときのノマルスキープリズム１１７の位置との関係を示すテーブルが予め格納されているのである。

なお、本実施例では、ノマルスキープリズム１１７の位置を示す数値情報は、その数値が小さい順にＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地からＩＣ［１０］番地の各記憶領域に格納しておくようにする。また、ＲＯＭ２０３のＩＣＣ［１］番地からＩＣＣ［１０］番地の各記憶領域に格納する各干渉色の名称は、ＩＣ［１］番地からＩＣ［１０］番地の各記憶領域に上記の順序で格納した各数値情報に対応するように格納しておく。

以下、上述したように構成されている図１の顕微鏡の動作について説明する。
まず、観察法切換えボタン群３０２のＤＩＣボタン３０２ｃが観察者により押下操作されると、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報が更新される。ＣＰＵ２０１はこのボタン押下情報の更新によりＤＩＣボタン３０２ｃが押下されたことを認識する。すると、ＣＰＵ２０１はＤＩＣ観察切換えシーケンスを開始する。

ＣＰＵ２０１は、まずＤＩＣセンサ２０７により検出されるノマルスキープリズム１１７の現在位置の情報をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃより取得する。ここで、ノマルスキープリズム１１７がＯＵＴ位置（光軸から外れている位置）に位置していることが判明した場合には、ＣＰＵ２０１は、ＤＩＣモータ１１８の駆動指示をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃへ出力して、ノマルスキープリズム１１７をＩＮ位置（光軸上の位置）に駆動させる。

この後、ＣＰＵ２０１は、ノマルスキープリズム１１７の現在位置の情報をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃより再度取得する。ここで、ノマルスキープリズム１１７がＩＮ位置に位置していることが確認されると、次に、ＣＰＵ２０１は、キューブセンサ２０６により検出される、光軸に現在挿入されているキューブの種別を示す情報をキューブＩ／Ｆ部２０４ｂより取得する。ここで、光軸に挿入されているキューブがＤＩＣキューブ１１１でないことが判明した場合には、キューブモータ１１５の駆動指示をキューブＩ／Ｆ部２０４ｂへ出力して、ＤＩＣキューブ１１１を光軸に挿入させる。

その後、ＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃ及びキューブＩ／Ｆ部２０４ｂから、ノマルスキープリズム１１７の現在位置の情報及び光軸に現在挿入されているキューブの種別を示す情報をそれぞれ取得する。ここで、ノマルスキープリズム１１７及びＤＩＣキューブ１１１がそれぞれ光軸に挿入されていることが確認されたときには、操作部ｌ／Ｆ部２０４ｅに表示指示を与えて、表示部３０５に「ＤＩＣ」の文字を表示させる。

これ以降、操作部３のＤＩＣ操作ボタン群３０４に対する押下操作が有効になる。ここで、観察者によりＵＰボタン３０４ｂが押下操作されると、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報が更新される。ＣＰＵ２０１はこのボタン押下情報の更新によりＵＰボタン３０４ｂが押下されたことを認識する。すると、ＣＰＵ２０１はリタデーション調整シーケンスを開始する。

リタデーション調整シーケンスは、観察者がＵＰボタン３０４ｂを押下操作して行うノマルスキープリズム１１７の移動指示の取得に応じて、ＤＩＣモータ１１８を駆動させてノマルスキープリズム１１７を移動させることで、リタデーションの調整を行うための処理である。

本実施例においてリタデーション調整シーケンスによりＣＰＵ２０１で行われる処理内容を、図５のフローチャートを用いて説明する。ＣＰＵ２０１は、ＲＯＭ２０３に格納されている所定のプログラムを読み出して実行することによって、このシーケンスの実行が可能となる。

本実施例に係るリタデーション駆動シーケンスが開始すると、まず、Ｓ１０１において、ノマルスキープリズム１１７の現在位置の情報をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃより取得して、ＲＡＭ２０２内のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

続くＳ１０２では、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作の継続時間の計時、すなわち、ノマルスキープリズム１１７の移動指示の継続時間の計時を行うべく、ＲＡＭ２０２のｉ番地に用意されているステップカウンタｉの値を「０」に初期化する処理が行われる。

続くＳ１０３では、上述したステップカウンタｉの現在の値が「１０」よりも小さいか否かを判定する処理が行われる。ここで、ステップカウンタｉの現在の値が「１０」よりも小さいとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１０４に処理を進め、ステップカウンタｉの現在の値が「１０」以上になっているとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１１０に処理を進める。

このＳ１０３の判定処理により、ノマルスキープリズム１１７の移動指示の継続時間が所定の閾値時間を経過したか否かの判定が行われる。ここで、当該継続時間が所定の閾値時間に達するまでは、ノマルスキープリズム１１７を僅かずつ移動させる微動モードでのリタデーション調整が行われる。一方、当該継続時間が所定の閾値時間に達した以降は、観察される干渉色が代表的な他の干渉色となるようにノマルスキープリズム１１７を大きく移動させる干渉色移動モードでのリタデーション調整が行われる。

Ｓ１０４では、ＲＡＭ２０２のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されているＤＩＣモータ１１８の軸の現在位置を示す数値に「１」を加算した結果の値を、ＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

Ｓ１０５では、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている現在の数値を読み出して、その数値をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに転送してセットする処理が行われる。

Ｓ１０６では、ＤＩＣモータ１１８の駆動指示をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに与えて、前ステップの処理によってＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃにセットされた数値に対応する移動量だけノマルスキープリズム１１７を移動させる処理と、その数値をリタデーション位置として表示部３０５に表示させる指示を操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅに与える処
理とが行われる。

Ｓ１０７では、前述したステップカウンタｉの現在の値をインクリメントする（ステップカウンタｉの現在の値を「１」だけ進める）処理が行われる。
Ｓ１０８では、ＤＩＣモータ１１８が駆動してノマルスキープリズム１１７を移動させた後に、観察されている干渉色が適切かどうか、及び、観察されている干渉色の変化の順序が適切であるかどうかをユーザが判断するための時間を確保するため、ＣＰＵ２０１によるリタデーション調整シーケンスの進行を、予め定められた時間（例えば１００ミリ秒程度）だけ一時停止（ウェイト）させる処理が行われる。

Ｓ１０９では、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報を取得し、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が終了したか否か（ボタンが離されたか否か）を判定する処理が行われる。ここで、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が終了したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）には、このリタデーション調整シーケンスを終了する。一方、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が尚も継続していると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１０３へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

観察者は、観察されている干渉色が所望の色彩となった場合、若しくは、干渉色の変化の順序が想定していたものと逆になっている場合には、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作を終了して当該ボタンから手を離す。一方、観察されている干渉色として所望のものが得られてはいないものの、干渉色の変化の順序が想定した通りである場合には、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作を継続する。Ｓ１０９の判定処理は、観察者によるＵＰボタン３０４ｂに対する押下操作にこれらの変化が生じたかどうかの検出を行うための処理である。

ここで、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が継続していると、以上のＳ１０３からＳ１０９までの処理が繰り返される。すると、前述した微動モードでのリタデーション調整が行われ、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ増加した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。しかし、その後、Ｓ１０７の処理の作用によってステップカウンタｉの値が徐々に増加するので、Ｓ１０３の判定処理の結果がやがてＮｏになる。すると、ＣＰＵ２０１はＳ１１０に処理を進める。

Ｓ１１０では、ＲＡＭ２０２のｊ番地に用意されている干渉色カウンタｊの値を「１」に初期化する処理が行われる。
Ｓ１１１では、前述した干渉色カウンタｊの現在の値（この値を変数ｊとする）を取得し、更に、ＲＯＭ２０３のＩＣ［ｊ］番地に格納されている数値を取得してＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

Ｓ１１２では、ＲＡＭ２０２の前述したｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に現在格納されている数値と、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に現在格されている数値との大小比較を行い、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値よりも小さいか否かを判定する処理が行われる。ここで、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値よりも小さいとき（判定結果がＹｅｓのとき）には、Ｓ１０５に処理を進め、Ｓ１０５以降の処理を行う。一方、ここで、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値以上のとき（判定結果がＮｏのとき）には、Ｓ１１３に処理を進める。

Ｓ１１３では、前述した干渉色カウンタｊの現在の値をインクリメントする（干渉色カウンタｊの現在の値を「１」だけ進める）処理が行われ、その後はＳ１１１へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

Ｓ１０３の判定処理の結果がＮｏになった後には、上述したＳ１１０からＳ１１３までの処理及びＳ１０５からＳ１０９までの処理が繰り返される。すると、前述した干渉色移動モードでのリタデーション調整が行われ、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が増加する方向における直近の位置であって、ＲＯＭ２０３において干渉色との関係が示されている当該直近の位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。なお、Ｓ１１１からＳ１１３までの処理は、この直近の位置を特定するための処理である。

また、干渉色移動モードでのリタデーション調整では、上述したノマルスキープリズム１１７の移動が一旦行われた後であっても、Ｓ１０６の処理の実行が繰り返される度、すなわち、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が継続しているとＳ１０９の処理で判定される度に、同一の移動動作が繰り返し行われる。

以上までのシーケンスが、本実施例に係るリタデーション調整シーケンスである。なお、このシーケンスは、ＤＩＣ操作ボタン群３０４におけるＵＰボタン３０４ｂへの押下操作に応じて行われるものである。

一方、操作部３のＤＩＣ操作ボタン群３０４に対する押下操作が有効になったときに、観察者によりＤＯＷＮボタン３０４ｃが押下操作されると、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報が更新される。ＣＰＵ２０１はこのボタン押下情報の更新によりＤＯＷＮボタン３０４ｃが押下されたことを認識する。すると、ＣＰＵ２０１は図５と同様のリタデーション調整シーケンスを開始する。但し、この場合に実行されるシーケンスは以下の点が図５に示したものから変更される。

すなわち、図５のＳ１０４において、ＲＡＭ２０２のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されている数値に「１」を加算する代わりに「１」を減算するようにし、Ｓ１１０において、干渉色カウンタｊの値を「１」に初期化する代わりに「１０」に初期化するようにし、Ｓ１１２において、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値よりも小さいか否かを判定する代わりに大きいか否かを判定するようにし、そして、Ｓ１１３において、干渉色カウンタｊの値をインクリメントする代わりにデクリメントする（干渉色カウンタｊの値を「１」だけ戻す）ようにする。

以上のように変更されたリタデーション調整シーケンスがＣＰＵ２０１で実行されると、Ｓ１０３からＳ１０９までの処理の繰り返しでは、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ減少した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する微動モードでのリタデーション調整が行われる。また、Ｓ１１０からＳ１１３までの処理及びＳ１０５からＳ１０９までの処理の繰り返しでは、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が減少する方向における直近の位置であって、ＲＯＭ２０３において干渉色との関係が示されている当該直近の位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する干渉色移動モードでのリタデーション調整が行われる。

従って、変更されたリタデーション調整シーケンスでは、微動モード及び干渉色移動モードのどちらでのリタデーション調整においても、変更前のリタデーション調整シーケンスとは逆の方向にノマルスキープリズム１１７を移動させる。つまり、ＤＩＣ操作ボタン群３０４は、ＵＰボタン３０４ｂとＤＯＷＮボタン３０４ｃとのどちらが押下操作されたかを以って、ノマルスキープリズム１１７の移動方向の指示を取得するものといえる。また、ＣＰＵ２０１は、この指示の取得結果がこのどちらであるかにより、当該指示に係る方向へノマルスキープリズム１１７を移動させる制御をＤＩＣモータ１１８に対して行うものといえる。

なお、上述したリタデーション調整シーケンスにおける微動モードでは、Ｓ１０３からＳ１０９までの処理の繰り返しにより、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ増加（ＵＰボタン３０４ｂの押下操作による場合）若しくは減少（ＤＯＷＮボタン３０４ｃの押下操作による場合）した位置に、ノマルスキープリズム１１７を移動させるようにしていた。ここで、Ｓ１０４の処理において、ＲＡＭ２０２のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されている数値に加算（ＵＰボタン３０４ｂの押下操作による場合）若しくは減算（ＤＯＷＮボタン３０４ｃの押下操作による場合）する値を「１」とする代わりに、この値を、ＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地からＩＣ［１０］番地までに各々格納されている数値の間隔のうち最小のものよりも小さい値に変更することもできる。このように変更すると、ＲＯＭ２０３に示されている代表的な干渉色が観察されるときのノマルスキープリズム１１７の位置の各々の間隔のうち最狭のものよりも短い移動量で、ノマルスキープリズム１１７を移動させることができるようになる。つまり、この変更により、微動モードでのノマルスキープリズム１１７の移動量を、変更前の場合よりも粗く移動させることができるようになる。

また、操作部３のＤＩＣ操作ボタン群３０４に対する押下操作が有効になったときに、観察者によりＯＲＧボタン３０４ａが押下操作されると、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報が更新される。ＣＰＵ２０１はこのボタン押下情報の更新によりＯＲＧボタン３０４ａが押下されたことを認識する。すると、ＣＰＵ２０１は原点移動シーケンスを開始する。

原点移動シーケンスは、観察者がＯＲＧボタン３０４ａを押下操作して行うノマルスキープリズム１１７の移動指示の取得に応じてＤＩＣモータ１１８を駆動させて、ノマルスキープリズム１１７をその移動方向においてＲＯＭ２０３に予め格納されている移動範囲の端の位置に移動させるための処理である。なお、本実施例においては、移動範囲の端の位置を示す情報は、ＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地及びＩＣ［１０］番地の両記憶領域にそれぞれ格納されている数値情報とする。

原点移動シーケンスによりＣＰＵ２０１で行われる処理内容を、図６のフローチャートを用いて説明する。ＣＰＵ２０１は、ＲＯＭ２０３に格納されている所定のプログラムを読み出して実行することによって、このシーケンスの実行が可能となる。

まず、Ｓ１５１において、ＲＡＭ２０２のｆｌｇ番地に現在格納されているフラグｆｌｇの現在の値が「１」であるか否かを判定する処理が行われる。ここで、フラグｆｌｇの現在の値が「１」であると判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ１５２に処理を進め、フラグｆｌｇの現在の値が「０」であると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１５４に処理を進める。

Ｓ１５２では、ＲＡＭ２０２のｊ番地に用意されている干渉色カウンタｊの値を「１」とする処理が行われ、続くＳ１５３において、上述したフラグｆｌｇの値を「０」とする処理が行われ、その後はＳ１５６に処理を進める。

一方Ｓ１５４では、上述した干渉色カウンタｊの値を「１０」とする処理が行われ、続くＳ１５５において、上述したフラグｆｌｇの値を「１」とする処理が行われる。
Ｓ１５６では、干渉色カウンタｊの現在の値（この値を変数ｊとする）を取得し、更に、ＲＯＭ２０３のＩＣ［ｊ］番地に格納されている数値を取得してＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

Ｓ１５７では、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている現在の数値を読み出して、その数値をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに転送してセットする処理が行われる。

Ｓ１５８では、ＤＩＣモータ１１８の駆動指示をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに与えて、前ステップの処理によってＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃにセットされた数値に対応する移動量だけノマルスキープリズム１１７を移動させる処理と、その数値をリタデーション位置として表示部３０５に表示させる指示を操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅに与える処
理とが行われ、その後はこの原点移動シーケンスを終了する。

以上までのシーケンスが原点移動シーケンスである。このシーケンスを実行することにより、ＣＰＵ２０１は、ＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地若しくはＩＣ［１０］番地のどちらかに格納されている数値で予め示されている移動範囲の端の位置にノマルスキープリズム１１７を移動させる駆動制御をＤＩＣモータ１１８に対して行う。

なお、ここで、直近に行われた原点移動シーケンスによりＩＣ［１］番地に格納されている数値の位置にノマルスキープリズム１１７を移動させていた場合には、その次のＯＲＧボタン３０４ａの押下操作の取得に応じて行われる原点移動シーケンスでは、ＩＣ［１０］番地に格納されている数値の位置にノマルスキープリズム１１７を移動させる処理が行われる。一方、直近に行われた原点移動シーケンスによりＩＣ［１０］番地に格納されている数値の位置にノマルスキープリズム１１７を移動させていた場合には、その次のＯＲＧボタン３０４ａの押下操作の取得に応じて行われる原点移動シーケンスでは、ＩＣ［１］番地に格納されている数値の位置にノマルスキープリズム１１７を移動させる処理が行われる。

このように、原点移動シーケンスでは、ノマルスキープリズム１１７の移動先である所定の移動範囲の端の位置の切換えが、ＯＲＧボタン３０４ａへの押下操作が検出される度にいわゆるトグルで行われる。

なお、本実施例において、ＯＲＧボタン３０４ａの代わりに、ノマルスキープリズム１１７の移動範囲の両端にそれぞれ対応付けた１対のボタンスイッチを設けるようにし、当該移動範囲の両端のうち押下操作されたスイッチに対応する方へノマルスキープリズム１１７の移動させる制御をＣＰＵ２０１が行うように構成することもできる。

以上のように、本実施例によれば、図１に示した顕微鏡で微分干渉観察を行う際のリタデーション調整において、最適なリタデーション位置を迅速かつ精度良く設定することができる。

本実施例に係る光学顕微鏡は、図１に示した概略構成を有するものを使用する。また、制御部２及び操作部３についても、図２に示した構成のものを使用し、操作部３の外観構成も図３に示したものを使用する。更に、ＲＡＭ２０２及びＲＯＭ２０３のメモリマップも、図４Ａ及び図４Ｂにそれぞれ示したものと同一のものとする。

上述したように構成されている図１の顕微鏡の動作について説明すると、ノマルスキープリズム１１７及びＤＩＣキューブ１１１がそれぞれ顕微鏡の光軸に挿入されていることを確認し、表示部３０５に「ＤＩＣ」の文字を表示させるまでの動作、及び、操作部３のＤＩＣ操作ボタン群３０４におけるＵＰボタン３０４ｂが押下されたことをＣＰＵ２０１が認識するまでの動作は、前述した実施例１と同様である。但し、このＵＰボタン３０４ｂの押下操作に応じてＣＰＵ２０１が実行を開始するリタデーション調整シーケンスが実施例１におけるものと異なっている。

本実施例においてリタデーション調整シーケンスによりＣＰＵ２０１で行われる処理内容を、図７のフローチャートを用いて説明する。ＣＰＵ２０１は、ＲＯＭ２０３に格納されている所定のプログラムを読み出して実行することによって、このシーケンスの実行が可能となる。

本実施例に係るリタデーション駆動シーケンスが開始すると、まず、Ｓ２０１において、ノマルスキープリズム１１７の現在位置の情報をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃより取得して、ＲＡＭ２０２内のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

続くＳ２０２において、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作の継続時間の計時、すなわち、ノマルスキープリズム１１７の移動指示の継続時間の計時を行うべく、ＣＰＵ２０１によるリタデーション調整シーケンスの進行を、予め定められた時間だけ一時停止（ウェイト）させる処理が行われる。

Ｓ２０３では、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報を取得し、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が終了したか否か（ボタンが離されたか否か）を判定する処理が行われる。ここで、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が終了したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）には、Ｓ２０４に処理を進める。一方、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が尚も継続していると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ２０８に処理を進める。

Ｓ２０４では、ＲＡＭ２０２のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されているＤＩＣモータ１１８の軸の現在位置を示す数値を、ＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

Ｓ２０５では、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている現在の数値に「１」を加算した結果の値を、当該ｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に改めて格納する処理が行われる。

Ｓ２０６では、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている現在の数値を読み出して、その数値をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに転送してセットする処理が行われる。

Ｓ２０７では、ＤＩＣモータ１１８の駆動指示をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに与えて、前ステップの処理によってＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃにセットされた数値に対応する移動量だけノマルスキープリズム１１７を移動させる処理と、その数値をリタデーション位置として表示部３０５に表示させる指示を操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅに与える処
理とが行われ、その後は、このリタデーション調整シーケンスを終了する。

以上のＳ２０４からＳ２０７にかけての処理が行われることにより、前述した微動モードでのリタデーション調整が行われ、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ増加した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。但し、本実施例では、ＵＰボタン３０４ｂに対する１回の押下操作の継続時間が変化しても、その継続時間によって微動モードが選択される限りにおいては、その移動量は変化しない。本実施例において、微動モードを選択するためのＵＰボタン３０４ｂに対するこのような押下操作を、「単発押し」と称することとする。

しかし、ＵＰボタン３０４ｂに対する押下操作の継続時間が所定時間を越え、Ｓ２０３の判定処理の結果がＮｏになった場合には、ＣＰＵ２０１はＳ２０８に処理を進め、干渉色移動モードでのリタデーション調整のための処理が行われる。本実施例において、干渉色移動モードを選択するためのＵＰボタン３０４ｂに対するこのような押下操作を、前述した「単発押し」に呼応するものとして、「長押し」と称することとする。

Ｓ２０８では、ＲＡＭ２０２のｊ番地に用意されている干渉色カウンタｊの値を「１」に初期化する処理が行われる。
Ｓ２０９では、前述した干渉色カウンタｊの現在の値（この値を変数ｊとする）を取得し、更に、ＲＯＭ２０３のＩＣ［ｊ］番地に格納されている数値を取得してＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われる。

Ｓ２１０では、ＲＡＭ２０２の前述したｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に現在格納されている数値と、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に現在格されている数値との大小比較を行い、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値よりも小さいか否かを判定する処理が行われる。ここで、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値よりも小さいとき（判定結果がＹｅｓのとき）には、Ｓ２１２に処理を進め、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値以上のとき（判定結果がＮｏのとき）には、Ｓ２１１に処理を進める。

Ｓ２１１では、前述した干渉色カウンタｊの現在の値をインクリメントする（干渉色カウンタｊの現在の値を「１」だけ進める）処理が行われ、その後はＳ２０９へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

Ｓ２１２では、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている現在の数値を読み出して、その数値をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに転送してセットする処理が行われる。

Ｓ２１３では、ＤＩＣモータ１１８の駆動指示をＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃに与えて、前ステップの処理によってＤＩＣユニットＩ／Ｆ部２０４ｃにセットされた数値に対応する移動量だけノマルスキープリズム１１７を移動させる処理と、その数値をリタデーション位置として表示部３０５に表示させる指示を操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅに与える処
理とが行われる。

Ｓ２１４では、ＤＩＣモータ１１８が駆動してノマルスキープリズム１１７を移動させた後に、観察されている干渉色が適切かどうか、及び、観察されている干渉色の変化の順序が適切であるかどうかをユーザが判断するための時間を確保するため、ＣＰＵ２０１によるリタデーション調整シーケンスの進行を、予め定められた時間（例えば１００ミリ秒程度）だけ一時停止（ウェイト）させる処理が行われる。

Ｓ２１５では、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報を取得し、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が終了したか否か（ボタンが離されたか否か）を判定する処理が行われる。ここで、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が終了したと判定したとき（判定結果がＹｅｓのとき）には、このリタデーション調整シーケンスを終了する。一方、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が尚も継続していると判定したとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ２１６へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

Ｓ２１５では、前述した干渉色カウンタｊの現在の値をインクリメントする（干渉色カウンタｊの現在の値を「１」だけ進める）処理が行われ、その後はＳ２０９へと処理を戻して上述した処理が繰り返される。

以上のＳ２０８からＳ２１６にかけての処理が行われることにより、前述した干渉色移動モードでのリタデーション調整が行われ、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が増加する方向における直近の位置であって、ＲＯＭ２０３において干渉色との関係が示されている当該直近の位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。また、この干渉色移動モードでのリタデーション調整では、上述したノマルスキープリズム１１７の移動が一旦行われた後であっても、Ｓ２１３の処理の実行が繰り返される度、すなわち、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が継続しているとＳ２１５の処理で判定される度に、同一の移動動作が繰り返し行われる。

以上までのシーケンスが、本実施例に係るリタデーション調整シーケンスである。なお、このシーケンスは、ＤＩＣ操作ボタン群３０４におけるＵＰボタン３０４ｂへの押下操作に応じて行われるものである。

一方、操作部３のＤＩＣ操作ボタン群３０４に対する押下操作が有効になったときに、観察者によりＤＯＷＮボタン３０４ｃが押下操作されると、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅのボタン押下情報が更新される。ＣＰＵ２０１はこのボタン押下情報の更新によりＤＯＷＮボタン３０４ｃが押下されたことを認識する。すると、ＣＰＵ２０１は図７と同様のリタデーション調整シーケンスを開始する。但し、この場合に実行されるシーケンスは以下の点が図７に示したものから変更される。

すなわち、図７のＳ２０５において、ＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている数値に「１」を加算する代わりに「１」を減算するようにし、Ｓ２０８において、干渉色カウンタｊの値を「１」に初期化する代わりに「１０」に初期化するようにし、Ｓ２１０において、ｃｕｒ＿ｐｏｓ番地の数値がｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地の数値よりも小さいか否かを判定する代わりに大きいか否かを判定するようにし、そして、Ｓ２１１及びＳ２１６において、干渉色カウンタｊの値をインクリメントする代わりにデクリメントする（干渉色カウンタｊの値を「１」だけ戻す）ようにする。

以上のように変更されたリタデーション調整シーケンスがＣＰＵ２０１で実行されると、Ｓ２０４からＳ２０７までの処理では、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ減少した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する微動モードでのリタデーション調整が行われる。また、Ｓ２０８からＳ２１６までの処理では、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が減少する方向における直近の位置であって、ＲＯＭ２０３において干渉色との関係が示されている当該直近の位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する干渉色移動モードでのリタデーション調整が行われる。

従って、変更されたリタデーション調整シーケンスでは、微動モード及び干渉色移動モードのどちらでのリタデーション調整においても、変更前のリタデーション調整シーケンスとは逆の方向にノマルスキープリズム１１７を移動させる。つまり、ＤＩＣ操作ボタン群３０４は、ＵＰボタン３０４ｂとＤＯＷＮボタン３０４ｃとのどちらが押下操作されたかを以って、ノマルスキープリズム１１７の移動方向の指示を取得するものといえる。また、ＣＰＵ２０１は、この指示の取得結果がこのどちらであるかにより、当該指示に係る方向へノマルスキープリズム１１７を移動させる制御をＤＩＣモータ１１８に対して行うものといえる。

以上のように、本実施例に係る図１の光学顕微鏡では、観察者がＵＰボタン３０４ｂ若しくはＤＯＷＮボタン３０４ｃを長押しすると、ノマルスキープリズム１１７を代表的な干渉色に移動させることができ、その一方で、ＵＰボタン３０４ｂ若しくはＤＯＷＮボタン３０４ｃを単発押しすると、干渉色の徴調整を行うことができる。従って、微分干渉観察により複数の試料１０２に対し複数のリタデーション位置を観察する際に、観察者がＵＰボタン３０４ｂ若しくはＤＯＷＮボタン３０４ｃに対し長押しと単発押しとを必要に応じて駆使することにより、観察毎のリタデーション位置再現が容易に行うことができる。

なお、上述したリタデーション調整シーケンスにおける微動モードでは、Ｓ２０４からＳ２０７までの処理により、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ増加（ＵＰボタン３０４ｂの押下操作による場合）若しくは減少（ＤＯＷＮボタン３０４ｃの押下操作による場合）した位置に、ノマルスキープリズム１１７を移動させるようにしていた。ここで、Ｓ２０５の処理において、ＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納されている数値に加算（ＵＰボタン３０４ｂの押下操作による場合）若しくは減算（ＤＯＷＮボタン３０４ｃの押下操作による場合）する値を「１」とする代わりに、この値を、ＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地からＩＣ［１０］番地までに各々格納されている数値の間隔のうち最小のものよりも小さい値に変更することもできる。このように変更すると、ＲＯＭ２０３に示されている代表的な干渉色が観察されるときのノマルスキープリズム１１７の位置の各々の間隔のうち最狭のものよりも短い移動量で、ノマルスキープリズム１１７を移動させることができるようになる。つまり、この変更により、微動モードでのノマルスキープリズム１１７の移動量を、変更前の場合よりも粗く移動させることができるようになる。

なお、本実施例において、操作部３のＤＩＣ操作ボタン群３０４に対する押下操作が有効になったときに、観察者によりＯＲＧボタン３０４ａが押下操作されたことを認識するとＣＰＵ２０１が実行する原点移動シーケンスは、図６に示した実施例１におけるものと全く同一である。

以上のように、本実施例によれば、図１に示した顕微鏡で微分干渉観察を行う際のリタデーション調整において、最適なリタデーション位置を迅速かつ精度良く設定することができる。更に、僅か１回のボタン操作で代表的なリタデーション位置へノマルスキープリズム１１７を移動させることができ、同一の試料１０２で複数のリタデーション位置へ容易に移動ができるようになり、また複数の試料１０２に対してのリタデーション位置の再現性を向上させることができる。

なお、本実施例では、ＵＰボタン３０４ｂに対する「単発押し」により微動モードでのリタデーション調整が選択され、「長押し」により干渉色移動モードでのリタデーション調整が選択されるように構成した。この代わりに、これとは逆に、ＵＰボタン３０４ｂに対する「長押し」により微動モードでのリタデーション調整が選択され、「単発押し」により干渉色移動モードでのリタデーション調整が選択されるように構成することも可能である。

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は、上述した各実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良・変更が可能である。
例えば、前述した実施例１及び実施例２の各実施例では、操作部３は、図３に概観構成を示した専用のものを使用した。この代わりに、ごく標準的な構成のコンピュータ、すなわち、制御プログラムの実行によってコンピュータ全体の動作制御を司るＭＰＵ等の演算処理装置と、この演算処理装置が必要に応じてワークメモリとして使用するメインメモリと、各種のプログラムや制御データなどを記憶して保存しておく例えばハードディスク装置などの記憶装置と、制御部２との間で各種データの授受の制御を行うインタフェース部と、種々の操作に対応付けられて示される操作者からの指示を取得する入力部と、各種の情報を表示する表示部と、を有して構成されているコンピュータ、を利用して構成することもできる。

このようなコンピュータを操作部として使用する場合の制御部２の構成例を図８に示す。図８において、ＰＣ８０１は、上述したような標準的な構成のコンピュータである。また、図８に示す制御部２の構成は、操作部Ｉ／Ｆ部２０４ｅをＰＣＩ／Ｆ部８０２に置換した点と、不揮発性メモリ８０３を備えている点とを除けば、図２に示した制御部２の構成と同一である。

図８の構成において、ＰＣ８０１では所定の制御プログラムを実行する。ＰＣ８０１は、この制御プログラムを実行すると、ＰＣ８０１の有する入力部に対する観察者による操作に従って、前述した各実施例におけるリタデーション調整シーケンス、若しくは原点移動シーケンスをＰＣ８０１に実行させるいずれかのコマンドをＰＣＩ／Ｆ部８０２へ送信する処理と、ＰＣＩ／Ｆ部８０２から送られてくるＣＰＵ２０１からの表示指示に従い、当該表示指示に係る情報（例えば図３の表示部３０５で表示される情報）をＰＣ８０１の有する表示部で表示する処理とを行う。また、ＣＰＵ２０１は、これらのコマンドをＰＣＩ／Ｆ部８０２が受信すると、受信したコマンドに応じ、図５若しくは図７に示したリタデーション調整シーケンス又は図６に示した原点移動シーケンスを実行する。

不揮発性メモリ８０３は、前述した実施例１及び実施例２の各実施例では予めＲＯＭ２０３に格納しておいた、微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と、図１の顕微鏡による微分干渉観察において当該干渉色が観察されるときのノマルスキープリズム１１７の位置との関係を示すテーブルを格納しておく。この構成によれば、観察者により、このテーブルの内容の書き換えることができる。

なお、図８の構成において、このテーブルをＲＯＭ２０３に格納するようにして、観察者によるこのテーブルの内容の書き換えを禁止してもよい。また、この不揮発性メモリ８０３を図２の制御部２に追加することで、観察者によるこのテーブルの内容の書き換えを行えるようにしてもよい。

また、前述した実施例１及び実施例２の各実施例では、ノマルスキープリズム１１７の移動指示の取得のために、操作部３にＤＩＣ操作ボタン群３０４としてＯＲＧボタン３０４ａ、ＵＰボタン３０４ｂ、ＤＯＷＮボタン３０４ｃを設けていた。ここで、図９に示す画面例、すなわち、図８の構成におけるＰＣ８０１の表示部に表示させるＧＵＩ用の画面例において、ＵＰボタンアイコン９０４ｂとＤＯＷＮボタンアイコン９０４ｃとの間に配置したリタデーション位置指示ボタンアイコン群９０４ａのように、ノマルスキープリズム１１７の移動先のリタデーション位置の数値による指示を取得するボタンを更に備えるようにし、この指示を取得した場合には、ＣＰＵ２０１がＤＩＣモータ１１８の駆動制御を行って、当該指示に係る位置にノマルスキープリズム１１７を移動させるように構成することもできる。

なお、図９の画面例において、リタデーション位置表示部９０５では、図３に示した操作部３では表示部３０５に表示させていたリタデーション位置の表示を行っている。
また、前述した実施例１では、ノマルスキープリズム１１７の微動モードでの移動量は一定としていた。この代わりに、押下操作の継続時間に基づいて微動モードでの移動量を変化させるように構成することもできる。このようにするためには、図５に示したリタデーション調整シーケンスに代えて、図１０に示した実施例１に係るリタデーション調整シーケンスの変形例をＣＰＵ２０１が実行するようにする。

ここで、図１０において破線で囲まれているＳ３０１からＳ３０５の処理について説明する。なお、図１０におけるＳ１０１からＳ１０２及びＳ１０５からＳ１１３の処理は、図２における処理と同一であるので説明は省略する。

Ｓ３０１では、ＲＡＭ２０２のｉ番地に用意されているステップカウンタｉの現在の値が「１５」よりも小さいか否かを判定する処理が行われる。ここで、ステップカウンタｉの現在の値が「１５」よりも小さいとき（判定結果がＹｅｓのとき）にはＳ３０２に処理を進め、ステップカウンタｉの現在の値が「１５」以上になっているとき（判定結果がＮｏのとき）にはＳ１１０に処理を進める。

Ｓ３０２では、上述したステップカウンタｉの現在の値を判別する処理が行われる。ここで、ステップカウンタｉの現在の値が「１」以上「５」未満であればＳ３０３に処理を進め、ステップカウンタｉの現在の値が「５」以上「１０」未満であればＳ３０４に処理を進め、ステップカウンタｉの現在の値が「１０」以上「１５」未満であればＳ３０５に処理を進める。

Ｓ３０３では、ＲＡＭ２０２のｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されているＤＩＣモータ１１８の軸の現在位置を示す数値に「１」を加算した結果の値を、ＲＡＭ２０２のｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われ、その後はＳ１０５に処理を進める。

Ｓ３０４では、上述したｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されている数値に「５」を加算した結果の値を、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われ、その後はＳ１０５に処理を進める。

Ｓ３０５では、上述したｃｕｒ＿ｐｏｓ番地に格納されている数値に「１０」を加算した結果の値を、上述したｔａｒｇｅｔ＿ｐｏｓ番地に格納する処理が行われ、その後はＳ１０５に処理を進める。

Ｓ３０１からＳ３０５では以上の処理が行われる。
図１０に示したシーケンスにおいて、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が継続していると、Ｓ３０１からＳ３０５まで及びＳ１０５からＳ１０までの処理が繰り返される。すると、前述した微動モードでのリタデーション調整が行われ、ステップカウンタｉの値が「１」以上「５」未満である期間は、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１」だけ増加した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。

その後、Ｓ１０７の処理の作用によってステップカウンタｉの値が徐々に増加し、ステップカウンタｉの値が「５」以上「１０」未満になると、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「５」だけ増加した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。

その後、Ｓ１０７の処理の作用によってステップカウンタｉの値が更に増加し、ステップカウンタｉの値が「１０」以上「１５」未満になると、当該処理実行直前における位置から、当該位置を示す前述した数値が「１０」だけ増加した位置に、ノマルスキープリズム１１７が移動する。

以上のように、図１０に示したシーケンスでは、ステップカウンタｉの現在の値が「１」以上「１５」未満である期間においては、ＵＰボタン３０４ｂの押下操作が継続していると、微動モードでのノマルスキープリズム１１７の移動量が段階的に増加するのである。このようにして微動モードでのノマルスキープリズム１１７の移動量に数段階のステップを設けることで、より迅速なリタデーション位置合わせが可能となる。

なお、その後、Ｓ１０７の処理の作用によってステップカウンタｉが更に増加して「１５」に達すると、Ｓ３０１の判定処理の結果がＮｏになる。すると、これ以降、ＣＰＵ２０１はＳ１１０に処理を進め、干渉色移動モードでのノマルスキープリズム１１７の移動制御が行われる。

この他に、前述した実施例１及び実施例２の各実施例では、ＲＯＭ２０３のＩＣ［１］番地からＩＣ［１０］番地及びＩＣＣ［１］番地からＩＣＣ［１０］番地の各記憶領域にそれぞれ格納したテーブル、すなわち、微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と、図１の顕微鏡による微分干渉観察において当該干渉色が観察されるときのノマルスキープリズム１１７の位置との関係を示すテーブルは、図１の顕微鏡において使用される対物レンズ１０５の種別に関わらず共通のものとしていた。この代わりに、使用される対物レンズ１０５の種別に応じて別個に備えるようにしてもよい。

また、前述した実施例１及び実施例２の各実施例では、ノマルスキープリズム１１７が１つである顕微鏡の場合を例にして説明したが、本発明は、複数のＤＩＣプリズムを備えている顕微鏡システム（例えば前掲した特許文献２で開示されている光学顕微鏡）で実施することも可能である。なお、この場合には、対物レンズの種別に応じて異なるノマルスキープリズムを使用するので、上述したテーブルは、対物レンズの種別に応じて用意しておくようにする。

また、前述した実施例１及び実施例２の各実施例では、アナライザ１１３及びポラライザ１１４が一体のＤＩＣキューブ１１１として備えられているが、これらの光学素子が各々独立したユニットとして構成することも可能である。なお、この場合には、これらの光学素子毎に専用のアクチュエータを設けるようにする。

また、前述した各実施例では、微分干渉プリズムとして、ノマルスキープリズムを用いたが、この代わりに、例えば、ウォラストンプリズム（Wollaston prism ）などといった、他の光学素子を微分干渉プリズムとして用いることも可能である。

本発明を実施する光学顕微鏡の概略構成を示す図である。 図１に示した光学顕微鏡の制御部及び操作部の構成を示す図である。 操作部の外観構成を示す図である。 ＲＡＭのメモリマップである。 ＲＯＭのメモリマップである。 実施例１に係るリタデーション調整シーケンスの処理内容をフローチャートで示した図である。 原点移動シーケンスの処理内容をフローチャートで示した図である。 実施例２に係るリタデーション調整シーケンスの処理内容をフローチャートで示した図である。 コンピュータを操作部として使用する場合の制御部の構成例を示す図である。 コンピュータの表示部での表示画面例を示す図である。 図５に示したリタデーション調整シーケンスの変形例を示す図である。

符号の説明

１ 顕微鏡フレーム
２ 制御部
３ 操作部
１０２ 試料
１０３ Ｙステージ
１０４ レボルバ
１０５ 対物レンズ
１０６ マウンタ
１０７ レボルバモータ
１０８ レボルバセンサ群
１０９ Ｚステージ
１１０ Ｚステージモータ
１１１ ＤＩＣキューブ
１１２ ハーフミラー
１１３ ポラライザ
１１４ アナライザ
１１５ キューブモータ
１１６ ＤＩＣユニット
１１７ ノマルスキープリズム
１１８ ＤＩＣモータ
１１９ 光源
１２０ ランプハウス
１２１ 集光レンズ
１２２ ３眼鏡筒
１２３ 結像レンズ
１２４ 接眼レンズ
１２５ ＣＣＤカメラ
２０１ ＣＰＵ
２０２ ＲＡＭ
２０３ ＲＯＭ
２０４ａ レボルバＩ／Ｆ部
２０４ｂ キューブＩ／Ｆ部
２０４ｃ ＤＩＣユニットＩ／Ｆ部
２０４ｄ ＺステージＩ／Ｆ部
２０４ｅ 操作部Ｉ／Ｆ部
２０５ バス線
２０６ キューブセンサ
２０７ ＤＩＣセンサ
２０８ Ｚステージセンサ
３０１ 対物レンズ駆動ボタン群
３０１ａ ＵＰボタン
３０１ｂ ＤＯＷＮボタン
３０２ 観察法切換えボタン群
３０２ａ ＢＦボタン
３０２ｂ ＤＦボタン
３０２ｃ ＤＩＣボタン
３０３ Ｚステージ操作ボタン群
３０３ａ ＵＰボタン
３０３ｂ ＤＯＷＮボタン
３０４ ＤＩＣ操作ボタン群
３０４ａ ＯＲＧボタン
３０４ｂ ＵＰボタン
３０４ｃ ＤＯＷＮボタン
３０５ 表示部
８０１ ＰＣ
８０２ ＰＣＩ／Ｆ部
８０３ 不揮発性メモリ
９０４ａ リタデーション位置指示ボタンアイコン群
９０４ｂ ＵＰボタンアイコン
９０４ｃ ＤＯＷＮボタンアイコン
９０５ リタデーション位置表示部

Claims (10)

1. 微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡であって、
   微分干渉観察光学系を構成するために使用される微分干渉プリズムと、
   前記微分干渉プリズムを移動させる指示を取得する指示取得手段と、
   前記微分干渉プリズムの移動方向の指示を含み、前記指示取得手段による前記指示の取得に応じ、前記光学顕微鏡の光学系の光軸に直交する方向に前記微分干渉プリズムを移動させて、微分干渉観察におけるリタデーションの調整を行う調整手段と、
   前記指示取得手段により取得される前記指示の継続時間を計時すると共に、前記調整手段を制御して前記微分干渉プリズムの移動量を該指示の継続時間に応じて変化させる制御手段と、
   微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と前記光学顕微鏡による微分干渉観察において該干渉色が観察されるときの前記微分干渉プリズムの前記方向における位置との関係を示すテーブルが予め格納されているテーブル記憶部と、
   を備え、
   前記制御手段は、
   前記指示の継続時間が所定の閾値時間を経過したか否かを判定する判定手段を有しており、
   前記指示の継続時間が前記閾値時間を経過したことを前記判定結果が示しているときには、前記調整手段により、該制御直前における前記微分干渉プリズムの位置から、前記移動方向の指示に係る方向においての直近の位置であって前記テーブルにおいて前記干渉色の名称との関係が示されている該直近の位置へ、該微分干渉プリズムを移動させる制御を行い、
   前記指示の継続時間が前記閾値時間を経過していないことを前記判定結果が示しているときには、前記調整手段により、前記テーブルに示されている前記微分干渉プリズムの位置の各々の間隔のうち最狭のものよりも短い移動量で、該微分干渉プリズムを移動させる制御を行う、
   ことを特徴とする光学顕微鏡。
2. 微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡であって、
   微分干渉観察光学系を構成するために使用される微分干渉プリズムと、
   前記微分干渉プリズムを移動させる指示を取得する指示取得手段と、
   前記指示取得手段による前記指示の取得に応じ、前記光学顕微鏡の光学系の光軸に直交する方向に前記微分干渉プリズムを移動させて、微分干渉観察におけるリタデーションの調整を行う調整手段と、
   前記指示取得手段により取得される前記指示の継続時間を計時すると共に、前記調整手段を制御して前記微分干渉プリズムの移動量を該指示の継続時間に応じて変化させる制御手段と、
   微分干渉観察を行うと観察される干渉色の名称と、前記光学顕微鏡による微分干渉観察において該干渉色が観察されるときの前記微分干渉プリズムの前記方向における位置との関係を示すテーブルが予め格納されているテーブル記憶部と、
   を備え、
   前記制御手段は、
   前記指示の継続時間が所定の閾値時間を経過したか否かを判定する判定手段を有しており、
   前記指示の継続時間が前記閾値時間を経過したことを前記判定結果が示しているときには、前記調整手段により、観察されている前記干渉色が代表的な他の干渉色となるように前記微分干渉プリズムを大きく移動させる干渉色移動モードでの制御を行い、
   前記指示の継続時間が前記閾値時間を経過していないことを前記判定結果が示しているときには、前記微分干渉プリズムを僅かずつ移動させる微動モードでの制御を行う、
   ことを特徴とする光学顕微鏡。
3. 前記制御手段による前記調整手段の制御は、前記干渉色移動モードにおいては、前記テーブルにおける前記干渉色の名称との関係が示されている位置へ前記微分干渉プリズムを移動させる制御である、
   ことを特徴とする請求項２に記載の光学顕微鏡。
4. 前記指示取得手段により取得される前記指示には、前記微分干渉プリズムの移動方向の指示が含まれており、
   前記制御手段による前記調整手段の制御は、前記干渉色移動モードにおいては、該制御直前における前記微分干渉プリズムの位置から、前記移動方向の指示に係る方向においての直近の位置であって前記テーブルにおいて前記干渉色の名称との関係が示されている該直近の位置へ、該微分干渉プリズムを移動させる制御である、
   ことを特徴とする請求項３に記載の光学顕微鏡。
5. 前記制御手段は、前記調整手段の制御を行った後も前記指示取得手段により取得される前記指示が更に継続しているときには、前記調整手段の制御を再度行うことを特徴とする請求項３又は４に記載の光学顕微鏡。
6. 前記調整手段は、前記微動モードにおいては、前記指示取得手段による前記指示の取得の継続が検出される度に、前記テーブルに示されている前記微分干渉プリズムの位置の各々の間隔のうち最狭のものよりも短い移動量で、該微分干渉プリズムを移動させることを特徴とする請求項２に記載の光学顕微鏡。
7. 前記微分干渉プリズムの前記方向において予め設定されている移動範囲の端の位置を示す移動範囲情報が格納されている移動範囲情報記憶部を更に有しており、
   前記指示取得手段が、前記微分干渉プリズムを前記移動範囲の端の位置に移動させる指示を取得した場合には、前記調整手段は、前記移動範囲情報で示されている該移動範囲の端の位置に該微分干渉プリズムを移動させる、
   ことを特徴とする請求項１又は４に記載の光学顕微鏡。
8. 前記移動範囲情報記憶部に格納されている前記移動範囲情報は、前記移動範囲の端の位置を示す情報として第一位置と第二位置とを示しており、
   前記調整手段は、前記第一位置に前記微分干渉プリズムを移動させた後に該微分干渉プリズムを前記移動範囲の端の位置に移動させる指示を前記指示取得手段が改めて取得した場合には、前記第二位置に該微分干渉プリズムを移動させる、
   ことを特徴とする請求項７に記載の光学顕微鏡。
9. 前記調整手段により調整される前記微分干渉プリズムの現在位置を示す数値を表示する表示部を更に備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学顕微鏡。
10. 前記表示部は、更に、前記微分干渉プリズムが配置されている場合に観察される干渉色を、前記テーブル記憶部に記憶されている前記テーブルに基づいて表示することを特徴とする請求項９に記載の光学顕微鏡。