JP3816619B2 - 光学顕微鏡 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウェハや液晶基板の製造工程での検査観察には、光の干渉を利用して位相の差を色のコントラストに変換するような微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡が用いられている。
【０００３】
ところで、このような光学顕微鏡は、微分干渉観察の他に、明視野観察や暗視野観察などの各種の検鏡法も利用できるようになっており、このうち微分干渉観察では、通常の観察光学系にポラライザ、ノマルスキープリズム、アナライザをなど付加して、微分干渉観察光学系を構成している。
【０００４】
図１１は、このようにして構成される微分干渉観察光学系を示すもので、照明用光源１からの照明光をコレクタレンズ２よりポラライザ３に与え、ここで直線偏光してハーフミラー４よりノマルスキープリズム５に入射させ、この直線偏光を振動方向が直角で、ある角度を持った２つの光線に分けて、対物レンズ６を通して標本７に与え、一方、標本７からの反射光を対物レンズ６を通してノマルスキープリズム５に入射し、ここで２つの光線を結合した後、アナライザ８により共通の振動成分を取り出し干渉させることで色のコントラストを得るようにしている。
【０００５】
この場合、かかる微分干渉観察で重要となるリターディション調整（プリズムを通る光線のうち、偏光方向を異にする二つの光線間の位相差の調整）は、ノマルスキープリズム５を光軸に直角方向に移動させ光路差を変更させる方法と、ポラライザ３を回転させ光路差を変更させる方法が用いられている。また、従来の落射型顕微鏡では、対物レンズの種類により後側焦点が異なるため、対物レンズ毎にノマルスキープリズム５を用意しており、微分干渉観察を行う場合には、各対物レンズ６に対して用意されたノマルスキープリズム５を、ポラライザ３、アナライザ８とともに、光路上にセットするようにしている。
【０００６】
このうち対物レンズ毎にノマルスキープリズム５を用意することは、後側焦点を揃えた対物レンズ６を使用することで解決しているが、現在でもノマルスキープリズム５、ポラライザ３、アナライザ８を、手作業により光路上にセットし、さらにノマルスキープリズム５の位置またはポラライザ３の回転位置でリターディションの調整を行うようにしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これらポラライザ３、ノマルスキープリズム５、アナライザ８を手作業により光路上にセットすることは、観察標本７の上に手を出すなどしなければならないため、半導体ウェハや液晶基板の製造工程で最も嫌う人間から出るゴミ（パーティクル）が標本７に付着して、製品の品質低下を招くおそれがあり、また、このようなセット作業に加えて、さらにリターディション調整を行うのでは、さらに作業時間がかかってしまい、検査時間の短縮に大きな障害にもなっていた。このことは、特に、液晶基板の検査観察に用いられる大型の顕微鏡については、顕著な問題になっている。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、微分干渉観察の際のポラライザおよびアナライザを始め、ノマルスキープリズムの光路に対する挿脱とリターディション調整を簡単に行うことができる微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学顕微鏡は、微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡において、微分干渉光学系を構成するポラライザおよびアナライザを前記光学顕微鏡の光路に対して挿脱する第１の駆動手段と、前記微分干渉光学系を構成するノマルスキープリズムを前記光学顕微鏡の前記光路に対して挿脱するとともに、該ノマルスキープリズムを前記光路の光軸に直角方向に移動させてリターディション調整を行う第２の駆動手段と、観察対象の種類ごとに前記リターディション調整の位置データを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記位置データを元に前記第２の駆動手段を制御して前記ノマルスキープリズムを前記光路の光軸に直角方向に移動制御する制御手段とを具備したことを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示すもので、上述した図１１と同一部分には、同符号を付している。
【００１６】
この場合、ポラライザ３には、電磁ソレノイドまたはエアーシリンダなどのアクチュエータ１１を接続し、このアクチュエータ１１の動作によりポラライザ３を光軸上にセットできるようにしている。
【００１７】
図２（ａ）は、アクチュエータ１１としてエアーシリンダを用いた場合の概略構成を示すもので、この場合、シリンダ本体１１１に移動自在に設けられたシリンダ軸１１２先端にポラライザ３を取り付けていて、シリンダ軸１１２の移動にともないポラライザ３を光学系の光路に対して挿脱可能にしている。
【００１８】
同様に、アナライザ８にも電磁ソレノイドまたはエアーシリンダなどのアクチュエータ１２を接続し、このアクチュエータ１２によりアナライザ８を光軸上にセットできるようにしている。
【００１９】
図２（ｂ）は、アクチュエータ１２としてエアーシリンダを用いた場合の概略構成を示すもので、この場合もシリンダ本体１２１に移動自在に設けられたシリンダ軸１２２先端にポラライザ８を取り付け、このシリンダ軸１２２の移動にともないポラライザ８を光学系の光路に対して挿脱可能にしている。
【００２０】
また、これらアクチュエータ１１、１２には、それぞれ駆動部１３、１４を接続していて、制御部１５の制御指令にともなうこれら駆動部１３、１４の動作により、それぞれのアクチュエータ１１、１２を駆動するようにしている。
【００２１】
一方、ノマルスキープリズム５には、電動モータ１６と電磁ソレノイドまたはエアーシリンダなどのアクチュエータ１７を接続し、アクチュエータ１７によりノマルスキープリズム５を光軸に挿脱できるとともに、光軸上に挿入されたノマルスキープリズム５を電動モータ１６により光軸に直角方向に微小移動することにより、リターディション調整を可能にしている。
【００２２】
図３は、アクチュエータ１７としてエアーシリンダを用い、電動モータ１６としてステッピングモータを使用した場合のノマルスキープリズム５の支持構造を示すもので、この場合、シリンダ本体１７１に移動自在に設けられたシリンダ軸１７２先端にノマルスキープリズム５を保持したプリズム取付けブロック１８を取り付け、シリンダ軸１７２の移動にともないプリズム取付けブロック１８全体を移動させてノマルスキープリズム５を光学系の光路に対して挿脱可能にしている。
【００２３】
また、プリズム取付けブロック１８には、ノマルスキープリズム５を枠体５１を介して直線方向に微小移動可能に設け、このノマルスキープリズム５の枠体５１にステッピングモータ１６１の回転軸１６２をネジ部１６３を介して取付けて、ステッピングモータ１６１の回転軸１６２の回転によりネジ部１６３の枠体５１への螺進量を調整することで、ノマルスキープリズム５の光軸と直角方向の微小移動を調整できるようにしている。
【００２４】
そして、アクチュエータ１７には、駆動部１９を接続し、また、ステッピングモータ１６１には、モータ制御部２０を接続して、制御部１５の制御指令にともなう駆動部１９およびモータ制御部２０の動作により、アクチュエータ１７およびパルスモータ１６１を駆動するようにしている。
【００２５】
制御部１５には、さらにメモリ２１およびキー入力部２２を接続している。ここで、制御部１５は、キー入力部２２より入力されるキー入力により予め用意されたプログラムにしたがって所定の制御指令を出力するものである。メモリ２１は、リターディション調整された際のノマルスキープリズム５の位置データを記憶するものである。この場合の位置データは、ノマルスキープリズム５の移動量をエンコーダなどにより検出したものが用いられる。キー入力部２２は、微分干渉観察の選択スイッチ２２１やリターディション調整スイッチ２２２などを有している。
【００２６】
しかして、このような構成において、いま、半導体ウェハや液晶基板の製造工程での検査観察に微分干渉観察を行うため、キー入力部２２より微分干渉観察の選択スイッチ２２１を操作すると、制御部１５の制御指令により、それぞれの駆動部１３、１４、１９を介してポラライザ３のアクチュエータ１１、アナライザ８のアクチュエータ１２およびノマルスキープリズム５のアクチュエータ１７が同時に付勢される。
【００２７】
これにより、まず、図２（ａ）に示すシリンダ本体１１１が付勢されると、シリンダ軸１１２先端に取付けられたポラライザ３がシリンダ軸１１２の移動にともない光軸上にセットされ、同時に、図２（ｂ）に示すシリンダ本体１２１が付勢されると、シリンダ軸１２２先端に取付けられたポラライザ８がシリンダ軸１２２の移動にともない光軸上にセットされる。
【００２８】
さらに、図３に示すシリンダ本体１７１が付勢されると、シリンダ軸１７２先端に取付けられたプリズム取付けブロック１８全体の移動により、ノマルスキープリズム５が光軸上にセットされる。
【００２９】
この状態から、さらにキー入力部２２よりリターディション調整スイッチ２２２を操作すると、制御部１５の制御指令により、モータ制御部２０によりステッピングモータ１６１が駆動され、ステッピングモータ１６１の回転軸１６２の回転によりネジ部１６３の枠体５１への螺進量が調整され、ノマルスキープリズム５の光軸と直角方向の微小移動によりリターディション調整が行われる。この場合、前回のリターディション調整の際のノマルスキープリズム５の位置データがメモリ２１に記憶されていれば、この位置データを参照してノマルスキープリズム５の光軸と直角方向の微小移動を制御することにより、前回の微分干渉観察の際のリターディション調整値も再現できる。
【００３０】
従って、このようにすれば、微分干渉観察光学系を構成するポラライザ３およびアナライザ８を、制御部１５より同時に制御指令が与えられるアクチュエータ１１、１２により光路に対して挿脱でき、さらにノマルスキープリズム５についても、同時にアクチュエータ１７により光路に対し挿脱できるとともに、電動モータ１６の回転軸１６２の回転にともなうネジ部１６３の枠体５１への螺進量を調整することで、ノマルスキープリズム５０光軸と直角方向に微小移動させるリターディション調整をも行うことができるようにしている。これにより、従来の手作業によるパーティクルが原因する製品の品質低下を回避できるとともに、ポラライザ５、アナライザ８、ノマルスキープリズム５の光路へ挿入するための作業時間も、リターディション調整を含めても短縮できるようになり、製品の検査時間を大幅に縮めることができる。
【００３１】
また、ノマルスキープリズム５のリターディション調整後の位置データがメモリ２１に記憶され、この記憶データが、これ以降のリターディション調整に利用できるので、繰り返してリターディション調整位置を再現することができる。
（第２の実施の形態）
図４は、ノマルスキープリズム５の支持構造の他の例を示すもので、図３と同一部分には、同符号を付している。この場合、３１はプリズム取付けブロックで、このプリズム取付けブロック３１には、ノマルスキープリズム５を枠体５１を介して直線方向に移動可能に設けるとともに、電動モータとしてステッピングモータ３２を設けている。
【００３２】
また、ステッピングモータ３２の回転軸３２１の先端にネジ部３２２を取り付け、このネジ部３２２をノマルスキープリズム５の枠体５１に設けたナット部５２に螺装するようにして、ステッピングモータ３２の回転軸３２１の回転によりネジ部３２２のナット部５２への螺進量を可変することで、ノマルスキープリズム５の光路に対する出し入れを行い、同時にリターディション調整のための光軸と直角方向の微小移動をも可能にしている。
【００３３】
しかして、このようにすれば、ノマルスキープリズム５を光軸上にセットするための動作と、光軸と直角方向の微小移動によるリターディション調整を共通のステッピングモータ３２により実現していて、ステッピングモータ３２の回転軸３２１を回転させ、回転軸３２１に取り付けられたネジ部３２２のナット部５２への螺進量を調整することにより、図５（ａ）に示すようにノマルスキープリズム５をプリズム取付けブロック３１の図示右側に移動させた状態で、光軸から外れるようになり、一方、同図（ｂ）に示すようにノマルスキープリズム５をプリズム取付けブロック３１の図示左側に移動させた状態で、光軸上にセットされるとともに、さらにｘ−ｘ´の範囲での微小移動によりリターディション調整が行われるようになる。
【００３４】
なお、このようなリターディション調整が行われた後のノマルスキープリズム５のｘ−ｘ´の範囲での位置データは、第１の実施の形態で述べたメモリ２１に書き込まれ、次回のリターディション調整には、この位置データを利用してリターディション調整位置の再現を図るようになる。
（第３の実施の形態）
上記各実施の形態の光学顕微鏡は、同じ種類の標本を観察する場合に、予めメモリに保存された位置データを用い、リターディション調整位置を自動で瞬時に再現するものである。
【００３５】
しかし、かかる顕微鏡を実際に使用する場面では、毎回同じ種類の標本を観察するとは限らないこともある。また、半導体ウエハや液晶基板の製造時の検査では、製造過程によって同じ標本でも全然別の見え方になってしまうこともある。このような場合には、リターディション調整を再度行う必要がある。
【００３６】
そこで、本実施の形態以下の各実施の形態では、上記微分干渉観察の自動化をさらに高め、標本種類や観察倍率の情報に基づきリターディション調整を不要にできる微分干渉顕微鏡について説明する。
【００３７】
図６は、本発明の第３の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示すもので、上述した図１と同一部分には、同符号を付し、その説明を省略する。
【００３８】
この光学顕微鏡においては、微分干渉観察光学系が第１又は第２の実施の形態の場合と同様に構成されている。すなわち、ポラライザ３、アナライザ８、ノマルスキープリズム５はアクチュエータ１１，１２，１７の動作によって光軸上に挿脱され、さらにノマルスキープリズム５は電動モータ１６による微少移動でリターディション調整が行なわれる。また、アクチュエータ１１，１２，１７、電動モータ１６は、それぞれアクチュエータ駆動部１３，１４，１９、モータ制御部２０に接続され、制御部１５により制御されている。
【００３９】
制御部１５には、さらにメモリー２１ａ及びスイッチの操作部２２ａが接続されている。
ここでメモリー２１ａは、ノマルスキープリズム５のリターディション調整位置を複数記憶できるように構成され、観察する標本の種類や対物レンズの観察倍率の種類に応じた複数種類のリターディション調整位置，すなわち観察位置が記憶されている。
【００４０】
また、操作部２２ａは、メモリー２１ａに記憶された何れのリターディション調整位置を使用するかを制御部１５に指定するようになっている。これにより、観察する標本の種類や観察倍率の種類に応じた観察位置を再現可能としている。
【００４１】
図６に示すように、操作部２２ａには、微分干渉観察の選択とリターディション調整位置を再現するため機能を兼ねた複数の選択スイッチ２２１ａと、リターディション調整を行うためのリターディション調整スイッチ２２２と、リターディション調整スイッチ２２２で調整した調整量をメモリー２１ａに保存させるよう指示する記憶スイッチ２２３と、さらに終了スイッチ２２４とが設けられている。なお、選択スイッチ２２１ａは、複数種類の標本が選択でき、さらに、その標本についての倍率を選択して、スイッチを特定するようになっている。
【００４２】
しかして、このような構成において、いま、半導体ウェハや液晶基板の製造工程での検査観察に微分干渉観察を行うため、観察を行う標本と倍率に応じた選択スイッチ２２１ａの内の１つを操作すると、スイッチ操作による制御命令に基づき、制御部１５により、まず、それぞれの駆動部１３，１４，１９を介してポラライザ３、アナライザ８、及びノマルスキープリズム５が光路上にセットされる。さらに選択されたスイッチ２２１ａに該当するメモリー２１ａ内のメモリー番地に記憶されたリターディション調整位置を元にモータ制御部２０が駆動され、目的の観察状態が再現される。
【００４３】
以上により、選択スイッチ２２１ａに選択された検査対象に対応した各部の調整が終了し、観察可能となる。
次に、今セットした標本と異なる種類の標本を観察すべく、顕微鏡にセットする標本の種類を変更した場合には、この新たな標本に対応する選択スイッチ２２１ａを押すと、上記場合と同様な動作により新たな標本についてのリターディション調整が得られる。また、同一の種類の標本であっても拡大率を変更したい場合なども、対応する対物レンズ倍率の選択スイッチ２２１ａを押すことにより必要なリターディション調整が得られる。
【００４４】
また、このような自動的なリターディション調整後に、さらに手動でリターディション調整を変更する必要があるときには、リターディション調整スイッチ２２２が操作され、所定の調整が実行される。この変更されたリターディション調整位置は、記録スイッチ２２３の操作により、選択スイッチ２２１ａの選択位置に該当するメモリー２１ａ内メモリー番地に記録され、次回からリターディション調整に供される。
【００４５】
微分干渉観察を終わりにするには、終了スイッチ２２４を操作することで、ポラライザ３、アナライザ８、ノマルスキープリズム５が光路上から排除される。このように、本実施の形態の光学顕微鏡では、第１の実施の形態の構成の他、観察する標本や観察する倍率等の条件によってノマルスキープリズムのリターディション調整位置を複数記憶できるメモリー２１ａ及びそのメモリー番号を表す選択スイッチ２２１ａを設けたので、上記実施の形態の効果を奏する他、微分干渉観察を行う場合に、観察する標本や倍率等の条件に応じた選択的なリターディション調整を実行でき、複数種類の標本を検査する場合でも各標本について短時間で常に同じリターディション状態が得られる。
【００４６】
したがって、観察標本が変わる度にリターディション調整を行う必要がなくなり、作業時間の大幅な短縮ができる。さらに、作業者が変わっても同じ観察状態を得ることができ、半導体ウエハや液晶基板の製造工程での検査では、作業者に起因するばらつきを押さえることができ、品質の安定・向上につながる。
【００４７】
なお、本実施の形態においては、観察する標本の種類や観察倍率の種類に応じて観察位置を再現可能な構成としたが、例えば対物レンズの種類が変更される場合に、レンズ種類にも応じて選択的なリターディション調整が実行できるように構成してもよい。
（第４の実施の形態）
図７は、本発明の第４の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示すもので、上述した図６と同一部分には、同符号を付し、その説明を省略する。
【００４８】
この光学顕微鏡においては、制御部１５に着脱可能なメモリーカード２３が取り付けられる他、第３の実施の形態と同様に構成されている。メモリーカード２３には第３の実施の形態のメモリ２１ａと同様に複数種類のリターディション調整位置が記録される。
【００４９】
本実施の形態においては、リターディション調整位置の情報の供給形態が着脱可能なメモリーカード２３に変更されただけで、その動作自体は第３の実施の形態の場合と同様であり、少なくとも同様な効果を奏する。
【００５０】
しかし、本実施の形態では、リターディション調整位置の情報をメモリーカード２３に記憶させるようにしたため、複数枚のカード２３を使用することでより多数種類の調整位置の情報の保存できるようになるとともに、カード毎の情報分類が可能になり情報管理が容易となる。
【００５１】
例えば、半導体ウエハや液晶基板の製造工程では、製造する品種毎にカード分類を行い、製造工程の分類を選択スイッチ２２１ａで行うようにすることもできる。すなわち、製造している製品の品種に応じてカード２３を制御装置１５に差し込み、リターディション選択スイッチ２２１ａではその検査対象となる製造工程の種類及び倍率を選択できるようにスイッチ種類を設定しておけば、効率的な検査工程を実現することができる。
【００５２】
また、例えば作業者毎にメモリーカードを持たせるようにすると、自分の好みに応じたリターディション調整を記憶するといった使い方も可能になる。
したがって、検査工程がより一層自動化され、製造工程における検査時間の短縮、品質の安定・向上の改善を行うことができる。
（第５の実施の形態）
図８は、本発明の第５の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示すもので、上述した図１と同一部分には、同符号を付し、その説明を省略する。
【００５３】
この光学顕微鏡においては、微分干渉観察光学系と、各アクチュエータ１１，１２，１７，モータ１６，各駆動部１３，１４，１９及びモータ制御部２０等の機構部分は、第１の実施の形態の場合と同様に構成されている。
【００５４】
本実施の形態においては、制御部として制御コンピュータ２４を使用している。リターディション調整位置の記録は、コンピュータ２４に内蔵されたハードディスク等のメモリー２４１に対して行われる。
【００５５】
ポラライザ３等のセットやリターディション調整等の操作手段としては、コンピュータ２４の入力装置であるキーボード２４２をそのまま用いることができる他、第３の実施の形態の操作部２２ａと同様な操作部２５が設けられコンピュータ２４に接続されている。なお、操作部２５には、選択スイッチ２５１と、リターディション調整スイッチ２５２と、記憶スイッチ２５３と、終了スイッチ２５４とが設けられ、それぞれ図６の操作部２２ａにおける選択スイッチ２２１ａと、リターディション調整スイッチ２２２と、記憶スイッチ２２３と、終了スイッチ２２４とに対応している。
【００５６】
また、コンピュータ２４に内蔵している大容量のメモリー２４１を用いれば、第４実施の実施の形態と同様に記憶する種類を増やせたり、分類することが可能である。
【００５７】
さらに、光学顕微鏡の光学系に対する制御情報（観察情報）を用いれば、選択スイッチ２５１のスイッチ数を減らすことが可能である。つまり、制御コンピュータ２４は、顕微鏡本体に対する対物レンズの倍率変更、オートフォーカス（Ａ／Ｆ）制御、ステージ移動、光路切り換え等の制御をも行っており、これらの情報は、操作部２５からの操作入力でなく、制御コンピュータ２４が保持する制御情報をそのまま使用する。
【００５８】
このようにすれば、選択スイッチ２５１に倍率選択に関するスイッチが不要となる。したがって、本実施の形態では、操作部２５の選択スイッチ２５１には標本選択あるいは工程選択に関するスイッチだけが設けられている。
【００５９】
なお、キーボード２４２から検査対象を特定する場合には、ＩＤ番号等をキーボード２４２より入力することにより行う。
以上は、光学顕微鏡のシステムのみで使用する場合の構成であるが、本実施の形態の光学顕微鏡は、さらに上位の製造工程管理コンピュータ２７に接続されている。
【００６０】
すなわち、最近の半導体ウエハや液晶基板の製造工場では、ＣＩＭとよばれる自動化が進んでいるが、本実施の形態では、このＣＩＭを実施し、製造工程を管理する製造工程管理コンピュータ２７が制御コンピュータ２４と通信回線で接続されている。
【００６１】
これにより検査しようとしている標本の情報まですべて自動で制御コンピュータ２４を入力できる。微分干渉観察時のリターディション調整位置は、操作部２５の操作やキーボード２４２の入力を介することなくすべて自動でセットできることとなる。
【００６２】
具体的には製造工程管理コンピュータ２７に、作業者標本や検査レシピのテーブルが設けられ、これらのテーブル情報の選択により制御コンピュータ２４への情報が入力される。
【００６３】
図９は本実施の形態の製造工程管理コンピュータに保存される作業者標本テーブルの例を示す図である。
図１０は本実施の形態の製造工程管理コンピュータに保存される検査レシピテーブルの例を示す図である。
【００６４】
図９及び図１０に示す情報はリターディション調整位置を示している。製造工程管理コンピュータ２７は、製造計画等に基づき作業者標本テーブルもしくは検査レシピテーブルから、作業者もしくはレシピを自動選択し、その情報を制御コンピュータ２４に送出する。
【００６５】
制御コンピュータ２４は、製造工程管理コンピュータ２７からの情報に基づき、微分干渉観察時のリターディション調整位置等を行う。
しかして、このような構成により、第３又は第４の実施の形態と同様な作用効果が得られる他、制御にコンピュータ２４を利用しまた製造工程管理コンピュータ２７も用いることで、より一層の自動化と、製造工程における検査時間の短縮、品質の安定・向上の改善を行うことができる。
【００６６】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
また、実施の形態に記載した手法は、計算機に実行させることができるプログラムとして、例えば磁気ディスク（フロッピーディスク、ハードディスク等）、光ディスク（ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ等）、半導体メモリ等の記憶媒体に格納し、また通信媒体により伝送して頒布することもできる。本装置を実現する計算機は、記憶媒体に記録されたプログラムを読み込み、このプログラムによって動作が制御されることにより上述した処理を実行する。
【００６７】
以上、本発明について実施の形態に基づいて説明してきたが、本発明は以下の発明も含む。
（１） 前記ノマルスキープリズムは、プリズム取付けブロックに直線方向に移動可能に設けられ、
前記第２の駆動手段は、前記プリズム取付けブロックに設けられた駆動モータと、この駆動モータに設けられたネジ部と、このネジ部が螺装され前記ノマルスキープリズム側に設けられたナット部を有し、
前記駆動モータの回転によるネジ部の前記ナット部への螺進量により前記ノマルスキープリズムの前記光路に対する挿脱とリターディション調整を行うことを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか１項記載の光学顕微鏡。
【００６８】
上記（１）の作用効果を説明する。
この発明によれば、ノマルスキープリズムを光軸上に挿入するための動作と、光軸と直角方向の微小移動によるリターディション調整を共通の駆動モータの動作により実現できるので、駆動手段の構成を簡単なものにできる。
【００６９】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、微分干渉観察光学系を構成するポラライザおよびアナライザを始め、ノマルスキープリズムを、制御手段により駆動制御される第１および第２の駆動手段により、光学系の光路に対して自動的に挿脱でき、さらにノマルスキープリズムについて、リターディション調整をも行うようにできるので、従来のパーティクルが原因する製品の品質低下を回避できるとともに、これらポラライザ、アナライザ、ノマルスキープリズムを光路に挿入する作業時間も、リターディション調整を含めても短縮でき、製品の検査時間を大幅に縮めることができる。
【００７０】
また、ノマルスキープリズムのリターディション調整後の位置データを記憶していて、これ以降のリターディション調整の際に利用できるので、繰り返してリターディション調整位置を再現することができる。また、その位置データを複数種類記憶し、選択できるようにしたので、より効率的にリターディション調整位置を再現することができ、作業者に起因するばらつきを押さえることができる。
【００７１】
さらに、ノマルスキープリズムを光軸上に挿入するための動作と、光軸と直角方向の微小移動によるリターディション調整を共通の駆動モータの動作により実現できるので、駆動手段の構成を簡単なものにできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態に用いられるアクチュエータの概略構成を示す図。
【図３】第１の実施の形態に用いられるノマルスキープリズムの支持構造の概略構成を示す図。
【図４】本発明の第２の実施の形態に用いられるノマルスキープリズムの支持構造の概略構成を示す図。
【図５】第２の実施の形態に用いられるノマルスキープリズムの支持構造の動作を説明するための図。
【図６】本発明の第３の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示す図。
【図７】本発明の第４の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示す図。
【図８】本発明の第５の実施の形態が適用される微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡の光学系の概略構成を示す図。
【図９】同実施の形態の製造工程管理コンピュータに保存される作業者標本テーブルの例を示す図。
【図１０】同実施の形態の製造工程管理コンピュータに保存される検査レシピテーブルの例を示す図。
【図１１】一般の微分干渉観察光学系の概略構成を示す図。
【符号の説明】
１…照明用光源、
２…コレクタレンズ、
３…ポラライザ、
４…ハーフミラー、
５…ノマルスキープリズム、
５１…枠体、
６…対物レンズ、
７…標本、
８…アナライザ、
１１、１２…アクチュエータ、
１１１、１２１…シリンダ本体、
１１２、１２２…シリンダ軸、
１３、１４…駆動部、
１５…制御部、
１６…電動モータ、
１６１…ステッピングモータ、
１６２…回転軸、
１６３…ネジ部、
１７…アクチュエータ、
１７１…シリンダ本体、
１７２…シリンダ軸、
１８…プリズム取付けブロック、
１９…駆動部、
２０…モータ制御部、
２１…メモリ、
２２…キー入力部、
２２ａ…操作部、
２２１，２２１ａ…選択スイッチ、
２２２…リターディション調整スイッチ、
２２３…記憶スイッチ、
２２４…終了スイッチ、
２３…メモリーカード、
２４…制御コンピュータ、
２４１…メモリー、
２４２…キーボード、
２５…操作部、
２５１…選択スイッチ、
２５２…リターディション調整スイッチ、
２５３…記憶スイッチ、
２５４…終了スイッチ、
２７…製造工程管理コンピュータ、
３１…プリズム取付けブロック、
３２…ステッピングモータ、
３２１…回転軸、
３２２…ネジ部。

Claims (4)

1. 微分干渉観察機能を有する光学顕微鏡において、
   微分干渉光学系を構成するポラライザおよびアナライザを前記光学顕微鏡の光路に対して挿脱する第１の駆動手段と、
   前記微分干渉光学系を構成するノマルスキープリズムを前記光学顕微鏡の前記光路に対して挿脱するとともに、該ノマルスキープリズムを前記光路の光軸に直角方向に移動させてリターディション調整を行う第２の駆動手段と、
   観察対象の種類ごとに前記リターディション調整の位置データを記憶する記憶手段と、
   前記記憶手段に記憶された前記位置データを元に前記第２の駆動手段を制御して前記ノマルスキープリズムを前記光路の光軸に直角方向に移動制御する制御手段と、
   を具備したことを特徴とする光学顕微鏡。
2. 前記第２の駆動手段は、前記ノマルスキープリズムを直線方向に移動可能に設けたブロックと、該ブロックに設けたナット部と、該ナット部に螺装されるネジ部を介して設けられた電動モータとを有し、
   前記制御手段は、前記電動モータを駆動制御して前記ノマルスキープリズムを前記光路に対して挿脱するとともに、前記記憶手段に記憶された前記位置データを元に前記ノマルスキープリズムを微小移動させて前記リターディション調整を行うことを特徴とする請求項１記載の光学顕微鏡。
3. 前記制御手段は、前記電動モータを回転させることにより前記ノマルスキープリズムの螺進量を調整して前記リターディション調整を行った後、該リターディション調整後の前記位置データを前記記憶手段に記憶することを特徴とする請求項２記載の光学顕微鏡。
4. 前記制御手段は、前記観察対象の種類ごとに前記リターディション調整を行なわせるリターディション調整スイッチと、該リターディション調整スイッチで調整された前記ノマルスキープリズムの前記位置データを前記記憶手段に記憶させる記憶スイッチと、前記観察対象の種類を選択する選択スイッチとを有し、前記選択スイッチにより選択された前記観察対象に該当する前記記憶手段に記憶された前記位置データを元に前記第２の駆動手段を制御して前記ノマルスキープリズムの前記リターディション調整を行うことを特徴とする請求項１記載の光学顕微鏡。

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