JPH05341196A

JPH05341196A - 開口絞り装置

Info

Publication number: JPH05341196A
Application number: JP4171533A
Authority: JP
Inventors: Toshinobu Ito; 敏伸伊藤; Atsushi Matsuno; 淳松野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1992-06-08
Filing date: 1992-06-08
Publication date: 1993-12-24

Abstract

(57)【要約】【目的】対物レンズの交換動作と開口絞りの開閉動作
との動作時間のタイムラグをなくす。【構成】電動レボルバ操作部から入力された対物レン
ズ指定信号あるいはレボルバを所定方向に回転させる動
作指令信号により特定された対物レンズに対応する開口
絞りの開口率を、ＣＰＵ１１によってメモリ１０から前
記対物レンズに対応する絞り開度として読み出す。レボ
ルバの回転動作が行われるのと並行して前記開口絞りの
開閉動作を行う動作指令信号をＤ／Ａ変換して駆動回路
３に出力する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は開口絞り装置に係り、特
に所定の開口絞り設定動作を対物レンズレボルバ切替動
作あるいは明視野／暗視野切替え動作を検知すると同時
に行えるようにした開口絞り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、顕微鏡ではコンデンサレンズ近傍
に開口絞りが設けられており、対物レンズによる結像の
分解能、コントラスト、焦点深度及び明るさ等を調整す
ることができるようになっている。観察者は開口絞りの
開度を調節することにより対物レンズの種類に応じた最
も見やすい開口率を設定することができ、光路上にセッ
トされた対物レンズの種類に対応した開口率を自動設定
する技術も開発されている。

【０００３】例えば電動レボルバに対物レンズが装着さ
れているような顕微鏡における開口率自動設定技術とし
ては、電動レボルバの対物レンズの交換スイッチを押す
と電動レボルバが所定方向に回転し、レボルバが希望の
位置に停止してから開口絞りが記憶されている標準開口
率に自動設定されるというものが一般に用いられてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、開口絞りが
所定の開度となるように開閉動作し出すのは、レボルバ
が回転して希望位置に停止した後であり、観察者にと
り、対物レンズの切替えスイッチを押してから対物レン
ズが光路に入り、さらに開口絞りが開閉動作し始め、所
定位置に停止するまでは観察を行うことができず、倍率
交換のたびに待ち時間が発生してしまうという問題があ
る。

【０００５】また、従来は明視野／暗視野切替えを行っ
ても視野状態に連動して開口絞りが動かず、切替えるた
びに開口絞りの開度を調整しなければならず煩わしかっ
た。例えば明視野では絞り全開状態に対して７５％に絞
るようにし、暗視野では光を瞳の内縁に沿い通過させる
ので、瞳位置での絞りを全開するというように開口絞り
の開閉を別動作として視野状態の切り替えに応じて行う
必要がある。

【０００６】一方、観察者あるいは被検物によっては使
用する対物レンズに対応した標準の開口率を変えること
によりコントラストを調整したい場合もあり、その場
合、設定した開口率を対物レンズを切り替えた後も記憶
しておいて再度使用することが好ましいこともある。こ
の場合、対物レンズに対応して設定してある標準開口率
とは別の設定データとして取り扱うことが必要である
が、従来は標準値を書き換えて更新しなければデータを
保存することができなかった。また、同一の検査基準の
もとに複数の顕微鏡により検査を行う場合、各顕微鏡の
開口率を各担当の観察者がそれぞれ設定するという手間
もかかる。この場合複数の検査機器を同一の検査基準の
もとで使用したいという要請もある。

【０００７】すなわち、前述したような従来の技術で
は、対物レンズのレボルバが回転終了してから開口絞り
が開閉動作を開始するというシリアルな動作シーケンス
構造をとっているという点と、明視野／暗視野切替えに
開口絞り開閉動作が連動してないという点という問題点
があるとともに、対物レンズに対応した開口率の外部か
らの任意設定機能を強化したいという要請にも応える必
要がある。

【０００８】そこで、本発明の目的は、前述の問題点を
解消して、開口絞りの開閉動作時間を短縮するととも
に、視野切替え動作に開口絞りの開閉動作を連動させる
ようにして煩わしい操作をなくし、さらに外部とのイン
タフェースが強化された開口絞り装置を提供することに
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１の発明は電動レボルバ操作部から入力された対
物レンズ指定信号あるいはレボルバを所定方向に回転さ
せる動作指令信号により特定された対物レンズに対応す
る開口率を設定可能な開口絞りと、該開口絞りの前記対
物レンズに対応する適正開口率となる絞り開度を記憶し
た記憶部と、該記憶部から前記対物レンズに対応する絞
り開度を読み出し、前記レボルバの回転動作が行われる
のと並行して前記開口絞りを連続的に開閉調整可能な駆
動部に所定の動作指令信号を出力する制御部とを備えた
ことを特徴とするものである。

【００１０】また、第２の発明は、明視野観察あるいは
暗視野観察に対応する開口率を設定可能な開口絞りと、
該開口絞りの前記視野状態に対応する開口率となる絞り
開度情報を記憶した記憶部と、該記憶部から前記視野状
態に対応する開口率となる絞り開度を読み出し、前記レ
ボルバの回転動作が行われるのと並行して前記開口絞り
を連続的に開閉調整可能な駆動部に所定の動作指令信号
を出力する制御部とを備えたことを特徴とするものであ
る。

【００１１】前述の発明において、前記記憶部は初期設
定された各対物レンズの標準開口率の絞り開度情報が格
納されたＲＯＭと、観察時に設定された任意開口率の絞
り開度情報を格納可能なＲＡＭとから構成させることが
好ましい。

【００１２】また、前記記憶部に格納されたデータを前
記制御部に接続された記録媒体を介して外部に設けられ
た他の記憶部に移植することが好ましい。

【００１３】

【作用】第１の発明によれば、電動レボルバ操作部から
入力された対物レンズ指定信号あるいはレボルバを所定
方向に回転させる動作指令信号により特定された対物レ
ンズに対応する開口絞りの開口率を、制御部によって記
憶部から前記対物レンズに対応する絞り開度として読み
出し、前記レボルバの回転動作が行われるのと並行して
前記開口絞りの開閉動作を行う動作指令信号を駆動部に
出力するようにしたので、電動レボルバの回転と同時に
開口絞りの開閉動作を行うことができ、対物レンズの切
替えに連動した開口絞り調整を行うパラレルな動作シー
ケンスにより同時動作が可能になり、観察時間の待ちが
解消される。

【００１４】また、第２の発明によれば、明視野観察あ
るいは暗視野観察に対応する開口絞りの開口率を制御部
によって記憶部から前記対物レンズに対応する絞り開度
として読み出し、前記レボルバの回転動作が行われるの
と並行して前記開口絞りの開閉動作を行う動作指令信号
を駆動部に出力するようにしたので、明視野／暗視野切
替えに連動した開口絞り調整を行うことにより両動作を
同時に行うことができ、視野を切り替えても良好な観察
状態を保つことができる。

【００１５】前述の発明において、前記記憶部は初期設
定された各対物レンズの標準開口率の絞り開度情報が格
納されたＲＯＭと、観察時に設定された任意開口率の絞
り開度情報を格納可能なＲＡＭとから構成し、また前記
記憶部に格納されたデータを前記制御部に接続された記
録媒体を介して外部に設けられた他の記憶部に移植する
ようにしたので、設定された任意開口率に対応したポテ
ンショメータの値をＡ／Ｄ変換器によりデジタルデータ
に変換してメモリに格納し、標準開口率に対応した開口
絞りの回転量を前記メモリとは異なったメモリに格納し
ておく。ＣＰＵがメモリ群を管理することにより、いつ
でも任意の回転量を入力したり出力したりすることがで
きる。また、任意開口率を初期登録された標準開口率に
戻したり、複数の設定値を登録することにより一台の装
置で複数の人が使用できたり、容易に複数の被検物に対
応できる。

【００１６】

【実施例】以下、第１の発明乃至第３の発明による開口
絞り装置の一実施例を図１を参照して説明する。図１は
開口絞り装置の概略構成ブロック図を示したものであ
る。同図において、開口絞り調整の制御回路は、電動レ
ボルバの回転に対応して開口絞りが自動設定される自動
設定モードと任意開口率を設定する際に開口絞りの開度
をモータ駆動により自由に設定する手動設定モードとを
切り替える自動／手動切替えスイッチ４と、手動設定モ
ードにおいてスイッチの切り替えにより電源５の印加電
圧（＋Ｖ，−Ｖ）を切り替えて絞りの開閉動作を行う手
動開口絞りスイッチ６と、自動設定モードにおいて、デ
ータバスを介して出力されたディジタル信号の開口率デ
ータをアナログ信号に変換するＤ／Ａ変換器１と、この
Ｄ／Ａ変換器１の出力信号と開口絞り用モータ１２のポ
テンショメータ１３を増幅器７で増幅したフィードバッ
ク電圧信号とを比較する差動増幅器２と、この比較信号
により開口絞り用モータ１２を駆動する駆動回路３と、
開口率設定時に得られたポテンショメータ１３の値をＡ
／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータ８と、このＡ／Ｄされた
ディジタルデータを格納するメモリ（ＲＡＭ）９と、初
期設定された開口絞りの絞り開度が格納されたメモリ
（ＲＯＭ）１０と、データバスを介してメモリ間のデー
タの授受を制御するＣＰＵ１１とから構成されている。

【００１７】また、対物レンズ切り替えの電動レボルバ
駆動制御回路は、顕微鏡の操作部に設けられ観察者が操
作可能な対物レンズ切替えスイッチ２１からの動作信号
を入力し、所定のフィードバックをかけてレボルバ用モ
ータ１５の駆動回路１４に出力するＣＰＵ１１と、レボ
ルバ用モータ１５の位置をＣＰＵ１１にフィードバック
する位置センサ１６とから構成されている。

【００１８】さらに、明視野／暗視野切替え制御回路
は、顕微鏡の操作部に設けられ観察者が操作可能な明暗
視野切替えスイッチ１７からの動作信号を入力し、所定
のフィードバックをかけて明／暗視野切替え用モータ１
９の駆動回路１８に出力するＣＰＵ１１と、明／暗視野
切替え用モータ１９の位置をＣＰＵ１１にフィードバッ
クする位置センサ２０とから構成されている。

【００１９】以下、このように構成された開口絞り装置
の各回路の動作について図１乃至図４を参照して説明す
る。まず、対物レンズの標準的な切替え動作について、
図１のブロック図と図２の動作フローチャートとを参照
して説明する。

【００２０】まず、観察者は対物レンズを電動レボルバ
に装着した段階で、各対物レンズとレボルバ取り付け位
置との関係をメモリ１０に記憶させる作業を行う。この
作業は顕微鏡の表示盤のインストラクション画面の指示
に従って順次行えば良い。その後、観察を行っていると
きに、例えば対物レンズを２０倍に替えるべく操作部の
対物切替えスイッチ２１を操作すると（ステップ１０
０）、ＣＰＵ１１は２０倍の対物レンズの装着されたレ
ボルバ位置を図示しない現位置センサから割り出す（ス
テップ１１０）。

【００２１】以後、この段階からレボルバ回転動作と、
開口絞り回転動作とが並行して行われる。まず、レボル
バ回転動作において、ＣＰＵ１１において、レボルバの
現在位置とレボルバの回転方向と回転量とが算出される
（ステップ１２０）。その駆動信号が駆動回路１４に出
力され、これによりレボルバ用モータ１５が回転し、位
置センサ１６のフィードバックをかけることにより希望
倍率位置までレボルバを回転して対物レンズがセットさ
れる（ステップ１３０）。

【００２２】また、この動作と同時に開口絞りの開閉動
作が行われる。まず、２０倍時の標準開口率（例えば７
５％）に対応した開口絞りの開度が得られるモータ回転
量データがメモリ（ＲＯＭ）１０から読み出される（ス
テップ１４０）。信号はＤ／Ａ変換器１によりＤ／Ａ変
換された後に、所定の制御がかけられ、駆動回路３を通
して開口絞り用モータ１２に出力され、開口絞りの開閉
動作が行われる。このとき開口絞り用モータ１２に連結
されたポテンショメータ１３に出力がフィードバックさ
れ、ＣＰＵ１１からの指令値と差をとり、偏差信号が再
度開口絞り用モータ１２に出力され、標準開口率の位置
で開口絞り用モータ１２は停止する（ステップ１５
０）。このとき開口絞りの動作時間が対物レンズの切替
え時間より短い場合は、使用者から見た待ち時間は対物
レンズの切替え時間だけとなる。また逆の場合は開口絞
りの動作時間だけとなる。

【００２３】次に、明視野／暗視野切替えの場合の開口
絞り調整について図１のブロック図と図３の動作フロー
チャートとを参照して説明する。例えば明視野から暗視
野に切替える場合について説明する。

【００２４】まず、明暗視野切替えスイッチ１７を操作
すると、視野切替え動作信号がＣＰＵ１１に出力される
（ステップ２００）。以後、この段階から明暗視野切替
え動作と、開口絞り回転動作とが並行して行われる。ま
ず、明暗視野切替え動作において、ＣＰＵ１１が切り替
え指令を受け、駆動回路１８に暗視野切替え指令が出力
され、駆動回路１８を通して明暗視野切替えモータ１９
により視野切り替え動作が行われる（ステップ２１
０）。

【００２５】また、この動作と同時に、開口絞りを暗視
野に合った開口率（一般に全開にする）に設定するよう
に前述と同様の開口絞り位置決め動作が行われる。すな
わち、まず現在の視野状態を確認し（ステップ２２
０）、この結果から希望視野を判断し（ステップ２３
０）、この希望視野に合致した開口率に応じた開口絞り
の動作量をメモリ（ＲＯＭ）１０から読み出し（ステッ
プ２４０）、変換された後に駆動回路３に出力され、所
定の開口率に絞りが設定される（ステップ２５０）。こ
のとき開口絞りの動作時間が明暗視野の切替え時間より
短い場合は、使用者から見た待ち時間は明暗視野の切替
え時間だけとなる。また逆の場合は開口絞りの動作時間
だけとなる。

【００２６】次に、明暗視野切替えを手動で行う場合に
ついて図４の動作フローチャート図を参照して説明す
る。一般に手動で明暗視野を切り替える場合には、明暗
視野切り替えレバーを操作して遮光板等の部材を所定位
置に移動して各視野状態を切り替える（ステップ３０
０）。したがって、手動の場合には切替えスイッチを押
す代わりに切替えを行ったか否かの判断を現在の遮光板
の位置を示す現位置センサの作動状態により行う（ステ
ップ３１０）。この現位置センサが作動したことを検知
して変化前の視野状態と切替えたい視野状態とを判断す
ることができる。

【００２７】この場合にも手動の明暗視野切替え動作と
開口絞り開閉動作とは同時に行われる。まず、明暗視野
切替え動作は他方の視野状態に遮光板等がセットされた
状態で現位置センサが作動して切り替え終了を判断する
ことができる（ステップ３２０）。一方、この動作と同
時に開口絞り開閉動作が行われる。センサの切り替え作
動により切り替え前の視野状態と希望視野とを判断する
（ステップ３３０、３４０）。この希望視野に合致した
開口率に応じた開口絞りの動作量をメモリ（ＲＯＭ）１
０から読み出し（ステップ３５０）、変換された後に駆
動回路３に出力され、所定の開口率に絞りが設定される
（ステップ３６０）。

【００２８】次に、任意開口率を設定し、必要に応じて
メモリに格納する手順について図１を参照して説明す
る。まず、自動／手動切替えスイッチ４を手動側に切替
え、例えば絞りが開く方向に手動開口絞りスイッチ６を
操作すると、電源５により電圧＋Ｖに印加される。この
駆動電圧は駆動回路３を通して開口絞り用モータ１２に
出力され、開口絞りが開方向に向けて回転する。この状
態で例えば１０倍で観察しながら像のコントラストが適
正と判断した位置でスイッチ６を離し、開口絞りの開動
作を停止させる。このときのポテンショメータ１３の出
力をＡ／Ｄコンバータ８でＡ／Ｄ変換し、デジタルデー
タとしてメモリ（ＲＡＭ）９に格納する。このとき装置
においてあらかじめ設定されている標準開口率はメモリ
（ＲＯＭ）１０に格納してあり、任意開口率が上書きさ
れることはない。このようにして１０倍時においてユー
ザ設定による任意開口率が設定される。

【００２９】以後、１０倍時には、ＣＰＵ１１はメモリ
（ＲＡＭ）９の任意開口率を読み出し、初期値として自
動設定される。また、その場限りで開口率を変更して観
察するような場合には、設定した任意開口率をメモリ
（ＲＡＭ）９に記憶させないように指示すれば良い。こ
の場合には次のレボルバ回転動作または明暗視野切替え
動作時にメモリ（ＲＯＭ）１０の標準開口率が読み出さ
れる。このようにして顕微鏡像を見ながら容易に最良の
開口率に合わせられ、その合わせたものをメモリに記憶
でき、作業上で使用するメモリとしてＲＡＭを使用して
いるので、データの消去、書き換えの自由度も極めて高
い。また観察者ごとあるいは被検物ごとのように複数の
開口率データも格納でき、ＣＰＵ１１のデータを介して
メモリ（ＲＡＭ）９及びメモリ（ＲＯＭ）１０に格納さ
れた対物レンズと開口率との関係を示したデータを種々
の記録媒体を使用したり、パーソナルコンピュータ等に
より外部の記憶装置に移植することも可能である。これ
により顕微鏡を製品検査に使用する場合等に、他の複数
の検査機器等に同一の検査基準の状態を設定することが
でき、検査における装置間の較差を除去することができ
るという利点を有する。

【００３０】先に説明した第１の発明では、電動レボル
バの回転指示を読み取り、次にセットされる対物レンズ
をあらかじめ知ることができるようになっていた。電動
レボルバの場合は操作指令としてレボルバ回転方向ある
いは対物レンズを直接指示するので、操作信号を読み取
るだけで次の対物レンズを知ることができる。しかし、
手動レボルバの場合は、従来レボルバが回転しなければ
その次に来る対物レンズを認識できなかった。そこで、
手動レボルバの内部に以下の装置を組み込むことにより
手動レボルバの場合にレボルバの回転動作開始と同時に
開口絞りの開閉動作を行えるようにすることもできる。

【００３１】図５及び図６は、手動レボルバの位置と回
転方向とを検出する回転動作検出装置の一実施例を示し
たものである。図５において、符号３１は手動レボルバ
を示しており、この手動レボルバ３１には図示しない復
数の対物レンズが所定位置に装着できるようになってい
る。なお、図５には説明のために対物レンズ取付孔３１
Ａ、３１Ｂ、３１Ｃの３個のみ示してある。

【００３２】各対物レンズ取付孔３１Ａ、３１Ｂ、３１
Ｃの外周位置にはそれぞれ円形の小型永久磁石３２Ａ、
３２Ｂ、３２Ｃが手動レボルバ３１に取着されている。
これらの小型永久磁石３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃは各対物
レンズ取付孔３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃが光路に合致した
所定位置に停止したこと、すなわちレボルバの基準停止
位置を識別するために設けられたものである。その取付
位置としてはレボルバの所定の面にレボルバの回転中心
Ｏを中心とした仮想円周Ｃ１と対物レンズ取付孔の中心
とレボルバの回転中心Ｏとを結んだ直線との交点上に配
設されている。

【００３３】さらにその外周には各レボルバ番地を識別
する複数の円形の小型永久磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ
（以下、全体としては符号３３で示す。）が手動レボル
バ３１に取着されている。小型永久磁石３３は３個の磁
石の配置を変えて各レボルバ番地を特定したもので、最
大８個の番地設定を行えるようになっている。また、手
動レボルバ３１の回転と干渉しない位置の固定部Ｆにホ
ルダＨが固着されている。このホルダＨにはホールＩＣ
センサ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ（以下、全体としては符
号３４で示す。）が装着されている。各ホールＩＣセン
サ３４ａ、３４ｂ、３４ｃは仮想円周Ｃ１上に重なる位
置に配置され、検出信号を電気的に変換するためにレボ
ルバ位置・回転方向検出部３６が接続されている。

【００３４】一方、ホールＩＣセンサ列３４の外側位置
にはホールＩＣセンサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃ（以下、
全体としては符号３５で示す。）が配設されている。各
ホールＩＣセンサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃも仮想円周Ｃ
２上に重なるように小型永久磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３
Ｃの取付ピッチと等しくホルダＨに配設されている。ホ
ールＩＣセンサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃにも同様に検出
信号を電気的に変換するためにレボルバ番地検出回路３
７が接続されている。

【００３５】ここで、ホールＩＣセンサ３４、３５によ
るレボルバ番地の検出とレボルバ位置・回転方向検出と
について説明する。レボルバ番地検出回路３７ではホー
ルＩＣセンサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃで読み取った小型
永久磁石３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃの所定の配置パターン
からレボルバ番地信号を出力することができる。

【００３６】一方、レボルバ位置・回転方向検出部３６
では、小型永久磁石３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃの位置をホ
ールＩＣセンサ３４ａ、３４ｂ、３４ｃにて読み出し、
位置と回転方向を検出するようになっている。このレボ
ルバ位置、回転方向検出のロジックについて図６及び図
７を参照して説明する。図６に示したように対物レンズ
取付孔３１Ｂが光路上にセットされた状態を例にその回
転方向等の検出動作について説明する。

【００３７】まず、対物レンズ取付孔３１Ｂの外周の所
定位置に配置されたホールＩＣセンサ３４ｂがＯＮ（ア
クティブＬＯＷ）している時（図７の符号ＰのＬＯＷ部
分）、対物レンズが光路に入っていることを示し、その
時にのみホールＩＣセンサ３５ａ、３５ｂ、３５ｃで検
出されるレボルバ番地データが有効となる。従ってホー
ルＩＣセンサ３４ｂはレボルバの停止位置を規定する基
準位置センサの機能を果たす。

【００３８】図７において、基準位置センサ３４ｂがＯ
Ｎ（アクティブＬＯＷ）しているときホールＩＣセンサ
３５ａ、３５ｂ、３５ｃはＯＮ、ＯＦＦ、ＯＮを検出
し、所定のレボルバ番地が検出される。また、この基準
位置センサ３４ｂの両側にはホールＩＣセンサ３４ａ、
３４ｃが配置されており、手動でレボルバを回転させた
際、小型永久磁石３２Ｂがわずかに回転方向にずれて、
回転方向に位置したホールＩＣセンサ３４ａ、３４ｃの
いずれかの感度範囲に入る。これによりレボルバをどち
らの方向に回転させたかを認識することができる。これ
らのレボルバ部から検出されるレボルバ基準位置信号、
回転方向検出信号は、顕微鏡内部に備えられたレボルバ
の回転方向を認識する回路に出力され、レボルバ回転方
向信号とレボルバ回転開始信号とが得られる。

【００３９】このレボルバの回転方向を認識する回路で
は図７に示したように基準位置センサ３４ｂの信号が、
ＬＯＷからＨＩＧＨになった後にどちらの回転方向セン
サ３４ａ、３４ｃがＬＯＷになるかによって、回転方向
を決定することができる。これにより手動レボルバを回
転すると同時に次のレボルバ番地、すなわち次にセット
される対物レンズを認識することができ、レボルバの回
転動作とほぼ同時に次に来る対物レンズに対応した開口
率を認識することができ、開口絞りの開閉動作を同時に
行うことができる。このような構成を備えることにより
手動レボルバの場合にも対物レンズを設定するのと同時
に開口率の設定を行うことができる。

【００４０】さらに、以上に述べた発明は、対物レンズ
切替え及び明暗視野切替えの開始を開口絞り開閉動作の
トリガーとしているが、独立した切り替えスイッチやパ
ソコン等に組み込まれたソフトにより所定の入出力イン
タフェースを介して外部の操作装置等からの指令で動作
することもできる。例えば、使用者や被検物や対物レン
ズと開口率との多数の組み合わせデータ等をあらかじめ
メモリに記憶しておき、実際に顕微鏡を使用する人また
は被検物に応じて外部コンピュータから最適な組み合わ
せデータを指示したり、自由にデータを選択したりする
こともできる。

【００４１】

【発明の効果】以上に述べたように請求項１に記載の発
明によれば、対物レンズの交換と同時に開口絞りの開閉
動作を行えるので、シリアルな動作に比べて動作時間の
タイムラグをなくし、観察者の待ち時間を最小限にする
ことができる。また、請求項２に記載の発明によれば、
明暗視野切替えと開口絞りの開閉動作とを連動させたの
で、視野状態の切替えのたびに観察者が絞りを調整する
手間が省け、両動作を同時に行うことにより同様に待ち
時間が短縮できる。さらに、請求項３に記載の発明によ
れば、初期設定された標準開口率以外に任意の開口率を
対物レンズごとに設定、記憶でき、何れかの開口率を自
由に選べるので、他の観察者または被検物に対して最適
の開口率を設定して観察を行うことができる等の利点が
有る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による開口絞り装置の一実施例の制御ブ
ロック図。

【図２】対物レンズの切替え動作と開口絞りの開閉動作
の手順を示した動作フローチャート。

【図３】明暗視野切替え動作（電動切り替え）と開口絞
りの開閉動作の手順を示した動作フローチャート。

【図４】明暗視野切替え動作（手動切り替え）と開口絞
りの開閉動作の手順を示した動作フローチャート。

【図５】手動レボルバの位置、回転方向検出部の構成の
一例を示した部分正面図。

【図６】図５に示した手動レボルバを光路Ｚに合致させ
た状態でのセンサ配置図。

【図７】図６に示した状態での各センサからの出力波形
図。

【符号の説明】

１Ｄ／Ａ変換器２差動増幅器３，１４，１８駆動回路４自動／手動切替えスイッチ８Ａ／Ｄコンバータ９メモリ（ＲＡＭ）１０メモリ（ＲＯＭ）１１ＣＰＵ１２，１５，３４モータ１３ポテンショメータ１６，２０位置センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電動レボルバ操作部から入力された対物レ
ンズ指定信号あるいはレボルバを所定方向に回転させる
動作指令信号により特定された対物レンズに対応する開
口率を設定可能な開口絞りと、該開口絞りの前記対物レ
ンズに対応する適正開口率となる絞り開度を記憶した記
憶部と、該記憶部から前記対物レンズに対応する絞り開
度を読み出し、前記レボルバの回転動作が行われるのと
並行して前記開口絞りを連続的に開閉調整可能な駆動部
に所定の動作指令信号を出力する制御部とを備えたこと
を特徴とする開口絞り装置。
【請求項２】明視野観察あるいは暗視野観察に対応する
開口率を設定可能な開口絞りと、該開口絞りの前記視野
状態に対応する開口率となる絞り開度情報を記憶した記
憶部と、該記憶部から前記視野状態に対応する開口率と
なる絞り開度を読み出し、前記レボルバの回転動作が行
われるのと並行して前記開口絞りを連続的に開閉調整可
能な駆動部に所定の動作指令信号を出力する制御部とを
備えたことを特徴とする開口絞り装置。
【請求項３】前記記憶部は、初期設定された各対物レン
ズの標準開口率の絞り開度情報が格納されたＲＯＭと、
観察時に設定された任意開口率の絞り開度情報を格納可
能なＲＡＭとから構成されたことを特徴とする請求項１
または請求項２のいずれかに記載の開口絞り装置。
【請求項４】前記記憶部に格納されたデータを前記制御
部に接続された記録媒体を介して外部に設けられた他の
記憶部に移植するようにしたことを特徴とする請求項１
または請求項２のいずれかに記載の開口絞り装置。