JP2008070732A - 検査顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査顕微鏡1は、被検査物Wを載置するステージ3と、ステージ3の上方に設けられ、少なくとも一つの対物レンズ10が装着されたレンズ支持部9を有して、対物レンズ10によってステージ3上の被検査物Wを拡大観察可能な顕微鏡鏡筒6と、顕微鏡鏡筒6を支持する鏡筒支持部7と、鏡筒支持部7に顕微鏡鏡筒6を、ステージ3に対して斜め上方に向かって取り外し可能に固定する取付部12とを備える。
【選択図】図1
Description
すなわち、レボルバの挿脱時においては、ステージと対物レンズとを近接した状態で、顕微鏡鏡筒のアリ溝にレボルバのアリ部を左右上下に振りながら挿入する必要があり、このアリ溝にアリ部を一致させる際の上下方向の振り動作時に対物レンズをステージに誤って当てて損傷させてしまうおそれがあった。また、取り外し時においては、アリ溝からアリ部を引き抜く必要があるが、アリ溝からアリ部が外れた瞬間に、顕微鏡鏡筒の全重量が作業者に加わって下方に移動してしまい、対物レンズをステージに誤って当てて損傷させてしまうおそれがあった。特に、上記のように近年、被検査物の大型化、高精細化に伴って顕微鏡鏡筒も大型化、重量化し、また、ステージと対物レンズとの離隔距離が小さくなってきているので、着脱時の対物レンズの損傷のおそれが多大なものとなってしまっていた。また、対物レンズを着脱する場合のみステージを降下させて離隔距離をとる方法もあるが、ステージの大型化に伴ってステージを可動とするのが困難なものとなってきている。
本発明の検査顕微鏡は、被検査物を載置するステージと、該ステージの上方に設けられ、少なくとも一つの対物レンズが装着されたレンズ支持部を有して、前記対物レンズによって前記ステージ上の前記被検査物を拡大観察可能な顕微鏡鏡筒と、該顕微鏡鏡筒を支持する鏡筒支持部と、該鏡筒支持部に前記顕微鏡鏡筒を、前記ステージに対して斜め上方に向かって取り外し可能に固定する取付部とを備えることを特徴としている。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図5は、本発明の第2の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
3 ステージ
6、43 顕微鏡鏡筒
7、42 鏡筒支持部
9、45 レボルバ(レンズ支持部)
8a 取っ手部
10 対物レンズ
12、30、46 取付部
13、31、47 ガイド
13b、47b 一端部
13c、47c 他端部
14、48 係合部材
31e 隙間
W 被検査物
Z 上下方向
Claims (6)
- 被検査物を載置するステージと、
該ステージの上方に設けられ、少なくとも一つの対物レンズが装着されたレンズ支持部を有して、前記対物レンズによって前記ステージ上の前記被検査物を拡大観察可能な顕微鏡鏡筒と、
該顕微鏡鏡筒を支持する鏡筒支持部と、
該鏡筒支持部に前記顕微鏡鏡筒を、前記ステージに対して斜め上方に向かって取り外し可能に固定する取付部とを備えることを特徴とする検査顕微鏡。 - 被検査物を載置するステージと、
該ステージの上方に設けられ、少なくとも一つの対物レンズが装着されたレンズ支持部を有して、前記対物レンズによって前記ステージ上の前記被検査物を拡大観察可能な顕微鏡鏡筒と、
該顕微鏡鏡筒を支持する鏡筒支持部と、
前記顕微鏡鏡筒に前記レンズ支持部を、前記ステージに対して斜め上方に向かって取り外し可能に固定する取付部とを備えることを特徴とする検査顕微鏡。 - 請求項1に記載の検査顕微鏡において、
前記取付部は、前記ステージに対して傾斜して前記鏡筒支持部に延設され、上方に位置する一端部が開かれているとともに、下方に位置する他端部が閉じられたガイドと、
前記顕微鏡鏡筒に設けられ、前記ガイドに係合可能であるとともに、該ガイドの前記一端部から挿脱可能な係合部材とで構成されていることを特徴とする検査顕微鏡。 - 請求項2に記載の検査顕微鏡において、
前記取付部は、前記ステージに対して傾斜して前記顕微鏡鏡筒に延設され、上方に位置する一端部が開かれているとともに、下方に位置する他端部が閉じられたガイドと、
前記レンズ支持部に設けられ、前記ガイドに係合可能であるとともに、該ガイドの前記一端部から挿脱可能な係合部材とで構成されていることを特徴とする検査顕微鏡。 - 請求項3または請求項4に記載の検査顕微鏡において、
前記取付部の前記ガイドは、前記一端部が前記係合部材を互いに隙間を有した状態で挿脱可能に形成されていることを特徴とする検査顕微鏡。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の検査顕微鏡において、
前記レンズ支持部、または、該レンズ支持部とともに前記取付部によって取り外し可能な部材には、把持可能な取っ手部が設けられていることを特徴とする検査顕微鏡。
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