JP5057491B2 - マスク不良検査装置 - Google Patents
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Description
21 カメラ部、
22 照明部、
30 引張ジグユニット、
31 支持台、
32 クランプ部、
33 テンション部、
50 ベース部材、
100 マスク不良検査装置、
MM メタルマスク。
Claims (7)
- 検査対象であるメタルマスクが置かれる支持台と、
前記支持台の両側に配置されて、前記メタルマスクの両側周縁を固定するクランプ部と、
前記クランプ部によって固定された前記メタルマスクに引張力を加えるテンション部とを含む引張ジグユニット、及び
前記引張ジグユニットによって固定された前記メタルマスクを検査する検査ユニット、を含み、
前記支持台上に置かれた前記メタルマスクと前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離は、前記クランプ部及び前記テンション部と前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離と同一または短く形成されており、
前記支持台に置かれた前記メタルマスクは、前記支持台の周縁で予め設定された角度に折れて前記クランプ部に固定される、マスク不良検査装置。 - 前記予め設定された角度は、10度乃至30度の範囲内に属する、請求項1に記載のマスク不良検査装置。
- 前記メタルマスクの周縁を固定する前記クランプ部の固定面は、前記メタルマスクが置かれた前記支持台の表面に対して所定の傾斜角を有する、請求項1または請求項2に記載のマスク不良検査装置。
- 前記所定の傾斜角は、10度乃至30度の範囲内に属する、請求項3に記載のマスク不良検査装置。
- 前記テンション部は、前記クランプ部を引っ張って前記メタルマスクに引張力を加える、請求項1〜4のいずれか1項に記載のマスク不良検査装置。
- 前記検査ユニット及び前記引張ジグユニットのうちのいずれか一方を他の一方に対して平行な方向に移送させる移送ユニットをさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載のマスク不良検査装置。
- 前記検査ユニットは、前記支持台上に置かれた前記メタルマスクの不良有無を検出するためのカメラ部と、前記カメラ部の周辺に配置された照明部とを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載のマスク不良検査装置。
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