JP2001280940A - ワーク表面検査装置 - Google Patents
ワーク表面検査装置Info
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- JP2001280940A JP2001280940A JP2000093556A JP2000093556A JP2001280940A JP 2001280940 A JP2001280940 A JP 2001280940A JP 2000093556 A JP2000093556 A JP 2000093556A JP 2000093556 A JP2000093556 A JP 2000093556A JP 2001280940 A JP2001280940 A JP 2001280940A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 載置台の平坦度の影響を受けることなく、常
時精度良くワーク表面の平坦度を検査する。 【解決手段】 ワーク表面検査装置１０は、ワーク２を
インデックスマッチング液３を介して載置する黒色載置
面５ａを有するワーク載置台５と、ワーク載置台５の上
方に配置されたレーザー干渉計４とを備えている。ワー
ク載置台５には液体収納溝８が形成され、液体収納溝８
と放出孔６との間には、フィルタ１１およびポンプ１２
を有する配管１３が接続されている。 放出孔６からイ
ンデックスマッチング液３が放出され、ワーク２は載置
面５ａ上で常時浮上する。
時精度良くワーク表面の平坦度を検査する。 【解決手段】 ワーク表面検査装置１０は、ワーク２を
インデックスマッチング液３を介して載置する黒色載置
面５ａを有するワーク載置台５と、ワーク載置台５の上
方に配置されたレーザー干渉計４とを備えている。ワー
ク載置台５には液体収納溝８が形成され、液体収納溝８
と放出孔６との間には、フィルタ１１およびポンプ１２
を有する配管１３が接続されている。 放出孔６からイ
ンデックスマッチング液３が放出され、ワーク２は載置
面５ａ上で常時浮上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス基板等のワー
クの表面検査を行うためのワーク表面検査装置に係り、
とりわけワークの表面を精度良く検査することができる
ワーク表面検査装置に関する。
クの表面検査を行うためのワーク表面検査装置に係り、
とりわけワークの表面を精度良く検査することができる
ワーク表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来よりワーク表面検査方法として、図
３に示すような検査方法が知られている。すなわち、高
い平坦性を有する載置台５に溶液を介して検査すべきワ
ーク２を載せ、ワーク２の検査面を上にしてレーザー干
渉計４等により表面検査を行う。この場合、溶液として
は、インデックスマッチング液３が用いられ、このイン
デックスマッチング液３は、ワーク２と同一屈折率ある
いは極めて近い屈折率を有している。レーザー干渉計４
からの光は、ワーク２の検査面のみで反射し、この反射
光がレーザー干渉計４へ入射してワーク２の表面形状が
検査される。他方、ワーク２内へ進入した光は、ワーク
２底面からインデックスマッチング液３を通って載置台
５側へ透過され、吸収される。
３に示すような検査方法が知られている。すなわち、高
い平坦性を有する載置台５に溶液を介して検査すべきワ
ーク２を載せ、ワーク２の検査面を上にしてレーザー干
渉計４等により表面検査を行う。この場合、溶液として
は、インデックスマッチング液３が用いられ、このイン
デックスマッチング液３は、ワーク２と同一屈折率ある
いは極めて近い屈折率を有している。レーザー干渉計４
からの光は、ワーク２の検査面のみで反射し、この反射
光がレーザー干渉計４へ入射してワーク２の表面形状が
検査される。他方、ワーク２内へ進入した光は、ワーク
２底面からインデックスマッチング液３を通って載置台
５側へ透過され、吸収される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した検査方法で
は、ワーク２と載置台５との間に介在する溶液の量が、
ワーク２の歪みへ影響し、ワーク２が大きくなればなる
ほどさらにその傾向は強まる。
は、ワーク２と載置台５との間に介在する溶液の量が、
ワーク２の歪みへ影響し、ワーク２が大きくなればなる
ほどさらにその傾向は強まる。
【０００４】即ち、溶液３の量が少ないほど、ワーク２
は下方の載置台５との密着力が高まって歪み、下の載置
台５の平坦度の影響が大きくなってしまう。そこで、溶
液３の量を充分多くし、ワーク２をフローティング状態
とした場合、載置台５の影響が少なくなる。しかしなが
ら、時間の経過に伴ってワーク２と載置台５との溶液３
の量が減少し、これに伴って密着力が変化し、ワーク２
が載置台５の平坦度の影響を受けて歪んでしまい、精度
良くワーク２の表面検査をすることができない。
は下方の載置台５との密着力が高まって歪み、下の載置
台５の平坦度の影響が大きくなってしまう。そこで、溶
液３の量を充分多くし、ワーク２をフローティング状態
とした場合、載置台５の影響が少なくなる。しかしなが
ら、時間の経過に伴ってワーク２と載置台５との溶液３
の量が減少し、これに伴って密着力が変化し、ワーク２
が載置台５の平坦度の影響を受けて歪んでしまい、精度
良くワーク２の表面検査をすることができない。
【０００５】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、時間の影響を受けることなく、常時ワーク
の表面を精度良く検査することができるワーク表面検査
装置を提供することを目的とする。
ものであり、時間の影響を受けることなく、常時ワーク
の表面を精度良く検査することができるワーク表面検査
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ワークをイン
デックスマッチング液を介して載置する黒色載置面を有
するワーク載置台と、ワーク載置台の上方に設けられ、
ワークに対して光りを照射してワークからの反射光によ
りワーク表面の平坦度を検出する干渉計とを備え、ワー
ク載置台の載置面に複数の放出孔を設け、この放出孔
に、インデックスマッチング液を供給する液体供給装置
を接続したことを特徴とするワーク表面検査装置であ
る。
デックスマッチング液を介して載置する黒色載置面を有
するワーク載置台と、ワーク載置台の上方に設けられ、
ワークに対して光りを照射してワークからの反射光によ
りワーク表面の平坦度を検出する干渉計とを備え、ワー
ク載置台の載置面に複数の放出孔を設け、この放出孔
に、インデックスマッチング液を供給する液体供給装置
を接続したことを特徴とするワーク表面検査装置であ
る。
【０００７】本発明によれば、液体供給装置によりイン
デックスマッチング液を放出孔に供給し、さらにインデ
ックスマッチング液を放出孔から載置面上に放出する。
載置面上のワークは、放出孔からのインデックスマッチ
ング液により載置面から浮上する。この間干渉計からの
光がワークに照射され、ワークからの反射光に基づいて
干渉計によりワークの表面の平坦度が検査される。
デックスマッチング液を放出孔に供給し、さらにインデ
ックスマッチング液を放出孔から載置面上に放出する。
載置面上のワークは、放出孔からのインデックスマッチ
ング液により載置面から浮上する。この間干渉計からの
光がワークに照射され、ワークからの反射光に基づいて
干渉計によりワークの表面の平坦度が検査される。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【０００９】図１および図２は、本発明によるワーク表
面検査装置の一実施の形態を示す図である。
面検査装置の一実施の形態を示す図である。
【００１０】図１および図２に示すように、ワーク表面
検査装置１０は四角形状のガラス製ワーク２を載置する
載置面５ａを有するワーク載置台５と、ワーク載置台５
の上方に設けられ、ワーク２に対して光を照射しワーク
２からの反射光を検出してワーク２の表面の平坦度を検
査する、例えばフィゾー干渉計などのレーザー干渉計４
とを備えている。
検査装置１０は四角形状のガラス製ワーク２を載置する
載置面５ａを有するワーク載置台５と、ワーク載置台５
の上方に設けられ、ワーク２に対して光を照射しワーク
２からの反射光を検出してワーク２の表面の平坦度を検
査する、例えばフィゾー干渉計などのレーザー干渉計４
とを備えている。
【００１１】このうち、ワーク載置台５の載置面５ａ
は、四角形状を有するとともに黒色を有し、光を吸収す
るようになっている。また、ワーク載置台５の載置面５
ａには、載置面５ａ全域に渡って複数の放出孔６が設け
られている。さらに放出孔６には、フィルタ１１および
ポンプ１２からなり、インデックスマッチング液３を供
給する液体供給装置が接続されている。
は、四角形状を有するとともに黒色を有し、光を吸収す
るようになっている。また、ワーク載置台５の載置面５
ａには、載置面５ａ全域に渡って複数の放出孔６が設け
られている。さらに放出孔６には、フィルタ１１および
ポンプ１２からなり、インデックスマッチング液３を供
給する液体供給装置が接続されている。
【００１２】すなわちワーク載置台５の載置面５ａ周縁
には、液体収納溝８が設けられ、この液体収納溝８には
フィルタ１１とポンプ１２が配管１３を介して接続され
ている。そしてこの配管１３はワーク載置台５の放出孔
６へ接続され、配管１３を流れるインデックスマッチン
グ液３が放出孔６から放出されるようになっている。
には、液体収納溝８が設けられ、この液体収納溝８には
フィルタ１１とポンプ１２が配管１３を介して接続され
ている。そしてこの配管１３はワーク載置台５の放出孔
６へ接続され、配管１３を流れるインデックスマッチン
グ液３が放出孔６から放出されるようになっている。
【００１３】また載置面５ａには、ワーク２の水平方向
の移動を規制する４本のストッパ７が設けられている。
の移動を規制する４本のストッパ７が設けられている。
【００１４】次に、各構成部分の材料および形状につい
て述べる。図１および図２において、ワーク載置台５は
アルミニウムとなっており、ワーク載置台５のうち少な
くとも載置面５ａは黒色アルマイト処理され、これによ
り黒色となっている。また、載置面５ａの放出孔６は３
mmピッチで配設され、各々０．５mmの直径を有してい
る。
て述べる。図１および図２において、ワーク載置台５は
アルミニウムとなっており、ワーク載置台５のうち少な
くとも載置面５ａは黒色アルマイト処理され、これによ
り黒色となっている。また、載置面５ａの放出孔６は３
mmピッチで配設され、各々０．５mmの直径を有してい
る。
【００１５】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。検査すべきワーク２として、
ワーク（１７３７硝子：コーニング社製、１５０×１５
０mm、厚み１mm、屈折率１．５２）を用いる。またワー
ク２表面の平坦度検査を行うため、半導体レーザーを有
するレーザー干渉計（フィゾー干渉光）４を用いる。ワ
ーク２の平坦度検査にあたっては、ワーク２の歪みがな
く自然な状態で計測できることが望ましい。
の作用について説明する。検査すべきワーク２として、
ワーク（１７３７硝子：コーニング社製、１５０×１５
０mm、厚み１mm、屈折率１．５２）を用いる。またワー
ク２表面の平坦度検査を行うため、半導体レーザーを有
するレーザー干渉計（フィゾー干渉光）４を用いる。ワ
ーク２の平坦度検査にあたっては、ワーク２の歪みがな
く自然な状態で計測できることが望ましい。
【００１６】本発明によればワーク２の歪みが極めて少
なく、より自然に近い状態でワーク２の表面検査が可能
となり、従来のように載置台５の平坦度に影響されるこ
とはない。
なく、より自然に近い状態でワーク２の表面検査が可能
となり、従来のように載置台５の平坦度に影響されるこ
とはない。
【００１７】すなわち、まずワーク２をアルミ製の黒ア
ルマイト処理したワーク載置台５の載置面５ａ上に載せ
る。載置面５ａには直径０．５mmの放出孔６が３mmピッ
チでほぼ全域に形成されている。次にポンプ１２を作動
すると、配管１３から透明なインデックスマッチング液
３（キシレン：屈折率１．５０）が載置面５ａの放出孔
６へ送られ、この放出孔６からインデックスマッチング
液３が染み出すように載置面５ａ上に放出される。
ルマイト処理したワーク載置台５の載置面５ａ上に載せ
る。載置面５ａには直径０．５mmの放出孔６が３mmピッ
チでほぼ全域に形成されている。次にポンプ１２を作動
すると、配管１３から透明なインデックスマッチング液
３（キシレン：屈折率１．５０）が載置面５ａの放出孔
６へ送られ、この放出孔６からインデックスマッチング
液３が染み出すように載置面５ａ上に放出される。
【００１８】この場合、ワーク２は載置面５ａから浮上
し、ワーク２と載置面５ａとの密着力が失われる。ワー
ク２が浮上すると、ワーク２の裏面の凹凸は、インデッ
クスマッチング液３の層によって吸収され、ワーク２の
特定な部分に力がかからなくなる。
し、ワーク２と載置面５ａとの密着力が失われる。ワー
ク２が浮上すると、ワーク２の裏面の凹凸は、インデッ
クスマッチング液３の層によって吸収され、ワーク２の
特定な部分に力がかからなくなる。
【００１９】ところで放出孔６の径が大きく、放出孔６
の数が少ないと個々の放出孔６から放出する放出量が多
くなり、個々の放出孔６からの放出量のバラツキが問題
となる。従って、放出孔６の径はできる限り小さく、か
つ放出孔６の数は多い方が望ましい。
の数が少ないと個々の放出孔６から放出する放出量が多
くなり、個々の放出孔６からの放出量のバラツキが問題
となる。従って、放出孔６の径はできる限り小さく、か
つ放出孔６の数は多い方が望ましい。
【００２０】また、浮上したワーク２はストッパ７によ
り水平方向への移動が防止される。ワーク載置台５の載
置面５ａ上へ放出されたインデックスマッチング液３
は、その後液体収納溝８から配管１３を経てフィルタ１
１へ送られる。インデックスマッチング液３はポンプ１
２入側のフィルタ１１で浄化された後、ポンプ１２へ送
られる。
り水平方向への移動が防止される。ワーク載置台５の載
置面５ａ上へ放出されたインデックスマッチング液３
は、その後液体収納溝８から配管１３を経てフィルタ１
１へ送られる。インデックスマッチング液３はポンプ１
２入側のフィルタ１１で浄化された後、ポンプ１２へ送
られる。
【００２１】この間、レーザー干渉計４からレーザー光
がワーク２の表面に向かって照射され、ワーク２の表面
からの反射光がレーザー干渉計４へ入射する。このよう
にしてレーザー干渉計４によりワーク２の表面の平坦度
を検査することができる。
がワーク２の表面に向かって照射され、ワーク２の表面
からの反射光がレーザー干渉計４へ入射する。このよう
にしてレーザー干渉計４によりワーク２の表面の平坦度
を検査することができる。
【００２２】またワーク２を通過したレーザー光は、ワ
ーク２と略同一の屈折率を有するインデックスマッチン
グ液３を通って載置面５ａ側へ入射する。この場合、載
置面５ａは黒色アルマイト処理されているので、レーザ
ー光は載置面５ａ上で反射することはなく、載置面５ａ
により吸収される。
ーク２と略同一の屈折率を有するインデックスマッチン
グ液３を通って載置面５ａ側へ入射する。この場合、載
置面５ａは黒色アルマイト処理されているので、レーザ
ー光は載置面５ａ上で反射することはなく、載置面５ａ
により吸収される。
【００２３】このため、レーザー干渉計４には、ワーク
２の表面における反射光のみが入射するので、ワーク２
の表面の平坦度を精度良く検査することができる。ま
た、ワーク２は載置面５ａの放出孔６から放出されるイ
ンデックスマッチング液により常時載置面５ａから浮上
した状態に保たれるので、表面検査中にワーク２が載置
面５ａに密着することはない。このため常時載置面５ａ
の平坦度の影響を受けることなく、ワーク２の表面検査
を精度良く行うことができる。
２の表面における反射光のみが入射するので、ワーク２
の表面の平坦度を精度良く検査することができる。ま
た、ワーク２は載置面５ａの放出孔６から放出されるイ
ンデックスマッチング液により常時載置面５ａから浮上
した状態に保たれるので、表面検査中にワーク２が載置
面５ａに密着することはない。このため常時載置面５ａ
の平坦度の影響を受けることなく、ワーク２の表面検査
を精度良く行うことができる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、載置面上
に放出孔から放出されたインデックスマッチング液によ
りワークが載置面上で常時浮上する。このため、時間が
経過してもワークが載置面に密着することはなく、載置
面の平坦度の影響を受けることなくワーク表面の平坦度
を常時、精度良く測定することができる。
に放出孔から放出されたインデックスマッチング液によ
りワークが載置面上で常時浮上する。このため、時間が
経過してもワークが載置面に密着することはなく、載置
面の平坦度の影響を受けることなくワーク表面の平坦度
を常時、精度良く測定することができる。
【図１】本発明によるワーク表面検査装置の一実施の形
態を示す概略図。
態を示す概略図。
【図２】ワーク表面検査装置の側面図。
【図３】従来のワーク表面検査装置を示す図。
２ ワーク ３ インデックスマッチング液 ４ レーザー干渉計 ５ ワーク載置台 ５ａ 載置面 ６ 放出孔 ７ ストッパ ８ 液体収納溝 １０ ワーク表面検査装置 １１ フィルタ １２ ポンプ
Claims (4)
- 【請求項１】ワークをインデックスマッチング液を介し
て載置する黒色載置面を有するワーク載置台と、 ワーク載置台の上方に設けられ、ワークに対して光りを
照射してワークからの反射光によりワーク表面の平坦度
を検出する干渉計とを備え、 ワーク載置台の載置面に複数の放出孔を設け、この放出
孔に、インデックスマッチング液を供給する液体供給装
置を接続したことを特徴とするワーク表面検査装置。 - 【請求項２】液体供給装置は、インデックスマッチング
液を供給するポンプを有することを特徴とする請求項１
記載のワーク表面検査装置。 - 【請求項３】ワーク載置台の載置面周縁に液体収納溝が
設けられ、この液体収納溝はポンプの入側にフィルタを
介して接続されていることを特徴とする請求項２記載の
ワーク表面検査装置。 - 【請求項４】ワーク載置台上に、ワークの水平方向移動
を規制するストッパを設けたことを特徴とする請求項１
記載のワーク表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000093556A JP4222709B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | ワーク表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000093556A JP4222709B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | ワーク表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001280940A true JP2001280940A (ja) | 2001-10-10 |
| JP4222709B2 JP4222709B2 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=18608723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000093556A Expired - Fee Related JP4222709B2 (ja) | 2000-03-30 | 2000-03-30 | ワーク表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4222709B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005140726A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Omron Corp | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 |
| JP2010008173A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
| JP2010008169A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
| JP2020173141A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法 |
-
2000
- 2000-03-30 JP JP2000093556A patent/JP4222709B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005140726A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Omron Corp | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 |
| JP2010008173A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
| JP2010008169A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
| JP2020173141A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法 |
| JP7254422B2 (ja) | 2019-04-09 | 2023-04-10 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4222709B2 (ja) | 2009-02-12 |
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