JP2000055823A

JP2000055823A - 外観検査装置

Info

Publication number: JP2000055823A
Application number: JP10228158A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Shimodaira; 章浩下平
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1998-08-12
Filing date: 1998-08-12
Publication date: 2000-02-25

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、常に最適な調光状態で試料観察を
行なうことができる調光機能を有する外観検査装置を提
供する。【解決手段】ランプハウス６の光により照明されるス
テージ４上の基板５より観察光路に入射される光量を受
光素子７で受光し、制御装置８により調光手段１３を介
してランプハウス６内部のランプの明るさを最適照度に
調光するもので、操作指示部９で対物レンズ切換えボタ
ン、観察方式切換えボタン、基板交換ボタンのいずれか
が操作されると、これら対物レンズ切換え、観察方式切
換え、基板交換のそれぞれの動作が完了するまでは、調
光手段１３によるランプハウス６のランプの調光動作を
中止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハや液
晶基板などの外観検査に用いられる外観検査装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体ウェハや液晶基板などの製
造工程において、パターンの欠陥検査を始め、ごみや傷
などの解析には、これら検査試料面を拡大観察する顕微
鏡を装備した外観検査装置が用いられている。

【０００３】ところで、このような外観検査装置に装備
される顕微鏡では、外観検査により観察光路やＴＶカメ
ラの写真光路などに入射される光量を光センサやＴＶカ
メラに内蔵された受光素子でモニタし、連続可変可能な
ＮＤフィルタや照明ランプ電圧を操作して適正と定めら
れた明るさになるような調光を行なう調光装置が用いら
れている。

【０００４】そして、このような調光装置の調光動作に
ついては、例えば、特開平５−３４１１９７号公報に開
示されるように観察光路の対物レンズの切換に応じて照
明光学系の状態が最良になるように自動的に切換えるよ
うにしたものが考えられている。

【０００５】しかし、最近、半導体ウェハや液晶基板な
どの検査試料の、ますます大型化の傾向とともに、観察
箇所の複雑化の傾向のなかで、これら大きな検査試料
で、観察箇所により明るさが大きく異なるようなものを
観察しようとすると、観察箇所ごとに最適な明るさをマ
ニュアルで調整しなければならなかったり、複数の反射
率の異なる試料を観察したい場合は、その都度調光値を
設定し直さなければならず、そのための手間が面倒にな
るという問題があった。

【０００６】そこで、従来、対物レンズを通じて観察光
路や写真光路に入射される光線を検知し、この光線に応
じて適正光量が得られるようにＮＤフィルタを動作さ
せ、透過率を調整するようにした連続的調光を可能にし
たものも考えられている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
したものは、観察光路の倍率を切換えるため、レボルバ
に装着された対物レンズを回転させると、光路上に位置
する対物レンズが次の対物レンズに切換わるまでの間、
全ての対物レンズが光路上から外れ、視野内が一旦遮光
されるため、この状態に自動調光が反応し、ＮＤフィル
タが視野を明るくするように透過率を大きくする方向に
誤動作されるという問題があった。

【０００８】つまり、このように連続的に調光を行なう
調光装置を有するものは、最適な試料観察を行なうた
め、対物レンズなどの光学素子を切換える際も、光路上
の明るさが検知されてＮＤフィルタが動作されるため、
不必要な調光動作が行なわれることになり、また、対物
レンズの切換の際には、光路の一時の遮光によりＮＤフ
ィルタの透過率が最大になり、その後、光路に対物レン
ズが挿入された瞬間から過度に明るい光が光路に入射さ
れるようになるため、この時の急激な光の変化により観
察者に不要な不快感を与えるとともに、写真光路でのＴ
Ｖカメラの受光素子の劣化を招くという問題もあった。

【０００９】また、このようなことは、対物レンズの切
換えに限らず、観察方式を切換える場合も、同様な問題
を生じていた。本発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、常に最適な調光状態で試料観察を行なうことがで
きる調光機能を有する外観検査装置を提供することを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
光源の光により照明される検査試料より観察光路に入射
される光量をモニタし、前記光源による照明の調光動作
を行なう調光機能を有する顕微鏡を用いた外観検査装置
において、前記調光機能に対する動作条件を設定する動
作条件設定手段と、この動作条件設定手段の設定内容に
基づいて前記光源による照明の調光動作を中止させる制
御手段とにより構成している。

【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記動作条件設定手段は、前記顕微鏡の対
物レンズの切換え動作、観察方式の切換え動作および前
記検査試料の交換動作の少なくともひとつを設定してい
る。

【００１２】請求項３記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記動作条件設定手段は、所定の照度値範
囲を設定し、前記制御手段は、前記観察光路に入射され
る光が前記照度範囲を外れたとき前記光源による照明の
調光動作を中止させる。

【００１３】請求項１記載の発明によれば、光源による
照明の調光動作が不必要に行なわれるのを防止すること
ができる。請求項２記載の発明によれば、顕微鏡の対物
レンズの切換え動作、観察方式の切換え動作および前記
検査試料の交換動作などのように調光動作が不要な際
に、これら動作が完了するまで調光動作を中止すること
ができる。請求項３記載の発明によれば、検査試料上で
存在しない条件での調光動作が不必要に行なわれるのを
防止することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。（第１の実施の形態）図1 は、本発明が適用される外観
検査装置の概略構成を示すものである。図において、１
は透過照明系を適用した顕微鏡本体で、この顕微鏡本体
1 には、倍率の異なる複数の対物レンズ２を装着した回
転式レボルバ３を設けていて、この回転式レボルバ３の
回転により観察光路上の対物レンズ２を切換え可能にし
ている。

【００１５】顕微鏡本体1 には、対物レンズ２下方にス
テージ４を設けている。このステージ４は、検査試料で
ある基板５を載置するもので、この基板５をＸ−Ｙ方向
に移動可能にしている。

【００１６】顕微鏡本体１の基端部にランプハウス６を
設けている。このランプハウス６は、観察用の照明光を
出射するもので、図示しない照明光路を介してステージ
４上の基板５を透過照明するようにしている。そして、
基板５上の観察箇所の透過照明の明るさに応じた光量を
対物レンズ２より図示しない観察光路を介して受光素子
７で受光するようにしている。

【００１７】受光素子７には、制御装置８を接続してい
る。制御装置８には、操作指示部９、レボ穴検出部１
０、観察方式切換え検出部１１、基板検出部１２を接続
している。ここで、操作指示部９は、明るさのデータ設
定、検査スタート、レボルバ切換え、観察方式の切換え
などを指示するものである。レボ穴検出部１０は、回転
式レボルバ３のレボ穴位置を検出するものである。観察
方式切換え検出部１１は、観察方式の切換えを検出する
ものである。基板検出部１２は、ステージ４上の基板５
の有無を検出するものである。そして、制御装置８は、
操作指示部９からの操作信号およびレボ穴検出部１０、
観察方式切換え検出部１１、基板検出部１２からの各検
出信号が入力され、これら操作信号および検査信号に基
づいて、回転式レボルバ３の回転制御、ステージ４の移
動制御および調光手段１３への制御指令を出力するよう
にしている。この調光手段１３は、ランプハウス６内部
のランプの明るさを最適照度に調光するためのものであ
る。

【００１８】図２は、制御装置８の概略構成を示すもの
で、上述した操作指示部９からの操作信号およびレボ穴
検出部１０、観察方式切換え検出部１１、基板検出部１
２からの各検出信号をデジタル入力回路８０１で受け取
り、制御回路８０２に入力するとともに、受光素子７か
らの検出信号をアナログ入力回路８０３で受け取り、Ａ
／Ｄコンバータ８０４でデジタル信号に変換して制御回
路８０２に入力するようにしている。

【００１９】制御回路８０２には、記憶回路８０５、比
較演算回路８０６、駆動回路８０７および上述した調光
手段１３を接続している。記憶回路８０５は、操作指示
部９により予め設定される後述するような明るさデータ
を記憶するものである。比較演算回路８０６は、アナロ
グ入力回路８０３、Ａ／Ｄコンバータ８０４を介して入
力される受光素子７の検出信号と記憶回路８０５に記憶
された明るさデータを比較するものである。そして、制
御回路８０２は、比較演算回路８０６での比較結果に基
づいて調光手段１３に制御信号を与えるとともに、操作
指示部９からの操作信号に基づいて回転式レボルバ３お
よびステージ４を駆動する駆動回路８０７に制御信号を
与えるようにしている。

【００２０】この場合、調光手段１３は、図３に示すよ
うに電圧可変回路１３０１とＮＤフィルタ駆動部１３０
２を有しており、例えば、図４に示すように受光素子７
の検出信号が記憶回路８０５に記憶される第１の明るさ
データＬ１（＝９Ｖ）に達するまでは、電圧可変回路１
３０１の出力によりランプハウス６内部のランプ６１の
明るさを調光し、明るさデータＬ１に達すると、今度は
電圧を一定にしたままでＮＤフィルタ駆動部１３０２の
出力によりＤＣモータ１３０３を駆動し、図示しない照
明光路のＮＤフィルタ１３０４の透過率を制御して調光
を行ない、ＮＤフィルタ１３０４の透過率が最大になっ
たところで、ＮＤフィルタ１３０４の位置を一定にした
ままで、さらに電圧可変回路１３０１の出力によりラン
プハウス６内部のランプ６１の明るさを第２の明るさデ
ータＬ２（＝１２Ｖ）に達するまで調光するようになっ
ている。

【００２１】図５は、操作指示部９の概略構成を示すも
ので、ここでは、対物レンズ切換えボタン９０１、９０
２、観察方式切換えボタン９０３、照明電源ボタン９０
４、明るさ切換えボタン９０５、９０６、明るさ設定ボ
タン９０７、検査開始ボタン９０８、検査終了ボタン９
０９、基板交換ボタン９１０、基板交換終了ボタン９１
１などを有している。

【００２２】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。まず、顕微鏡本体１のステージ４上に基
板５を載置し、図示しない装置電源を投入し、次いで、
操作指示部９の照明電源ボタン９０４をオンにするとと
もに、対物レンズ２を介して観察光路により基板５面の
ピントを合わせる。

【００２３】この状態から、明るさ切換えボタン９０
５、９０６を操作して透過照明の明るさを調整しなが
ら、所望する明るさ時点で明るさ設定ボタン９０７を押
操作し、この時の受光素子７の検出信号を明るさデータ
として記憶回路８０５に記憶させる。この場合、上述し
たように、記憶回路８０５には、第１の明るさデータＬ
１（＝９Ｖ）と第２の明るさデータＬ２（＝１２Ｖ）を
記憶させるものとする。

【００２４】なお、明るさデータが設定されない場合
は、予め記憶回路８０５に設定されているデータが用い
られる。また、明るさデータの設定操作は、１回操作す
ればよく、さらに、この設定データは、電源が遮断され
ても記憶回路８０５に記憶されている。

【００２５】次に、実際の外観検査について説明する。
この場合、操作指示部９の検査開始ボタン９０８を押す
と、図６に示すフローチャートが実行される。まず、ス
テップ６０１で、ステージ４上に基板５が載置されてい
るかを基板検出部１２の検出信号から判断し、基板５が
載置されていなければ、検査を終了し、基板５が載置さ
れていれば、ステップ６０２で、調光動作開始を指示す
る。

【００２６】この調光動作の開始指示とともに、ステッ
プ６０３で、操作指示部９の対物レンズ切換えボタン９
０１、９０２、ステップ６０４で、観察方式切換えボタ
ン９０３、ステップ６０５で、基板交換ボタン９１０が
それぞれ操作されたかが判断する。ここで、いずれも操
作がなされていなければ、さらにステップ６０６で、検
査終了ボタン９０９が操作されたかを判断し、ここでも
操作されていなければ、ステップ６０７に進み、調光動
作を開始する。

【００２７】この場合の調光動作は、受光素子７の検出
信号が、図４に示す第１の明るさデータＬ１（＝９Ｖ）
に達するまでは、図３に示す調光手段１３の電圧可変回
路１３０１の出力によりランプハウス６内部のランプ６
１の明るさを調光し、明るさデータＬ１に達すると、今
度は電圧を一定にしたままでＮＤフィルタ駆動部１３０
２の出力によりＤＣモータ１３０３を駆動し、図示しな
い照明光路のＮＤフィルタ１３０４の透過率を制御して
調光を行ない、さらに、ＮＤフィルタ１３０４の透過率
が最大になると、ＮＤフィルタ１３０４の位置を一定に
したままで、電圧可変回路１３０１の出力によりランプ
ハウス６内部のランプ６１の明るさを第２の明るさデー
タＬ２（＝１２Ｖ）に達するまで調光するようになる。

【００２８】一方、ステップ６０２による調光動作の開
始指示の後、ステップ６０３で、操作指示部９の対物レ
ンズ切換えボタン９０１、９０２の操作があると、ステ
ップ６０８で、調光動作を中止し、ステップ６０９に進
む。そして、図２に示す制御装置８の制御回路８０２に
より駆動回路８０７を介して回転式レボルバ３を駆動さ
せ、レボ穴検出部１０の検出信号により対物切換えの終
了を判断すると、上述したと同様に、ステップ６０４、
６０５を介してステップ６０６に進み、ここでも検査終
了ボタン９０９が操作されていないことを判断すると、
ステップ６０７で、調光動作を開始する。

【００２９】同様に、ステップ６０２による調光動作の
開始指示の後、ステップ６０４で、操作指示部９の観察
方式切換えボタン９０３の操作があると、ステップ６１
０で、調光動作を中止し、ステップ６１１に進む。そし
て、このステップ６１１で、観察方式の切換えが実行さ
れ、観察方式切換え検出部１１の検出信号により観察方
式切換えの終了を判断すると、上述したと同様に、ステ
ップ６０５を介してステップ６０６に進み、ここでも検
査終了ボタン９０９が操作されていないことを判断する
と、ステップ６０７で、調光動作を開始する。

【００３０】さらに、ステップ６０２による調光動作の
開始指示の後、ステップ６０５で、操作指示部９の基板
交換ボタン９１０の操作があると、ステップ６１２で、
調光動作を中止し、ステップ６１３に進む。そして、こ
のステップ６１３で、基板交換が実行され、基板検出部
１２の検出信号により基板交換の終了を判断すると、ス
テップ６０６に進み、ここでも上述したと同様に、検査
終了ボタン９０９が操作されていないことを判断する
と、ステップ６０７で、調光動作を開始する。

【００３１】その後、ステップ６０６で、検査終了ボタ
ン９０９が操作されると、ステップ６１４に進み、調光
動作を中止して処理を終了する。従って、このようにす
れば、顕微鏡の対物レンズ２の切換え動作、観察方式の
切換え動作および基板５の交換動作などのように調光動
作が不要な場合に、調光手段１３によるランプハウス６
のランプ６１やＮＤフィルタ１３０４に対する調光動作
を中止することがきるので、常に最適な調光状態で試料
観察を行なうことができる。また、観察光路での急激な
光の変化を防止できるので、観察者に不要な不快感を与
えるような要因も回避できる。さらに、調光手段１３に
無駄な調光動作を行なわせないので、調光手段１３の耐
久性を向上することもできる。

【００３２】なお、この第１の実施の形態では、調光手
段１３でのＮＤフィルタ１３０４をＤＣモータ１３０３
により駆動したが、ＤＣモータ１３０３に代えて、ステ
ッピングモータを用いてもよい。また、上述では、透過
照明系の顕微鏡で説明したが、落射照明系の顕微鏡にも
適用できる。また、明るさデータＬ１（＝９Ｖ）、Ｌ２
（＝１２Ｖ）は、それぞれ９Ｖ、１２Ｖに限ったもので
なく、そのシステムに適した値であればよい。（第２の実施の形態）図７は、本発明の第２の実施の形
態の概略構成を示すもので、図１と同一部分には同符号
を付している。

【００３３】この場合、回転式レボルバ３のレボ穴位置
を検出するレボ穴検出部１０、観察方式の切換えを検出
する観察方式切換え検出部１１を削除し、図４に示した
操作指示部９は、図８に示すように対物レンズ切換えボ
タン９０１、９０２、観察方式切換えボタン９０３を削
除し、これらに代わって照度設定ボタン９１２、９１３
を設けている。ここでの照度設定ボタン９１２は、最適
照度値より明るい照度値を設定するもので、照度設定ボ
タン９１３は、最適照度値より暗い照度値を設定するも
のである。

【００３４】この場合も、顕微鏡本体１のステージ４上
に基板５を載置し、図示しない装置電源を投入し、次い
で、操作指示部９の照明電源ボタン９０４をオンにする
とともに、対物レンズ２を介して観察光路により基板５
面のピントを合わせる。

【００３５】この状態から、明るさ切換えボタン９０
５、９０６を操作して透過照明の明るさを調整しなが
ら、所望する明るさ時点で明るさ設定ボタン９０７を押
操作することにより、上述したと同様に第１の明るさデ
ータＬ１（＝９Ｖ）と第２の明るさデータＬ２（＝１２
Ｖ）を記憶回路８０５に記憶させる。

【００３６】さらに、基板５上で最も明るい箇所を見つ
け、照度設定ボタン９１２を操作して、最大明るさデー
タとして記憶回路８０５に記憶させ、同様にして、例え
ば、基板５端部とステージ４が半々に見えるような最も
暗い箇所を見つけ、照度設定ボタン９１３を操作して、
最小明るさデータとして記憶回路８０５に記憶させる。

【００３７】次に、実際の外観検査について説明する。
この場合も操作指示部９の検査開始ボタン９０８を押す
と、図９に示すフローチャートが実行される。まず、ス
テップ１００１で、ステージ４上に基板５が載置されて
いるかを基板検出部１２の検出信号から判断し、基板５
が載置されていなければ、検査を終了し、基板５が載置
されていれば、ステップ１００２で、調光動作開始を指
示する。

【００３８】この調光動作の開始指示とともに、ステッ
プ１００３で、記憶回路８０５に記憶された最大および
最小明るさデータの範囲にあるかを判断し、これらの明
るさデータの範囲になければ、ステップ１００４に進
み、調光動作を中止する。その後、ステップ１００３
で、最大および最小明るさデータの範囲にあると判断す
ると、ステップ１００５で、基板交換ボタン９１０が操
作されたかが判断する。ここで、操作がなされていなけ
れば、さらにステップ１００６で、検査終了ボタン９０
９が操作されたかを判断し、ここでも操作されていなけ
れば、ステップ１００７に進み、第１の実施の形態で述
べた調光動作を開始する。

【００３９】一方、ステップ１００３で、最大および最
小明るさデータの範囲にあるとの判断の後、ステップ１
００５で、操作指示部９の基板交換ボタン９１０の操作
があると、ステップ１００８で、調光動作を中止し、ス
テップ１００９に進む。そして、このステップ１００９
で、基板交換が実行され、基板検出部１２の検出信号に
より基板交換の終了を判断すると、ステップ１００６に
進み、このステップ１００６で、検査終了ボタン９０９
が操作されていないことを判断すると、ステップ１００
７で、調光動作を開始する。

【００４０】その後、ステップ１００６で、検査終了ボ
タン９０９が操作されると、ステップ１０１０に進み、
調光動作を中止して処理を終了する。従って、このよう
にしても上述した第１の実施の形態と同様な効果を期待
できる。また、基板５上で存在する明るさデータの範囲
に基づいて調光動作を行なうので、基板５上に存在しな
い条件下の調光動作が不必要に行なわれるのを防止する
ことができる。さらに、レボ穴検出部１０や観察方式切
換え検出部１１を削除できるので、構成的に簡単にでき
るので、価格的に安価にできる。（第３の実施の形態）この第３の実施の形態では、外観
検査装置の概略構成については、上述した図１と同様な
ので、同図を援用するものとする。また、図４に示した
操作指示部９は、図１０に示すように、さらに観察対象
指定ボタン９１４〜９１８を設けている。

【００４１】この場合、顕微鏡本体１のステージ４上に
基板５を載置し、図示しない装置電源を投入し、次い
で、観察対象指定ボタン９１４〜９１８を順番に操作し
ながら上述した第１の実施の形態と同様な操作を繰り返
し、観察対象指定ボタン９１４〜９１８に対応した観察
対象ごとに明るさデータを設定し、記憶回路８０５に記
憶させる。

【００４２】その後、実際の外観観察において、観察対
象指定ボタン９１４〜９１８を操作すると、これら観察
対象指定ボタン９１４〜９１８に対応する観察対象ごと
の明るさデータが記憶回路８０５より制御回路８０２に
読み出され、上述した第１の実施の形態と同様な動作が
実行される。

【００４３】従って、このようにしても上述した第１の
実施の形態と同様な効果を期待でき、さらに、基板５の
種類ごとに明るさデータを設定できるので、基板５の種
類が代わるごとに明るさデータを設定し直すことがなく
なり、迅速に最適な観察状態を設定することができる。

【００４４】この第３の実施の形態では、５個の観察対
象指定ボタン９１４〜９１８似ついて述べたが、これら
ボタンの数は、任意に設定できる。なお、上述した第１
乃至第３の実施の形態では、ステージ４を電動で移動し
たが、手動により移動するものにも適用できる。また、
制御装置８をパソコン、操作指示部９をパソコンのキー
ボードあるいはタッチパネル付のモニターおよび記憶回
路８０５をハードディスクなどで構成すれば、さらに観
察対象を大規模に扱うことができる。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、光
源による照明の調光動作が不必要に行なわれるのを防止
できるので、常に最適な調光状態で試料観察を行なうこ
とができるとともに、観察者に不要な不快感を与えるよ
うな要因も回避でき、さらに、無駄な調光動作を行なわ
ないことから、調光駆動手段の耐久性を向上することも
できる。

【００４６】また、顕微鏡の対物レンズの切換え動作、
観察方式の切換え動作および前記検査試料の交換動作な
どのように調光動作が不要な際に、これらの動作が完了
するまで調光動作を中止することができる。

【００４７】さらに、検査試料上で存在しない条件での
調光動作が不必要に行なわれるのを防止することができ
るので、常に最適な調光状態で試料観察を行なうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態に用いられる制御装置の概略
構成を示す図。

【図３】第１の実施の形態に用いられる調光手段の概略
構成を示す図。

【図４】調光手段を説明するための図。

【図５】第１の実施の形態に用いられる操作指示部の概
略構成を示す図。

【図６】第１の実施の形態の動作を説明するためのフロ
ーチャート。

【図７】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図８】第２の実施の形態に用いられる操作指示部の概
略構成を示す図。

【図９】第２の実施の形態の動作を説明するためのフロ
ーチャート。

【図１０】本発明の第３の実施の形態に用いられる操作
指示部の概略構成を示す図。

【符号の説明】

1 …顕微鏡本体２…対物レンズ３…回転式レボルバ４…ステージ５…基板６…ランプハウス６１…ランプ７…受光素子８…制御装置９…操作指示部１０…レボ穴検出部１１…観察方式切換え検出部１２…基板検出部１３…調光手段１３０１…電圧可変回路１３０２…ＮＤフィルタ駆動部１３０３…ＤＣモータ１３０４…ＮＤフィルタ８０１…デジタル入力回路８０２…制御回路８０３…アナログ入力回路８０４…Ａ／Ｄコンバータ８０５…記憶回路８０６…比較演算回路８０７…駆動回路９０１．９０２…対物レンズ切換えボタン９０３…観察方式切換えボタン９０４…照明電源ボタン９０５．９０６…明るさ切換えボタン９０７…明るさ設定ボタン９０８…検査開始ボタン９０９…検査終了ボタン９１０…基板交換ボタン９１１…基板交換終了ボタン９１２．９１３…照度設定ボタン９１４〜９１８…観察対象指定ボタン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源の光により照明される検査試料より
観察光路に入射される光量をモニタし、前記光源による
照明の調光動作を行なう調光機能を有する顕微鏡を用い
た外観検査装置において、前記調光機能に対する動作条件を設定する動作条件設定
手段と、この動作条件設定手段の設定内容に基づいて前記光源に
よる照明の調光動作を中止させる制御手段とを具備した
ことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】前記動作条件設定手段は、前記顕微鏡の
対物レンズの切換え動作、観察方式の切換え動作および
前記検査試料の交換動作の少なくともひとつを設定する
ことを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】前記動作条件設定手段は、所定の照度値
範囲を設定し、前記制御手段は、前記観察光路に入射さ
れる光が前記照度範囲を外れたとき前記光源による照明
の調光動作を中止させることを特徴とする請求項１記載
の外観検査装置。