JPS63133115A - 光学顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学顕微鏡に関するものである。

〔従来の技術〕

光学顕微鏡における検鏡法は、明視野観察、暗視野観察
、螢光観察、偏光観察、微分干渉観察など多くの種類が
ある。例えば、ＩＣウェハの検査では、明視野観察また
は暗視野観察によってパターンの検査をし、螢光観察に
よってレジストやゴミの有無の検査をし、微分干渉観察
または偏光観察によって結晶等を検査する場合がある。

すなわち、ＩＣウェハの製造工程において、異なった検
鏡法が必要となる。しかしながら、このような異なった
検鏡性毎に単機能の顕微鏡を交換して用いると不便であ
る。従って、一台の顕微鏡で種々の検鏡法が選択できる
顕微鏡を用いることが好ましい。

〔本発明が解決しようとする問題点〕

ところが、一台の顕微鏡で種々の検鏡法が選択できる従
来の顕微鏡では、これらの検鏡法の切換を行なうとき、
種々の光学部材の交換を手動で行っていたため、手間が
かかり、必ずしも操作性の良いものではない欠点があっ
た。

本発明は前記欠点を解決し、容易に各種検鏡法を選択で
きる光学顕微鏡を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するために、第１図〜第２図に
示した実施例の各部材を対応させて説明すると、 各種光学部材（４ｂ〜４ｅ、５．８．１２ｂ〜１２ｆ、
１４ａ〜１４ｃ、１８〜２１．２４〜２６）を光路中に
挿脱することによって異なる検鏡法を選択しうるように
なした光学顕微鏡に於いて、前記各種光学部材（４ｂ〜
４ｅ、５．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４Ｃ１１８
〜２１．２４〜２６）を電気的に挿脱させる挿脱手段（
１５〜１７．２２．２３．２７〜２９．４８〜５３）と
；前記検鏡法に対応した前記各種光学部材（４ｂ〜４ｅ
、５．８．１２ｂ〜１２ｆ１１４ａ〜１４Ｃ１１８〜２
Ｌ２４〜２６）の挿脱状態を記憶する記憶手段（５４）
と； 前記検鏡法の一つを指令する操作部材（６０ａ〜６０ｙ
）を有し、該操作部材（６０ａ〜６０ｙ）の操作により
、指令された検鏡法に対応した指令信号を出力する指令
手段（６０）と； 該指令手段（６０）による指令信号に応答して前記指令
された検鏡法に対応する前記各種光学部材（４ｂ〜４ｅ
、５．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜ｉ４ｃ、１８〜２
１．２４〜２６）の挿脱状態を前記記憶手段（５４）か
ら読み出し、前記挿脱手段（１５〜１７．２２．２３．
２７〜２９．４８〜５３）に前記各種光学部材（４ｂ〜
４ｅ、５．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４Ｃ１１８
〜２Ｌ　２４〜２６）の挿脱を制御する信号を出力する
挿脱制御手段（５５）と； を備えたことを技術的要件としている。

〔作用〕

操作部材（６０ａ〜６０ｙ）の操作によって、前記挿脱
制御手段（５５）は前記各種光学部材（４ｂ〜４ｅ、５
．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４ｃ、１８〜２Ｌ２
４〜２６）の挿脱を制御する信号を前記挿脱手段（１５
〜１７．２２．２３．２７〜２９．４８〜５３）に出力
するので、前記挿脱手段（１５〜１７．２２．２３．２
７〜２９．４８〜５３）は指令された検鏡法を自動的に
構成するように、それぞれの光学部材（４ｂ〜４ｅ、５
．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４Ｃ１１８〜２１．
２４〜２６）の挿脱を制御することができる。

〔実施例〕

本発明の実施例を第１図および第２図に基づいて説明す
る。

第１図は顕微鏡内部の光学図である。落射照明用ランプ
１から被検物体２までの間には集光レンズ３、フィルタ
ターレット４、開口絞り部材５、ＮＤラフイルター円板
６．７、視野絞り部材８、第１検板９、第２検板１０、
照明切換部１１、プリズムターレット１２、レボルバ−
１３が順次配設されている。

集光レンズ３を介して落射照明用ランプ１の近くには、
光路中にフィルターを挿脱するためのフィルターターレ
ット４が配置されている。ターレット４には５つの孔が
穿設されており、１つの孔４ａは中空のままであり、残
りの孔には種類の異なるフィルター４ｂ〜４ｅがそれぞ
れ取り付けられている。モータ１５がターレット４を回
転することにより、中空孔４ａ、フィルター４ｂ〜４ｅ
が択一的に光路中に挿脱される。中空孔４ａ、フィルタ
ー４ｂ〜４ｅのうちいずれが光路中にあるかは、不図示
の光電検出器等により検出する。すなわち、例えばモー
タ１５の回転軸に、中空孔４ａ１フイルター４ｂ〜４ｅ
に対応した３ビツトの検出パターンを有する円板（不図
示）を固定し、この検出パターンを３ビツトの光電検出
器で検出すれば良い。開口絞り部材５と視野絞り部材８
とは、それぞれ絞り羽根５ａ、８ａと絞り環５ｂ、８ｂ
とを有し、モータ１６．１７がそれぞれ絞り環５ｂ、８
ｂを回転することによって絞り羽根５ａ、８ａを開閉制
御する。尚、暗視野観察のように視野絞り部材８を用い
ないとき、あるいは暗視野観察を除いた他の観察におい
て視野絞り部材８の絞りを用いる必要がないときは、絞
り部材８の絞り羽根８ａを光路から脱して絞り部材８を
全開′放するように、モータ１７が絞り環８ｂを回転す
るためにモ〜り１７の回転制御を行えば良い。第１検仮
９の上孔には偏光板１８が取りつけられており、第１検
板９の下孔にはダミー１９が取りつけられている。また
、第２検板１０の上孔には１／４波長板２０が取り付け
られており、下孔にはダミー２１が取りつけられている
。両検板９．１０の下部にはそれぞれラック９ａ、１０
ａが形成され、モータ２２．２３により回転するビニオ
ン２２ａ、２３ａがラック９ａ、１０ａと歯合するため
にモータ２２．２３が回転すると、両検板９．１０は上
下移動する。従って、偏光観察のときには、第１検板９
と第２検板１０とをそれぞれ下方に移動して偏光板１８
と１／４波長板２０とを光路中に挿入するように、また
は第１検板９を下方に、第２横板１０を上方にそれぞれ
移動して偏光板１８とダミー２１とを光路中に挿入する
ようにモータ２２．２３を回転すれば良い。偏光観察以
外の観察のときは、両検板９．１０をそれぞれ上方に移
動して両ダミー１９．２１を光路中に挿入するようにモ
ータ２２．２３を回転すれば良い。

第１検板９、第２検板１０、がそれぞれ上方位置にある
か下方位置にあるかは、不図示のマイクロスインチ等に
よって検出することができる。ハーフミラ−２４は階段
形枠体として形成された照明切換部１１の内部下段に配
設されており、明視野観察、偏光観察、微分干渉観察の
ときに光路中に入れて用いられる。照明切換部１１の内
部中段には暗視野観察用のリングミラー２５が、また上
段にはハーフミラ−２６ａと２枚のフィルター２６ｂ、
２６ｃとからなる螢光観察用フィルターブロック２６が
それぞれ配設されている。照明切換部１１の下方の突起
部１１ａにラック１１ｂが形成され、モータ２７のピニ
オン２７ａがラック１１ｂと歯合するために、モータ２
７が回転すると照明切換部１１が不図示の案内に沿って
斜め方向に移動する。このために光路には前記ミラー２
４．２５、フィルターブロック２６が択一的に挿脱され
る。プリズムターレット１２には、６つの孔が穿設され
、１個の孔１２ａは中空のままであり、残りの孔にはそ
れぞれ異なった種類のノマルスキープリズム１２ｂ〜１
２ｆが取り付けられている。

モータ２８がターレット１２を回転することにより、中
空孔１２ａ、ノマルスキープリズム１２ｂ〜１２ｆが択
一的に光路中に挿脱される。いずれが光路中にあるかは
フィルターターレット４の場合と同じように識別すれば
良い。レボルバ−１３の対物レンズ取付穴には、倍率が
異なる３つの対物レンズ１４ａ〜１４Ｃが取りつけられ
ている。

レボルバ−１３の上面の周辺には歯形が形成され、この
歯形がモータ２９により回転されるウオームギヤ２９ａ
に歯合しており、その結果、モータ２９が回転するとレ
ボルバ−１３が回転して対物レンズ１４ａ〜１４ｃのう
ちの一つが光路中に挿入される。いずれの対物レンズ１
４ａ〜１４ｃが光路中に挿入されているかは、例えばレ
ボルバ−１３の外周面に各対物レンズ取（１に対応させ
て埋め込んだ２ビツトの磁石を装置本体の２ビツトの磁
気検出器により検出するようになせばよい。すなわち、
２ビツトの磁気検出器は光路中にある取付孔に対応した
２ビット識別信号を出力する。

ＮＤフィルター専用円板６．７にはそれぞれ孔が穿設さ
れ、名札には円周方向へ濃度勾配を持ったＮＤフィルタ
ー６ａ、７ａが、濃度勾配がそれぞれ逆方向になるよう
に取りつけられている。円板６．７を逆方向へ回転する
モータ３０．３１は自動調光回路３２と接続されている
。自動調光回路３２には手動／自動の切換用スイッチ３
３と光電変換素子３４とが接続されている。照明切換部
１１の上方にはハーフミラ−３５が設けられ、ハーフミ
ラ−３５を透過した光束ば反射ミラー３６で反射したあ
と、接眼レンズ３７に入射する。ハーフミラ−３５の反
射光路中には反射ミラー３８、集光レンズ３９、光電変
換素子３４が配置されている。

透過照明用ランプ４０と被検物体２との間には、集光レ
ンズ４１、視野絞り部材４２、開口絞り部材４３、反射
ミラー４４、コンデンサレンズ４５がそれぞれ配置され
ている。また、絞り部材４２．４３の絞り羽根４２ａ、
４３ａを開閉するためのモータ４６．４７が設けられて
いる。

第２図は前述した各種光学部材４ｂ〜４ｅ、５．８．１
２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４ｃ、１８〜２１．２４〜２
６を挿脱するための制御回路図を中心に示した概略図で
ある。この第２図において、フィルターターレット４を
回転するモータ１５はフィルター挿脱回路４８と接続さ
れている。絞り部材５．８の絞り環５ｂ、８ｂを回転す
るモータ１６．１７は絞り制御回路４９と接続されてい
る。

照明切換部１１を移動させるモータ２７は照明切換回路
５０と接続されている。プリズムターレット１２を回転
するモータ２８はプリズム挿脱回路５１と接続されいる
。レボルバ−１３を回転するモータ２９は対物レンズ挿
脱回路５２と接続されている。各検板９．１０のそれぞ
れを上下移動するモータ２２．２３は検板駆動回路５３
と接続されている。各モータ１５〜１７．２２．２３．
２７〜２９と各回路４８〜５３とは、それぞれの光学部
材４ｂ〜４ｅ、５．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４
Ｃ１１８〜２１．２４〜２６を電気的に光路中に挿脱す
るために挿脱手段を構成しており、その挿脱手段１５〜
１７．２２．２３．２７〜２９．４８〜５３の各回路４
８〜５３は、挿脱制御手段として用いるマイクロコンピ
ュータ５５に接続されている。記憶回路５４は、各種検
鏡法に対応した各種光学部材４ｂ〜４ｅ、５．８．１２
ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４ｃ、１８〜２１．２４〜２６
の挿脱状態を記ｔｏシ、マイクロコンピュータ５５は挿
脱手段１５〜１７．２２．２３．２７〜２８．４８〜５
３の各回路４８〜５３に各種光学部材４ｂ〜４ｅ、５．
８．１２ｂ〜１２ｆ、１４ａ〜１４Ｃ１１８〜２１．２
４〜２６を挿脱させる指令信号を出力する。尚、各部材
４８〜５５は顕微鏡本体の内部に配設されている。

落射照明用ランプ１に接続される接続端子５６ａと、透
過照明用ランプ４０に接続される接続端子５６ｂと、端
子５６ａ、５６ｂのいずれかに接続するスイッ、チ切片
５７とは接続手段を構成し、図ではスィッチ５７切片は
端子５６ａに接続している。切換装置５８のスイッチ５
８ａの操作により、ランプ電圧調整回路５９を照明用ラ
ンプ１．４０のいずれかに接続させることができる。ラ
ンプ電圧調整回路５９はマイクロコンピュータ５５と接
続されている。次にキーボード６０について以下詳述す
る。

キーボード６０は各種検鏡法の−っを指令するための指
令手段として用いられ、このキーボード６０には各種検
鏡法の選択用キー６０８〜６０ｅと指令用キー６Ｑｆと
が配設されている。また、視野絞り部材８の視野数、開
口絞り部材５の開口数、対物レンズ１４ａ〜１４Ｃの倍
率、照明ランプ１．４０の電圧等の値を設定するために
、キーボード６０には視野数設定キー６０ｇ、開口数設
定キー６０ｈ、倍率設定キー６０ｉ、ランプ電圧設定キ
ー６０ｊ、数値設定キー６０ｋ、６０１が設けられてい
る。また、微分干渉観察を選択するとき、各対物レンズ
１４ａ〜１４Ｃに対応したノマルスキープリズム１２ｂ
〜１２ｆを組み合わせる必要があるので、キーボード６
０に数個の対物レンズ選択キー６０ｍ、６０ｎ、６０ｐ
と数個のノマルスキーレンズ選択キー６０ｑ〜６０ｕと
が配置されている。さらに、前記各観察によって被検物
体２を観察している最中に、光路中に挿入されている各
種光学部材４ｂ〜４ｅ、５．８．１２ｂ〜１２ｆ、１４
ａ〜１４Ｃ１１８〜２１．２４〜２６を、それと同種で
ある光学部材に切り換える必要があったときに備えて、
キーボード６０にフィルター切換用キー６０Ｖ、プリズ
ム切換用キー６０Ｗ、対物レンズ切換用キー６０Ｘ、波
長板／ダミー切換用キー６０ｙが配置されている。

今度は各種検鏡法を選択するときの動作を説明する。ま
ず、レボルバ−１３の各取付孔にどのような倍率の対物
レンズがとりつけられているかを、その開口数と共に倍
率設定キー６０ｉ等を押してキーボード６０から入力し
、記憶回路５４に記憶　　　”させる。

さて、明視野観察を行なうためには、まず明視野観察用
キー６０ａを押し、引き続いて視野数設定キー６０ｇを
押し、次いで数値設定キー６０ｋ、６０１を押す。さら
に開口数用キー６０ｈを押し、次いで数値設定キー６０
ｋ、６０１を押す。また、ランプ電圧設定キー６０ｊを
押し、次いで数値設定キー６０ｋ、６０１を押す。その
後、指令用キー６０ｆを押すことによって、各設定値が
記憶回路５４に記憶されると共にマイクロコンピュータ
５５は記憶回路５４に記憶されている各光学部材の挿脱
状態を読み出し、挿脱制御指令を行なう。

その結果、ハーフミラ−２４が光路中に挿入され、ダミ
ー１９．２１が光路中に挿入され、フィルターターレッ
ト４のフィルター４ｂ、プリズムターレット１２のプリ
ズム１２ｂが光路中に挿入される。また、設定された視
野数、開口数になるように、絞り羽根５ａ、８ａが開閉
制御される。さらに、照明ランプ１の電圧がランプ電圧
調整回路５９によってランプ電圧の設定値に応じて調整
される。以上のように、各種光学部材が明視野観察用に
挿脱制御されて、明視野観察の初期設定が行われる。そ
して、明視野観察の最中に、例えばキーボード６０の対
物レンズ切換用キー６Ｑｘを押すと、キーボード６０は
対物レンズ切換信号をマイクロコンピュータ５５に出力
し、マイクロコンピュータ５５は切換信号に応答して対
物レンズ切換回路５２に切換の指令信号を出力する。こ
れによって、対物レンズ切換回路５２は光路中の対物レ
ンズ１４ａを別の対物レンズ１４ｂ（または１４Ｃ）に
切り換えるための指令信号をモータ２９に出力する。従
って、モータ２９の回転によってレボルバ−１３が回転
して別の対物レンズ１４ｂに切り換えられる。フィルタ
ー４ｂ〜４ｅの切り換えは、フィルター切換用キー６０
Ｖを押すことによって行なう。また、視野絞り羽根８ａ
は、視野数設定キー６０ｇや数値設定キー６０ｋ、６０
１、指令用キー６０ｆを順次押せば、数値設定された視
野数になるように制御される。

次に、暗視野観察を行なうためには、まず暗視野選択用
キー６０ｂを押し、引き続いてランプ電圧設定キー６０
ｊを押し、次いで数値設定キー６０ｋ、６０１を押す。

その後に指令用キー６０ｆを押すことによって、各設定
値が記憶回路５４に記憶されると共にマイクロコンピュ
ータ５５は記憶回路５４に記憶されている各種光学部材
の挿脱状態を読み出し、挿脱制御指令を行なう。その結
果、リングミラー２５が光路中に挿入され、視野絞り部
材８の絞り羽根８ａが全開し、開口絞り部材６の絞り羽
根６ａが、光路中の対物レンズに合わせて絞り込まれる
。また、ダミー１９．２１が光路中に挿入され、フィル
ターターレット４のフィルター４ｂ、プリズムターレッ
ト１２のプリズム１２ｂが光路中に挿入される。さらに
、照明ランプ１の電圧がランプ電圧調整回路５９によっ
てランプ電圧の設定値に応じて調整される。以上のよう
に、各種光学部材が暗視野観察用に挿脱制御されて、暗
視野観察の初期設定が行われる。そして、暗視野観察の
最中に、例えば対物レンズ１４ａ（１４ｂ、１４Ｃ）を
切り換えるには、明視野観察に関して前述した動作と同
様に行なう。

さらに、螢光観察を行なうためには、まず螢光観察用キ
ー６０Ｃを押し、次いでランプ電圧設定キー６０ｊ、数
値設定キー６０ｋ、６０１により所望のランプ電圧を設
定し、その後、指令用キー６０ｆを押す。これによって
、螢光観察時のランプ電圧が記憶回路５４に記憶される
と共にマイクロコンピュータ５５は記憶回路５４に記憶
されている各種光学部材の挿脱状態を読み出し、挿脱制
御指令を行なう。その結果、視野絞り部材８の絞り羽根
８ａが全開し、開口絞り部材６の絞り羽根６ａは光路中
の対物レンズに対応した所定位置まで絞り込まれる。そ
して、ダミー１９．２１が光路中に挿入され、フィルタ
ーターレット４およびプリズムターレット１２は中空孔
４ａ、１２ａが光路中に位置するように回転制御され、
さらに螢光観察用フィルターブロック２６が光路中に挿
入される。また、照明ランプ１に設定電圧が印加される
。

さらにまた、偏光観察を行なうためには、まず偏光観察
用キー６０ｄを押し、次いでランプ電圧設定キー６０３
．数値設定キー６０ｋ、６０１により所望のランプ電圧
を設定し、その後、指令用キー６０ｆを押す。これによ
って、偏光観察時のランプ電圧が記ｔａ回路５４に記憶
されると共にマイクロコンピュータ５５は記憶回路５４
に記憶されている各種光学部材の挿脱状態を読み出し、
挿脱制御指令を行なう。その結果、視野絞り部材８の絞
り羽根８ａが全開し、開口絞り部材６の絞り羽根６ａは
光路中の対物レンズに対応した所定位置まで絞り込まれ
る。そして、フィルターターレット４およびプリズムタ
ーレット１２は、中空孔４ａ、１２ａが光路中に位置す
るように回転制御され、さらに偏光板１８と１／４波長
板２０とハーフミラ−２４とが光路中に挿入される。ま
た照明ランプ１に設定電圧が印加される。そして偏光観
察の最中に、１／４波長板２０とダミー２１とを切り換
えるには、キーボード６０の１／４波長板／ダミー切換
用キー　６０ｙを押せば良い。これによってキーボード
６０は前記波長板／ダミーの切換信号をマイクロコンピ
ュータ５５に出力し、マイクロコンピュータ５５は切換
信号に応答して検板駆動回路５３に１／４波長板２０と
ダミー２１とを切り換えるための指令信号を出力する。

その結果、ダミー２１が光路中に挿入される。

さらに、微分干渉観察を行なうためには、まず微分干渉
観察用キー６０ｅを押し、ランプ電圧用キー６０ｊ、数
値設定キー６０ｋ、６０１により所望のランプ電圧を設
定し、対物レンズｉ４ａ〜１４Ｃにプリズム１２ｂ〜１
２ｆを組み合わせるために対物レンズ設定キー６０ｍ、
６０ｎ、６０ｐに１対１の対応をとってプリズム設定キ
ー６０ｑ〜６０ｕの操作を行なう。そして指令用キー６
０ｆを押すと、微分干渉観察時のランプ電圧および対物
レンズとノマルスキープリズムの組み合わせが記憶回路
５４に記憶され、マイクロコンピュータ５５は記憶回路
５４に記憶されている各種光学部材の挿脱状態を読み出
し、挿脱制御指令を行なう。その結果、視野絞り部材８
の絞り羽根８ａが全開し、開口絞り部材６の絞り部材６
ａは光路中の対物レンズに対応した位置まで繰りこまれ
る。

そしてフィルターターレット４は中空孔４ａが光路中に
位置するように回転制御され、さらにハーフミラ−２４
、偏光板１８．１／４波長板２０が光路中に挿入される
。さらに照明ランプ１に設定電圧が印加される。また、
光路中の対物レンズに対応するノマルスキープリズムが
光路中に挿入される。そして、微分干渉観察の最中に、
キーボード６０の対物レンズ切換用キー６０ｘを押すと
、光路中に他の対物レンズが挿入されるが、それと同時
に記憶回路５４からの記憶値によって対応するノマルス
キープリズムが光路中に挿入される。

以上述べた各検鏡法、すなわち明視野観察、暗視野観察
、螢光観察、偏光観察、微分干渉観察において設定した
設定値は、各検鏡性毎に初期設定値として記憶回路５４
に記憶されているときに、螢光観察用キー６０Ｃを押し
、引き続いて指令用キー６０ｆを押すと各種光学部材は
螢光観察用に自動的に切り換わり、記憶回路５４の設定
値によって、照明ランプ１に所定のランプ電圧が印加さ
れる。初期設定値を更新する場合には、所望の検鏡法を
達成させるキーを押した後、何を更新したいかを対応す
るキーを押して指令し、数値設定キー６０ｋ、６０１で
新たな設定値を入力し、指令用キー６０ｆを押せば良い
。これで、記憶回路５４には前の設定値に代わって新た
な設定値が記憶される。また、自動調光が働いていると
きは、各種検鏡法において光電変換素子３４の出力が所
定値になるようにＮＤフィルター６ａ、７ａが逆方向へ
回転されるのであるが、手動／自動の切換用スイッチ３
３を手動に設定し、ＮＤフィルター６ａ、７ａを手動で
回転して、最も検鏡し易い明るさを選択し、その後、切
換用スイッチ３３を自動に切り換えれば、そのときの光
電変換素子３５の出力を所定値として以後の自動調光が
働く。なお、暗視野観察の場合には、他の検鏡法に比し
視野が暗いから、この場合も自動調光を働かせておくと
ＮＤフィルター６ａ、７ａの透過率を上げる方向に（１
００％以上に）モータ３０．３１を回転しようとする可
能性があるので、暗視野観察の場合には、ＮＤフィルタ
ー６ａ、７ａの透過率を最大になるようにモータ３０．
３１を回転した後、モータ３０．３１の駆動を停止する
ようになしてもよい。

さらに、レボルバ−１３の対物レンズ取付穴を識別ずく
ような検出装置を用いた場合には、キーボード６０に各
取付穴を指定するキーを設け、各取付穴に取り付けた対
物レンズの情報を数値設定キー等で導入すれば、マイク
ロコンピュータ５５は、どの対物レンズ取付穴にどのよ
うな対物レンズが取りつけられているかを知ることがで
きる。しかしながら、光路中の対物レンズを識別すく検
出装置を設け、キーボード６０で各取付穴を指定する代
わりに、倍率等対物レンズの種類を指定し、指定された
対物レンズを光路中に挿入するように制御自在としても
良い。

さらにまた、以上の説明は落射照明系について行ったが
、明視野の透過照明を行なう場合には、それをキーボー
ド６０より指令し、落射照明系の絞り羽根４２ａ、４３
ａを同様に制御すれば良い。

また、マイクロコンピュータ５５が通信線６１を介して
パーソナルコンピュータ等の外部制御機器６２と接続可
能とし、外部制御機器６２によっても観察者の好みに合
わせた観察条件の設定機能を行えるようにしても良い。

なお、この場合、通信線６１はＲ３２３２Ｃ通信やＧＰ
−ＩＢ通信等の汎用の通信方式が用いられる。マイクロ
コンピュータ５５のパスラインに、自動焦点機能を有す
る第１機能拡張用機器６３や、自動走査ステージを制御
する第２機能拡張用機器６４を接続しても良い。さらに
、被検物対２の自動搬送制御の機能を有する第３機能拡
張用機器６５を接続することもできる。

従って、上述の本発明の実施例によれば、キーボード６
０により顕微鏡システムの初期化を一度行えば、以後煩
わしい顕微鏡の調整および設定事項、特に検鏡法や対物
レンズを切り換えた時に必要な設定作業が省ける利点が
ある。さらに、予めプログラミングされた外部制御機器
６２からコマンドやデータをマイクロコンピュータ５５
へ送信すれば、短時間で顕微鏡の設定が可能となる為、
顕微鏡に不慣れな者が扱う際でも、又異なった目的で使
用する者が、次々に使用する場合においても、父兄えを
重視する者とランプの寿命を重視する者がやはり次々に
使用する場合においても容易に取り扱う事が可能となり
、有利である。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明によれば、従来のように手間がかか
ることなく、操作部材の操作によって各種検鏡法を自動
的に選択する光学顕微鏡を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例による顕微鏡内部の光学部で
ある。 第２図は、第１図中の各種光学部材を光路中に挿脱する
ための制御回路図を中心に示した概略図である。 〔主要部分の符号の説明〕 ４−−−−−−−フィルターターレット４ｂ〜４　ｅ　
−−−−−フィルター ５−−−−−−開口絞り部材 ６．７−−−−Ｎ　Ｄフィルター用部制Ｅｌ−−−−−
視野絞り部材 １２−−−−−−プリズムターレット ｉ２ｂ〜１２　ｆ　、−−−−−−ノマルスキープリズ
ム１４　ａ−１４ｃ−−−一対物レンズ　　１５−１７
．２２．２３．２７〜３１−−−モータ １８−−−−−偏光板、２０　＝−一−−−１／　、！
波長板１９．２１−−−−一＝−ダミー ２４　＝−−−−−〜−−ハーフミラー２５−−−−−
−−−一暗視野観察用のリングミラー２６−＝−一−−
−−螢光観察用フイルターブロック４８−−−−−−−
−−フィルター挿脱回路４８〜＝−一−−−−絞り制御
回路 ５０−−−〜−−−照明切換回路 ５１−−−−−−−−プリズム挿脱回路５２−−−−−
一対物レンズ挿脱回路 ５３−−−−−−一検板駆動回路　　５４−−−−−−
一記憶回路５５−−−−マイクロコンピュータ ６０−−一　キーボード

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 各種光学部材を光路中に挿脱することによって異なる検
   鏡法を選択しうるようになした光学顕微鏡に於いて、 前記各種光学部材を電気的に挿脱させる挿脱手段と； 前記検鏡法に対応した前記光学部材の挿脱状態を記憶す
   る記憶手段と； 前記検鏡法の一つを指令する操作部材を有し、該操作部
   材の操作により、指令された検鏡法に対応した指令信号
   を出力する指令手段と； 該指令手段による指令信号に応答して前記指令された検
   鏡法に対応する前記各種光学部材の挿脱状態を前記記憶
   手段から読み出し、前記挿脱手段に前記各種光学部材の
   挿脱を制御する信号を出力する挿脱制御手段と； を有することを特徴とする光学顕微鏡。