JP4890781B2 - 顕微鏡 - Google Patents

Description

本発明は、半導体、液晶、磁気ヘッド、生物、医学などの検査装置に組み込まれている顕微鏡に関し、特に、少なくとも１つ以上の電動駆動部と上記電動駆動部を操作する操作部とを有する顕微鏡に関するものである。

顕微鏡は、医学、生物学を始めとして、工業分野においてもＩＣウェハや磁気ヘッドの検査、金属組織などの品質管理、新素材など研究開発の種々の分野や用途に使用されている。

また、最近の顕微鏡は、レボルバ、焦準部、光学絞りに代表される複数の電動駆動部を備えており、観察者は顕微鏡筐体に設けられている操作部から上記電動駆動部を操作することが出来る。また開口絞り、視野絞りの光学絞りは、設置されている対物レンズ毎に光学絞りの開口径が設定されており、観察者が対物レンズを切り換えると、光学絞りは予め設定されている切り換え先の対物レンズの開口径に移動し、観察者にとって最適な観察条件に自動的に設定されるプリセット機能を有している（例えば、特許文献１参照。）。

このような顕微鏡では、対物レンズの切り換えに連動し各電動部が設定値に移動した後、観察者が顕微鏡操作部に誤って触れ押下してしまった場合、電動部が動いてしまい、特に顕微鏡外部からの確認が出来ない光学絞りについては、観察者は観察中に誤って操作部を押下したのに気付かずそのまま観察を続けることで、検査のエラーが起こってしまった。また、観察者が誤って操作部を押下したことに気付いた場合であっても、元の光学絞り位置に戻すのには、一度異なる対物レンズに切り換えた後、再度観察に使用する対物レンズに切り換えるという面倒な作業をしなくてはいけないという問題点があった。

そこで、従来のこのような問題点を解決するため、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）から顕微鏡を制御することが可能であり、ＣＣＤカメラで取得した画像と、電動駆動部の駆動状態や静止状態、光学絞りの現在位置情報がＰＣモニタ上に表示される顕微鏡が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

このような顕微鏡は、ＰＣからの制御（リモートモード）と、顕微鏡筐体にある操作部による制御（ローカルモード）との切り換えをＰＣ上から行うことが出来る。リモートモードとローカルモードとは互いに排他的であり、リモートモードでは操作部が無効となっており、ローカルモードではＰＣでの顕微鏡操作が無効となっている。そして、リモートモードに設定しＰＣ上のソフトウェアＧＵＩ上から顕微鏡を操作することで、観察者が観察中に誤って操作部を押下するというエラーを削減することが可能となる。

ところが、半導体工場などでは、顕微鏡に代表される各装置の設置スペースを極力小さくするという傾向があり、近年装置の小型化が求められている。
従って前述した顕微鏡であると、ＰＣというシステムが追加されることになり、設置スペースが増えてしまう。また、高価なＰＣを用いることで顕微鏡システム全体のコストも高くなってしまうといった問題点があった。

また、ローカルモードで使用していた場合においては、観察者が誤って操作部を押下してしまうという問題は解決されない。
このような問題点を解決するため、液晶に代表される発光表示部材を有する操作表示部を設けた顕微鏡が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。このような顕微鏡は、電動駆動部の駆動状態や静止状態、現在位置情報を発光表示部材に書かれた文字情報で表示させて観察者に通知するものである。

このようにすれば、観察者が誤って操作ボタンを押してしまった場合に、操作表示部に現在位置情報が表示されるので、観察者は操作ボタンを押して電動部を元の位置に戻すことが可能となる。
特開平８−２０１７０１号公報 特開２００１−３０５４３３号公報 特開２００２−１８２１１４号公報

しかしながら、上述のような方法によると、発光表示部を用いることで、大型の操作表示部が必要になり、特に発光表示部に液晶を用いた場合、高価な構成となってしまうという問題点があった。

また、光学絞りは、閉じきった状態から開放した状態まで連続で駆動する部材であり、操作ボタンを用いてのプリセット位置への再設定は、観察者にとって大きな操作負荷となるという問題点があった。

本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてなされたもので、少なくとも１つ以上の電動駆動部を用いた顕微鏡において、高価なＰＣシステムや液晶などの表示部を用いず、観察者が誤って操作部を押すことで電動部が駆動してしまうことが無い顕微鏡を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、下記のような構成を採用した。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明の顕微鏡は、少なくとも１つ以上の電動駆動部と、上記電動駆動部を制御する制御部と、顕微鏡本体に設けられ、上記制御部が上記電動駆動部を制御する機能を切替え可能に設定する設定部と、上記電動駆動部を操作する操作ボタンと、上記設定部が設定する機能に応じて発光する発光パターンが変化する発光部を一体に形成した少なくとも１つ以上の操作スイッチを有する操作部とを備えることを特徴とする。

また、本発明の顕微鏡は、上記設定部に設定される機能が、上記操作部の操作を有効にする機能または無効にする機能であることが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、上記操作スイッチに対応し、上記設定部で無効に設定された上記操作スイッチの発光パターンと有効に設定された上記操作スイッチの発光パターンとを異ならせて発光することが望ましい。

また、本発明の顕微鏡は、上記設定部に設定される機能が、上記操作部の操作による上記電動駆動部の駆動であることが望ましい。
また、本発明の顕微鏡は、上記電動駆動部が、レボルバ、ＡＳ、観察法切り換え、Ｘ−Ｙステージ、Ｚステージ、ＡＦ、フィルタターレット、シャッター、ＦＳ、コンデンサレンズ、ＤＩＣプリズム、調光のうちの少なくとも１つを駆動することが望ましい。

また、本発明の顕微鏡は、上記設定部が、ピアノ式スイッチ、ロータリー式スイッチ、ボタン式スイッチ、レバー式スイッチ、トグル式スイッチ、スライド式スイッチ、シーソー式スイッチのうちの少なくとも１つであることが望ましい。

本発明によれば、少なくとも１つ以上の電動駆動部を用いた顕微鏡において、高価なＰＣシステムや液晶などの表示部を用いず、観察者が誤って操作部を押してしまっても電動部が駆動することが無く、観察のエラーの無い顕微鏡を実現できる。

以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について述べる。
図１は、第１の実施の形態が適用される顕微鏡の概略構成を示す図である。
図１において、顕微鏡本体１は、ＣＣＤカメラ１１７、鏡筒１１５、照明部１０９、レボルバユニット１０４、ステージ１０３、焦準部１２０、設定部１２５、フロントスイッチ群１２１、制御部１２２を備えている。

顕微鏡本体１は、試料１０２を搭載可能なステージ１０３に対向させた位置に、レボルバユニット１０４を配置している。このレボルバユニット１０４は、最大６つまで対物レンズ１０５の設置が可能であり、ここでは図示しない対物レンズ取り付け穴には番号＃１〜６が割り当てられている。またレボルバユニット１０４は、対物レンズ１０５を取り付けるマウンタ１０６と、対物レンズ１０５を電動で光軸に挿入させるため、マウンタ１０６を駆動するレボルバモータ１０７と、レボルバセンサ群１０８とを備えている。レボルバセンサ群１０８は、図示しないがレボルバユニット１０４が顕微鏡本体１に接続されていることを検知するレボルバ接続センサと、現在の穴番号を検知する穴番号センサと、対物レンズ１０５が光軸に挿入されたことを検知する移動完了センサとを備えている。

照明部１０９は、試料１０２を照明するための顕微鏡光源１２４を備え、顕微鏡光源１２４からの光が、照明系レンズ１１０ａによりＡＳ（Aperture Stop：開口絞り）ユニット１１１の絞り部材１１２の位置に集光された後、照明系レンズ１１０ｂにより、ＦＳ（Field Stop：視野絞り）１１３を通過し、ハーフミラー１１４へと導かれる。そして、ハーフミラー１１４により９０度向きが変えられた光は、対物レンズ１０５を通り、試料１０２へ照射される。試料１０２で反射された光は、対物レンズ１０５を通過後、ハーフミラー１１４を透過し鏡筒１１５へ導かれる。これにより、観察者は接眼レンズ１１６、もしくはＣＣＤカメラ１１７で得られた画像を、ここでは図示しないＰＣモニタを通じて、観察することが可能となる。

ＡＳユニット１１１は、光軸上に配置され、絞り部材１１２を開閉することにより、試料１０２の像の明るさ、コントラストを調節するために設置されているものである。ＡＳユニット１１１は、絞り部材１１２と、絞り部材１１２を電動で開閉させるためＡＳモータ１１８と、ＡＳセンサ群１１９から構成されている。ＡＳセンサ群１１９は、図示しないがＡＳユニット１１１が接続されていることを検知するＡＳ接続センサ、ＡＳモータ１１８の原点位置を検知するＡＳ原点センサから構成されている。

また、ＡＳユニット１１１は、観察に最適な絞り部材１１２の開口径が設置されている対物レンズ１０５によって異なるため、対物レンズ１０５の切り換え指示を受けた後、絞り部材１１２を切り換え後の対物レンズ１０５によって予め設定されているプリセット径に移動させる機能（ＡＳプリセット機能）を備えている。

ステージ１０３は、試料１０２を搭載するもので、Ｘ−Ｙ方向に移動可能になっており、Ｚ方向に移動可能な焦準部１２０の上に取り付けられている。観察者が焦準部１２０を動かすことにより、試料１０２を対物レンズ１０５のピント位置に合せることが出来る。

設定部１２５は、図２に示すように、ピアノ式スイッチ１５０１と、６つのロータリー式スイッチ１５０２ａ、１５０２ｂ、１５０２ｃ、１５０２ｄ、１５０２ｅ、１５０２ｆとから構成されている。

ピアノ式スイッチ１５０１は４ビットのスイッチであり、顕微鏡本体１の各設定を行うものである。ここではピアノ式スイッチ１５０１のＢＩＴ１にＡＳ駆動ボタンの有効／無効設定、ＢＩＴ２にＡＳプリセットＯＮ／ＯＦＦ設定が割り当てられている。

ロータリー式スイッチ１５０２ａ、１５０２ｂ、１５０２ｃ、１５０２ｄ、１５０２ｅ、１５０２ｆは、それぞれ１６ビットのスイッチであり、レボルバ穴の数と同じ数のスイッチが設置されている。ロータリー式スイッチ１５０２ａは１番目のレボルバ穴のＡＳプリセット位置の設定が割り当てられており、同様にロータリー式スイッチ１５０２ｂ乃至１５０２ｆは、第２乃至第６のレボルバ穴のＡＳプリセット位置の設定が割り当てられている。

フロントスイッチ群１２１は、顕微鏡本体１の電動駆動部である、レボルバユニット１０４およびＡＳユニット１１１を観察者が操作するために設置されたスイッチである。
図３は、第１の実施の形態におけるフロントスイッチ群の構成を示す図である。

フロントスイッチ群１２１は、顕微鏡本体１の電源のＯＮ状態を表示するためのパイロットランプ２０１、レボルバユニット１０４のマウンタ１０６を時計回り（ＣＷ）もしくは反時計回り（ＣＣＷ）に回転させるためのレボルバ駆動ボタン群２０２と、ＡＳユニット１１１の絞り部材１１２を開閉させるためのＡＳ駆動ボタン群２０３から構成される。レボルバ駆動ボタン群２０２は、ＣＷボタン２０４とＣＣＷボタン２０５から構成され、ＣＷボタン２０４またはＣＣＷボタン２０５を一度押下すると、マウンタ１０６が回転する。

ＡＳ駆動ボタン群２０３は、開ボタン２０６と閉ボタン２０７から構成され、押下されている間中絞り部材１１２が駆動し、離すと駆動が停止する。
ＡＳ駆動ボタン群２０３とレボルバ駆動ボタン群２０２は共に、観察者が操作しやすい位置に配置され、観察者は図３には図示しない焦準部１２０のハンドルを操作しながら、かつ、ボタンにアクセスできるように、顕微鏡本体１の正面に配置されている。

図４は、レボルバ駆動ボタン群と、ＡＳ駆動ボタン群の各ボタンの構成を示す図である。
レボルバ駆動ボタン群２０２と、ＡＳ駆動ボタン群２０３の各ボタンは、図４に示すようにスイッチ３０１と発光ダイオード（ＬＥＤ）３０２が１つのパッケージになっているものから構成され、顕微鏡本体１の駆動・ステータス・エラーなどの状態により点灯、消灯、点滅などのパターンが割り当てられ、観察者に表示する機能も兼ねている。

図５は、第１の実施の形態の制御部の構成を示す図である。
制御部１２２は、図５に示すように、ＣＰＵ４０１、演算データなどデータが格納されているＲＡＭ４０２、制御プログラムなどが格納されているＲＯＭ４０３、対物レンズ１０５毎のＡＳプリセット径などが記憶されている不揮発性メモリ４０４、ＡＳユニット１１１の制御を行うＡＳユニットＩ／Ｏ４０５ｂ、レボルバユニット１０４の制御を行うＩ／Ｏ４０５ｃ、設定部１２５のスイッチの制御を行う設定部Ｉ／Ｏ４０５ｄ、フロントスイッチ群１２１の入出力となるフロントスイッチＩ／Ｏ４０５ａ、レボルバモータ１０７を駆動するためのレボルバドライバ４０６、ＡＳユニット１１１のモータを駆動し、かつ現在位置をカウントするＡＳドライバ４０７から構成されている。

フロントスイッチ群１２１のＬＥＤを点灯させるためには、フロントスイッチＩ／Ｏ４０５ａの各ボタンに相当するアドレスに“Ｈ”信号を送る。同様に消灯させるときは、同アドレスに“Ｌ”信号を送る。

図６は、第１の実施の形態におけるＡＰプリセット径テーブルの例を示す図である。
不揮発性メモリ４０４のＡＰ番地には、図６に示すようなＡＳプリセット径テーブルがあり、１列目にレボルバ穴番号、２列目にはＡＳ開口径が記憶されている。プリセット径の設定は、設定部１２５からユーザーが設定可能である。

次に、上述のように構成された顕微鏡の第１の実施の形態における動作について説明する。
図７は、本発明の第１の実施の形態における初期化処理の流れを示すフローチャートである。

まず、顕微鏡本体1の電源がＯＮされると、ステップＳ７０１において、制御部１２２内のＣＰＵ４０１が初期化し、ステップＳ７０２において、設定部１２５からロータリー式スイッチ１５０２ａ乃至１５０２ｆの各設定値を読み込み、図６に示す不揮発性メモリ４０４内のＡＰ［１］乃至［６］番地にセットする。

その後、ステップＳ７０３において、レボルバ接続センサの状態（レボルバセンサが接続されているか否か）を確認する。ここで、レボルバ接続センサがＯＦＦ、すなわちレボルバユニット１０４が接続されていなければ（ステップＳ７０３：Ｎ）、ステップＳ７０４において、フロントスイッチＩ／Ｏ４０５ａのレボルバ駆動ボタン群２０２のアドレス部に“Ｌ”信号を送り、レボルバ駆動ボタン群２０２のＬＥＤを消灯させる。この際、フロントスイッチ１２１の状態は図８のようになる（レボルバ未接続）。他方、レボルバセンサがＯＮ、すなわちレボルバユニット１０４が接続されていれば（ステップＳ７０３：Ｙ）、ステップＳ７０５において、レボルバ駆動ボタン群２０２のＬＥＤを点灯させ、ＡＳ接続センサの確認を行う。

次に、ステップＳ７０６において、ＡＳ接続センサがＯＮであるか否かを確認する。ここで、ＡＳ接続センサがＯＦＦならば（ステップＳ７０６：Ｎ）、ステップＳ７０７において、ＡＳ駆動ボタン２０３ＬＥＤをＯＦＦし、本初期化処理を終了する。この際のＬＥＤ点灯パターンを図９に示す。他方、ＡＳ接続センサがＯＮならば（ステップＳ７０６：Ｙ）、ステップＳ７０８において、ＡＳモータ１１８の原点初期化を行い、ステップＳ７０９において、ＡＳが駆動状態を表示するためＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤを点滅させる。このときのＬＥＤ点灯パターンを図１０または図１１に示す。

そして、原点初期化終了後、ステップＳ７１０において、不揮発性メモリ４０４のＡＳプリセットテーブルのＡＰ［１］乃至［６］番地から現在のレボルバ穴番号に該当するＡＳプリセット径を読み出し、ＡＳモータ１１８をプリセット設定値に移動させる。

次に、ステップＳ７１１において、設定部１２５のピアノ式スイッチ１５０１のＢＩＴ１の設定状態がＯＮであるか否かを確認する。ＢＩＴ１の設定状態がＯＦＦであれば（ステップＳ７１１：Ｎ）、ＡＳ駆動ボタン群２０３は無効設定となり、まずステップＳ７１２において、図１２に示すＲＡＭ４０２内にあるＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値をＤＳＢＬ（Ｄｉｓａｂｌｅ）にセットし、ステップＳ７１３において、ＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤは消灯させる。他方、ＢＩＴ１の設定状態がＯＮであれば（ステップＳ７１１：Ｙ）、ＡＳ駆動ボタン群２０３は有効設定となり、まずステップＳ７１４におて、ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値をＥＮＢＬ（Ｅｎａｂｌｅ）にセットし、ステップＳ７１５において、ＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤは点灯させる。この際のＬＥＤ点灯パターンを図１３に示す。

次に、ステップＳ７１６において、設定部１２５のビアの式スイッチ１５０１のＢＩＴ２の設定状態を取得し、取得したＢＩＴ２の設定状態がＯＮであるか否かを確認する。ＢＩＴ２の設定状態がＯＮであれば（ステップＳ７１６：Ｙ）、ＡＳプリセット設定が有効となり、ステップＳ７１７において、図１２に示すＲＡＭ４０２内のＡＳ−ＰｒｅｓｅｔアドレスにＯＮをセットし、この初期化処理を終了する。他方、ＢＩＴ２の設定状態がＯＦＦであれば（ステップＳ７１６：Ｎ）、ステップＳ７１８において、ＡＳプリセット設定が無効となりＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔ番地にＯＦＦをセットし、この初期化処理を終了する。

次に、ＡＳユニット１１１の駆動の説明として、ＡＳ駆動ボタン群２０２が押下されたときの動作について説明する。
図１４は、本発明の第１の実施の形態におけるＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理の流れを示すフローチャートである。

まず、ステップＳ１４０１でＡＳ開ボタン２０６が押されたと判断されると（ステップＳ１４０１：Ｙ）、ステップＳ１４０２において、ＲＡＭ４０２内のＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＥＮＢＬであるか否か（ＤＳＢＬであるか）を確認する。ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＤＳＢＬならば（ステップＳ１４０２：Ｎ）、ＡＳ駆動ボタン群２０３は無効に設定されているということであり、何もしないでこのＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理を終了する。他方、ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＥＮＢＬならば（ステップＳ１４０２：Ｙ）、ＡＳ駆動ボタン群２０３は有効設定となり、ステップＳ１４０３において、駆動方向の確認（駆動方向がＣＷか否か（ＣＣＷか））を行う。

開ボタン２０６が押されていれば（ステップＳ１４０３：Ｙ）、ステップＳ１４０４において、開方向に絞り部材１１２が駆動し、ステップＳ１４０５において、ＡＳ開ボタン２０６のＬＥＤが点滅する。他方、閉ボタン２０７が押されていれば（ステップＳ１４０３：Ｎ）、ステップＳ１４０６において、閉方向に絞り部材１１２が駆動し、ステップＳ１４０７において、ＡＳ閉ボタン２０７のＬＥＤが点滅する。なお、絞り部材１１２はＡＳ駆動ボタン群２０３が押下されている間中、駆動している。

次に、ステップＳ１４０８でＡＳ開ボタン２０６が離されたことを確認すると（ステップＳ１４０８：Ｎ）、ステップＳ１４０９において、絞り部材１１２の動作は終了する。
そして、ステップＳ１４１０において、ＲＡＭ４０２内のＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔ番地を参照して、設定部１２５のプリセットの設定状態（ＡＳ−ＰｒｅｓｅｔがＯＮであるか否か）を確認する。ＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔアドレス内の値がＯＦＦであれば（ステップＳ１４１０：Ｎ）、ステップＳ１４１６において、ＬＥＤはアイドル点灯し、このＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理を終了する。他方、ＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔアドレス内の値がＯＮであれば（ステップＳ１４１０：Ｙ）、ステップＳ１４１１において、現在の絞り部材１１２の位置とＡＳプリセット値を比較し、ＡＳ駆動ボタン群１２１で表示させるため、現在の絞り部材１１２の位置をＡＳユニットＩ／０４０５ｂから読み出し、図示しないＲＡＭ４０２内のｃｐ番地にセット（ｃｐ＝ＡＳユニット現在位置）し、不揮発性メモリ４０４から現在のレボルバ穴番号に相当するＡＳプリセット値を読み出し、図示しないＲＡＭ４０２内のｔｐ番地にセット（ｔｐ＝ａｐ（ｎ）：ｎは現在のレボルバ穴位置）する。

次に、ｔｐとｃｐの大きさを比較する。すなわち、ステップＳ１４１２において、ｔｐの方がｃｐより大きいか否かを判断し、ｃｐ＜ｔｐの場合（ステップＳ１４１２：Ｙ）は、ステップＳ１４１３において、開ボタン２０６のＬＥＤのみ点灯し、このＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理を終了する。また、ステップ１４１４において、ｃｐの方がｔｐより大きいか否かを判断し、ｃｐ＞ｔｐの場合（ステップＳ１４１４：Ｙ）は、ステップＳ１４１５において、閉ボタン２０７のＬＥＤのみ点灯し、このＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理を終了する。このときのＬＥＤ点灯パターンを図１５または図１６に示す。

そして、プリセット径＝現在位置の場合、すなわちｃｐ＝ｔｐの場合（ステップＳ１４１４：Ｎ）は、ステップＳ１４１６において、ＡＳ駆動ボタンのＬＥＤはアイドル点灯し、このＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理を終了する。

次に、レボルバユニット１０４の駆動について説明する。
図１７は、本発明の第１の実施の形態におけるレボルバ駆動処理の流れを示すフローチャートである。

まず、ステップＳ１７０１でレボルバ駆動ボタン群２０２が押されたと判断されると（ステップＳ１７０１：Ｙ）、ステップＳ１７０２において、駆動方向の確認（駆動方向がＣＷかＣＣＷか）を行う。

ステップＳ１７０２で判断されると、その判断された駆動方向マウンタ１０６が駆動し、方向に応じたレボルバ駆動ボタン群２０２のＬＥＤが点滅する。すなわち、ステップＳ１７０２でＣＷボタン２０４が押下されたと判断された場合（ステップＳ１７０２：ＣＷ）は、ステップＳ１７０３において、マウンタ１０６がＣＷ方向に回転し、ステップＳ１７０４において、ＣＷボタン２０４のＬＥＤのみ点灯する。他方、ステップＳ１７０２でＣＣＷボタン２０５が押下されたと判断された場合（ステップＳ１７０２：ＣＣＷ）は、ステップＳ１７０５において、マウンタ１０６がＣＣＷ方向に回転し、ステップＳ１７０６において、ＣＣＷボタン２０５のＬＥＤのみ点灯する。

そして、移動完了センサがＯＮになったら、ステップＳ１７０７において、マウンタ１０６の動作を停止させ、ステップＳ１７０８において、レボルバ駆動ボタン群２０２のＬＥＤをアイドル点灯する。

次に、ステップＳ１７０９において、ＲＡＭ４０２内のＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔ番地を参照して、設定部１２５のプリセットの設定状態（ＡＳ−ＰｒｅｓｅｔがＯＮであるか否か）を確認する。ＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔアドレス内の値がＯＦＦであれば（ステップＳ１７０９：Ｎ）、ステップＳ１７１６において、ＬＥＤはアイドル点灯し、このレボルバ駆動処理を終了する。他方、ＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔアドレス内の値がＯＮであれば（ステップＳ１７０９：Ｙ）、ステップＳ１７１０において、現在の絞り部材１１２の位置とＡＳプリセット値を比較し、ＡＳユニット１１１をプリセット位置に移動させるため、現在の絞り部材１１２の位置をＡＳユニットＩ／０４０５ｂから読み出し、図示しないＲＡＭ４０２内のｃｐ番地にセット（ｃｐ＝ＡＳユニット現在位置）し、不揮発性メモリ４０４から現在のレボルバ穴番号に相当するＡＳプリセット値を読み出し、図示しないＲＡＭ４０２内のｔｐ番地にセット（ｔｐ＝ａｐ（ｎ）：ｎは現在のレボルバ穴位置）する。

次に、ｔｐとｃｐの大きさを比較する。すなわち、ステップＳ１７１１において、ｃｐの方がｔｐより大きいか否かを判断し、ｃｐ＞ｔｐの場合（ステップＳ１７１１：Ｙ）は、ステップＳ１７１２において、ＡＳユニット１１１は閉動作し、ステップＳ１７１３において、閉ボタン２０７のＬＥＤのみを点滅させる。他方、ｃｐ＞ｔｐでない場合（ステップＳ１７１１：Ｎ）は、ステップＳ１７１４において、ＡＳユニット１１１は開動作し、ステップＳ１７１５において、開ボタン２０６のＬＥＤのみを点滅させる。

そして、ＡＳユニット１１１の動作が完了したら、ステップＳ１７１６において、ＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤはアイドル点灯し、このレボルバ駆動処理を終了する。
上述の本発明の第１の実施の形態のように、設定部１２５のピアノ式スイッチ１５０１で、ＡＳ駆動ボタン群２０３を無効設定にすることで、観察者が誤って操作部を押してしまったときの顕微鏡電動部の移動が無くなり、観察中におけるエラーを防ぐことが可能となる。

次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
本第２の実施の形態については、上述の第１の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。

本第２の実施の形態における顕微鏡と上述の第１の実施の形態における顕微鏡とで異なる構成は、第１の実施の形態における顕微鏡本体がフロントスイッチ群１２１を備えているのに対して、第２の実施の形態における顕微鏡本体がフロントスイッチ群１２１Ａを備えている点である。

図１８は、第２の実施の形態におけるフロントスイッチ群の構成を示す図である。
図１６において、フロントスイッチ群１２１Ａは、第１の実施の形態におけるフロントスイッチ群１２１と同様に、顕微鏡本体の電源のＯＮ状態を表示するためのパイロットランプ２０１と、レボルバユニット１０４のマウンタ１０６をＣＷ方向に回転させるためのＣＷボタン２０４とＣＣＷ方向に回転させるためのＣＣＷボタン２０５とから構成されるレボルバ駆動ボタン群２０２と、ＡＳユニット１１１の絞り部材１１２を開させるための開ボタン２０６と閉させるための閉ボタン２０７とから構成されるＡＳ駆動ボタン群２０３とを備え、さらにＡＳ駆動ボタン群２０３の有効／無効を切り換えるための設定ボタン１６０１とを備えている。そして、設定ボタン１６０１は、ＡＳ駆動ボタン群２０３とレボルバ駆動ボタン群２０２と同様に、図４に示すスイッチ３０１とＬＥＤ３０２が１パッケージになっている。

また、制御部１２２が備える不揮発性メモリ４０４内には、図１９に示すようにＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地に、ＡＳ駆動ボタン群２０３の前回までの設定情報が記憶されており、その値がＯＮであればＡＳ駆動ボタン群２０３は有効であり、逆にその値がＯＦＦであれば、ＡＳ駆動ボタン群２０３は無効であることを示す。これらの値は電源をＯＦＦにしても保持し続ける。

次に、上述のように構成された顕微鏡の第２の実施の形態における動作について説明する。
図２０は、本発明の第２の実施の形態における初期化処理の流れを示すフローチャートである。

まず、顕微鏡本体1の電源がＯＮされると、ステップＳ２００１において、制御部１２２内のＣＰＵ４０１が初期化し、ステップＳ２００２において、設定部１２５からロータリー式スイッチ１５０２ａ乃至１５０２ｆの各設定値を読み込み、図６に示す不揮発性メモリ４０４内のＡＰ［１］乃至［６］番地にセットする。

その後、ステップＳ２００３において、レボルバ接続センサの状態（レボルバセンサが接続されているか否か）を確認する。ここで、レボルバ接続センサがＯＦＦ、すなわちレボルバユニット１０４が接続されていなければ（ステップＳ２００３：Ｎ）、ステップＳ２００４において、フロントスイッチＩ／Ｏ４０５ａのレボルバ駆動ボタン群２０２のアドレス部に“Ｌ”信号を送り、レボルバ駆動ボタン群２０２のＬＥＤを消灯させる。他方、レボルバセンサがＯＮ、すなわちレボルバユニット１０４が接続されていれば（ステップＳ２００３：Ｙ）、ステップＳ２００５において、レボルバ駆動ボタン群２０２のＬＥＤを点灯させ、ＡＳ接続センサの確認を行う。

次に、ステップＳ２００６において、ＡＳ接続センサがＯＮであるか否かを確認する。ここで、ＡＳ接続センサがＯＦＦならば（ステップＳ２００６：Ｎ）、ステップＳ２００７において、ＡＳ駆動ボタン２０３ＬＥＤをＯＦＦし、本初期化処理を終了する。このときのＬＥＤ点灯パターンを図２２に示す。他方、ＡＳ接続センサがＯＮならば（ステップＳ２００６：Ｙ）、ステップＳ２００８において、ＡＳモータ１１８の原点初期化を行い、ステップＳ２００９において、ＡＳが駆動状態を表示するためＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤを点滅させる。このときのＬＥＤ点灯パターンを図２３に示す。

そして、原点初期化終了後、ステップＳ２０１０において、不揮発性メモリ４０４のＡＳプリセットテーブルのＡＰ［１］乃至［６］番地から現在のレボルバ穴番号に該当するＡＳプリセット径を読み出し、ＡＳモータ１１８をプリセット設定値に移動させる。

次に、ステップＳ２０１１において、ＡＳ駆動ボタン群２０３の前回情報を取得するため、不揮発性メモリ４０４のＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地の値を読み出し、ＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地の値がＯＮであるか否かを確認する。ＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地の値がＯＦＦであれば（ステップＳ２０１１：Ｎ）、ＡＳ駆動ボタン群２０３は無効設定となり、まずステップＳ２０１２において、図１２に示すＲＡＭ４０２内にあるＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値をＤＳＢＬ（Ｄｉｓａｂｌｅ）にセットし、ステップＳ２０１３において、ＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤは消灯させる（図２２参照）。他方、ＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地の値がＯＮであれば（ステップＳ２０１１：Ｙ）、ＡＳ駆動ボタン群２０３は有効設定となり、まずステップＳ２０１４におて、ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値をＥＮＢＬ（Ｅｎａｂｌｅ）にセットし、ステップＳ２０１５において、ＡＳ駆動ボタン群２０３のＬＥＤは点灯させる（図２３参照）。

次に、ステップＳ２０１６において、設定部１２５のピアノ式スイッチ１５０１のＢＩＴ２の設定状態を取得し、取得したＢＩＴ２の設定状態がＯＮであるか否かを確認する。ＢＩＴ２の設定状態がＯＮであれば（ステップＳ２０１６：Ｙ）、ＡＳプリセット設定が有効となり、ステップＳ２０１７において、図１２に示すＲＡＭ４０２内のＡＳ−ＰｒｅｓｅｔアドレスにＯＮをセットし、この初期化処理を終了する。他方、ＢＩＴ２の設定状態がＯＦＦであれば（ステップＳ２０１６：Ｎ）、ステップＳ２０１８において、ＡＳプリセット設定が無効となりＡＳ−Ｐｒｅｓｅｔ番地にＯＦＦをセットし、この初期化処理を終了する。

次に、設定ボタン１６０１を押下したときの動作について説明する。
図２１は、本発明の第２の実施の形態における設定ボタン群押下時の動作処理の流れを示すフローチャートである。

まず、ステップＳ２１０１で設定ボタン１６０１が押されたと判断されると（ステップＳ２１０１：Ｙ）、ステップＳ２１０２において、現在のＡＳ駆動ボタン２０３の有効／無効設定を確認するため、ＲＡＭ４０２内のＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＥＮＢＬであるか否か（ＤＳＢＬであるか）を確認する。ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＥＮＢＬならば（ステップＳ１４０２：Ｙ）、ステップＳ２１０３において、ＡＳ駆動ボタン２０３の設定を無効にするため、ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地をＤＳＢＬにセットし、続いてステップＳ２１０４において、不揮発性メモリ４０４内のＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地をＯＦＦにする。さらにステップＳ２１０５において、ＡＳ駆動ボタン群２０３と設定ボタン１６０１のＬＥＤをＯＦＦにし（図２２参照）、この設定ボタン群押下時の動作処理を終了する。他方、ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＥＮＢＬでないならば、すなわちＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地の値がＤＳＢＬならば（ステップＳ１４０２：Ｎ）、ステップＳ２１０６において、ＡＳ駆動ボタン２０３の設定を有効にするため、ＡＳ−Ｂｕｔｔｏｎ番地をＥＮＢＬにセットし、続いてステップＳ２１０７において、不揮発性メモリ４０４内のＡＳ−Ｂｔｎ−Ｓｅｔ番地をＯＮにする。さらにステップＳ２１０８において、ＡＳ駆動ボタン群２０３と設定ボタン１６０１のＬＥＤをＯＮにし（図２３参照）、この設定ボタン群押下時の動作処理を終了する。

上述の本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態による効果の他、設定ボタン１６０１を設けることにより、観察者はＡＳ駆動ボタン２０３の有効／無効設定を電源がＯＮのままで設定できるようになる。

以上、本発明の各実施の形態を、図面を参照しながら説明してきたが、本発明が適用される顕微鏡は、その機能が実行されるのであれば、上述の各実施の形態等に限定されることなく、単体の装置であっても、複数の装置からなるシステムあるいは統合装置であっても、ＬＡＮ、ＷＡＮ等のネットワークを介して処理が行なわれるシステムであってもよいことは言うまでもない。

また、バスに接続されたＣＰＵ、ＲＯＭやＲＡＭのメモリ、入力装置、出力装置、外部記録装置、媒体駆動装置、可搬記録媒体、ネットワーク接続装置で構成されるシステムでも実現できる。すなわち、前述してきた各実施の形態のシステムを実現するソフトェアのプログラムコードを記録したＲＯＭやＲＡＭのメモリ、外部記録装置、可搬記録媒体を、顕微鏡に供給し、その顕微鏡のコンピュータがプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成されることは言うまでもない。

この場合、可搬記録媒体等から読み出されたプログラムコード自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムコードを記録した可搬記録媒体等は本発明を構成することになる。

プログラムコードを供給するための可搬記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、磁気テープ、不揮発性のメモリーカード、ＲＯＭカード、電子メールやパソコン通信等のネットワーク接続装置（言い換えれば、通信回線）を介して記録した種々の記録媒体などを用いることができる。

また、コンピュータがメモリ上に読み出したプログラムコードを実行することによって、前述した各実施の形態の機能が実現される他、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているＯＳなどが実際の処理の一部または全部を行い、その処理によっても前述した各実施の形態の機能が実現される。

さらに、可搬型記録媒体から読み出されたプログラムコードやプログラム（データ）提供者から提供されたプログラム（データ）が、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行い、その処理によっても前述した各実施の形態の機能が実現され得る。

また、各実施の形態においてはＡＳのみについて説明したが、これに限定されず、レボルバ、観察法切り換え、ＦＳ、Ｘ−Ｙステージ、Ｚステージ、ＡＦ、フィルタターレット、シャッター、コンデンサレンズ、ＤＩＣ（微分干渉）プリズム、調光を用いても構わない。ただし、その際は各電動駆動部に操作ボタンが必要となるとこは言うまでもない。また、１つの操作ボタンをスイッチで切り換え、複数の電装部の操作を兼ねても良い。

また、各実施の形態においてはＬＥＤとスイッチが１パッケージになっている操作部を用いたが、これに限定されず、スイッチとＬＥＤが別部品になっていても構わない。また、観察者はピアノ式ディップスイッチ１５０１の状態を見れば顕微鏡設定状態を知ることが可能であり、ＬＥＤは特に設ける必要はない。

また、各実施の形態において、操作部はフロントスイッチ群１２１にのみについて説明したが、顕微鏡に接続して遠隔操作可能なハンドスイッチを用いても構わない。この際、制御部１２２内にハンドスイッチＩ／Ｏが必要であることは言うまでもない。

また、各実施の形態においては、設定部１２５のピアノ式スイッチ１５０１にて、操作部の有効／無効を切り換えられることとしたが、例えば、ピアノ式スイッチの１つのＢＩＴがＯＮの時は、フロントスイッチ群１２１のレボルバ駆動ボタン群２０２がレボルバユニット１０４の駆動指示をし、ＡＳ駆動ボタン群２０３がＡＳユニット１１１の駆動の指示をし、ピアノ式スイッチの１つのＢＩＴがＯＦＦの時は、レボルバ駆動ボタン群２０２がＡＳユニット１１１の駆動の指示をし、ＡＳ駆動ボタン群２０３がレボルバユニット１０４の駆動指示をするといったように、各スイッチにアサインされている電動駆動部を切り換えられるとしても構わない。

また、各実施の形態においては、設定部１２５にピアノ式スイッチ１５０１およびロータリー式スイッチ１５０２ａ乃至１５０２ｆを用いたが、これに限定されず、レバー式スイッチ、シーソー式スイッチ、トグル式スイッチ、スライド式スイッチ、プッシュ式スイッチなどを用いても構わない。

また、各実施の形態においては、フローチャートを用いて各動作の説明を行ったが、詳細なフローの順番や項目についてはこれに限定されない。
また、第１の実施の形態においては、ＡＳ駆動ボタン群２０３の有効／無効設定を、設定部１２５のピアノ式スイッチ１５０１で行ったが、これに限定されず、例えば、フロントスイッチ群１２１の任意のボタンを押しながら電源を投入し、設定を行うとしても構わない。

また、第２の実施の形態においては、ＡＳ駆動ボタン群２０３の有効／無効設定を、設定ボタン１６０１で行ったが、これに限定されず、例えば、フロントスイッチ群１２１の任意の２つのボタンを同時に押し、設定を行うとしても構わない。

すなわち、本発明は、以上に述べた各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の構成または形状を取ることができる。

第１の実施の形態が適用される顕微鏡の概略構成を示す図である。 設定部を構成するピアノ式スイッチとロータリー式スイッチを示す図である。 第１の実施の形態におけるフロントスイッチ群の構成を示す図である。 レボルバ駆動ボタン群と、ＡＳ駆動ボタン群の各ボタンの構成を示す図である。 第１の実施の形態の制御部の構成を示す図である。 第１の実施の形態におけるＡＰプリセット径テーブルの例を示す図である。 第１の実施の形態における顕微鏡の初期化処理の流れを示すフローチャートである。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（レボルバ未接続）である。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ未接続、ＡＳ無効設定）である。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ開移動中）である。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ閉移動中）である。 ＲＡＭ内の顕微鏡設定番地の構造を示す図である。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（アイドル）である。 本発明の第１の実施の形態におけるＡＳ駆動ボタン群押下時の動作処理の流れを示すフローチャートである。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ位置＞プリセット位置）である。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ位置＜プリセット位置）である。 本発明の第１の実施の形態におけるレボルバ駆動処理の流れを示すフローチャートである。 第２の実施の形態におけるフロントスイッチ群の構成を示す図である。 第２の実施の形態におけるＡＰプリセット径テーブルの例を示す図である。 本発明の第２の実施の形態における初期化処理の流れを示すフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態における設定ボタン群押下時の動作処理の流れを示すフローチャートである。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ無効設定）である。 フロントスイッチ群の表示状態を示す図（ＡＳ有効設定）である。

符号の説明

１ 顕微鏡本体
１０２ 試料
１０３ ステージ
１０４ レボルバユニット
１０５ 対物レンズ
１０６ マウンタ
１０７ レボルバモータ
１０８ レボルバセンサ群
１０９ 照明部
１１０ａ 照明系レンズ
１１０ｂ 照明系レンズ
１１１ ＡＳユニット
１１２ 絞り部材
１１３ ＦＳ
１１４ ハーフミラー
１１５ 鏡筒
１１６ 接眼レンズ
１１７ ＣＣＤカメラ
１１８ ＡＳモータ
１１９ ＡＳセンサ群
１２０ 焦準部
１２１ フロントスイッチ群
１２１Ａ フロントスイッチ群
１２２ 制御部
１２３ ＰＣ
１２４ 顕微鏡光源
１２５ 設定部
２０１ パイロットランプ
２０２ レボルバ駆動ボタン群
２０３ ＡＳ駆動ボタン群
２０４ ＣＷボタン
２０５ ＣＣＷボタン
２０６ 開ボタン
２０７ 閉ボタン
３０１ スイッチ
３０２ 発光ダイオード
４０１ ＣＰＵ
４０２ ＲＡＭ
４０３ ＲＯＭ
４０４ 不揮発性メモリ
４０５ａ フロントスイッチＩ／Ｏ
４０５ｂ ＡＳユニットＩ／Ｏ
４０５ｃ レボルバユニットＩ／Ｏ
４０５ｄ 設定部Ｉ／Ｏ
４０６ レボルバドライバ
４０７ ＡＳドライバ
４０８ シリアル通信ドライバ
２００１ ハンドスイッチ
２００２ 制御部
２１０１ ＡＳ駆動ボタン群
２１０２ レボルバ駆動ボタン群
２２０１ ハンドスイッチＩ／Ｏ

Claims (6)

1. 少なくとも１つ以上の電動駆動部と、
   前記電動駆動部を制御する制御部と、
   顕微鏡本体に設けられ、前記制御部が前記電動駆動部を制御する機能を切替え可能に設定する設定部と、
   前記電動駆動部を操作する操作ボタンと、前記設定部が設定する機能に応じて発光する発光パターンが変化する発光部を一体に形成した少なくとも１つ以上の操作スイッチを有する操作部と、
   を備えることを特徴とする顕微鏡。
2. 前記設定部に設定される機能は、前記操作部の操作を有効にする機能または無効にする機能であることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
3. 前記操作スイッチに対応し、前記設定部で無効に設定された前記操作スイッチの発光パターンと有効に設定された前記操作スイッチの発光パターンとを異ならせて発光することを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
4. 前記設定部に設定される機能は、前記操作部の操作による前記電動駆動部の駆動であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の顕微鏡。
5. 前記電動駆動部は、レボルバ、ＡＳ、観察法切り換え、Ｘ−Ｙステージ、Ｚステージ、ＡＦ、フィルタターレット、シャッター、ＦＳ、コンデンサレンズ、ＤＩＣプリズム、調光のうちの少なくとも１つを駆動することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の顕微鏡。
6. 前記設定部は、ピアノ式スイッチ、ロータリー式スイッチ、ボタン式スイッチ、レバー式スイッチ、トグル式スイッチ、スライド式スイッチ、シーソー式スイッチのうちの少なくとも１つであることを特徴とした請求項１乃至５の何れか１項に記載の顕微鏡。

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