DE2102922C3 - Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten mit Hilfe eines Beleuchtungsstrahlenbündels zu betrachtende Objekte mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines unsichtbaren Strahlenbündels und einer Marke sowie einer diesem zugeordneten fotoelehtrischen Einrichtung, deren Signale bei Auswanderung der Objektebene aus der Fokusebene des Objektivs eine Steuereinrichtung erregen, die die Objektebene in die Fokusebene zurückführt.

Eine Vorrichtung dieser Art ist durch die US-Patentschrift 3037423 bekannt, die im Zusammenwirken mit einem Projektor dazu dient, beim Auswandern eines Bildes aus der Fokusebene des Objektivs das Bild in diese Ebene zurückzuführen. Zu diesem Zweck ist eine besondere Strahlenquelle vorgesehen, die Strahlen nur im Spektralbereich außerhalb des siciitbaren Lichtes, d. h. UV- oder IR-Strahlen, erzeugt und die mittels des unsichtbaren Strahlenbündels von einem sammelnden optischen Glied (Meßstrahlprojektiv) im Fokus des Projektorobjektivs abgebildet wird. Das unsichtbare Strahlenbündel trifft unter einem Winkel von 45° zur optischen Achse des Projektors auf ein Objekt auf und wird zu zwei in Differenzschaltung liegenden fotoelektrischen Empfungern hinreflektiert. Stimmen Fokusebene und Ob= jektebene in ihrer Lage iibcrein, wird keiner der vorhandenen fotoelektrischen Empfänger erregt, stimmen sie nicht übcrcin. wird nach Maßgabe der Auswanderung des Objektes aus der Fokusc,hcnc einer der beiden hmplünger erregt, um einen Steuer-

Stromkreis zum Betätigen einer Einrichtung zu schließen, die die beiden Ebenen wieder in Übereinstimmung bringt.

Es ist als nachteilig anzusehen, daß dem unsichtbaren Strahlenbündel ein vom Objektiv des Projektors unabhängiges, zusätzliches Meßstrahlprojektiv zugeordnet ist. Abgesehen von den hiermit verbundenen Kosten ist es nämlich nicht einfach, das im unsichtbaren Strahlengang stehende Meßstrahlprojektiv und das Projektorobjektiv so auszurichten, daß sie in einem gemeinsamen Punkt fokussieren. Eine derartige Vorrichtung ist daher bei solchen Geräten praktisch nicht anwendbar, bei denen Objektive unterschiedlicher Abstimmlängen zum Einsatz kommen. Für Mikroskope ist sie weiterhin deshalb nicht brauchbar, weil die Abmessungen der Mikroskopobjektive im allgemeinen so groß sind, daß sie den Ein- und Austritt des unsichtbaren Strahlenbündels in den bzw. aus dem Fokus des Mikroskopobjektivs von der Seite her nicht zulassen. Bei Immersionsobjektiven ist wegen der dort benötigten Flüssigkeitsschicht zwischen Betrachtungsfläche und Frontlinse eine Vorrichtung der vorstehend beschriebenen Art überhaupt nicht anwendbar.

Aus der US-PS 2968994 ist eine Fokussiereinrichtung bekannt, die nach demselben Prinzip aufgebaut ist wie die vorgenannte, bei der jedoch der Einfallswinkel des Fokussierstrahlenbündels gegen die Beobachtungsrichtung des Mikroskops kleiner ist. Dies wird dadurch erreicht, daß das Fokussierstrahlenbündel durch das Objektiv des Mikroskops auf die Meßfläche geleitet wird, wobei jedoch darauf zu achten ist, daß der Beobachtungsstrahlengang des Mikroskops durch die Fokussiereinrichtung nicht beschnitten wird.

Die notwendigerweise schräge Einstrahlung des Fokussierstrahlenbündels bringt es mit sich, daß die bekannte Einrichtung nur in Verbindung mit Objektiven einfachster Bauart eingesetzt werden kann. Außerdem fokussieren der Beobachtungsstrahlengang und der Fokussierstrahlengang in verschiedenen Punkten der Objektfläche und beim Objektivwechsel ist auch ein vVechsel in der Lage der Meßblende im Fokussierstrahlengang erforderlich.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Fokussiereinrichtung anzugeben, die unter Verwendung des Beobachtungsobjektivs immer auf denselben Objektbereich gerichtet ist wie die Beobachtungseinrichtung, deren Funktionsweise unabhängig vom jeweils verwendeten Objektiv ist und die ohne aufwendige Umbaumaßnahmen in ein Mikroskop eingesetzt werden kann

Diese Aufgabe wird in der Hauptsache dadurch gelöst, daß Bauteile mit folgenden Eigenschaften vorgesehen sind:

a) ein im Beleuchtungsstrahlenbündel angeordneter, unsichtbaTe Strahlen reflektierender erster dichromatischcr Teilerspiegel;

b) ein im Abbildungsstrahlenbündel angeordneter, unsichtbare Strahlen teilweise bzw. ganz reflektierender zweiter dichromatischer Teilerspiegel zur Eingabe des Beleuchtungsstrahlenbündels bzw, des unsichtbaren Strahlenbündel in das optische Gerät;

c) optische Mittel, die bcleuchtungsscitig ein zur optischen Achse paralleles Meßstrahlenbündel in die eine Hälfte des Objektivs einleiten;

(I) optische Miticl die von dem auf dem Objekt er-

zeugten Bild der Marke ein Bild auf der fotoelektrischen Einrichtung erzeugen.

Zweckmäßig ist es, wenn ein dritter dichromatischer Teilerspiegel zur Abtrennung dies auf die fotoelektrische Einrichtung auffallenden Meßstrahlen bündeis vorgesehen ist.

Mit Vorteil kann die Anordnung auch so getroffen sein, daß zur Erzeugung des unsichtbaren Strahlenbündels der erste dichromatische Teilerspiegel zwisehen dem Kondensor der Lichtquelle und der Aperturblende des Beleuchtungsstrahlenbündels als schräggestellter, nur die unsichtbaren Strahlenteile der Lichtquelle beeinflussender Teilerspiegel vorgesehen ist.

Es ist weiterhin möglich, daß als zweiter dichromatischer Teilerspiegel ein nur die unsichtbaren Strahlenteile der Lichtquelle beeinflussender, schräggestellter Teilerspiegel vorgesehen ist, der die Abbildungsstrahlen der Marke dem Beleuchtungsstrahlenbündel vor dem Objektiv außermittig wieder zuführt.

Nach einer weiteren Ausgestaltung kann die Ebene der Leuchifeldblende eine Abbildungsebene der Marke - bezogen auf beide Richtung η des Meßstrahlenbündels - sein. Vorteilhaft ist es auch, daß im beleuchtungsseitigen Meßstrahlenbündel vor Einleitung in das Beleuchtungsstrahlenbündel eine Blende vorgesehen sein kann, die eine Hälfte des Abbildungsstrahlerbündels der Marke abblendet, und daß eine Abbildungsebene der Marke nach Reflexion des unsichtbaren Strahlenbündels am Objekt in einer Zwischenbildebene des optischen Beobachtungsgeräts liegt.

Die Anordnung kann zweckmäßigerweise auch so ausgebildet sein, daß die fotoelektrische Einrichtung fotoelektrische Empfänger in Differenzschaltung enthält mit einer dazwischen liegenden, die Nullage definierenden Dunkelmarke, die in Größe und Form der abgebildeten Marke entspricht und so angeordnet ist, daß bei Übereinstimmung von Fokusebene und Betrachtungsfläche das Markenbild sich mit der Dunkelmarke deckt und kein Empfänger erregt wird, während bei Abweichungen zwischen Fokusebene und Betrachtungsfläche ein Empfänger nach Maßgabe der Auswanderung des Markenbildes aus der Dunkelmarke erregt wird.

Schließlich kann im empfängerseitigen Meßstrahlenbündel eine zur Achse dieses Bündels schräg gestellte, rotierende, transparente und planparallele Platte eingefügt und der fotoelektrische Empfänger kreisförmig sein, wobei dessen Kreisfläche mittels Dunkelmarken in Empfängersektoren unterteilt sein kann.

Die Erfindung ist nachstehend an Hand mehrerer Ausführungsbeispiele näher beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 ein Mikroskop üblicher Bauart mit schematische' Darstellung des Meßstrahlengangs,

Fig. 2 u. 3 ein Beispiel, bei dem das Meßstrahlenbündel aus dem B;lcuchtungsstrahlenbünd:! ausgcspiegelt ist,

Fig. 4a-6 verschiedene Ausführungsformen, bei denen das Meßsirahlenbündel in das Beleuchtungsstrahlenbündel eingeführt ist,

Fig. 7 eine Ausführungsform mit fotoclcktrischen Empfängern spezieller Ausbildung,

Fig. Sa-Sc ein weiteres Beispiel, bei dem die vom Objekt zurückgespiegelte Marke in die Zwischcnbildebenc des Mikroskops abgebildet wird.

In Fig. I ist die Erfindung an einem Mikroskop

üblicher ßauart schematisch dargestellt. Das Mikroskop besitzt einen Fuß F, einen Tubusträger TT, einen Objektivrevolver OR mit Objektiven Ob, einen Objekttisch OT und ein Okular Ok. Eine Lichtquelle L beleuchtet das auf dem Objekttisch liegende Objekt 9 mit Auflicht. Hier setzt die Erfindung ein, die gemäß Fig. I ihrem Wesen nach darauf beruht, daß aus den von der Lichtquelle L ausgehenden Strahlen mittels eines IR-Lichtteilers 3 die unsichtbaren Meßstrahlen 8c au.sgespiegelt und diese Strahlen dem Objektiv 8 außermittig zugeführt werden. Nach Auftreffen auf das Objekt 9 werden die Meßstrahlen 8< durch das Objektiv 8 wieder außermittig in das Bcobachtungsstrahlenbundcl 8/) zunickgefuhrt und hiernach aus diesem Strahlenbündel ausgespiegelt und einer fotoilektrischen Einrichtung W zugeführt, deren Ausgangssignale bei Auswanderung des Objektes aus der Fokusebcne des ivlikroskopobjeklivs in üblicher Weise einen Servokreis .V beeinflussen, mit welchem durch Heben oder Senken des Objekttisches OT das OnjcKi V unci die FokuncIk;iic wicuci im eine ufnii'cinstiinmende Lage gebracht werden.

In den Fig. 2 und λ ist diese Wirkungsweise näher erläutert. Nach Fig. 2 gelangen Strahlen von einer Lichtquelle 1 in üblicher Weise über einen Kondensor Leine Aperturblende 4.eine Leuchtfeldblende 5. eine Linse 6 und einen als Lichttciler 7 ausgebildeten Spiegel sowie uber das Mikroskopobjektiv 8 als Auflicht zu dem Obje'kt 9.

Aus diesem Bclmichtungsstrahlenbundel Ha wird durch den IR-Lichtleiler 3 ein unsichtbares Strahlenbündel 8< ausgespielt. Dieses gelangt uber einen weiteren Spiegel 10 und eine Linse 11 zu einem Spalt 12 . Das Bild dieses. Spaltes wird durch eine L^se 13 im Unendlichen abgebildet und gelangt über einen Spiegel 14 zu einem Prisma 16 und durch dieses über einen weiteren Spiegel 14 in das Belcuchtungssirahlenbundel 8<j zurück. Das Prisma 16 ist so ausgebildet und angeordnet, daß die den Spalt 12' abbildenden Strahlen Hc außermittig zur Achse des Beleuchtungsstrahlenbundels und somit seitlich in das Mikroskopobjektiv 8 eingespiegelt werden. Die Abbildung des Spaltes 12 liegt in der Fokusebene des Objektivs 8 Die auf das Objekl 9 auftreffenden Strahlen werden von diesem reflektiert und gelangen hierdurch zum Mikroskopobjektiv 8 zurück. Auf Grund des Reflexionsgesetzes liegt das Bild des Spaltes 12' nun in der anderen Seite des Beleuchtungsstrahlenbündels 8a bzw des Beobachtungsstrahlenbündels Hb. Aus diesem wird es durch den als IR-Lichtteiler ausgebildeten Spiegel 14 dem Prisma 16 wieder außermittig zugespiegelt Von diesem Prisma gelangt es uber einen Spiegel 15 und Hne Linse 17 zu einer fotoelektrischen Einrichtung 18 Diese hat im vorliegenden Beispiel eine Dunkelmarke 18c sowie zwei Empfänger 18a, 186, die als Teile eines Fotometers bei Auswanderung des Objektes aus der Fokusebene des Mikroskopobjektivs in bekinnter Weise einen Servokxeis beeinflussen, der f urch Heben oder Senken des Mikroskoptisches -.as Objekt und die Fokusebene wieder in überein? :immung bringt.

In der Aijsführungsform nach Fig. 4a gelangen die von der L-jhtquelie 1 ausgehenden Strahlen wiederum in bekannter Weise über den Kondensor 2 und den Spiegel 7 zum Objektiv 8 und danach zum Objekt 9. In dieses Beleuchtungsstrahlenbündel 8a wird ein von einer Glühlampe 19 ausgehendes IR-Strahienbündel 8c über ein Linsensystem 20 und ein Plättchen 21 eingespiegelt, welches die IR-Strahlen reflektiert, das von der Lichtquelle 1 kommende Licht aber durchläßt. Das IR-Strahlenbündel trifft außerhalb der Achse des Beleuchtungsstrahlenbündels 8u auf das < Plättchen 21 und wird von diesem auf i-in weiteres Plättchen 22 gelenkt, das die Strahlen des sichtbaren Lichtes ungehindert durchläßt, während das IR-Strahlenbündel nur durch einen schmalen Spalt 12' in der Mitte des Plättchens 22. also unter Bilden einer

ι» Marke, durch dieses hindurchtreten kann. Wenn das Objektiv 8 auf das Objekt 9 scharf gestellt ist und damit auch die Marke 12' auf dem Objekt 9 abgebildet wird, so entsteht das Bild der Marke 12' nach Reflexion wieder im Spalt 12' des Plättchens 22. Die Meß

^; ■ strahlen 8c werden dann am Plättchen 21 reflektiert und fallen auf das Linsensystem 23h. Der Spalt 12' wird dadurch erneut, diesmal auf der die Nullagc definierenden Dunkelmarke 23c der mit Empfängern 23c, 23r/ ausgestatteten fotoelektrischen Einrichtung

-'" 23/) abgebildet. Der Verlauf des unsichtbaren StrahlciKHii'idcis πι von der Glühlampe ■" bi5 zur Einrichtung 23b ist in der Fig. 4a durch die eingezeichneten Pfeile verdeutlicht.

Liegt das Objekt 9 außerhalb der Schärfenebene.

:~' wie in Fig. 4b schematisch dargestellt ist, so wandert das Bild der Marke entsprechend der dargestellten Auswanderung im Objektiv 8 aus der Nullage der Einrichtung 23/» aus. Einer der Empfänger 23c, 23</ gibt ein Signal zum Fokussieren des Objektes und der

i" Servot.'.;is wird so lange in Funktion gesetzt, bis das Objekt wieder scharfgestellt ist und somit das Bild der Marke wieder in die Nullage fällt.

Das Beispiel nach Fig. 5 unterscheidet sich von dem nach Fig. 4a dadurch, da3 das Plättchen 22' in dem vor der Einspiegelung liegenden Teil des Meßstrahlenbündels 8c liegt. Als Mittel zur Einspiegelung dient ein unter 45 bezüglich der Achse des von der Lichtquelle 1 ausgehenden Teilabschnitts des Bclcuchtungsstrahlcnbündels Ha stehendes Plättchen 24.

:■ Wenn das Objekt 9 scharfgestellt ist. so wird der in die Leuchtfeldblende 25 abgebildeic Spalt 12' automatisch auch auf das Objekt 9 abgebildet und nach der Reflexion erneut in die Leuchtfeldblcnde 25. Dieses Bild wird dann mittels des Plättchens 24 und des

:, Linsensystems 26 vergrößert der fotoelektrischen Einrichtung 23b zugeführt.

Im Beispiel nach Fig. 6 ist die Ausführungsform nach Fig. 5 dadurch abgeändert, daß das Plättchen 24 senkrecht zur Achse des lichtquellenseitigen

Vi Teilabschnitts des Beleuchtungsstrahlenbündels 8</ steht.

Anstelle des Dargestellten können selbstverständlich auch anders aufgebaute fotoelektrische F\nrichtungen vorgesehen sein. So kann beispielsweise - wie

μ in Fig. 7 gezeigt ist - in dem Strahlenbündel der vom Objekt 9 zurückgespiegelten und vom Teilerspiegel 7 und danach vom Plättchen 24 abgelenkten Meßstrahlen 8c eine zur Achse dieses Strahlenbündels schräg gestellte, rotierende, transparente und planparallele

bo Platte 27' vorgesehen und zwei kreissektorförmige fotoelektrische Empfänger 27a, 27fc vorhanden sein, zwischen denen sich beidseitig Dunkelmarken 27 c. 27d befinden.

Nach den Fig. 8a bis 8c gelangen die von der

hi Lichtquelle 1 ausgehenden Strahlen ebenso wie bei den vorhergehenden Beispielen über den Teilerspiegel 7 zum Objektiv 8 und danach zum Objekt 9, das in Fig. 8a in der Fokuscfccnc 9a liegt. Das vor. der

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Glühlampe 19 ausgehende unsichtbare Strahlenbündel 8c wird hier jedoch wie Fig. Ha zeigt - mit einer Linse 28 parallel gerichtet. Eine nachgeschaltete Zylinderlinse 29 beleuchtet einen Spalt 12' einer Spaltblcnde 30. Ditvser Spalt wird mit der Linse 31 über einen dichromatischen Lichtteiler 32 in die Ebene der Lcuchtfeldblende 33 abgebildet. Die Linse 34 bildet die Leuchtfeldblende 33 über den Lichtteiler 7 und das Objektiv 8 ins Objekt 9 ab. Die Halbblende 35 wird mit der Linse 34 in die Pupille des Objektivs abgebildet. Im Beleuchtungsstutzen ist noch ein IR-Sperrfilter 36 eingebaut.

Im abbildenden Strahlenbündel 8/) bildet das Objektiv 8 hierbei das Objekt 9 mit dem Bild der Marke 12' in die Zwischcnbildebene 18</des Mikroskops ab. Im Tubus vorder Zwischenbildebene 18r/ ist ein weiterer dichromatischer Lichtteiler 37 angebracht, der das Beobachtungsstrahlcnbündel 8/; und das Meßstrahlenbündel Hc trennt. Die Beobachtungsstrahlcn werden durch ein IR-Sperrfilter 38 beispielsweise ei nem Okular 39 oder einer nicht dargestellten Fern sehkamera zugeführt. Die vom dichromatischei Lichtteiler 37 durchgelassenen Meßstrahlen 8cerzeu gen ein Spaltbild auf der fotoelektrischen Einrichtung 18. die eine als Blende ausgebildete Dunkelmarke 18( aufweist, deren Stegbreite genau der Größe des abgebildeten Spaltes 12'entspricht. Wenn ein Objekt 9 genau in der Fokusebene 9a liegt (Fig. Sa), wird keinei der Empfänger 18«, 18/j mit Licht beaufschlagt. lsi das Objekt 9 nicht in der Fokusebene - entsprechenc den Darstellungen in Fig. 8b bzw. 8c — wird einei der Empfänger 18«, 18b mit Licht beaufschlagt Über einen nicht dargestellten Verstärker wird ein Servokreis angesteuert. Dieser verstellt den Einstellmechanismus des Objekt-Tisches so lange, bis die Empfänger 18«, 18/j keinen Strom mehr liefern. Das Objekt 9 steht dann wieder genau im Fokus 9«.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

809 534/15

Claims (1)

1. Patentansprüche;

   1. Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten mit Hilfe eines Beleuchtungsstrahlenbündels zu betrachtende Objekte mit einer Einrichtung zur Erzeugung eines unsichtbaren Strahlenbündels und einer Marke sowie einer diesem zugeordneten fotoelektrischen Einrichtung, deren Signale bei Auswanderung der Objektebene aus der Fokusebene des Objektivs eine Steuereinrichtung erregen, die die Objektebene in die Fokusebene zurückführt, dadurch gekennzeichnet, daß Bauteile mit folgenden Eigenschaften vorgesehen sind:

   a) ein im Beleuchtungsstrahlenbündel (8 a) angeordneter, unsichtbare Strahlen reflektierender erster dichromatischer Teilerspiegel (3, 21, 24, 24', 32);

   b) ein im Abbildungsstrahlenbündel (8 b) angeordneter, unsichtbare Strahlen teilweise bsw. ganz reflektierender zweiter dichromatischer Teilerspiegel (7 bzw. 14") zur Eingabe des Beleuchtungsstrahlenbündels (8a) bzw. des unsichtbaren Strahlenbündels (8 c) in das optische Gerät;

   c) optische Mittel (13,14,16; 34), die beleuchtungsseitig ein zur optischen Achse paralleles Meßstrahlenbündel (8 c) in die eine Hälfte des Objektivs (8) einleiten;

   d) optische Mittel (8; 15,17; 23a; 26; 2T), die von dem auf dem Objekt (9) erzeugten Bild der Marke (12,12'; 22; 22'; 30, 35) ein Bild auf der fotoelektrischen Einrichtung ( W; 18; 23 b; 27) erzeugen.

   2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein dritter die iromatischer Teilerspiegel (37) zur Abtrennung des auf die fotoelektrische Einrichtung (18) auffallenden Meßstrahlenbündels (8c) vorgesehen ist (Fig. 8a).

   3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des unsichtbaren Strahlenbündels (8c) der erste dichromatische Teilerspiegel zwischen dem Kondensor (2) der Lichtquelle (L; 1) und der Aperturblende (4) des Beleuchtungsstrahlenbündels (8a) als schräggestellter, nur die unsichtbaren Strahlenanteile (8c) der Lichtquelle (L; 1) beeinflussender Teilerspiegel (3) vorgesehen ist.

   4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 und

   3, dadurch gekennzeichnet, daß als zweiter dichromatischer Teilerspiegel ein nur die unsichtbaren Strahlenanteile der Lichtquelle (1) beeinflussender, schräggestellter Teilerspiegel (14') vorgesehen ist, der die Abbildungsstrahlen (8c) der Marke (12) dem Beleuchtungsstrahlenbündel (8a) vor dem Objektiv (8) außermittig wieder zuführt (Fig. 3).

   5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis

   4, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebene der Leuchtfeldblende eine Abbildungsebene der Marke (22) - bezogen auf beide Richtungen des Meßstfählcnbiindels (8f) - ist (Fig. 4a).

   (■>. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis

   5, dadurch gekennzeichnet, daß im belcuchtungsseitigcn Meßstrahlenbündel (8c) vor Einleitung in das Bclcuchtungsstrahlenbündel (8«) eine Blende (35) vorgesehen ist. die eine Hälfte des Abbil-

   dungsstrahlenbündels der Marke (30) abblendet, und daß eine Abbildungsebene der Marke nach Reflexion des unsichtbaren Strahlenbündels am Objekt (9) in einer Zwischenbildebene (18<i) des optischen Beobachtungsgeräts liegt (Fig, 8a).

   7. Anordnung nach einem der Ansprüche I bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die fotoelektrische Einrichtung( W; 18; 23b; 27) fotoelektrische Empfänger (18a, 18b; 23c, 23d; 27a, 27b) in Differerizschaltung enthält mit einer Dunkelmarke (18c; 23e; 27c, 27d), die in Größj und Form der abgebildeten Marke (12; 22; 22'; 30) entspricht und so angeordnet ist, daß bei Übereinstimmung von Fokusebene (9a) und Betrachtungsfläche (9) das Markenbild sich mit der Dunkelmarke (18c; 23e; 27c, 27d) deckt und kein Empfänger (18a, 18b; 23c, 23d; 27a, 27b) erregt wird, während bei Abweichungen zwischen Fokusebene (9a) und Betrachtungsfläche (9) ein Empfänger (18a, 18b; 23c, 23a"; 27a, 27 b) nach Maßgabe der Auswanderung des Markenbildes aus der Dunkelmarke (18c; 23e; 27c, 27d) erregt wird.

   8. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß im empfängerseitigen Meßstrahlenbündel (8c) eine zur Achse dieses Bündels schräg gestellte, rotierende, transparente und planparallele Platte (27') eingefügt und der fotoelektrische Empfänger (27) kreisförmig ist, wobei dessen Kreisfläche mittels Dunkelmarken (27c, 27d) in Empfängersektoren (27a, 27b) unterteilt ist (Fig. 7).