JPH08254650A - 焦点検出装置 - Google Patents
焦点検出装置Info
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- JPH08254650A JPH08254650A JP7083407A JP8340795A JPH08254650A JP H08254650 A JPH08254650 A JP H08254650A JP 7083407 A JP7083407 A JP 7083407A JP 8340795 A JP8340795 A JP 8340795A JP H08254650 A JPH08254650 A JP H08254650A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/24—Base structure
- G02B21/241—Devices for focusing
- G02B21/245—Devices for focusing using auxiliary sources, detectors
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- Focusing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 物体面上の段差エッジの影響を受けにくく且
つ光の利用効率が高い、高精度な焦点検出装置を提供す
ること。 【構成】 本発明においては、対物レンズの光軸に関し
て２分された一方の領域を介して光源からの光を物体上
に導いて前記物体上に前記光源の像を投影するための像
投影手段と、前記光軸に関して２分された他方の領域を
介して前記物体上に形成された前記光源像からの光を受
光する受光手段とを備え、前記受光手段の出力に基づい
て前記対物レンズと前記物体との合焦情報を検出する焦
点検出装置において、前記像投影手段は、前記光軸に関
して２分された２つの領域の境界面に沿った方向におい
て第１屈折力を有し、前記光軸を含んで前記境界面と直
交する直交面に沿った方向において前記第１屈折力と実
質的に異なる第２屈折力を有する光学手段を有し、前記
光学手段は、前記物体上に形成される前記光源の像を前
記境界面に対応する面内方向に沿って細長い像に整形す
る。
つ光の利用効率が高い、高精度な焦点検出装置を提供す
ること。 【構成】 本発明においては、対物レンズの光軸に関し
て２分された一方の領域を介して光源からの光を物体上
に導いて前記物体上に前記光源の像を投影するための像
投影手段と、前記光軸に関して２分された他方の領域を
介して前記物体上に形成された前記光源像からの光を受
光する受光手段とを備え、前記受光手段の出力に基づい
て前記対物レンズと前記物体との合焦情報を検出する焦
点検出装置において、前記像投影手段は、前記光軸に関
して２分された２つの領域の境界面に沿った方向におい
て第１屈折力を有し、前記光軸を含んで前記境界面と直
交する直交面に沿った方向において前記第１屈折力と実
質的に異なる第２屈折力を有する光学手段を有し、前記
光学手段は、前記物体上に形成される前記光源の像を前
記境界面に対応する面内方向に沿って細長い像に整形す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は焦点検出装置に関し、特
に落射照明型顕微鏡の焦点検出装置に関するものであ
る。
に落射照明型顕微鏡の焦点検出装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図４は、落射照明型顕微鏡に用いられる
従来の光源投影方式の焦点検出装置の構成を概略的に示
す図である。図示の装置では、例えば米国特許第４，７
９８，９４８号公報に開示されているように、光源像を
直接物体上に結像投影し、物体からの反射像を受光素子
で検出する。すなわち、光源投影方式では、物体上に光
源像として点像を形成する。
従来の光源投影方式の焦点検出装置の構成を概略的に示
す図である。図示の装置では、例えば米国特許第４，７
９８，９４８号公報に開示されているように、光源像を
直接物体上に結像投影し、物体からの反射像を受光素子
で検出する。すなわち、光源投影方式では、物体上に光
源像として点像を形成する。
【０００３】図４に示す落射照明型顕微鏡は、観察すべ
き物体５１側から、対物レンズ５０、第２対物レンズ５
５、および接眼レンズ５７を備えている。なお、物体５
１は対物レンズ５０の焦点位置に位置決めされ、対物レ
ンズ５０と第２対物レンズ５５との間の光路は無限光束
光路（または平行光束光路）となっている。したがっ
て、図示を省略した落射照明光学系により落射照明され
た物体５１からの光は、２つの対物レンズ５０および５
５を介して像面５６上に物体像を形成する。像面５６上
に形成された物体像は、接眼レンズ５７を介して肉眼に
より拡大観察される。
き物体５１側から、対物レンズ５０、第２対物レンズ５
５、および接眼レンズ５７を備えている。なお、物体５
１は対物レンズ５０の焦点位置に位置決めされ、対物レ
ンズ５０と第２対物レンズ５５との間の光路は無限光束
光路（または平行光束光路）となっている。したがっ
て、図示を省略した落射照明光学系により落射照明され
た物体５１からの光は、２つの対物レンズ５０および５
５を介して像面５６上に物体像を形成する。像面５６上
に形成された物体像は、接眼レンズ５７を介して肉眼に
より拡大観察される。
【０００４】一方、図４の焦点検出装置において、光源
４１から射出された光は、コリメートレンズ４４により
平行光に変換された後、ハーフストップ４５に入射す
る。ハーフストップ４５により光束の半分が遮蔽され、
図中光軸よりも上側半分の光束となってハーフミラー４
６に入射する。ハーフミラー４６を透過した光束は、図
中上側の光路を介して、ダイクロイックミラー４８に入
射する。ダイクロイックミラー４８で図中下方に反射さ
れた光は、図中左側の光路を介して、無限系対物レンズ
５０に入射する。こうして、対物レンズ５０により、物
体５１上には光源像として点像５２が形成される。
４１から射出された光は、コリメートレンズ４４により
平行光に変換された後、ハーフストップ４５に入射す
る。ハーフストップ４５により光束の半分が遮蔽され、
図中光軸よりも上側半分の光束となってハーフミラー４
６に入射する。ハーフミラー４６を透過した光束は、図
中上側の光路を介して、ダイクロイックミラー４８に入
射する。ダイクロイックミラー４８で図中下方に反射さ
れた光は、図中左側の光路を介して、無限系対物レンズ
５０に入射する。こうして、対物レンズ５０により、物
体５１上には光源像として点像５２が形成される。
【０００５】物体５１上に形成された点像５２からの光
は、再び無限系対物レンズ５０により平行光にされた
後、図中右側の光路を介してダイクロイックミラー４８
に入射する。ダイクロイックミラー４８で図中左側に反
射された光は、図中下側の光路を介してハーフミラー４
６に入射する。ハーフミラー４６で図中上方に反射され
た光は、図中右側の光路を介して結像レンズ５３に入射
する。結像レンズ５３を介した光は、受光素子５４の受
光面上に再び点像を形成する。こうして、受光素子５４
の出力信号に基づいて、対物レンズ５０と物体５１との
合焦情報を検出する。
は、再び無限系対物レンズ５０により平行光にされた
後、図中右側の光路を介してダイクロイックミラー４８
に入射する。ダイクロイックミラー４８で図中左側に反
射された光は、図中下側の光路を介してハーフミラー４
６に入射する。ハーフミラー４６で図中上方に反射され
た光は、図中右側の光路を介して結像レンズ５３に入射
する。結像レンズ５３を介した光は、受光素子５４の受
光面上に再び点像を形成する。こうして、受光素子５４
の出力信号に基づいて、対物レンズ５０と物体５１との
合焦情報を検出する。
【０００６】上述のような従来の光源投影方式の焦点検
出装置では、光の利用効率が高く、観察すべき物体の面
が鏡面のように平坦な場合には検出精度が高い。しかし
ながら、たとえばウェハーパターンのような段差を有す
る物体面では、図６（ａ）に示すように、光源像である
点像５２が物体５１上に形成されたパターンの段差エッ
ジにかかることがある。この場合、光エネルギーの大部
分が段差エッジで散乱してしまい、焦点検出のための正
反射光が少なくなる。その結果、検出精度が著しく損な
われ、顕微鏡においてピントずれ（焦点ずれ）が発生し
てしまうという不都合があった。
出装置では、光の利用効率が高く、観察すべき物体の面
が鏡面のように平坦な場合には検出精度が高い。しかし
ながら、たとえばウェハーパターンのような段差を有す
る物体面では、図６（ａ）に示すように、光源像である
点像５２が物体５１上に形成されたパターンの段差エッ
ジにかかることがある。この場合、光エネルギーの大部
分が段差エッジで散乱してしまい、焦点検出のための正
反射光が少なくなる。その結果、検出精度が著しく損な
われ、顕微鏡においてピントずれ（焦点ずれ）が発生し
てしまうという不都合があった。
【０００７】そこで、平坦でない物体面、たとえばウエ
ハのようにパターンが形成された物体面に対しても検出
精度が著しく損なわれないように、スリット投影方式が
提案されている。図５は、落射照明型顕微鏡に用いられ
る従来のスリット投影方式の焦点検出装置の構成を概略
的に示す図である。図示の装置では、例えば米国特許第
３，７２１，８２７号公報に開示されているように、ス
リット像を物体上に結像投影し、物体からの反射像を受
光素子で検出する。
ハのようにパターンが形成された物体面に対しても検出
精度が著しく損なわれないように、スリット投影方式が
提案されている。図５は、落射照明型顕微鏡に用いられ
る従来のスリット投影方式の焦点検出装置の構成を概略
的に示す図である。図示の装置では、例えば米国特許第
３，７２１，８２７号公報に開示されているように、ス
リット像を物体上に結像投影し、物体からの反射像を受
光素子で検出する。
【０００８】図５のスリット投影方式の焦点検出装置
は、図４の光源投影方式の焦点検出装置と同じ落射照明
型顕微鏡に適用されている。また、図５のスリット投影
方式の焦点検出装置は、図４の光源投影方式の焦点検出
装置と類似の構成を有し、光源４１とコリメートレンズ
４４との間にコンデンサーレンズ４２およびスリット板
４３が付設されている点だけが基本的に相違する。した
がって、以下、この相違点に着目して図５のスリット投
影方式の焦点検出装置を説明する。
は、図４の光源投影方式の焦点検出装置と同じ落射照明
型顕微鏡に適用されている。また、図５のスリット投影
方式の焦点検出装置は、図４の光源投影方式の焦点検出
装置と類似の構成を有し、光源４１とコリメートレンズ
４４との間にコンデンサーレンズ４２およびスリット板
４３が付設されている点だけが基本的に相違する。した
がって、以下、この相違点に着目して図５のスリット投
影方式の焦点検出装置を説明する。
【０００９】図５の焦点検出装置において、光源４１か
ら射出された光は、コンデンサーレンズ４２により集光
された後、光軸を通り図面の紙面に垂直な方向に延びた
スリット開口部の形成されたスリット板４３を照明す
る。スリット板４３の開口部を通過したスリット光は、
コリメータレンズ４４により平行光に変換される。コリ
メータレンズ４４からの平行光は、ハーフストップ４
５、ハーフミラー４６、ダイクロイックミラー４８およ
び対物レンズ５０を介して、物体５１上にスリット像５
２’を形成する。
ら射出された光は、コンデンサーレンズ４２により集光
された後、光軸を通り図面の紙面に垂直な方向に延びた
スリット開口部の形成されたスリット板４３を照明す
る。スリット板４３の開口部を通過したスリット光は、
コリメータレンズ４４により平行光に変換される。コリ
メータレンズ４４からの平行光は、ハーフストップ４
５、ハーフミラー４６、ダイクロイックミラー４８およ
び対物レンズ５０を介して、物体５１上にスリット像５
２’を形成する。
【００１０】物体５１上に形成されたスリット像５２’
からの光は、対物レンズ５０、ダイクロイックミラー４
８、ハーフミラー４６および結像レンズ５３を介して受
光素子５４に達する。こうして、受光素子５４の受光面
上には、再びスリット像が形成される。こうして、受光
素子５４の出力信号に基づいて、対物レンズ５０と物体
５１との合焦情報を検出する。
からの光は、対物レンズ５０、ダイクロイックミラー４
８、ハーフミラー４６および結像レンズ５３を介して受
光素子５４に達する。こうして、受光素子５４の受光面
上には、再びスリット像が形成される。こうして、受光
素子５４の出力信号に基づいて、対物レンズ５０と物体
５１との合焦情報を検出する。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来のスリット
投影方式の焦点検出装置では、図６（ｂ）に示すよう
に、スリット像５２’が物体５１上に形成されたパター
ンの段差エッジにかかっても、段差エッジで散乱する光
エネルギーの割合が小さい。したがって、スリット投影
方式によれば、検出精度に対するパターンエッジによる
散乱の影響は実質的になくなる。しかしながら、スリッ
ト板を照明するためのコンデンサーレンズが付加的に必
要になり、光学系が複雑化してしまう。また、スリット
板によって光源からの光の大部分が遮蔽されるので、光
の利用効率が極端に低くなる。その結果、受光素子にお
いて十分な信号強度を得ることができず、検出精度が低
下してしまうなかった。
投影方式の焦点検出装置では、図６（ｂ）に示すよう
に、スリット像５２’が物体５１上に形成されたパター
ンの段差エッジにかかっても、段差エッジで散乱する光
エネルギーの割合が小さい。したがって、スリット投影
方式によれば、検出精度に対するパターンエッジによる
散乱の影響は実質的になくなる。しかしながら、スリッ
ト板を照明するためのコンデンサーレンズが付加的に必
要になり、光学系が複雑化してしまう。また、スリット
板によって光源からの光の大部分が遮蔽されるので、光
の利用効率が極端に低くなる。その結果、受光素子にお
いて十分な信号強度を得ることができず、検出精度が低
下してしまうなかった。
【００１２】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、物体面上の段差エッジの影響を受けにくく且
つ光の利用効率が高い、高精度な焦点検出装置を提供す
ることを目的とする。
のであり、物体面上の段差エッジの影響を受けにくく且
つ光の利用効率が高い、高精度な焦点検出装置を提供す
ることを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明においては、対物レンズの光軸に関して２分
された一方の領域を介して光源からの光を物体上に導い
て前記物体上に前記光源の像を投影するための像投影手
段と、前記光軸に関して２分された他方の領域を介して
前記物体上に形成された前記光源像からの光を受光する
受光手段とを備え、前記受光手段の出力に基づいて前記
対物レンズと前記物体との合焦情報を検出する焦点検出
装置において、前記像投影手段は、前記光軸に関して２
分された２つの領域の境界面に沿った方向において第１
屈折力を有し、前記光軸を含んで前記境界面と直交する
直交面に沿った方向において前記第１屈折力と実質的に
異なる第２屈折力を有する光学手段を有し、前記光学手
段は、前記物体上に形成される前記光源の像を前記境界
面に対応する面内方向に沿って細長い像に整形すること
を特徴とする焦点検出装置を提供する。
に、本発明においては、対物レンズの光軸に関して２分
された一方の領域を介して光源からの光を物体上に導い
て前記物体上に前記光源の像を投影するための像投影手
段と、前記光軸に関して２分された他方の領域を介して
前記物体上に形成された前記光源像からの光を受光する
受光手段とを備え、前記受光手段の出力に基づいて前記
対物レンズと前記物体との合焦情報を検出する焦点検出
装置において、前記像投影手段は、前記光軸に関して２
分された２つの領域の境界面に沿った方向において第１
屈折力を有し、前記光軸を含んで前記境界面と直交する
直交面に沿った方向において前記第１屈折力と実質的に
異なる第２屈折力を有する光学手段を有し、前記光学手
段は、前記物体上に形成される前記光源の像を前記境界
面に対応する面内方向に沿って細長い像に整形すること
を特徴とする焦点検出装置を提供する。
【００１４】本発明の好ましい態様によれば、前記光学
手段は、前記境界面に沿った方向において屈折力を有す
るトーリックレンズ、あるいは前記境界面に沿った方向
において屈折力を有するトーリックミラーである。
手段は、前記境界面に沿った方向において屈折力を有す
るトーリックレンズ、あるいは前記境界面に沿った方向
において屈折力を有するトーリックミラーである。
【００１５】
【作用】本発明では、直交方向に異なる屈折力を有する
光学手段として、たとえばシリンドリカルレンズ（トー
リックレンズ）を備えている。そして、このシリンドリ
カルレンズの作用により、物体上に形成される光源像を
所定方向に沿って細長い像、たとえばスリット像（また
は線像）に整形する。こうして、光源からの光の損失を
最小限に抑えながら物体面上にスリット像を投影するこ
とができる。したがって、本発明の焦点検出装置では、
光の利用効率が高い光源投影方式でありながら、物体面
上の段差エッジの影響を受けにくい。
光学手段として、たとえばシリンドリカルレンズ（トー
リックレンズ）を備えている。そして、このシリンドリ
カルレンズの作用により、物体上に形成される光源像を
所定方向に沿って細長い像、たとえばスリット像（また
は線像）に整形する。こうして、光源からの光の損失を
最小限に抑えながら物体面上にスリット像を投影するこ
とができる。したがって、本発明の焦点検出装置では、
光の利用効率が高い光源投影方式でありながら、物体面
上の段差エッジの影響を受けにくい。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づい
て説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる焦点
検出装置を搭載した落射照明顕微鏡装置の構成を概略的
に説明する図である。図示の落射照明顕微鏡装置は、観
察すべき物体１１側から、対物レンズ１０、第２対物レ
ンズ１５、および接眼レンズ１７を備えている。なお、
物体１１は対物レンズ１０の焦点位置に位置決めされ、
対物レンズ１０と第２対物レンズ１５との間の光路は無
限光束光路（または平行光束光路）となっている。
て説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる焦点
検出装置を搭載した落射照明顕微鏡装置の構成を概略的
に説明する図である。図示の落射照明顕微鏡装置は、観
察すべき物体１１側から、対物レンズ１０、第２対物レ
ンズ１５、および接眼レンズ１７を備えている。なお、
物体１１は対物レンズ１０の焦点位置に位置決めされ、
対物レンズ１０と第２対物レンズ１５との間の光路は無
限光束光路（または平行光束光路）となっている。
【００１７】したがって、図示を省略した落射照明光学
系により落射照明された物体１１からの光は、２つの対
物レンズ１０および１５を介して像面１６上に物体像を
形成する。像面１６上に形成された物体像は、接眼レン
ズ１７を介して肉眼により拡大観察される。
系により落射照明された物体１１からの光は、２つの対
物レンズ１０および１５を介して像面１６上に物体像を
形成する。像面１６上に形成された物体像は、接眼レン
ズ１７を介して肉眼により拡大観察される。
【００１８】一方、図１の焦点検出装置において、光源
１から射出された光は、コリメートレンズ４により平行
光に変換された後、ハーフストップ５に入射する。ハー
フストップ５は、光軸を通り且つ図面の紙面に垂直な方
向に沿ったエッジを有する。したがって、コリメートレ
ンズ４からの平行光束のうち図中光軸よりも下側半分の
光束はハーフストップ５によって遮蔽され、図中光軸よ
りも上側半分の光束はハーフミラー６に入射する。ハー
フミラー６を透過した光束は、図中上側の光路を介し
て、シリンドリカルレンズ（すなわちトーリックレン
ズ）７に入射する。
１から射出された光は、コリメートレンズ４により平行
光に変換された後、ハーフストップ５に入射する。ハー
フストップ５は、光軸を通り且つ図面の紙面に垂直な方
向に沿ったエッジを有する。したがって、コリメートレ
ンズ４からの平行光束のうち図中光軸よりも下側半分の
光束はハーフストップ５によって遮蔽され、図中光軸よ
りも上側半分の光束はハーフミラー６に入射する。ハー
フミラー６を透過した光束は、図中上側の光路を介し
て、シリンドリカルレンズ（すなわちトーリックレン
ズ）７に入射する。
【００１９】シリンドリカルレンズ７は、図中実線で示
すように、図面の紙面内すなわちメリディオナル面内に
おいては、光源側の面も対物レンズ側の面も曲率を有し
ない。したがって、メリディオナル面内において、シリ
ンドリカルレンズ７は平行平面板として機能する。
すように、図面の紙面内すなわちメリディオナル面内に
おいては、光源側の面も対物レンズ側の面も曲率を有し
ない。したがって、メリディオナル面内において、シリ
ンドリカルレンズ７は平行平面板として機能する。
【００２０】一方、図中破線で示すように、図面の紙面
と垂直な面内すなわちサジタル面内においては、シリン
ドリカルレンズ７の光源側の面は光源側に凸の曲率を有
し、対物レンズ側の面は曲率を有しない。したがって、
サジタル面内において、シリンドリカルレンズ７は正レ
ンズとして機能する。なお、シリンドリカルレンズ７の
対物レンズ側焦点位置が、対物レンズ１０の光源側焦点
位置とほぼ一致するように、シリンドリカルレンズ７が
位置決めされている。
と垂直な面内すなわちサジタル面内においては、シリン
ドリカルレンズ７の光源側の面は光源側に凸の曲率を有
し、対物レンズ側の面は曲率を有しない。したがって、
サジタル面内において、シリンドリカルレンズ７は正レ
ンズとして機能する。なお、シリンドリカルレンズ７の
対物レンズ側焦点位置が、対物レンズ１０の光源側焦点
位置とほぼ一致するように、シリンドリカルレンズ７が
位置決めされている。
【００２１】こうして、メリディオナル面内では、平行
平面板としてのシリンドリカルレンズ７を通過した平行
光束（図中実線で示す）は、図中上側の光路を介して、
ダイクロイックミラー８に入射する。ダイクロイックミ
ラー８で図中下方に反射された平行光は、図中左側の光
路を介して無限系対物レンズ１０に入射し、対物レンズ
１０の物体側焦点位置に結像する。
平面板としてのシリンドリカルレンズ７を通過した平行
光束（図中実線で示す）は、図中上側の光路を介して、
ダイクロイックミラー８に入射する。ダイクロイックミ
ラー８で図中下方に反射された平行光は、図中左側の光
路を介して無限系対物レンズ１０に入射し、対物レンズ
１０の物体側焦点位置に結像する。
【００２２】一方、サジタル面内では、正レンズとして
のシリンドリカルレンズ７により屈折された光（図中破
線で示す）は、ダイクロイックミラー８を介して、対物
レンズ１０の光源側焦点位置９（対物レンズ１０の瞳位
置）に集光する。対物レンズ１０の光源側焦点位置９か
らの発散光は、対物レンズ１０を介して平行光となり、
物体１１上に達する。こうして、物体１１上には、遮光
手段であるハーフストップ５のエッジ方向に対応する方
向に沿って延びたスリット像１２が形成される。
のシリンドリカルレンズ７により屈折された光（図中破
線で示す）は、ダイクロイックミラー８を介して、対物
レンズ１０の光源側焦点位置９（対物レンズ１０の瞳位
置）に集光する。対物レンズ１０の光源側焦点位置９か
らの発散光は、対物レンズ１０を介して平行光となり、
物体１１上に達する。こうして、物体１１上には、遮光
手段であるハーフストップ５のエッジ方向に対応する方
向に沿って延びたスリット像１２が形成される。
【００２３】物体１１上に形成されたスリット像１２か
らのメリディオナル面内の光（図中実線で示す）は、無
限系対物レンズ１０により平行光にされた後、図中右側
の光路を介してダイクロイックミラー８に入射する。ダ
イクロイックミラー８で図中左側に反射された光は、図
中下側の光路を介してシリンドリカルレンズ７に入射す
る。メリディオナル面内では平行平面板として機能する
シリンドリカルレンズ７を通過した光は、平行光のまま
ハーフミラー６に入射する。ハーフミラー６で図中上方
に反射された光は、図中右側の光路を介して結像レンズ
１３に入射する。結像レンズ１３を介した光は、受光素
子１４の受光面上に集光される。
らのメリディオナル面内の光（図中実線で示す）は、無
限系対物レンズ１０により平行光にされた後、図中右側
の光路を介してダイクロイックミラー８に入射する。ダ
イクロイックミラー８で図中左側に反射された光は、図
中下側の光路を介してシリンドリカルレンズ７に入射す
る。メリディオナル面内では平行平面板として機能する
シリンドリカルレンズ７を通過した光は、平行光のまま
ハーフミラー６に入射する。ハーフミラー６で図中上方
に反射された光は、図中右側の光路を介して結像レンズ
１３に入射する。結像レンズ１３を介した光は、受光素
子１４の受光面上に集光される。
【００２４】一方、スリット像１２からのサジタル面内
の光（図中破線で示す）は、無限系対物レンズ１０によ
り対物レンズ１０の光源側焦点位置９に集光された後、
ダイクロイックミラー８を介してシリンドリカルレンズ
７に入射する。サジタル面内では正レンズとして機能す
るシリンドリカルレンズ７を通過した光は平行光とな
り、ハーフミラー６に入射する。ハーフミラー６で図中
上方に反射された光は、結像レンズ１３を介して、受光
素子１４の受光面上に集光される。
の光（図中破線で示す）は、無限系対物レンズ１０によ
り対物レンズ１０の光源側焦点位置９に集光された後、
ダイクロイックミラー８を介してシリンドリカルレンズ
７に入射する。サジタル面内では正レンズとして機能す
るシリンドリカルレンズ７を通過した光は平行光とな
り、ハーフミラー６に入射する。ハーフミラー６で図中
上方に反射された光は、結像レンズ１３を介して、受光
素子１４の受光面上に集光される。
【００２５】こうして、受光素子１４の受光面上には、
メリディオナル面内の光もサジタル面内の光もスポット
状（点状）に結像する。そして、受光素子１４の出力信
号に基づいて、対物レンズ１０と物体１１との合焦情報
を検出する。上述したように、第１実施例にかかる焦点
検出装置では、シリンドリカルレンズ７の作用により、
光源からの光の損失を最小限に抑えながら物体１１上に
スリット像を形成することができる。また、物体１１上
に形成されたスリット像からの光を受光素子１４の受光
面上において点像として検出することができる。したが
って、物体１１からの反射光を、小さな受光面で効率良
く受光することができる。
メリディオナル面内の光もサジタル面内の光もスポット
状（点状）に結像する。そして、受光素子１４の出力信
号に基づいて、対物レンズ１０と物体１１との合焦情報
を検出する。上述したように、第１実施例にかかる焦点
検出装置では、シリンドリカルレンズ７の作用により、
光源からの光の損失を最小限に抑えながら物体１１上に
スリット像を形成することができる。また、物体１１上
に形成されたスリット像からの光を受光素子１４の受光
面上において点像として検出することができる。したが
って、物体１１からの反射光を、小さな受光面で効率良
く受光することができる。
【００２６】図２は、本発明の第２実施例にかかる焦点
検出装置を搭載した落射照明顕微鏡装置の構成を概略的
に説明する図である。図２の第２実施例にかかる装置は
図１の第１実施例にかかる装置と類似している。しかし
ながら、第２実施例では、第１実施例におけるシリンド
リカルレンズが取り除かれ、ダイクロイックミラーの反
射面がトーリック面に形成されている点だけが基本的に
相違する。したがって、図２の装置の構成要素のうち図
１の要素と基本的に同じ機能を有する要素には、図１と
同じ参照符号を付している。以下、第１実施例との相違
点に着目して、第２実施例を説明する。
検出装置を搭載した落射照明顕微鏡装置の構成を概略的
に説明する図である。図２の第２実施例にかかる装置は
図１の第１実施例にかかる装置と類似している。しかし
ながら、第２実施例では、第１実施例におけるシリンド
リカルレンズが取り除かれ、ダイクロイックミラーの反
射面がトーリック面に形成されている点だけが基本的に
相違する。したがって、図２の装置の構成要素のうち図
１の要素と基本的に同じ機能を有する要素には、図１と
同じ参照符号を付している。以下、第１実施例との相違
点に着目して、第２実施例を説明する。
【００２７】図２の焦点検出装置において、光源１から
射出された光は、コリメートレンズ４、ハーフストップ
５およびハーフミラー６を介した後、ダイクロイックミ
ラー８’に入射する。ダイクロイックミラー８’は、図
中実線で示すように、図面の紙面内すなわちメリディオ
ナル面内においては、反射面が平面状に形成されてい
る。したがって、メリディオナル面内において、ダイク
ロイックミラー８’は平面鏡として機能する。
射出された光は、コリメートレンズ４、ハーフストップ
５およびハーフミラー６を介した後、ダイクロイックミ
ラー８’に入射する。ダイクロイックミラー８’は、図
中実線で示すように、図面の紙面内すなわちメリディオ
ナル面内においては、反射面が平面状に形成されてい
る。したがって、メリディオナル面内において、ダイク
ロイックミラー８’は平面鏡として機能する。
【００２８】一方、図中破線で示すように、図面の紙面
と垂直な面内すなわちサジタル面内においては、ダイク
ロイックミラー８’はたとえば放物面のような凹曲面状
に形成されている。したがって、サジタル面内におい
て、ダイクロイックミラー８’は凹面鏡として機能す
る。このように、ダイクロイックミラー８’はトーリッ
ク反射面を有し、その凹曲面はサジタル面内の光を対物
レンズ１０の光源側焦点位置に集光するように形成され
ている。
と垂直な面内すなわちサジタル面内においては、ダイク
ロイックミラー８’はたとえば放物面のような凹曲面状
に形成されている。したがって、サジタル面内におい
て、ダイクロイックミラー８’は凹面鏡として機能す
る。このように、ダイクロイックミラー８’はトーリッ
ク反射面を有し、その凹曲面はサジタル面内の光を対物
レンズ１０の光源側焦点位置に集光するように形成され
ている。
【００２９】こうして、メリディオナル面内では、平面
鏡としてのダイクロイックミラー８’で反射された平行
光束（図中実線で示す）は、対物レンズ１０を介してそ
の物体側焦点位置に結像する。一方、サジタル面内で
は、凹面鏡としてのダイクロイックミラー８’により対
物レンズ１０の光源側焦点位置に集光された光（図中破
線で示す）は、対物レンズ１０を介して平行光となり、
物体１１上に達する。こうして、物体１１上には、遮光
手段であるハーフストップ５のエッジ方向に対応する方
向に沿って延びたスリット像１２が形成される。
鏡としてのダイクロイックミラー８’で反射された平行
光束（図中実線で示す）は、対物レンズ１０を介してそ
の物体側焦点位置に結像する。一方、サジタル面内で
は、凹面鏡としてのダイクロイックミラー８’により対
物レンズ１０の光源側焦点位置に集光された光（図中破
線で示す）は、対物レンズ１０を介して平行光となり、
物体１１上に達する。こうして、物体１１上には、遮光
手段であるハーフストップ５のエッジ方向に対応する方
向に沿って延びたスリット像１２が形成される。
【００３０】物体１１上に形成されたスリット像１２か
らのメリディオナル面内の光（図中実線で示す）は、対
物レンズ１０により平行光にされた後、図中右側の光路
を介してダイクロイックミラー８’に入射する。平面鏡
として機能するダイクロイックミラー８’で図中左側に
反射された光は、平行光のままハーフミラー６に入射す
る。そして、ハーフミラー６および結像レンズ１３を介
して、受光素子１４の受光面上に集光される。
らのメリディオナル面内の光（図中実線で示す）は、対
物レンズ１０により平行光にされた後、図中右側の光路
を介してダイクロイックミラー８’に入射する。平面鏡
として機能するダイクロイックミラー８’で図中左側に
反射された光は、平行光のままハーフミラー６に入射す
る。そして、ハーフミラー６および結像レンズ１３を介
して、受光素子１４の受光面上に集光される。
【００３１】一方、スリット像１２からのサジタル面内
の光（図中破線で示す）は、対物レンズ１０により対物
レンズ１０の光源側焦点位置９に集光された後、ダイク
ロイックミラー８’に入射する。サジタル面内では凹面
鏡として機能するダイクロイックミラー８’を通過した
光は平行光となり、ハーフミラー６および結像レンズ１
３を介して、受光素子１４の受光面上に集光される。
の光（図中破線で示す）は、対物レンズ１０により対物
レンズ１０の光源側焦点位置９に集光された後、ダイク
ロイックミラー８’に入射する。サジタル面内では凹面
鏡として機能するダイクロイックミラー８’を通過した
光は平行光となり、ハーフミラー６および結像レンズ１
３を介して、受光素子１４の受光面上に集光される。
【００３２】こうして、受光素子１４の受光面上には、
メリディオナル面内の光もサジタル面内の光も点状に結
像する。そして、受光素子１４の出力信号に基づいて、
対物レンズ１０と物体１１との合焦情報を検出する。上
述したように、第２実施例にかかる焦点検出装置におい
ては、ダイクロイックミラー８’の作用により、光源か
らの光の損失を最小限に抑えながら物体１１上にスリッ
ト像を形成することができる。また、物体１１上に形成
されたスリット像からの光を受光素子１４の受光面上に
おいて点像として検出することができる。したがって、
物体１１からの反射光を、小さな受光面で効率良く受光
することができる。
メリディオナル面内の光もサジタル面内の光も点状に結
像する。そして、受光素子１４の出力信号に基づいて、
対物レンズ１０と物体１１との合焦情報を検出する。上
述したように、第２実施例にかかる焦点検出装置におい
ては、ダイクロイックミラー８’の作用により、光源か
らの光の損失を最小限に抑えながら物体１１上にスリッ
ト像を形成することができる。また、物体１１上に形成
されたスリット像からの光を受光素子１４の受光面上に
おいて点像として検出することができる。したがって、
物体１１からの反射光を、小さな受光面で効率良く受光
することができる。
【００３３】図３は、本発明の第３実施例にかかる焦点
検出装置を搭載した落射照明顕微鏡装置の構成を概略的
に説明する図である。図３の第３実施例にかかる装置は
図１の第１実施例にかかる装置と類似している。しかし
ながら、第１実施例ではシリンドリカルレンズ７がハー
フミラー６とダイクロイックミラー８との間に配置され
ていたが、第３実施例では第１シリンドリカルレンズ７
がハーフストップ５とハーフミラー６との間に配置され
且つ第２シリンドリカルレンズ７’がハーフミラー６と
結像レンズ１３との間に配置されている点だけが基本的
に相違する。したがって、図３の装置の構成要素のうち
図１の要素と基本的に同じ機能を有する要素には、図１
と同じ参照符号を付している。以下、第１実施例との相
違点に着目して、第３実施例を説明する。
検出装置を搭載した落射照明顕微鏡装置の構成を概略的
に説明する図である。図３の第３実施例にかかる装置は
図１の第１実施例にかかる装置と類似している。しかし
ながら、第１実施例ではシリンドリカルレンズ７がハー
フミラー６とダイクロイックミラー８との間に配置され
ていたが、第３実施例では第１シリンドリカルレンズ７
がハーフストップ５とハーフミラー６との間に配置され
且つ第２シリンドリカルレンズ７’がハーフミラー６と
結像レンズ１３との間に配置されている点だけが基本的
に相違する。したがって、図３の装置の構成要素のうち
図１の要素と基本的に同じ機能を有する要素には、図１
と同じ参照符号を付している。以下、第１実施例との相
違点に着目して、第３実施例を説明する。
【００３４】図３の焦点検出装置において、光源１から
射出された光は、コリメートレンズ４およびハーフスト
ップ５を介してシリンドリカルレンズ７に入射する。シ
リンドリカルレンズ７は、図中実線で示すように、図面
の紙面内すなわちメリディオナル面内においては、光源
側の面も対物レンズ側の面も曲率を有しない。したがっ
て、メリディオナル面内において、シリンドリカルレン
ズ７は平行平面板として機能する。
射出された光は、コリメートレンズ４およびハーフスト
ップ５を介してシリンドリカルレンズ７に入射する。シ
リンドリカルレンズ７は、図中実線で示すように、図面
の紙面内すなわちメリディオナル面内においては、光源
側の面も対物レンズ側の面も曲率を有しない。したがっ
て、メリディオナル面内において、シリンドリカルレン
ズ７は平行平面板として機能する。
【００３５】一方、図中破線で示すように、図面の紙面
と垂直な面内すなわちサジタル面内においては、シリン
ドリカルレンズ７の光源側の面は光源側に凸の曲率を有
し、対物レンズ側の面は曲率を有しない。したがって、
サジタル面内において、シリンドリカルレンズ７は正レ
ンズとして機能する。なお、シリンドリカルレンズ７の
対物レンズ側焦点位置が、対物レンズ１０の光源側焦点
位置とほぼ一致するように、シリンドリカルレンズ７が
位置決めされている。
と垂直な面内すなわちサジタル面内においては、シリン
ドリカルレンズ７の光源側の面は光源側に凸の曲率を有
し、対物レンズ側の面は曲率を有しない。したがって、
サジタル面内において、シリンドリカルレンズ７は正レ
ンズとして機能する。なお、シリンドリカルレンズ７の
対物レンズ側焦点位置が、対物レンズ１０の光源側焦点
位置とほぼ一致するように、シリンドリカルレンズ７が
位置決めされている。
【００３６】こうして、メリディオナル面内では、平行
平面板としてのシリンドリカルレンズ７を通過した平行
光束（図中実線で示す）は、ダイクロイックミラー８お
よび対物レンズ１０を介して、対物レンズ１０の物体側
焦点位置に結像する。一方、サジタル面内では、正レン
ズとしてのシリンドリカルレンズ７により屈折された光
（図中破線で示す）は、ダイクロイックミラー８を介し
て対物レンズ１０の光源側焦点位置に集光される。その
後、対物レンズ１０を介して平行光となり、物体１１上
に達する。こうして、物体１１上には、遮光手段である
ハーフストップ５のエッジ方向に対応する方向に沿って
延びたスリット像１２が形成される。
平面板としてのシリンドリカルレンズ７を通過した平行
光束（図中実線で示す）は、ダイクロイックミラー８お
よび対物レンズ１０を介して、対物レンズ１０の物体側
焦点位置に結像する。一方、サジタル面内では、正レン
ズとしてのシリンドリカルレンズ７により屈折された光
（図中破線で示す）は、ダイクロイックミラー８を介し
て対物レンズ１０の光源側焦点位置に集光される。その
後、対物レンズ１０を介して平行光となり、物体１１上
に達する。こうして、物体１１上には、遮光手段である
ハーフストップ５のエッジ方向に対応する方向に沿って
延びたスリット像１２が形成される。
【００３７】物体１１上に形成されたスリット像１２か
らのメリディオナル面内の光（図中実線で示す）は、対
物レンズ１０により平行光にされた後、ダイクロイック
ミラー８およびハーフミラー６を介して平行光のまま第
２のシリンドリカルレンズ７’に入射する。第２のシリ
ンドリカルレンズ７’はシリンドリカルレンズ７と同じ
構成を有し、その対物レンズ側焦点位置が対物レンズ１
０の光源側焦点位置とほぼ一致するように位置決めされ
ている。したがって、メリディオナル面内では平行平面
板として機能する第２シリンドリカルレンズ７’を通過
した光は、平行光のまま結像レンズ１３に入射する。結
像レンズ１３を介した光は、受光素子１４の受光面上に
集光される。
らのメリディオナル面内の光（図中実線で示す）は、対
物レンズ１０により平行光にされた後、ダイクロイック
ミラー８およびハーフミラー６を介して平行光のまま第
２のシリンドリカルレンズ７’に入射する。第２のシリ
ンドリカルレンズ７’はシリンドリカルレンズ７と同じ
構成を有し、その対物レンズ側焦点位置が対物レンズ１
０の光源側焦点位置とほぼ一致するように位置決めされ
ている。したがって、メリディオナル面内では平行平面
板として機能する第２シリンドリカルレンズ７’を通過
した光は、平行光のまま結像レンズ１３に入射する。結
像レンズ１３を介した光は、受光素子１４の受光面上に
集光される。
【００３８】一方、スリット像１２からのサジタル面内
の光（図中破線で示す）は、対物レンズ１０により対物
レンズ１０の光源側焦点位置９に集光された後、ダイク
ロイックミラー８およびハーフミラー６を介して第２の
シリンドリカルレンズ７’に入射する。サジタル面内で
は正レンズとして機能する第２のシリンドリカルレンズ
７’を通過した光は平行光となり、結像レンズ１３を介
して、受光素子１４の受光面上に集光される。
の光（図中破線で示す）は、対物レンズ１０により対物
レンズ１０の光源側焦点位置９に集光された後、ダイク
ロイックミラー８およびハーフミラー６を介して第２の
シリンドリカルレンズ７’に入射する。サジタル面内で
は正レンズとして機能する第２のシリンドリカルレンズ
７’を通過した光は平行光となり、結像レンズ１３を介
して、受光素子１４の受光面上に集光される。
【００３９】こうして、受光素子１４の受光面上には、
メリディオナル面内の光もサジタル面内の光もスポット
状（点状）に結像する。そして、受光素子１４の出力信
号に基づいて、対物レンズ１０と物体１１との合焦情報
を検出する。上述したように、第３実施例にかかる焦点
検出装置では、シリンドリカルレンズ７の作用により、
光源からの光の損失を最小限に抑えながら物体１１上に
スリット像を形成することができる。また、第２のシリ
ンドリカルレンズ７’の作用により、物体１１上に形成
されたスリット像からの光を受光素子１４の受光面上に
おいて点像として検出することができる。したがって、
物体１１からの反射光を、小さな受光面で効率良く受光
することができる。
メリディオナル面内の光もサジタル面内の光もスポット
状（点状）に結像する。そして、受光素子１４の出力信
号に基づいて、対物レンズ１０と物体１１との合焦情報
を検出する。上述したように、第３実施例にかかる焦点
検出装置では、シリンドリカルレンズ７の作用により、
光源からの光の損失を最小限に抑えながら物体１１上に
スリット像を形成することができる。また、第２のシリ
ンドリカルレンズ７’の作用により、物体１１上に形成
されたスリット像からの光を受光素子１４の受光面上に
おいて点像として検出することができる。したがって、
物体１１からの反射光を、小さな受光面で効率良く受光
することができる。
【００４０】なお、第３実施例において第２のシリンド
リカルレンズ７’を省略した変形例においても、シリン
ドリカルレンズ７の作用により、光源からの光の損失を
最小限に抑えながら物体１１上にスリット像を形成する
ことができる。ただし、この場合、物体１１上に形成さ
れたスリット像からの光を受光素子１４の受光面上にお
いてスリット像として検出することになる。したがっ
て、この変形例において光の利用効率を高めるには、ス
リット像に合わせて受光面の大きな受光素子１４が必要
となる。
リカルレンズ７’を省略した変形例においても、シリン
ドリカルレンズ７の作用により、光源からの光の損失を
最小限に抑えながら物体１１上にスリット像を形成する
ことができる。ただし、この場合、物体１１上に形成さ
れたスリット像からの光を受光素子１４の受光面上にお
いてスリット像として検出することになる。したがっ
て、この変形例において光の利用効率を高めるには、ス
リット像に合わせて受光面の大きな受光素子１４が必要
となる。
【００４１】なお、上述の各実施例において、無限系対
物レンズを有する落射照明型顕微鏡に適用した例を示し
ているが、無限系対物レンズを有する透過照明型顕微鏡
あるいは有限系対物レンズを有する落射照明型顕微鏡ま
たは透過照明型顕微鏡に対して本発明を適用することが
できる。また、上述の各実施例において、落射照明型顕
微鏡に適用した例を示しているが、対物レンズを介して
物体像を形成する他の光学機器に対して本発明を適用す
ることができる。
物レンズを有する落射照明型顕微鏡に適用した例を示し
ているが、無限系対物レンズを有する透過照明型顕微鏡
あるいは有限系対物レンズを有する落射照明型顕微鏡ま
たは透過照明型顕微鏡に対して本発明を適用することが
できる。また、上述の各実施例において、落射照明型顕
微鏡に適用した例を示しているが、対物レンズを介して
物体像を形成する他の光学機器に対して本発明を適用す
ることができる。
【００４２】
【効果】以上説明したように、本発明によれば、光の利
用効率の高い光源投影方式でありながら、物体上にスリ
ット像を投影することができる。したがって、物体面上
の段差エッジの影響を受けにくく、検出精度および信頼
性の高い焦点検出装置を実現することができる。
用効率の高い光源投影方式でありながら、物体上にスリ
ット像を投影することができる。したがって、物体面上
の段差エッジの影響を受けにくく、検出精度および信頼
性の高い焦点検出装置を実現することができる。
【図１】本発明の第１実施例にかかる自動焦点検出装置
を搭載した顕微鏡装置の構成を概略的に説明する図であ
る。
を搭載した顕微鏡装置の構成を概略的に説明する図であ
る。
【図２】本発明の第２実施例にかかる自動焦点検出装置
を搭載した顕微鏡装置の構成を概略的に説明する図であ
る。
を搭載した顕微鏡装置の構成を概略的に説明する図であ
る。
【図３】本発明の第３実施例にかかる自動焦点検出装置
を搭載した顕微鏡装置の構成を概略的に説明する図であ
る。
を搭載した顕微鏡装置の構成を概略的に説明する図であ
る。
【図４】落射照明型顕微鏡に用いられる従来の光源投影
方式の焦点検出装置の構成を概略的に示す図である。
方式の焦点検出装置の構成を概略的に示す図である。
【図５】落射照明型顕微鏡に用いられる従来のスリット
投影方式の焦点検出装置の構成を概略的に示す図であ
る。
投影方式の焦点検出装置の構成を概略的に示す図であ
る。
【図６】従来の光源投影方式の焦点検出装置および従来
のスリット投影方式の焦点検出装置において、検出精度
に対する段差エッジの影響について説明する図である。
のスリット投影方式の焦点検出装置において、検出精度
に対する段差エッジの影響について説明する図である。
１ 光源 ４ コリメートレンズ ５ ハーフストップ ６ ハーフミラー ７，７’ シリンドリカルレンズ ８，８’ ダイクロイックミラー ９ 対物レンズ１０の光源側焦点位置 １０ 対物レンズ １１ 物体 １３ 結像レンズ １４ 受光素子 １５ 第２対物レンズ １７ 接眼レンズ
Claims (5)
- 【請求項１】 対物レンズの光軸に関して２分された一
方の領域を介して光源からの光を物体上に導いて前記物
体上に前記光源の像を投影するための像投影手段と、前
記光軸に関して２分された他方の領域を介して前記物体
上に形成された前記光源像からの光を受光する受光手段
とを備え、前記受光手段の出力に基づいて前記対物レン
ズと前記物体との合焦情報を検出する焦点検出装置にお
いて、 前記像投影手段は、前記光軸に関して２分された２つの
領域の境界面に沿った方向において第１屈折力を有し、
前記光軸を含んで前記境界面と直交する直交面に沿った
方向において前記第１屈折力と実質的に異なる第２屈折
力を有する光学手段を有し、 前記光学手段は、前記物体上に形成される前記光源の像
を前記境界面に対応する面内方向に沿って細長い像に整
形することを特徴とする焦点検出装置。 - 【請求項２】 前記光学手段は、前記境界面に沿った方
向において屈折力を有するトーリックレンズであること
を特徴とする請求項１に記載の焦点検出装置。 - 【請求項３】 前記光学手段は、前記境界面に沿った方
向において屈折力を有するトーリックミラーであること
を特徴とする請求項１に記載の焦点検出装置。 - 【請求項４】 前記像投影手段は、前記光源からの光を
平行光束に変換するためのコリメートレンズと、該コリ
メートレンズからの前記平行光束のうち前記光軸に関し
て２分された他方の領域を遮蔽するための遮光手段と、
該遮光手段と前記対物レンズとの間の光路中に配置さ
れ、前記境界面に沿った方向において正の屈折力を有す
るトーリックレンズとを備え、 前記トーリックレンズの前記境界面に沿った方向におけ
る前記対物レンズ側焦点位置と前記対物レンズの光源側
焦点位置とがほぼ一致していることを特徴とする請求項
２に記載の焦点検出装置。 - 【請求項５】 前記受光手段は、前記トーリックレンズ
と前記対物レンズとの間の光路中に配置された光路分割
手段と、該光路分割手段を介して導かれた前記物体上の
光源像からの光を受光面上に結像させるための結像光学
系と、該結像光学系と前記光路分割手段との間の光路中
に配置され、前記境界面に沿った方向において正の屈折
力を有する第２のトーリックレンズとを備え、 前記第２のトーリックレンズの前記境界面に沿った方向
における前記対物レンズ側の焦点位置と前記対物レンズ
の光源側焦点位置とがほぼ一致していることを特徴とす
る請求項４に記載の焦点検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7083407A JPH08254650A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 焦点検出装置 |
| US08/616,651 US5714749A (en) | 1995-03-15 | 1996-03-15 | Focus detecting apparatus and microscope apparatus equipped with the foregoing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7083407A JPH08254650A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 焦点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08254650A true JPH08254650A (ja) | 1996-10-01 |
Family
ID=13801585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7083407A Pending JPH08254650A (ja) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | 焦点検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5714749A (ja) |
| JP (1) | JPH08254650A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001296469A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 焦点検出装置 |
| KR100317895B1 (ko) * | 1998-04-22 | 2001-12-22 | 가네꼬 히사시 | 2분할 센서에 의한 대물 렌즈의 초점 검출 방법 |
| JP2010107950A (ja) * | 2008-10-04 | 2010-05-13 | Nikon Corp | 焦点検出装置 |
| CN102621658A (zh) * | 2011-01-31 | 2012-08-01 | 株式会社三丰 | 自动调焦装置 |
| JP2018032005A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | ユーテックゾーン カンパニー リミテッド | オートフォーカスシステム、方法及び画像検査装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6259080B1 (en) * | 1998-03-18 | 2001-07-10 | Olympus Optical Co. Ltd. | Autofocus device for microscope |
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| US20040112535A1 (en) * | 2000-04-13 | 2004-06-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Focus detecting device |
| US7075046B2 (en) * | 2004-07-28 | 2006-07-11 | University Of Vermont And State Agricultural College | Objective lens reference system and method |
| US7388647B2 (en) * | 2005-01-06 | 2008-06-17 | Asml Holding N.V. | Method and system for real time uniformity feedback |
| JP2006293222A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Olympus Corp | 焦点検出装置 |
| TWI411860B (zh) * | 2009-12-09 | 2013-10-11 | Ind Tech Res Inst | 聚焦定位判定方法 |
| CN111880300A (zh) * | 2020-07-07 | 2020-11-03 | 哈尔滨工业大学 | 基于虚拟狭缝的线扫描共焦显微装置 |
Family Cites Families (3)
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|---|---|---|---|---|
| DE2102922C3 (de) * | 1971-01-22 | 1978-08-24 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Anordnung zum selbsttätigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte |
| DE3617421A1 (de) * | 1986-04-30 | 1987-11-05 | Leitz Ernst Gmbh | Optisches bauelement und vorrichtung zu dessen verwendung |
| US5440367A (en) * | 1990-11-07 | 1995-08-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Focus detecting apparatus provided with a plurality of detection fields |
-
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-
1996
- 1996-03-15 US US08/616,651 patent/US5714749A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100317895B1 (ko) * | 1998-04-22 | 2001-12-22 | 가네꼬 히사시 | 2분할 센서에 의한 대물 렌즈의 초점 검출 방법 |
| JP2001296469A (ja) * | 2000-04-13 | 2001-10-26 | Olympus Optical Co Ltd | 焦点検出装置 |
| JP4519987B2 (ja) * | 2000-04-13 | 2010-08-04 | オリンパス株式会社 | 焦点検出装置 |
| JP2010107950A (ja) * | 2008-10-04 | 2010-05-13 | Nikon Corp | 焦点検出装置 |
| CN102621658A (zh) * | 2011-01-31 | 2012-08-01 | 株式会社三丰 | 自动调焦装置 |
| JP2012159549A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Mitsutoyo Corp | オートフォーカス装置 |
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