DE3410201A1

DE3410201A1 - Mikroskop

Info

Publication number: DE3410201A1
Application number: DE19843410201
Authority: DE
Inventors: Masami Hachiouji Tokaoy Kawasaki; Masayuki Mitaka Tokio/Tokyo Naito; Kanae Higashiasakawa Tokio/Tokyo Nakasato
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1983-03-22
Filing date: 1984-03-20
Publication date: 1984-10-04
Also published as: US4653878A; DE3410201C2

Description

PATENTANWÄLTE ZENZ & HELBER · D 4300 ESSEN 1 · AM RUHRSTEIN 1 · TEL.: (02 01) 4126 Seite 2) -

G 168

OLYMPUS OPTICAL CO. LTD. Hatagaya 2-43-2, Bhibuya-ku, Tokyo, Japan

Mikroskop

Die Erfindung betrifft ein Mikroskop gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1.

Ein herkömmliches Mikroskop mit elektrischem Antrieb, wie es z. B. in Figur 1 gezeigt ist, ist mit eintrieb, wie es angetrisbEnen Revolver 1, der eine Mehrzahl von Objektiven 2 trägt, einem Objekttisch 3 für die Halterung einer Probe P und einer elektrisch angetriebenen Fokussierungseinrichtung 4, die den Objekttisch 3 in vertikaler Richtung verstellt, ausgerüstet. Die vertikale Richtung ist die Richtung der optischen Achse. Die Fokussierung erfolgt durch Verschieben der Probe P in die Brennebene des ObJEktives 2. Ferner ist ein Schalter 5 vorgesehen, der die Bewegungsrichtung des Objekttisches 3 bestimmt. Die elektrische Fokussierungseinrichtung ist zum BEispiEl konkret durch eine Bewegungsmechanik für den Objekttisch, uiie sie in Figur 2 gezeigt ist, gebildet. Diese enthält einen bewegbaren Teil 6, an dessen oberen Ende der Objekttisch 3 befestigt ist. Ein bewegliches Führungsteil 7 ist am Körper des Mikraskopes befestigt und führt den beweglichen Teil 6 in der vertikalen Richtung, d. h. in Richtung der optischen Achse. Eine drehbare Uelle 8 ist auf dem beweglichen Führungsteil 7 gelagert und mit dem beweglichen Teil 6 durch einen Zahnstangentrieb verbunden. An den Enden der Welle B sind von Hand zu betätigende Knöpfe 9 befestigt. Ein auf der Uelle 8 befestigtes Zahnrad kämmt mit einem auf der Antriebswelle

eines Motors 11 angebrachten Antriebszahnrad. Der Motor ist auf dem Mikroskopkörper montiert. In Figur 3 ist eine Steuereinrichtung für den Dbjekttischantrieb gezeigt, die eine Schaltanordnung 13 mit dem Schalter 5, eine Drehrichtungskontrolleinrichtung 1^ für die Bestimmung der Drehrichtung des Motors 11 entsprechend einem Signal des Schaltanordnung 13 und eine Motorantriebseinrichtung 15 aufweist, ujübei letztere den Motor 11 in die durch das Signal der Drehrichtungskontrol1-einrichtung 1^ vorgegebenen Richtung dreht.

Wenn diese herkömmliche elektrisch angetriebene Fokussierungsvorrichtung den Objekttisch 3 in vertikaler Richtung mit konstanter Geschwindigkeit verschiebt, ist die Verschiebegeschuiindigkeit zu gering und es dauert zu lange, um die Probe in die Brennebene zu bringen, wenn mit einem Objektiv gearbeitet ujird, das eine geringe Vergrößerung besitzt, d.h. mit einem Objektiv mit einer großen Tiefenschärfe. Wenn andererseits Untersuchungen mit einem Objektiv mit einer starken Vergrößerung durchgeführt werden, d.h. einem Objektiv mit einer geringen Tiefenschärfe, ist die Geschwindigkeit zu hoch und es schmierig, ein Bild zu erhalten. Die Einstellung kann nicht leicht durchgeführt werden, und daher besteht das Problem, daß die Fokussierung Zeit braucht. Da der Motor 11 und die drehbare Welle 8 immer gekuppelt sind, auch wenn die Fokussierung manuell durchgeführt wird, indem die Knöpfe 9 von Hand betätigt werden, sind die Knöpfe 9 schwergängig. Desweiteren sind die herkömmlichen Vorrichtungen so ausgebildet, daß der elektrisch angetriebene Revolver 1 und die elektrisch angetriebene Fokussierungseinrlchtung k unabhängig voneinander arbeiten. Dadurch besteht die Gefahr, daß die Probe beschädigt wird, wenn ein Objektiv mit einer geringen Vergrößerung gegen ein Objektiv mit einer hohen Vergrößerung ausgetauscht wird. Wenn die Fokussierung mit einem Objektiv einer geringen weiter aufwärts positioniert als die Brennebene des Objektives, was

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durch die große Tiefenschärfe des Objektives möglich ist. Wenn in diesem Falle der elektrisch angetriebene Revolver 1 gedreht uiirri, um auf das Objektiv mit starker Vergrößerung umzuschalten, welches einen kleineren Arbeitsabstand hat, kann die Objektivstirnseite die Probe P berühren und beschädigen. Insbesondere für den Fall einer Probe ohne Glasabdeckung oder einer Probe mit einseitiger Glasabdeckung ist die Beschädigung verhängnisvoll.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskop mit elektrisch angetriebenem Revolver und Objekttisch derart auszubilden, daß die Fokussierung einfach und schnell und der Wechsel von Objektiven und Proben sicher durchgeführt werden können.

Ausgehend von einem Mikroskop der eingangs genannten Art, wird diese Aufgabe mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. In bevorzugter Ausführungsform meist das erfindungsgemäße Mikroskop eine Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung, eine Vergrößerungs-Bestimmungsschaltung, die zur Bestimmung der Vergrößerung eines Objektivs geeignet ist, eine Geschwindigkeitssteuerschaltung, die zur Steuerung der Drehgeschwindigkeit eines einen Objekttisch-Bewegungsbauteil antreibenden Motors geeignet ist, eine Speicherschaltung zur Speicherung der Position des Objekttisches, eine das den Objekttisch bewegende Bauteil mit einem Motor kuppelnde Kupplung, einen unteren Grenzfühler zur Bestimmung einer unteren Grenzposition des Objekttisches, eine Kupplungssteuerschaltung zur Steuerung des Betriebs der Kupplung, eine Klicksignal-Detektorschaltung zur Bestimmung der Beendigung der Drehbewegung des Revolvers, eine Revolver-Drehsteuerschaltung, eine Schalteinrichtung, die zur selektiven Bestimmung der Drehrichtung und Drehgeschwindigkeit des Motors geeignet ist, einen die Objekttisch-Position wiederherstellenden Schalter und einen Revolver-Opter

Das erfindungsgemäß ausgebildete Mikroskop erlaubt eine Fokussierungsbeuegung des Dbjekttisches mit einer Geschwindigkeit, die der von der Vergrößerung des gewählten Objektives abhängenden Tiefenschärfe angepaßt ist. Dadurch kann die Fokussierung immer schnell und exakt durchgeführt werden.

ImBetrieb wird der Objekttisch beispielsweise durch das erste Signal von einem Objekttischposition-Rücksetzschalter in eine untere Grenzposition gebracht und in eine über die Speicherschaltung gespeicherte UrsprungspositiDn durch ein zweites Signal dieses Schalters zurückgesetzt. Daher kann der Objektivwechsel mit starker Vergrößerung zur Verwendung von Dipol ohne Schwierigkeit durchgeführt werden.

Wenn andererseits kein Signal von einer Schalteinrichtung erzeugt wird, ist die Kupplung in einer unwirksamen Stellung, bei der keine Verbindung zwischen dem Motor und dem Objekttisch-Verschiebungsbauteil besteht. Daher läßt sich eine Fokussierung von Hand ungehindert und leicht durchführen.

Uenn der Revolver-Opter betätigt wird, kann der Objekttisch um eine vorgegebene Strecke abgesenkt werden, worauf der Revolver um einen vorgegebenen Dinkel gedreht und ein Objektiv in den Lichtstrahlengang eingeführt wird. Der Revolver wird angehalten und der Objekttisch gleichzeitig um das genannte Stück angehoben und stillgesetzt. Eine Beschädigung der Probe an der Stirnfläche eines Objektivs beim Wechseln der Objektive ist durch diese Ausbildung zuverlässig vermieden.

In der Zeichnung ist schematisch ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 in Seitenansicht ein herkömmliches Mikroskop, das mit einem elektrischen Antrieb für den Revolver und den objekttisch ausgerüstet ist;

Fig. 2 schematisch in Frontansicht eine herkömmliche Objekttisch-Verschiebevorrichtung;

Fig. 3 ein Blockdiagramm einer herkömmlichen Steueranordnung für die Dbjekttischverschiebung;

Fig. k eine schematische Ansicht eines Ausführungsbeispieles einer Erkennungseinrichtung zur Bestimmung der Vergrößerung eines objektives;

Fig. 5 eine schematischs Ansicht eines anderen Ausführungsbeispieles einer Erkennungseinrichtung zur Bestimmung der Vergrößerung eines Objektives;

Fig. 6 eine schematische Ansicht eines Ausführungsbeispieles einer Klicksignalerkennungsvorrichtung für den Revolver;

Fig. 7 eine schematische Frontansicht eines Ausführungsbeispieles eines Tischantriebs:

Fig. 8 ein Blackdiagramm eines Ausführungsbeispieles einer Steuerschaltung für die Bewegungen des Revolvers und des Objekttisches; und

Fig. 9 die Darstellung eines Ablaufplanes eines Steuervorganges.

Bei der folgenden Beschreibung des erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels werden für gleiche Teile die auch in Figur 1

bis 3 benutzten Bezugszeichen verwendet.

In Figuren k bis 6 bezeichnet das Bezugszeichen 101 eine Einrichtung zur Erkennung der Vergrößerung eines in einen Lichstrahlengang eingeschwenkten Objektivs 2. 102 bezeichnet eine Einrichtung zur Erkennung eines Klick-Signales, mit welchem festgestellt wird, ob der Revolver 1 dreht oder nicht. Die in Figur k gezeigte Einrichtung 101 zur Erkennung der Vergrößerung enthält einen dem Revolver 1 benachbarten Positionserkennungssensor 101a und einen mit diesem verbundenen Positions-Vergrößerungs-DekDdierer 101b. Die Einrichtung 101 kann so ausgebildet sein, daß sie die Vergrößerung eines in den Lichtstrahlengang eingeschwenkten Objektives nach der Position eines mit dem Beobachtungsstrahlengang des Sensors 101a ausgerichteten Objektiv-Einstell-Lochs bestimmt. Die PositiDnsinformation aus dem Objektiv-Einstell-Loch wird mit Hilfe des Positions-Vergrößerungs-Dekodierers 101b in die Vergrößerungsinformation für das in den Lichtstrahlengang eingesetzte Objektiv umgesetzt. Auch die in Figur 5 gezeigte Einrichtung 101 enthält einen Erkennungssensor 101a¹, der neben dem Revolver 1 angeordnet und derart ausgebildet ist, daß er eine an der Außenseite des in den Lichtstrahlengang eingesetzten Objektivs angebrachte Vergrößerungsangabe direkt lesen kann. Ferner weist die Einrichtung 101 bei diesem Ausführungsbeispiel einen mit dem Sensor 101a¹ verbundenen Vergrößerungsdekodierer 1D1b' auf, der die vom Sensor 101a¹ gelesene Information in die Vergrößerungsinformation für das in den Lichtstrahlengang eingesetzte Objektiv umsetzen kann. Eine zusätzlich vorgesehene Klick-Signal-Erkennungsvorrichtung 102 ist in Figur 6 gezeigt und weist eine an den Revolver 1 angebaute Schlitzplatte 103 mit mehreren Schlitzen 103a auf. Die Schlitze 103a entsprechen jeweils den Positionen mehrerer "Klicks" (zum Anhalten des Revolvers in einer gewünschten Winkelstellung), die auf dem Revolver vorgesehen sind. Der

Klicksignaldetektor 102 weist ferner einen Photosensor auf, der ein im folgenden als "Klicksignal" bezeichnetes Signal erzeugt, wenn er mit einem der Schlitze 103a in Fluchtstpllung steht, eines der Objektive in den Lichtstrahlengang eingesetzt ist und der Revolver 1 durch den "Klick" angehalten ist.

Figur 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Objekttisch-V/erschiebevorrichtung. Mit 16 ist ein Schrittmotor, mit 17 eine · elektromagnetische Kupplung zwischen Schrittmotor 16 und einem Antriebszahnrad 12 und mit 18 ein Grenzwertfühler bezeichnet. Dieser ist nahe dem beweglichen Teil 6 angeordnet und kann ein Signal erzeugen, uienn der bewegliche Teil 6 eine untere Grenzposition erreicht.

In Figur θ ist in einem BlDckdiagramm die Antriebssteueranordnung für die Bewegung des Revolvers und des Objekttisches für ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Mit 19 ist eine Revolveroperationsschaltung bezeichnet, die zur Steuerung des Startes und der Drehrichtung des Revolvers 1 dient. Sie enthält einen Schaltknopf 19a, der eine Rechtsdrehung auslöst und einen Schaltknopf 19b für die Auslösung der Linksdrehung. Ein Puffer 19c setzt die Ein- und Auszustände der Schaltknöpfe in ein elektrisches Ausgangssignal um. Mit 20 ist eine Objekttisch-Anstriebsteuereinrichtung bezeichnet, welche Vorgänge wie das Absenken des Tisches um eine vorbestimmte Strecke, wenn ein Signal der Schalteinrichtung 19 für die Revolverdrehung anliegt und Anheben des Objekttisches in seine Originalposition, wenn ein Signal von der Klicksignal-Detektoreinrichtung 102 anliegt, steuern kann. Die Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 20 enthält eine Signalverarbeitungsschaltung 20a, eine Drehrichtungssteuerschaltung 20b, welche die Drehrichtung des Motors bestimmt, eine Motorsteuerschaltung 20c, welche über die Motorantriebsschaltung 15 den Schrittmotor 16

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steuert und einen Impulszähler 2Dd zur Zählung der von der Motorsteuerschaltung 20c gelieferten Impulse. Eine Verschiebewegsteuerschaltung 2De gibt einen Befehl für die Unterbrechung der Abwärtsbewegung des Dbjekttisches an die Signalverarbeitungsschaltung 2Da und speichert den Ausgangswert des Impulszählers 2Dd in einer Speicherschaltung 2Of ab, wenn der Ausgang des Impulszählers 2Od während des Absenkens des Objekttisches einen vorbestimmten Wert erreicht. Die Steuerschaltung 2Oe ist weiterhin in der Lage, einen Befehl zum Stop der Aufwärtsbewegung des Objekttisches an die Signalverarbeitungsschaltung 20a zu geben, wenn der von dem Impulszähler 2Od gezählte Wert verglichen wird mit dem vorher abgespeicherten Ausgangswert des Speichers 2Of und beide während des Anhebens des Objekttisches übereinstimmen. Der Speicher 2Of speichert die Anzahl der vom Impulszähler 2Od gelieferten Impulse. Mit 21 ist eine Revolverantriebssteuereinrichtung bezeichnet, die den Antrieb, die Stops und die Drehrichtung des Revolvers 1 steuert. Die Revolverbetriebssteuereinrichtung 21 dreht den Revolver in die von der Revolveroperationsschalteinrichtung bezeichnete Richtung über ein Dbjekttisch-Absenkbewegungssignal des aus der Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 2D und stoppt die Revolverdrehung aufgrund des Signals von der Klicksignal-Erkennungsschaltung 102. Die Antriebssteuereinrichtung 21 weist eine Revolver-Drehrichtungssteuerschaltung 21a zur Bestimmung der Drehrichtung des Revolvers 1 und eine Start/Stop-Steuerschaltung 21b zur Steuerung der Start- und Stopfunktionen des Revolvers 1 auf. Die Revolver-Drehrichtungssteuerschaltung 21a bestimmt die Drehrichtung aus einem Schaltinformationssignal aus der Revolveroperationsschalteinrichtung 19, wobei das Schaltinformationssignal entweder die Betätigung des Rechtsdrehungsschaltknopfes 19a oder die Betätigung des LinksdrehungsschaltknDpfes 19b anzeigt. Mit Hilfe einer Revolverantriebsschaltung 22 wird der Revolverantriebsmotor 23 in Abhängigkeit vom Signal der Revolverantriebs-

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steuereinrichtung 21 gedreht bzui. angehalten.

Das Berugszeichen Zk bezeichnet eine Objekttisch-Operationsschalteinrichtung mit einem Schaltknopf 24a für eine grobe Aufwärtsbewegung, einem Schaltknopf 2**b für eine grobe Abwärtsbewegung, einem Schaltknopf 2*fc für eine feine Einstellung der Auf wärtsbeuiegung, einem Schaltknopf Zku für eine feine Einstellung der Abwärtsbewegung, einem Schaltknopf Zke zur Dbjekttischrückstellung und einem Puffer 24f zur Ausgabe besonderer elektrischer Signale in Abhängigkeit von einer Schaltzustandsänderung jedes der oben genannten Schaltknöpfe. Eine Dbjekttisch-Hauptantriebssteuereinrichtung 25 steuert die vertikale Bewegung und den Stop des Dbjekttischs 3. Sie weist eine Schaltbefehlbestimmungsschaltung 25a zur Erzeugung spezieller elektrischer Signale entsprechend dem betätigten Schaltknopf auf, wobei sie feststellt, daß ein Schaltknopf der Dbjekttisch-Operationsschalteinrichtung Zk betätigt worden ist, und zwar in Abhängigkeit von dem von der Db jekttisch--Dperationsschalteinrichtung Zk erzeugten Schaltinformationssignal. Ferner weist sie eine Drehrichtungssteuerschaltung 25b zur Bestimmung der Drehrichtung des Schrittmotors 16 aus dem Signal der Schaltbefehlsbestimmungsschaltung 25a, eine Vergrößerungsbewertungsschaltung 25c zur Bestimmung der für die Brennweite des in den Lichtstrahlengang eingesetzten Objektivs geeigneten Bewegungsgeschwindigkeit des Dbjekttisches 3 aus dem Vergrößerungsinformationssignal der Vergrößerungserkennungsschaltung 1D1, eine Geschwindigkeitssteuerschaltung 25d zur Bestimmung der Drehgeschwindigkeit des Motors 16 aus einem Signal der V/ergrößerungsbewertungsschaltung 25c und einem Signal von der Schaltbefehlsbestimmungsschaltung 25a in Bezug auf eine feine und grobe Verschiebung und eine Schrittmotor— Steuerschaltung 25e zur Bestimmung einer Impulsbreite und Phase des an den Schrittmotor 16 über die Motorantriebsschaltung 15 anzulegenden Antriebsimpulses auf der Basis der von

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der Drehrichtungssteuerschaltung 25b und Geschwindigkeitssteuerschaltung 25d erzeugten Signale auf. Ferner gehört zu der Hauptsteuereinrichtung 25 eine Kupplungssteuerschaltung 25f, welche die elektromagnetische Kupplung 17 über eine Kupplungstreiberschaltung 26 in einen Arbeits- oder Ruhezustand versetzt, und zwar nach MaBgabe eines Ein/Aus-Schaltsignals (ein Signal, welches die Betätigung eines der Schaltknöpfe 2^a bis 2ife von einer fehlenden Schaltknopf betätigung unterscheidet) , das von der Schaltbefehlsbestimmungsschaltung 25a erzeugt UJird. Ein Impulszähler 25g zählt die Anzahl der von der Schrittmotor-Steuerschaltung 25e ausgegebenen Impulse. Ein Speicher 25h speichert die Position des Dbjekttisches 3 über die Anzahl der gezählten Impulse. Ferner enthält die Hauptsteuereinrichtung 25 eine Qbjekttisch-Rückstellsteuerschaltung 25i, welche die folgenden Funktionen erfüllt: Sie senkt den Objekttisch 3 aufgrund eines bei der ersten Betätigung des Objekttisch-Rücksetzschaltknopfes 2ke von der Schaltbef ehlsbestimmungsschaltung 25a ausgegebenen Signales ab, beendet die Absenkbewegung des Objekttischs 3 in Abhängigkeit von einem vom unteren Grenzlagefühler 18 erzeugten Signal, wenn der Objekttisch 3 eine untere Grenzposition erreicht, liest gleichzeitig die Zahl der von der Schrittmotorsteuerschaltung 25e ausgegebenen Impulse bis zum Stop des Objekttisches 3 über den Impulszähler 25g in den Speicher 25h und liest die Zahl der von dem Speicher 25h gespeicherten Impulse durch ein Signal aus, das von der Schaltbefehlsbestimmungsschaltung bei der zweiten Betätigung des Rücksetzschalters 2he entwickelt wird, wodurch der Objekttisch 3 entsprechend der Anzahl der ausgelesenen Impulse angehoben wird.

Nachfolgend wird die Arbeitsweise der obigen Anordnung beschrieben.

Unter Bezugnahme auf Figur 9 wird die Steuerung des Revolvers

1 beschrieben. liJenn einer der Schaltknöpfe 19a oder 19b der Revolver-Opteinrichtung 19 gedruckt wird, wird über den Puffer 19c ein dem gedrückten Knopf entsprechendes Signal (a) an die Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 20 und die Revolver--Antriebssteuereinrichtung 21 angelegt. Aufgrund dieses Signales (a) gibt die Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung dip gewünschte Anzahl von Impulssignalen (b) an die Motorantriebsschaltung 15, wodurch der Schrittmotor 16 gedreht wird. Der Objekttisch 3 wird angehalten, nachdem er um eine bestimmte Strecke abgesenkt warden ist. Sobald der Objekttisch anhält, wird ein Signal Cc) von der Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 20 an die Revolverantriebssteuereinrichtung 21 angelegt und der Revolver 1 in einer Richtung gedreht, die durch den zum Wechseln des Objektivs niedergedrückten Schaltknopf bestimmt ist. Wenn daher der Objektivwechsel beendet ist, wird ein Klicksignal Cd) von der Klicksignal-Detektoreinrichtung 102 an die Revolver-Antriebssteuereinrichtung 21 angelegt, wodurch der Revolverantriebsmotor 23 angehalten und der Revolver 1 an der Position gestoppt wird, bei der das Objektiv 2 mit dem Lichtstrahlengang durch eine nicht dargestellte Klickvorrichtung ausgerichtet ist. Andererseits wird das Klicksignal (d) auch an die Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 20 angelegt. Der Schrittmotor wird durch die Eingabe des Klicksignals (d) in die Objekttisch-Antriebsteuerschaltung 20 wieder anlaufen gelassen, um den Objekttisch 3 anzuheben. üJenn in diesem Falle der Objekttisch 3 um eine der Impulszahl beim Absenken entsprechende Anzahl von Impulsen angehoben wird, ist er mit hoher Genauigkeit wieder in die Ursprungsposition zurückgesetzt. Bei dem oben erwähnten Objektivwechsel wird das einzuwechselnde Objektiv in den Lichtstrahlengang eingeführt, nachdem der Objekttisch abgsenkt worden ist. Sobald das Objektiv in die richtige Einsatzstellung gebracht worden ist, wird der Objekttisch 3 in die Ursprungsstellung zurückgesetzt. Daher kann die Probe nicht

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durch das äußere Ende des Objektivs beschädigt werden. Wenn der Antrieb des Objekttisches 3 mittels des Schrittmotors erfolgt, kann die Position des Objekttisches mit hoher Genauigkeit durch eine Steuerkette gesteuert werden.

Als nächstes werden die Steuerung des Objekttisches 3 zur Fokussierung bzw. Scharfeinstellung, die Verwendung von Dipol eines Objektives mit starker Vergrößerung, der Ersatz einer Probe o.dgl. beschrieben.■ Zunächst wird die Steuerung zur Fokussierung erläutert. Die Objekttisch-Hauptantriebssteuereinrichtung 25 bestimmt eine grobe Verschiebegeschwindigkeit (vergleichsweise hohe Geschwindigkeit) und eine feine Verschiebegeschwindigkeit (vergleichsweise niedrige Geschwindigkeit), die für die Tiefenschärfe des Objektivs geeignet sind, wenn die Vergrößerungsinformation des in den Lichtstrahlengang eingesetzten Objektivs von der Vergrößerungsdetektoreinrichtung 101 vorliegt. Wenn einer der Schaltknöpfe 24a und 24b gedruckt wird, setzt die Steuereinrichtung 25 die Kupplung 17 in Wirkung, wodurch der Motor 16 mit dem Antriebszahnrad gekuppelt und der Objekttisch 3 in die Position bewegt wird, bei der ein Bild annähernd eingefangen ist, wobei der Motor bei einer groben Bewegungsgeschwindigkeit in eine bezeichnete Richtung angetrieben wird. Wenn danach einer der Schaltknöpfe 24c und 24d gedrückt wird, treibt die Steuereinrichtung 25 den Schrittmotor 16 in eine vorgegebene Richtung .mit einer zuvor bestimmten niedrigen Geschwindigkeit an, um den Objekttisch 3 genau in eine Fokusposition zu bewegen. Wenn nach Beendigung der Fokussierung der Schaltknopf sodann freigegeben wird, stoppt die Steuereinrichtung 25 den Schrittmotor 16 und entkuppelt die Kupplung 17, da das Ausgangssignal der Schalteinrichtung Zk fehlt. Die Fokussierung wird in der zuvor beschriebenen Weise durchgeführt. Da die Bewegung des Objekttischs 3 bei einer für die Tiefenschärfe bei jeder Vergrößerung der Objektive geeigneten Geschwindigkeit durchgeführt

ujird, läßt sich der Fokussierungsvorgang leicht und rasch ausführen.

Wenn als nächstes der Dbjekttisch-Positionsrückstellschalter 2^c erneut gedruckt wird, macht die Steuereinrichtung 25 die Kupplung 17 wirksam und treibt als Folge davon den Schrittrnotnr 1G hei maximaler Geschwindigkeit an, um den Objekttisch 3 abzusenken. Wenn der Objektttisch 3 die untere Grenzposition erreicht hat und der untere Grenzfühler 1B ein Signal abgibt, hält die Steuereinrichtung 25 den Schrittmotor 16 an und speichert gleichzeitig die Anzahl der der Motortreiberschaltung 15 zugeführten Impulse im Speicher 25h ab. Danach ist die Steuereinrichtung 25 für jedes Signal, ausgenommen von der Objekttisch-Operationsschalteinrichtung Zk solange gesperrt, bis der Objekttisch-Positionsrückstellschalter 2^e wieder gedruckt wird. Wenn der Schaltknapf 2ke wieder gedrückt wird, treibt die Steuereinrichtung 25 den Schrittmotor 15 in der entgegengesetzten Drehrichtung mit maximaler Geschwindigkeit an, wobei der Objekttisch 3 angehoben wird. Wenn die Anzahl der der Matortreiberschaltung 15 zugeführten Impulse gleich derjenigen der im Speicher 25h gespeichterten Impulse ist, wird das Eingangssignal zur MotDrtreiberschaltung 15 unterbrochen, der Schrittmotor 16 angehalten und die Kupplung 17 außer Wirkung gesetzt. Daher wird der Objekttisch 3 durch die erste Betätigung des Objekttisch-Positionsrücksetzschaltknopfes 2ke in die untere Grenzposition abgesenkt und genau in die ursprüngliche Position durch die zweite Betätigung des Schalters 2*fe angehoben bzw. rückgesetzt. Eine Reihe von Operationen wird vorzugsweise unter Verwendung van Dipol für ein Objektiv mit starker Vergrößerung und beim Auswechseln der Probe durchgeführt. Wenn Dipol für ein Objektiv mit starker Vergrößerung verwendet wird, geht man wie folgt vdt: Die Fokussierung erfolgt zuvor mit einem anderen Objektiv gleicher Brennweite (parfocal). Der Objekttisch 3 läßt sich

wieder sehr genau in die Ursprungsposition zurückstellen, wenn nach dem anfänglichen Betätigen des Dbjekttisch-Rücksetzschalters 2ke zum Absenken des Qbjekttisches in die untere Grenzlage, Auswechseln dea Objektivs und Aufbringen von Dipol der Rücksetzschalter Zke erneut gedrückt wird. Es braucht nur der Fehler der beiden Objektive für die Fokussierung korrigiert zu werden, so daß die Fokussierung bei starker Vergrößerung die bisherigen Schwierigkeiten verloren hat und extrem erleichtert ist. Auch wenn das Dipol während des Durchführens derselben Operation abgewischt wird, ist das Fokussieren bei anderer Vergrößerung ebenfalls erleichtert. Beim Wechsel von Proben mit nahezu gleicher Dicke ist die Fükussierarbeit auch vereinfacht, da der Objekttisch 3 in eine Position rückgestellt wird, bei der sich das Bildeinfangen in etwa erkennen läßt. Hierzu wurde zunächst über eine erste Betätigung des Positionsrückstellschalters 2ke der Objekttisch 3 in seine Tiefststellung gebracht, die Probe gewechselt und dann über eine zweite Betätigung des Schalters 2ke der Objekttisch zurückgestellt.

Aus der vorstehenden Erläuterung wird klar, daß die Kupplung 17 unwirksam ist, wenn das Signal von der Objekttisch-Operationsrichtung 24 unterbrochen ist. Der handbetätigbare Knopf 9 ist vom Schrittmotor 16 getrennt. Daher läßt sich die Fokussierung auch von Hand leicht durchführen.

Der Impulszähler 2Od, die Verschiebesteuerschaltung 2Oe und der Speicher 2Of der Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 20 können wie der Impulszähler 25g, die Objekttisch-Rücksetzsteuerschaltung 25e und der Speicher 25h der Objekttisch--Steuereinrichtung 25 verwendet werden.

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Claims

PATENTANWÄLTE ZENZ & HELBER · D 43uO"Ei>3EN 1 ^: AM'RUHRSTEIN 1 · TEL.: (02 01) 412687

PATENTANSPRÜCHE

1. / Mikroskop mit einem über einen Motor antreibbaren Objekttischantrieb und einer Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung 7ur Steuerung der Drehrichtung des Motors durch ein Signal einer Schalteinrichtung,

dadurch gekennzeichnet, daß eine die Vergrößerung eines Objektivs (2) erkennende Einrichtung (101) und eine Geschwindigkeitssteuerschaltung (25d>, die die Geschwindigkeit des Motors (11) durch ein Signal der Vergrößerungs-Erkennungseinrichtung (101) steuert, mit der Objekttisch-Antriebssteuereinrichtung (25a, 25b, 25e) verbunden sind und daß die Verschiebung des Objekttisches (3) so bewirkbar ist, daß die Fokussierung mit einer an die Tiefenschärfe angepaßten Geschwindigkeit entsprechend der Vergrößerung des gewählten Objektives (2) erfolgt.

2. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Speichereinrichtung (25h) zur Speicherung der Position des angehaltenen Objekttisches und ein Schalter (2*fe) zum Zurückstellen der Objekttischposition vorgesehen sind und daß über die Objekttisch-Antriehssteuereinrichtung (25) und den Objekttischantrieb (6, 10, 12, 15, 16) durch ein erstes Signal des Schalters (2*te) der Objekttisch (3) in eine untere Grenzposition absenkbar und durch ein zweites Signal des Schalters (2^e) in die von der Speichereinrichtung (25h) gespeicherte Position rückstellbar ist.

3. Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Kupplungsvorrichtung (17), über die der Objekttischantrieb mit dem Motor (16) kuppelbar ist und eine Kupplungs Steuereinrichtung (25f, 26) vorgesehen sind und daß die Kupplungsvorrichtung (17) unwirksam gehalten ist, wenn kein Signal von einer Schalteinrichtung (25a) anliegt.

it. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch:

eine Schalteinrichtung (19) zur Betätigung des Revolvers (1), die ein Signal für eine vorbestirnmte Drehung des Revolvers (1) erzeugt,

eine Einrichtung (102) zur Erkennung eines Klicksignales, die das Ende der Drehung des Revolvers bestimmt und eine Antriebssteuereinrichtung (21) für den Revolver,

wobei der Objekttisch (3) um eine vorgegebene Strecke · durch die Objektisch- Antriebssteuereinrichtung und den Objekttisch-Antrieb absenkbar i9t, uienn ein von der Schalteinrichtung (19) abgegebenes Signal anliegt wobei ferner der Revolver (1) bei einem Signal der Objekttisch-Antriebsteuereinrichtung gedreht wird, wenn der Objekttisch (3) um die vorgegebene Strecke abgesenkt ist, uobei der Revolver (1) durch ein von der Klicksignal-Erkennungseinrichtung (102) abgegebenes Signal angehalten wird und wobei der Objekttisch (3) durch die Objekttisch- Antriebssteuereinrichtung und den Objekttischantrieb um die vorgegebene Stecke angehoben wird, wenn der Revolver um einen vorgestimmten Winkel gedreht ist.

5. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis k, dadurch gekennzeichnet, daß der Antriebsmotor ein Schrittmotor (16) ist.