JP2001281170A - 視野移動方法 - Google Patents
視野移動方法Info
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- JP2001281170A JP2001281170A JP2000091181A JP2000091181A JP2001281170A JP 2001281170 A JP2001281170 A JP 2001281170A JP 2000091181 A JP2000091181 A JP 2000091181A JP 2000091181 A JP2000091181 A JP 2000091181A JP 2001281170 A JP2001281170 A JP 2001281170A
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- JP
- Japan
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- camera
- stage
- visual field
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- Pending
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Accessories Of Cameras (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カメラで試料を観察しながらステージ移動す
る方法としては、手動操作によって最初は高速で移動さ
せ、観察対象の近傍まで達すると低速で移動させるとい
った作業を行うが、この作業は面倒であり、かつ、カメ
ラの視野中心位置に移動させるのが難しいと共に、中心
位置までの移動に時間がかかるといった問題点があっ
た。 【解決手段】 カメラ２により試料４を撮影する際の視
野移動方法であって、カメラまたはステージを移動し
て、該ステージ上に搭載された試料の試料上の任意の一
点をカメラ視野の中心に移動させてその位置を記憶し、
次に、カメラ視野中心からカメラ視野内の指示された位
置への移動距離を演算してカメラまたはステージを移動
し、カメラ視野内の指示された箇所をカメラ視野の中心
へ移動するようにした視野移動方法である。
る方法としては、手動操作によって最初は高速で移動さ
せ、観察対象の近傍まで達すると低速で移動させるとい
った作業を行うが、この作業は面倒であり、かつ、カメ
ラの視野中心位置に移動させるのが難しいと共に、中心
位置までの移動に時間がかかるといった問題点があっ
た。 【解決手段】 カメラ２により試料４を撮影する際の視
野移動方法であって、カメラまたはステージを移動し
て、該ステージ上に搭載された試料の試料上の任意の一
点をカメラ視野の中心に移動させてその位置を記憶し、
次に、カメラ視野中心からカメラ視野内の指示された位
置への移動距離を演算してカメラまたはステージを移動
し、カメラ視野内の指示された箇所をカメラ視野の中心
へ移動するようにした視野移動方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は試料をテレビカメラ
やＸ線カメラで撮影し、該撮影した画像をディスプレイ
上に表示し、前記画像内の所望の観察対象をマウス等に
よって指示することにより、該箇所がカメラにおける視
野中心位置に迅速に移動するようにした視野移動方法に
関する。
やＸ線カメラで撮影し、該撮影した画像をディスプレイ
上に表示し、前記画像内の所望の観察対象をマウス等に
よって指示することにより、該箇所がカメラにおける視
野中心位置に迅速に移動するようにした視野移動方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】試料をテレビカメラやＸ線カメラで撮影
し、該撮影した画像をディスプレイ上に表示しながら試
料の観察あるいは教示を行なう場合において、Ｘ−Ｙス
テージあるいはカメラ位置を手動操作により所望の観察
位置まで移動させていた。
し、該撮影した画像をディスプレイ上に表示しながら試
料の観察あるいは教示を行なう場合において、Ｘ−Ｙス
テージあるいはカメラ位置を手動操作により所望の観察
位置まで移動させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したカ
メラを用いた光学系は中心部ほど収差による歪みが小さ
いため観察対象の中心を視野の中心に配置することが望
ましいが、前記したように作業者がステージを直接操作
する場合には、試料近傍に達するまでは高速で移動さ
せ、近傍に達すると低速で移動させるといった作業を行
うことが面倒で、カメラの視野中心位置に移動させるの
が難しいと共に、移動に時間がかかるといった問題点が
あった。
メラを用いた光学系は中心部ほど収差による歪みが小さ
いため観察対象の中心を視野の中心に配置することが望
ましいが、前記したように作業者がステージを直接操作
する場合には、試料近傍に達するまでは高速で移動さ
せ、近傍に達すると低速で移動させるといった作業を行
うことが面倒で、カメラの視野中心位置に移動させるの
が難しいと共に、移動に時間がかかるといった問題点が
あった。
【０００４】本発明は前記した問題点を解決せんとする
もので、その目的とするところは、画面上に写し出され
ている所望の箇所をマウスによるクリック等の指示によ
って、該箇所がカメラの視野中心位置に迅速に移動する
ことができるところの良好な視野移動方法を提供せんと
するにある。
もので、その目的とするところは、画面上に写し出され
ている所望の箇所をマウスによるクリック等の指示によ
って、該箇所がカメラの視野中心位置に迅速に移動する
ことができるところの良好な視野移動方法を提供せんと
するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の視野移動方法は
前記した目的を達成せんとするもので、その手段は、カ
メラにより試料を撮影する際の視野移動方法であって、
カメラまたはステージを移動して、該ステージ上に搭載
された試料の試料上の任意の一点をカメラ視野の中心に
移動させてその位置を記憶し、次に、カメラ視野中心か
らカメラ視野内の指示された位置への移動距離を演算し
てカメラまたはステージを移動し、カメラ視野内の指示
された箇所をカメラ視野の中心へ移動することを特徴と
する。
前記した目的を達成せんとするもので、その手段は、カ
メラにより試料を撮影する際の視野移動方法であって、
カメラまたはステージを移動して、該ステージ上に搭載
された試料の試料上の任意の一点をカメラ視野の中心に
移動させてその位置を記憶し、次に、カメラ視野中心か
らカメラ視野内の指示された位置への移動距離を演算し
てカメラまたはステージを移動し、カメラ視野内の指示
された箇所をカメラ視野の中心へ移動することを特徴と
する。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る視野移動方法
の実施の形態を図面と共に説明する。なお、本実施の形
態にあっては、カメラ撮影系がＸ線発生器と検出器から
構成されるものとし、該Ｘ線発生器より放射されたＸ線
が電子部品等の試料（ＢＧＡを含む）を透過し、検出器
で画像に変換してディスプレイ等の表示器で表示して試
料を観察する場合について説明する。また、本実施の形
態の場合、視野移動は試料の搭載されたＸ−Ｙステージ
の移動により行うものとする。
の実施の形態を図面と共に説明する。なお、本実施の形
態にあっては、カメラ撮影系がＸ線発生器と検出器から
構成されるものとし、該Ｘ線発生器より放射されたＸ線
が電子部品等の試料（ＢＧＡを含む）を透過し、検出器
で画像に変換してディスプレイ等の表示器で表示して試
料を観察する場合について説明する。また、本実施の形
態の場合、視野移動は試料の搭載されたＸ−Ｙステージ
の移動により行うものとする。
【０００７】図１は本発明の方法を実施するためのブロ
ック図にして、１はＸ線発生器、２は該Ｘ線発生器１よ
り放射されたＸ線を受ける検出器、３は試料４をＸ軸−
Ｙ軸方向に移動させるＸ−Ｙステージ、５は前記検出器
２よりの画像を表示するＣＲＴ等の表示器、６はＸ−Ｙ
ステージ３の位置を取込むＸ−Ｙステージ座標取込み
部、７はＸ−Ｙステージ３を駆動させるＸ−Ｙステージ
制御部、８は現在の座標位置から指示による新たな座標
位置にＸ−Ｙステージ４を移動させるための処理部であ
る。
ック図にして、１はＸ線発生器、２は該Ｘ線発生器１よ
り放射されたＸ線を受ける検出器、３は試料４をＸ軸−
Ｙ軸方向に移動させるＸ−Ｙステージ、５は前記検出器
２よりの画像を表示するＣＲＴ等の表示器、６はＸ−Ｙ
ステージ３の位置を取込むＸ−Ｙステージ座標取込み
部、７はＸ−Ｙステージ３を駆動させるＸ−Ｙステージ
制御部、８は現在の座標位置から指示による新たな座標
位置にＸ−Ｙステージ４を移動させるための処理部であ
る。
【０００８】次に、図２の説明図と図３のフローチャー
トと共に動作を説明する。
トと共に動作を説明する。
【０００９】先ず、手動操作によって試料内の観察対象
４ａがカメラ２の視野内に入るようにＸ−Ｙステージ３
を制御する（ステップＳ１）。なお、手動操作であって
も、コンピュータの画面上に表示されているＸ−Ｙステ
ージ移動用の表示マークをマウスによってクリックする
ことによって行う。
４ａがカメラ２の視野内に入るようにＸ−Ｙステージ３
を制御する（ステップＳ１）。なお、手動操作であって
も、コンピュータの画面上に表示されているＸ−Ｙステ
ージ移動用の表示マークをマウスによってクリックする
ことによって行う。
【００１０】そして、この状態におけるカメラ２の視野
範囲内における中心位置に対する試料４の座標をＸ−Ｙ
ステージ座標取込み部６において取込み、該座標位置
（ｘs，ｙs ）を処理部８に入力する。次いで、マウス
によって希望する観察対象４ａの中心部をクリック、あ
るいは、表示器５の前面をタッチペンでタッチする等に
よって指示する（ステップＳ２）。
範囲内における中心位置に対する試料４の座標をＸ−Ｙ
ステージ座標取込み部６において取込み、該座標位置
（ｘs，ｙs ）を処理部８に入力する。次いで、マウス
によって希望する観察対象４ａの中心部をクリック、あ
るいは、表示器５の前面をタッチペンでタッチする等に
よって指示する（ステップＳ２）。
【００１１】ここで、観察対象４ａが指示されると、Ｘ
−Ｙステージ３を駆動して観察対象４ａの中心（ｘt ，
ｙt ）をカメラ２の視野中心位置（ｘc ，ｙc ）に移動
させる制御を行うが（ステップＳ３）、Ｘ−Ｙステージ
３を移動させるためのステージ座標は以下に示すように
処理部８において算出される。
−Ｙステージ３を駆動して観察対象４ａの中心（ｘt ，
ｙt ）をカメラ２の視野中心位置（ｘc ，ｙc ）に移動
させる制御を行うが（ステップＳ３）、Ｘ−Ｙステージ
３を移動させるためのステージ座標は以下に示すように
処理部８において算出される。
【００１２】表示器５あるいはカメラ２の分解能をΔ
ｘ，Δｙは、図２からして、 Δｘ＝Ｌｘ／Ｎｙ Δｙ＝Ｌｙ／Ｎｘ なお、Ｌｘ，ＬｙはＸ−Ｙステージ３でのカメラ２の視
野サイズ、Ｎｘ，Ｎｙはデジタル画像の場合は画素数、
表示器５がＣＲＴの場合はＸ，Ｙの寸法で表される。
ｘ，Δｙは、図２からして、 Δｘ＝Ｌｘ／Ｎｙ Δｙ＝Ｌｙ／Ｎｘ なお、Ｌｘ，ＬｙはＸ−Ｙステージ３でのカメラ２の視
野サイズ、Ｎｘ，Ｎｙはデジタル画像の場合は画素数、
表示器５がＣＲＴの場合はＸ，Ｙの寸法で表される。
【００１３】観察対象４ａをカメラ２の視野中心位置に
移動させるためのステージ座標（ｘ s ′，ｙs ′）は、 ｘs ′＝ｘs ＋（ｘc −ｘt ）×Δｘ ｙs ′＝ｙs ＋（ｙc −ｙt ）×Δｙ このように、Ｘ−Ｙステージ３を（ｘs ，ｙs ）から
（ｘs ′，ｙs ′）へ移動させることで、カメラ２の視
野中の観察対象４ａをカメラ２の視野中心に移動するこ
とができる。
移動させるためのステージ座標（ｘ s ′，ｙs ′）は、 ｘs ′＝ｘs ＋（ｘc −ｘt ）×Δｘ ｙs ′＝ｙs ＋（ｙc −ｙt ）×Δｙ このように、Ｘ−Ｙステージ３を（ｘs ，ｙs ）から
（ｘs ′，ｙs ′）へ移動させることで、カメラ２の視
野中の観察対象４ａをカメラ２の視野中心に移動するこ
とができる。
【００１４】なお、前記した操作において、新たな座標
（ｘs ′，ｙs ′）が処理部８に記憶される。従って、
前記指示した個所に狂いがあって、カメラ２の視野中心
位置に観察対象４ａが移動していなかった場合には、前
記移動した位置においてさらに観察対象４ａの中心位置
を指示することによって、座標（ｘs ′，ｙs ′）を基
準座標位置として移動することとなる。
（ｘs ′，ｙs ′）が処理部８に記憶される。従って、
前記指示した個所に狂いがあって、カメラ２の視野中心
位置に観察対象４ａが移動していなかった場合には、前
記移動した位置においてさらに観察対象４ａの中心位置
を指示することによって、座標（ｘs ′，ｙs ′）を基
準座標位置として移動することとなる。
【００１５】また、カメラ２の視野内の次の観察対象に
移動させる場合にも、前記したと同様に新たな観察対象
を指示することにより、新たな座標（ｘs ′，ｙs ′）
を基準座標位置として、演算して Ｘ−Ｙステージ３は
移動することとなる。さらに、前記実施の形態にあって
は、試料を搭載したＸ−Ｙステージを移動する方法で説
明したが、カメラ側をＸ−Ｙ方向に移動させても同じ目
的を達成できることは勿論のことである。
移動させる場合にも、前記したと同様に新たな観察対象
を指示することにより、新たな座標（ｘs ′，ｙs ′）
を基準座標位置として、演算して Ｘ−Ｙステージ３は
移動することとなる。さらに、前記実施の形態にあって
は、試料を搭載したＸ−Ｙステージを移動する方法で説
明したが、カメラ側をＸ−Ｙ方向に移動させても同じ目
的を達成できることは勿論のことである。
【００１６】
【発明の効果】本発明は前記したように、カメラの視野
内にある観察対象をマウス等によって指示することによ
り、現在のカメラ視野の中心位置座標から指示した観察
対象の座標位置を演算して自動的にＸ−Ｙステージ又は
カメラが移動して、前記指示した位置がカメラの視野中
心位置に移動するので、観察対象のカメラ視野中心位置
への移動を簡単、かつ、正確に行える等の効果を有する
ものである。
内にある観察対象をマウス等によって指示することによ
り、現在のカメラ視野の中心位置座標から指示した観察
対象の座標位置を演算して自動的にＸ−Ｙステージ又は
カメラが移動して、前記指示した位置がカメラの視野中
心位置に移動するので、観察対象のカメラ視野中心位置
への移動を簡単、かつ、正確に行える等の効果を有する
ものである。
【図１】本発明に係る視野移動方法を実施するためのブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】Ｘ−Ｙステージの移動原理を示す説明図であ
る。
る。
【図３】動作を説明するためのフローチャートである。
１ Ｘ線発生器 ２ 検出器 ３ Ｘ−Ｙステージ ４ 試料 ４ａ 観察対象 ５ ＣＲＴ等の表示器 ６ Ｘ−Ｙステージ座標読取り部 ７ Ｘ−Ｙステージ制御部 ８ 処理部
【手続補正書】
【提出日】平成１２年４月６日（２０００．４．６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｈ０４Ｎ 5/32 Ｈ０４Ｎ 5/32 ５Ｃ０５４ 7/18 7/18 Ｌ (72)発明者 村越 貴行 三重県桑名郡多度町大字香取字高割550 名古屋電機工業株式会社ＯＥ事業部内 Ｆターム(参考） 2F065 AA51 FF04 JJ03 JJ26 MM03 MM21 PP12 SS13 TT02 UU06 2G001 AA01 BA11 CA01 GA04 GA05 HA13 JA06 JA07 JA11 JA20 LA11 PA11 2H105 AA03 5C022 AA01 AA15 AB51 AB65 AC04 AC13 AC27 AC31 AC69 AC74 CA00 5C024 AX11 AX14 CY49 HX60 5C054 CA02 CC00 CF05 EA01 FA00 FE19 HA01
Claims (1)
- 【請求項１】 カメラにより試料を撮影する際の視野移
動方法であって、カメラまたはステージを移動して、該
ステージ上に搭載された試料の試料上の任意の一点をカ
メラ視野の中心に移動させてその位置を記憶し、次に、
カメラ視野中心からカメラ視野内の指示された位置への
移動距離を演算してカメラまたはステージを移動し、カ
メラ視野内の指示された箇所をカメラ視野の中心へ移動
することを特徴とする視野移動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000091181A JP2001281170A (ja) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | 視野移動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000091181A JP2001281170A (ja) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | 視野移動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001281170A true JP2001281170A (ja) | 2001-10-10 |
Family
ID=18606672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000091181A Pending JP2001281170A (ja) | 2000-03-29 | 2000-03-29 | 視野移動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001281170A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105794A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62168325A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-07-24 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型分析装置 |
| JPH01262450A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JPH0235343A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-05 | Rigaku Corp | 微小領域ｘ線回折装置及びその試料セッティング方法 |
| JPH0461356A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Ntn Corp | Ｘｙステージのコントロール回路 |
| JPH04175648A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線分析装置 |
| JPH06281598A (ja) * | 1991-07-26 | 1994-10-07 | Motoronikusu:Kk | 多層ワークのｘ線画像と光学系画像の同時映し出し装 置及びその方法 |
| JPH06331571A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Shimu:Kk | 基板半田付け状態検査装置 |
| JPH11271225A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-05 | Hitachi Ltd | 蛍光測定装置 |
| JPH11316201A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-11-16 | Rigaku Industrial Co | 試料表面の検査方法およびこれを使用するｘ線分析装置 |
| JP2000039564A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Sony Corp | 拡大観察装置 |
-
2000
- 2000-03-29 JP JP2000091181A patent/JP2001281170A/ja active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62168325A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-07-24 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型分析装置 |
| JPH01262450A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Tokyo Electron Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JPH0235343A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-05 | Rigaku Corp | 微小領域ｘ線回折装置及びその試料セッティング方法 |
| JPH0461356A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Ntn Corp | Ｘｙステージのコントロール回路 |
| JPH04175648A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Horiba Ltd | 螢光ｘ線分析装置 |
| JPH06281598A (ja) * | 1991-07-26 | 1994-10-07 | Motoronikusu:Kk | 多層ワークのｘ線画像と光学系画像の同時映し出し装 置及びその方法 |
| JPH06331571A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Shimu:Kk | 基板半田付け状態検査装置 |
| JPH11316201A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-11-16 | Rigaku Industrial Co | 試料表面の検査方法およびこれを使用するｘ線分析装置 |
| JPH11271225A (ja) * | 1998-03-23 | 1999-10-05 | Hitachi Ltd | 蛍光測定装置 |
| JP2000039564A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-08 | Sony Corp | 拡大観察装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105794A (ja) * | 2004-10-05 | 2006-04-20 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査プログラム |
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