JPH0665016B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0665016B2 JPH0665016B2 JP59246070A JP24607084A JPH0665016B2 JP H0665016 B2 JPH0665016 B2 JP H0665016B2 JP 59246070 A JP59246070 A JP 59246070A JP 24607084 A JP24607084 A JP 24607084A JP H0665016 B2 JPH0665016 B2 JP H0665016B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- visual field
- photographing
- amount
- movement
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の利用分野］ 本発明は、複数の視野において試料像を連続して記録す
るに好適な電子顕微鏡に関する。
るに好適な電子顕微鏡に関する。
［発明の背景］ 近年、電子顕微鏡のシステムがコンピュータ制御化さ
れ、連続した視野を自動的に写真撮影することが可能と
なってきた。
れ、連続した視野を自動的に写真撮影することが可能と
なってきた。
かかる写真撮影で、観察視野（蛍光板上の拡大像）内の
微小部分と周囲（観察視野外）との関連性を明らかにす
るために、観察視野と共にその周囲の写真を連続撮影す
ることが必要不可欠である。
微小部分と周囲（観察視野外）との関連性を明らかにす
るために、観察視野と共にその周囲の写真を連続撮影す
ることが必要不可欠である。
しかし、従来は撮影される全視野が試料全体のどのよう
な範囲に相当するものかを表示する手段が設けられてい
なかったため、目視や見当によって視野を判断せざるを
得ず、操作性が悪いという問題点があった。
な範囲に相当するものかを表示する手段が設けられてい
なかったため、目視や見当によって視野を判断せざるを
得ず、操作性が悪いという問題点があった。
すなわち、このような電子顕微鏡では、観察視野を中心
とした撮影範囲が拡大倍率によって大きく異なることか
ら、観察中心の座標（その座標は表示装置上に表示され
ている）から実際に写真撮影される範囲を一義的に認識
することが困難であり、不必要な部分ばかりが撮影され
てしまうという問題が往々にしてあった。さらには、撮
影範囲を仮に認識できたとしても、これが所望の範囲か
らずれていた場合に撮影範囲の修正が難しいという問題
があった。
とした撮影範囲が拡大倍率によって大きく異なることか
ら、観察中心の座標（その座標は表示装置上に表示され
ている）から実際に写真撮影される範囲を一義的に認識
することが困難であり、不必要な部分ばかりが撮影され
てしまうという問題が往々にしてあった。さらには、撮
影範囲を仮に認識できたとしても、これが所望の範囲か
らずれていた場合に撮影範囲の修正が難しいという問題
があった。
［発明の目的］ 本発明の目的は、簡単な操作で試料像を複数の視野で連
続して記録することができる電子顕微鏡を提供すること
にある。
続して記録することができる電子顕微鏡を提供すること
にある。
［発明の概要］ 本発明は、指定された条件、例えば視野範囲、記録する
試料像の数、視野の重なり量、および現在の倍率に基づ
いて、１回毎の視野の移動量を求めると同時に、視野範
囲を例えばＣＲＴ表示装置画面上に表示させる手段を設
けたものである。
試料像の数、視野の重なり量、および現在の倍率に基づ
いて、１回毎の視野の移動量を求めると同時に、視野範
囲を例えばＣＲＴ表示装置画面上に表示させる手段を設
けたものである。
［発明の実施例］ 第１図は、本発明の一実施例を示す全体構成図である。
同図において、電子銃１より発射した電子線は、照射レ
ンズ系２によって収束され、試料３を照射する。試料３
を透過した電子線は結像レンズ系４によって拡大され、
蛍光板５上にその拡大像を結ぶ。
ンズ系２によって収束され、試料３を照射する。試料３
を透過した電子線は結像レンズ系４によって拡大され、
蛍光板５上にその拡大像を結ぶ。
一方、撮影装置６においては、試料の拡大像を形成する
電子線によってフィルムが感光され、拡大像が記録され
る。この撮影装置６と、試料３を保持し、かつ移動する
ための駆動部７とは、それぞれインタフェイス９ａ，９
ｃ部を介してマイクロプロセッサ１１によって制御され
ている。また駆動部７と連動している試料の位置検出器
８により、試料位置が検出され、インタフェイス９ｂを
介してマイクロプロセッサ１１に読み込まれている。
電子線によってフィルムが感光され、拡大像が記録され
る。この撮影装置６と、試料３を保持し、かつ移動する
ための駆動部７とは、それぞれインタフェイス９ａ，９
ｃ部を介してマイクロプロセッサ１１によって制御され
ている。また駆動部７と連動している試料の位置検出器
８により、試料位置が検出され、インタフェイス９ｂを
介してマイクロプロセッサ１１に読み込まれている。
マイクロプロセッサ１１は、メモリ１２、演算装置１
３、および表示装置１４を制御している。入力装置１０
は、例えばキーボードスイッチのようなもので構成さ
れ、条件の指定などの入力内容はマイクロプロセッサ１
１に読み込まれる。結像レンズ系２，４もマイクロプロ
セッサ１１によって制御されている。
３、および表示装置１４を制御している。入力装置１０
は、例えばキーボードスイッチのようなもので構成さ
れ、条件の指定などの入力内容はマイクロプロセッサ１
１に読み込まれる。結像レンズ系２，４もマイクロプロ
セッサ１１によって制御されている。
ここで、設定されている倍率Ｍは既知のものであるとす
ると、電子顕微鏡像の写真撮影を行なう前に、入力装置
１０により、例えば視野（フィルム面上）の重なり量
δ、撮影枚数ｎを入力する。すると、予めプログラムさ
れている処理通りにマイクロプロセッサ１１は演算装置
１３を用いて、現在の倍率Ｍに基づいて試料微動の移動
範囲すなわち撮影領域（Ｘ１×Ｙ１）を求める。このと
き、予めプログラムされている処理内容が、現在の視野
（Ｘ２×Ｙ２）の中心（ｘ０×ｙ０）を中心に横方向Ｎ
Ｘ、縦方向ＮＹ枚（ｎ＝ＮＸ×ＮＹ）と決められている
とする。すると、上記条件により撮影する視野範囲Ｘ１
＝ｘ０−Ｘ〜ｘ０＋Ｘ，Ｙ１＝ｙ０−Ｙ〜ｙ０＋Ｙの
Ｘ，Ｙは、下式によって求められる。
ると、電子顕微鏡像の写真撮影を行なう前に、入力装置
１０により、例えば視野（フィルム面上）の重なり量
δ、撮影枚数ｎを入力する。すると、予めプログラムさ
れている処理通りにマイクロプロセッサ１１は演算装置
１３を用いて、現在の倍率Ｍに基づいて試料微動の移動
範囲すなわち撮影領域（Ｘ１×Ｙ１）を求める。このと
き、予めプログラムされている処理内容が、現在の視野
（Ｘ２×Ｙ２）の中心（ｘ０×ｙ０）を中心に横方向Ｎ
Ｘ、縦方向ＮＹ枚（ｎ＝ＮＸ×ＮＹ）と決められている
とする。すると、上記条件により撮影する視野範囲Ｘ１
＝ｘ０−Ｘ〜ｘ０＋Ｘ，Ｙ１＝ｙ０−Ｙ〜ｙ０＋Ｙの
Ｘ，Ｙは、下式によって求められる。
Ｘ＝［ＮＸ・ＡＸ−δ（ＮＸ−１）］／２・Ｍ Ｙ＝［ＮＹ・ＡＹ−δ（ＮＹ−１）］／２・Ｍ （但し、ＡＸ，ＡＹは１回分の撮影されるフィルムの長
さ） マイクロプロセッサ１１は、撮影領域（Ｘ１×Ｙ１）内
における視野（Ｘ２×Ｙ２）の相対的な位置関係を表示
装置１４にディジタル量またはグラフィック表示する。
さ） マイクロプロセッサ１１は、撮影領域（Ｘ１×Ｙ１）内
における視野（Ｘ２×Ｙ２）の相対的な位置関係を表示
装置１４にディジタル量またはグラフィック表示する。
ここで、視野（Ｘ２、Ｙ２）の拡大像は蛍光板上に表示
され、その位置は従来から座標等によってＣＲＴ上に定
量的に表示されていることから、前記デジタル量等とし
て表示された範囲内を予め蛍光板上で観察しておけば、
写真撮影される範囲の拡大像を確認することができる。
この結果、不必要な部分ばかりが撮影されてしまうとい
った問題を回避することができ、写真撮影に関する効率
が大幅に向上する。
され、その位置は従来から座標等によってＣＲＴ上に定
量的に表示されていることから、前記デジタル量等とし
て表示された範囲内を予め蛍光板上で観察しておけば、
写真撮影される範囲の拡大像を確認することができる。
この結果、不必要な部分ばかりが撮影されてしまうとい
った問題を回避することができ、写真撮影に関する効率
が大幅に向上する。
また、上記観察結果から撮影範囲が好ましくない範囲に
設定されていることが判明した場合には、所望の撮影範
囲を見出だすために撮影範囲外まで観察するが、このよ
うな場合でも、設定されている撮影範囲から現在の観察
視野までの距離を正確に認識することができる。
設定されていることが判明した場合には、所望の撮影範
囲を見出だすために撮影範囲外まで観察するが、このよ
うな場合でも、設定されている撮影範囲から現在の観察
視野までの距離を正確に認識することができる。
そして、このように撮影範囲の内外を観察した結果、撮
影範囲内に撮影不要箇所が存在した場合、あるいは撮影
範囲外に撮影必要箇所が存在した場合には、撮影範囲の
位置と各撮影不要／必要箇所との距離に基づいて、撮影
範囲を定量的に移動させることができるので、撮影範囲
がずれていた場合でも、その修正が簡単かつ正確に行え
るようになる。
影範囲内に撮影不要箇所が存在した場合、あるいは撮影
範囲外に撮影必要箇所が存在した場合には、撮影範囲の
位置と各撮影不要／必要箇所との距離に基づいて、撮影
範囲を定量的に移動させることができるので、撮影範囲
がずれていた場合でも、その修正が簡単かつ正確に行え
るようになる。
この場合、撮影する視野範囲と視野の重なり量を条件と
して入力しても、上式より試料微動の移動位置を求める
ことができるので自動連続視野撮影を行うことができる
ことは言うまでもない。
して入力しても、上式より試料微動の移動位置を求める
ことができるので自動連続視野撮影を行うことができる
ことは言うまでもない。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように本発明によれば、自動連
続視野撮影において、予め撮影する視野範囲が表示され
るので、撮影領域が試料のどのような視野範囲になるか
を予め確認することができ操作性が大幅に向上する。ま
た撮影する各視野どうしの重なり範囲の指定、撮影範囲
及び回数の指定など必要な条件のみを入力すれば自動的
に撮影処理を行なってくれるので、操作性の向上に図り
しれない効果を与える。
続視野撮影において、予め撮影する視野範囲が表示され
るので、撮影領域が試料のどのような視野範囲になるか
を予め確認することができ操作性が大幅に向上する。ま
た撮影する各視野どうしの重なり範囲の指定、撮影範囲
及び回数の指定など必要な条件のみを入力すれば自動的
に撮影処理を行なってくれるので、操作性の向上に図り
しれない効果を与える。
図１は本発明の一実施例を示す全体構成図である。 １……電子銃、２……照射レンズ、３……試料、４……
結像レンズ系、５……蛍光板、６……撮影装置、７……
試料保持及び移動用駆動部、８……位置検出器、９ａ〜
ｄ……インタフェイス部、１０……入力装置、１１……
マイクロプロセッサ、１２……メモリ、１３……演算装
置、１４……ＣＲＴ表示装置
結像レンズ系、５……蛍光板、６……撮影装置、７……
試料保持及び移動用駆動部、８……位置検出器、９ａ〜
ｄ……インタフェイス部、１０……入力装置、１１……
マイクロプロセッサ、１２……メモリ、１３……演算装
置、１４……ＣＲＴ表示装置
Claims (4)
- 【請求項１】観察視野と共に、その周囲を連続撮影する
機能を備えた電子顕微鏡において、 隣接する視野同士の撮影時における重なり量を一定量と
する手段と、 撮影する試料像の数を指定する手段と、 前記重なり量、撮影する試料像の数、および拡大倍率に
基づいて、連続撮影範囲および視野移動量を演算する手
段と、 連続撮影範囲を特定する手段と、 電子顕微鏡像の視野を前記視野移動量だけ移動する手段
と、 移動後の視野内の試料像を撮影する手段と、 前記移動する手段および撮影する手段を同期させて作動
させる手段とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項２】前記連続撮影範囲をディジタル量およびグ
ラフィックの少なくとも一方として定量的に表示する手
段を、さらに具備したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の電子顕微鏡。 - 【請求項３】観察視野と共に、その周囲を連続撮影する
機能を備えた電子顕微鏡において、 隣接する視野同士の撮影時における重なり量を一定量と
する手段と、 連続撮影範囲を指定する手段と、 前記重なり量、撮連続撮影範囲、および拡大倍率に基づ
いて、視野移動量を演算する手段と、 視野移動ごとの撮影範囲を特定する手段と、 電子顕微鏡像の視野を前記視野移動量だけ移動する手段
と、 移動後の視野内の試料像を撮影する手段と、 前記移動する手段および撮影する手段を同期させて作動
させる手段とを具備したことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項４】前記視野移動ごとの撮影範囲をディジタル
量およびグラフィックの少なくとも一方として定量的に
表示する手段を、さらに具備したことを特徴とする特許
請求の範囲第３項記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59246070A JPH0665016B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59246070A JPH0665016B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61126750A JPS61126750A (ja) | 1986-06-14 |
| JPH0665016B2 true JPH0665016B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=17143016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59246070A Expired - Lifetime JPH0665016B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0665016B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0197359A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-14 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 |
| WO1996031897A1 (fr) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Hitachi, Ltd. | Microscope electronique |
| JP5066056B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-11-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法、及び電子顕微鏡 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5346266A (en) * | 1976-10-08 | 1978-04-25 | Hitachi Ltd | Electronic microscope |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP59246070A patent/JPH0665016B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61126750A (ja) | 1986-06-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |