JPH06331571A - 基板半田付け状態検査装置 - Google Patents
基板半田付け状態検査装置Info
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- JPH06331571A JPH06331571A JP5144347A JP14434793A JPH06331571A JP H06331571 A JPH06331571 A JP H06331571A JP 5144347 A JP5144347 A JP 5144347A JP 14434793 A JP14434793 A JP 14434793A JP H06331571 A JPH06331571 A JP H06331571A
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- circuit board
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板半田付け状態検査装置において、Ｘ線撮
影範囲に対するプリント基板の検査部位の位置合わせが
容易にでき、またＸ線撮像部等の経時変化による画質の
劣化を防止でき、さらにＸ線検査画像のゆがみを除去す
る。 【構成】 テレビカメラ６をプリント基板１３の電子部
品が搭載された側にてＸ線撮像部３による撮影範囲より
広い範囲を撮影し得るものとし、第二の表示器５ｂの表
示画像の中にプリント基板１３に対するＸ線撮影範囲を
表示する手段(７）を設け、上記Ｘ線照射領域内に線量
計９を設け、またＸ線の撮像領域内に校正用試料１０を
設け、さらに上記Ｘ線撮像部３はＸＹテーブル１と平行
して同期移動するＸＹ駆動機構１１に取り付けると共
に、このＸＹ駆動機構１１とＸＹテーブル１との間には
同期駆動回路１２を設けたものである。
影範囲に対するプリント基板の検査部位の位置合わせが
容易にでき、またＸ線撮像部等の経時変化による画質の
劣化を防止でき、さらにＸ線検査画像のゆがみを除去す
る。 【構成】 テレビカメラ６をプリント基板１３の電子部
品が搭載された側にてＸ線撮像部３による撮影範囲より
広い範囲を撮影し得るものとし、第二の表示器５ｂの表
示画像の中にプリント基板１３に対するＸ線撮影範囲を
表示する手段(７）を設け、上記Ｘ線照射領域内に線量
計９を設け、またＸ線の撮像領域内に校正用試料１０を
設け、さらに上記Ｘ線撮像部３はＸＹテーブル１と平行
して同期移動するＸＹ駆動機構１１に取り付けると共
に、このＸＹ駆動機構１１とＸＹテーブル１との間には
同期駆動回路１２を設けたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象物としてのプ
リント基板にＸ線を照射しその透過Ｘ線像を撮影して上
記プリント基板への電子部品の半田付け状態を検査する
基板半田付け状態検査装置に関し、特にＸ線撮影範囲に
対するプリント基板の検査部位の位置合わせが容易にで
き、またＸ線撮像部等の経時変化による画質の劣化を防
止でき、さらにＸ線検査画像のゆがみを除去することが
できる基板半田付け状態検査装置に関する。
リント基板にＸ線を照射しその透過Ｘ線像を撮影して上
記プリント基板への電子部品の半田付け状態を検査する
基板半田付け状態検査装置に関し、特にＸ線撮影範囲に
対するプリント基板の検査部位の位置合わせが容易にで
き、またＸ線撮像部等の経時変化による画質の劣化を防
止でき、さらにＸ線検査画像のゆがみを除去することが
できる基板半田付け状態検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、プリント基板に対してＩＣ（集積
回路）等の電子部品を実装した際の半田付け状態を検査
するのに、Ｘ線を利用する技術が開発されつつある。こ
れは、従来の肉眼による目視検査あるいはテレビカメラ
を用いた画像検査では、実装された電子部品のリード等
についてプリント基板の裏面側については、そのプリン
ト基板の表面側からは観察できない部分が生ずるためで
ある。このような最近開発されているプリント基板検査
装置は、従来の医療用のＸ線診断装置又は工業用に利用
されているＸ線透視装置などを改良したものであり、例
えば特開平2-31144号公報に記載されたもの、或いは特
開平3-218408号公報に記載されたもの等がある。
回路）等の電子部品を実装した際の半田付け状態を検査
するのに、Ｘ線を利用する技術が開発されつつある。こ
れは、従来の肉眼による目視検査あるいはテレビカメラ
を用いた画像検査では、実装された電子部品のリード等
についてプリント基板の裏面側については、そのプリン
ト基板の表面側からは観察できない部分が生ずるためで
ある。このような最近開発されているプリント基板検査
装置は、従来の医療用のＸ線診断装置又は工業用に利用
されているＸ線透視装置などを改良したものであり、例
えば特開平2-31144号公報に記載されたもの、或いは特
開平3-218408号公報に記載されたもの等がある。
【０００３】前者の特開平2-31144号公報に記載された
プリント基板検査装置は、両面実装プリント基板へＸ線
を照射するＸ線発生手段と、上記両面実装プリント基板
のＸ線透過画像を生成するＸ線撮像手段と、上記両面実
装プリント基板の一方の面を光学的に撮像する光学撮像
手段とを備えているが、上記Ｘ線撮像手段（イメージイ
ンテンシファイア）も光学撮像手段（光学カメラ）もそ
れぞれ上記両面実装プリント基板の検査のための画像特
徴量を抽出するものであった。従って、特に光学カメラ
については、プリント基板への電子部品の半田付け部を
詳細に高い解像度で撮影するために、その撮影範囲が狭
く設定してあった。
プリント基板検査装置は、両面実装プリント基板へＸ線
を照射するＸ線発生手段と、上記両面実装プリント基板
のＸ線透過画像を生成するＸ線撮像手段と、上記両面実
装プリント基板の一方の面を光学的に撮像する光学撮像
手段とを備えているが、上記Ｘ線撮像手段（イメージイ
ンテンシファイア）も光学撮像手段（光学カメラ）もそ
れぞれ上記両面実装プリント基板の検査のための画像特
徴量を抽出するものであった。従って、特に光学カメラ
については、プリント基板への電子部品の半田付け部を
詳細に高い解像度で撮影するために、その撮影範囲が狭
く設定してあった。
【０００４】また、後者の特開平3-218408号公報に記載
されたプリント基板検査装置は、検査対象にＸ線を照射
するＸ線源と、基板に電子部品のリードを半田付けした
検査対象を位置決めする試料ステージと、上記Ｘ線源よ
り照射され基板に斜めに入射するＸ線による透過画像を
撮影するＸ線撮像器（イメージインテンシファイア等）
と、このＸ線撮像器により撮影されるＸ線透過画像に基
づいて検査対象となる半田付け部の位置を抽出する半田
付け部位置抽出手段とを備えており、上記基板の表面側
と裏面側の検査対象が重ならないように該基板に対する
Ｘ線照射方向を傾けて撮影するようになっていた。
されたプリント基板検査装置は、検査対象にＸ線を照射
するＸ線源と、基板に電子部品のリードを半田付けした
検査対象を位置決めする試料ステージと、上記Ｘ線源よ
り照射され基板に斜めに入射するＸ線による透過画像を
撮影するＸ線撮像器（イメージインテンシファイア等）
と、このＸ線撮像器により撮影されるＸ線透過画像に基
づいて検査対象となる半田付け部の位置を抽出する半田
付け部位置抽出手段とを備えており、上記基板の表面側
と裏面側の検査対象が重ならないように該基板に対する
Ｘ線照射方向を傾けて撮影するようになっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記前者の従
来例においては、光学カメラのプリント基板に対する撮
影範囲が検査部位及びその周辺程度に狭く設定してあっ
たので、上記プリント基板の広い範囲にわたっては撮影
できないものであった。従って、光学カメラによる広い
範囲の撮影画像を観察しながらプリント基板の検査部位
に対してＸ線撮影の範囲を位置合わせすることはほとん
どできなかった。このことから、Ｘ線撮影の範囲をプリ
ント基板の所望の検査部位に合わせるのに時間がかか
り、検査効率が低下するものであった。
来例においては、光学カメラのプリント基板に対する撮
影範囲が検査部位及びその周辺程度に狭く設定してあっ
たので、上記プリント基板の広い範囲にわたっては撮影
できないものであった。従って、光学カメラによる広い
範囲の撮影画像を観察しながらプリント基板の検査部位
に対してＸ線撮影の範囲を位置合わせすることはほとん
どできなかった。このことから、Ｘ線撮影の範囲をプリ
ント基板の所望の検査部位に合わせるのに時間がかか
り、検査効率が低下するものであった。
【０００６】また、前記後者の従来例においては、基板
に対するＸ線照射方向を傾けて撮影するようになってい
たので、基板面からＸ線撮像器の撮像面までの距離が上
記基板面上の位置によって違うこととなり、特に該基板
面とＸ線撮像器との距離が遠くなる部分において解像度
が低下すると共に、Ｘ線検査画像がゆがむことがあっ
た。従って、電子部品の半田付け状態の検査が正確に行
えないものであった。
に対するＸ線照射方向を傾けて撮影するようになってい
たので、基板面からＸ線撮像器の撮像面までの距離が上
記基板面上の位置によって違うこととなり、特に該基板
面とＸ線撮像器との距離が遠くなる部分において解像度
が低下すると共に、Ｘ線検査画像がゆがむことがあっ
た。従って、電子部品の半田付け状態の検査が正確に行
えないものであった。
【０００７】さらに、上記いずれの従来例においても、
Ｘ線による検査を開始してから終了まで常時Ｘ線を照射
し続けており、長時間の検査又は繰り返しの検査によ
り、Ｘ線撮像手段（イメージインテンシファイア等）が
劣化することがあり、その経時変化によって、得られる
Ｘ線検査画像の画質が劣化することがあった。このこと
からも半田付け状態の検査がしにくくなることがあっ
た。
Ｘ線による検査を開始してから終了まで常時Ｘ線を照射
し続けており、長時間の検査又は繰り返しの検査によ
り、Ｘ線撮像手段（イメージインテンシファイア等）が
劣化することがあり、その経時変化によって、得られる
Ｘ線検査画像の画質が劣化することがあった。このこと
からも半田付け状態の検査がしにくくなることがあっ
た。
【０００８】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、Ｘ線撮影範囲に対するプリント基板の検査部位の
位置合わせが容易にでき、また、Ｘ線撮像部等の経時変
化による画質の劣化を防止でき、さらにＸ線検査画像の
ゆがみを除去することができる基板半田付け状態検査装
置を提供することを目的とする。
処し、Ｘ線撮影範囲に対するプリント基板の検査部位の
位置合わせが容易にでき、また、Ｘ線撮像部等の経時変
化による画質の劣化を防止でき、さらにＸ線検査画像の
ゆがみを除去することができる基板半田付け状態検査装
置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による基板半田付け状態検査装置は、上面に
プリント基板を載置し二次元平面内で移動し得るＸＹテ
ーブルと、上記プリント基板の検査部位にＸ線を照射す
るＸ線源と、上記ＸＹテーブルを間に挟んでＸ線源と対
向配置され上記プリント基板の透過Ｘ線像を撮影し電気
信号に変換するＸ線撮像部と、このＸ線撮像部からの出
力信号を検査画像として表示する第一の表示器と、上記
ＸＹテーブルの一側面がわに設けられプリント基板の実
装状態を光学的に撮影して電気信号に変換するテレビカ
メラと、このテレビカメラからの出力信号を画像として
表示する第二の表示器とを有し、上記第一の表示器に表
示される検査画像によりプリント基板への電子部品の半
田付け状態を検査する基板半田付け状態検査装置におい
て、上記テレビカメラは、プリント基板の電子部品が搭
載された側にて上記Ｘ線撮像部による撮影範囲より広い
範囲を撮影し得るものとし、上記第二の表示器の表示画
像の中にプリント基板に対するＸ線撮影範囲を表示する
手段を設けたものである。
に、本発明による基板半田付け状態検査装置は、上面に
プリント基板を載置し二次元平面内で移動し得るＸＹテ
ーブルと、上記プリント基板の検査部位にＸ線を照射す
るＸ線源と、上記ＸＹテーブルを間に挟んでＸ線源と対
向配置され上記プリント基板の透過Ｘ線像を撮影し電気
信号に変換するＸ線撮像部と、このＸ線撮像部からの出
力信号を検査画像として表示する第一の表示器と、上記
ＸＹテーブルの一側面がわに設けられプリント基板の実
装状態を光学的に撮影して電気信号に変換するテレビカ
メラと、このテレビカメラからの出力信号を画像として
表示する第二の表示器とを有し、上記第一の表示器に表
示される検査画像によりプリント基板への電子部品の半
田付け状態を検査する基板半田付け状態検査装置におい
て、上記テレビカメラは、プリント基板の電子部品が搭
載された側にて上記Ｘ線撮像部による撮影範囲より広い
範囲を撮影し得るものとし、上記第二の表示器の表示画
像の中にプリント基板に対するＸ線撮影範囲を表示する
手段を設けたものである。
【００１０】また、前記Ｘ線源からのＸ線の照射領域内
にＸ線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力して前記Ｘ線撮像部のゲインを調
整する手段を設け、その画像濃度を常に一定とするよう
にしてもよい。
にＸ線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力して前記Ｘ線撮像部のゲインを調
整する手段を設け、その画像濃度を常に一定とするよう
にしてもよい。
【００１１】さらに、前記Ｘ線源とＸ線撮像部との間
に、該Ｘ線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
Ｘ線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設け、それぞれの試料
に対応する画像の濃度が一定となるように補償するよう
にしてもよい。
に、該Ｘ線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
Ｘ線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設け、それぞれの試料
に対応する画像の濃度が一定となるように補償するよう
にしてもよい。
【００１２】また、前記Ｘ線撮像部を、ＸＹテーブルに
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構
に取り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設け、Ｘ線源によるＸ線照射中心より側方に
ずれた位置にＸ線撮像部を移動してＸＹテーブル上のプ
リント基板の検査部位を撮影し得るようにしてもよい。
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構
に取り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設け、Ｘ線源によるＸ線照射中心より側方に
ずれた位置にＸ線撮像部を移動してＸＹテーブル上のプ
リント基板の検査部位を撮影し得るようにしてもよい。
【００１３】
【作用】このように構成された基板半田付け状態検査装
置は、Ｘ線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し
得るテレビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載
された側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられ
た表示手段により該表示器の表示画像の中に上記プリン
ト基板に対するＸ線撮影範囲を表示するように動作す
る。これにより、上記プリント基板を載置したＸＹテー
ブルを移動して上記Ｘ線撮影範囲内に該プリント基板の
検査部位を位置合わせし、撮影位置を容易に決定するこ
とができる。
置は、Ｘ線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し
得るテレビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載
された側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられ
た表示手段により該表示器の表示画像の中に上記プリン
ト基板に対するＸ線撮影範囲を表示するように動作す
る。これにより、上記プリント基板を載置したＸＹテー
ブルを移動して上記Ｘ線撮影範囲内に該プリント基板の
検査部位を位置合わせし、撮影位置を容易に決定するこ
とができる。
【００１４】また、前記Ｘ線源からのＸ線の照射領域内
にＸ線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してＸ線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、Ｘ線検査画像
を見易くすることができる。
にＸ線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してＸ線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、Ｘ線検査画像
を見易くすることができる。
【００１５】さらに、前記Ｘ線源とＸ線撮像部との間
に、該Ｘ線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
Ｘ線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
に、該Ｘ線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
Ｘ線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
【００１６】また、前記Ｘ線撮像部を、ＸＹテーブルに
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構
に取り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、Ｘ線源によるＸ線照
射中心より側方にずれた位置にＸ線撮像部を移動してＸ
Ｙテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のＸ線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構
に取り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、Ｘ線源によるＸ線照
射中心より側方にずれた位置にＸ線撮像部を移動してＸ
Ｙテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のＸ線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明による基板半田付け状態
検査装置の実施例を示す全体構成図である。この基板半
田付け状態検査装置は、検査対象物としてのプリント基
板にＸ線を照射しその透過Ｘ線像を撮影して上記プリン
ト基板への電子部品の半田付け状態を検査するもので、
図に示すように、ＸＹテーブル１と、Ｘ線源２と、Ｘ線
撮像部３と、Ｘ線カメラコントローラ４と、第一の表示
器５ａと、テレビカメラ６と、表示回路７と、シャッタ
８と、第二の表示器５ｂとを有し、さらに線量計９と、
校正用試料１０と、ＸＹ駆動機構１１と、同期駆動回路
１２とを備えて成る。
詳細に説明する。図１は本発明による基板半田付け状態
検査装置の実施例を示す全体構成図である。この基板半
田付け状態検査装置は、検査対象物としてのプリント基
板にＸ線を照射しその透過Ｘ線像を撮影して上記プリン
ト基板への電子部品の半田付け状態を検査するもので、
図に示すように、ＸＹテーブル１と、Ｘ線源２と、Ｘ線
撮像部３と、Ｘ線カメラコントローラ４と、第一の表示
器５ａと、テレビカメラ６と、表示回路７と、シャッタ
８と、第二の表示器５ｂとを有し、さらに線量計９と、
校正用試料１０と、ＸＹ駆動機構１１と、同期駆動回路
１２とを備えて成る。
【００１８】上記ＸＹテーブル１は、その上面に検査対
象物としてのプリント基板１３を載置して二次元平面内
でＸ方向及びＹ方向に移動し得るもので、中央部には検
査用の開口部１４があけられており、従来公知の二次元
方向の移動機構（図示省略）に取り付けられている。Ｘ
線源２は、上記ＸＹテーブル１の開口部１４に位置合わ
せしてその縁部が載置固定されたプリント基板１３の検
査部位にＸ線を照射するもので、Ｘ線管装置から成り、
例えば上記ＸＹテーブル１の下方に設けられている。Ｘ
線撮像部３は、上記プリント基板１３に照射されたＸ線
による透過Ｘ線像を撮影して電気信号に変換するもの
で、例えば「ビジコン」と呼ばれる高解像度の撮像管か
ら成り、上記ＸＹテーブル１を間に挟んでＸ線源２と対
向配置されている。そして、第一の表示器５ａは、上記
Ｘ線撮像部３から出力されたビデオ信号をＸ線カメラコ
ントローラ４を介して入力し検査画像として表示するも
ので、例えば白黒又はカラーのテレビモニタから成る。
象物としてのプリント基板１３を載置して二次元平面内
でＸ方向及びＹ方向に移動し得るもので、中央部には検
査用の開口部１４があけられており、従来公知の二次元
方向の移動機構（図示省略）に取り付けられている。Ｘ
線源２は、上記ＸＹテーブル１の開口部１４に位置合わ
せしてその縁部が載置固定されたプリント基板１３の検
査部位にＸ線を照射するもので、Ｘ線管装置から成り、
例えば上記ＸＹテーブル１の下方に設けられている。Ｘ
線撮像部３は、上記プリント基板１３に照射されたＸ線
による透過Ｘ線像を撮影して電気信号に変換するもの
で、例えば「ビジコン」と呼ばれる高解像度の撮像管か
ら成り、上記ＸＹテーブル１を間に挟んでＸ線源２と対
向配置されている。そして、第一の表示器５ａは、上記
Ｘ線撮像部３から出力されたビデオ信号をＸ線カメラコ
ントローラ４を介して入力し検査画像として表示するも
ので、例えば白黒又はカラーのテレビモニタから成る。
【００１９】また、テレビカメラ６は、上記プリント基
板１３への電子部品の実装状態を光学的に撮影して電気
信号に変換するもので、上記ＸＹテーブル１の例えば下
面側に設けられ、光源１５の発光により照らし出された
プリント基板１３の電子部品が搭載された面を撮影する
ようになっている。そして、第二の表示器５ｂは、上記
テレビカメラ６から出力されたビデオ信号を表示回路７
を介して入力し画像として表示するもので、例えば白黒
又はカラーのテレビモニタから成る。
板１３への電子部品の実装状態を光学的に撮影して電気
信号に変換するもので、上記ＸＹテーブル１の例えば下
面側に設けられ、光源１５の発光により照らし出された
プリント基板１３の電子部品が搭載された面を撮影する
ようになっている。そして、第二の表示器５ｂは、上記
テレビカメラ６から出力されたビデオ信号を表示回路７
を介して入力し画像として表示するもので、例えば白黒
又はカラーのテレビモニタから成る。
【００２０】なお、前記Ｘ線源２からＸＹテーブル１上
のプリント基板１３に対するＸ線の照射方向の前方に
は、シャッタ８が設けられている。このシャッタ８は、
上記プリント基板１３に対するＸ線による検査時以外は
閉じてＸ線源２からのＸ線の照射を遮るもので、図２に
示すように、Ｘ線源２からのＸ線の照射領域を横断して
開閉可能とされたシャッタ板２１を有し、シャッタコン
トローラ２２からの駆動信号により上記シャッタ板２１
が進退されるようになっている。
のプリント基板１３に対するＸ線の照射方向の前方に
は、シャッタ８が設けられている。このシャッタ８は、
上記プリント基板１３に対するＸ線による検査時以外は
閉じてＸ線源２からのＸ線の照射を遮るもので、図２に
示すように、Ｘ線源２からのＸ線の照射領域を横断して
開閉可能とされたシャッタ板２１を有し、シャッタコン
トローラ２２からの駆動信号により上記シャッタ板２１
が進退されるようになっている。
【００２１】ここで、本発明においては、上記テレビカ
メラ６は、プリント基板１３の電子部品１６，１６（図
２参照）が搭載された側にて前記Ｘ線撮像部３による撮
影範囲より広い範囲を撮影し得るものとされている。す
なわち、前記ＸＹテーブル１の下面側にて下方に所定の
距離だけ離れて設けられており、例えば二つのミラー１
７，１７により導かれた光１８を入射するようになって
いる。このとき、上記テレビカメラ６のレンズがプリン
ト基板１３を見込む角度は、図１に示すように、Ｘ線源
２からＸ線撮像部３に向けて放射されるＸ線ビーム１９
の広がり角度よりも大きくされており、この結果、上記
Ｘ線撮像部３による撮影範囲より広い範囲を撮影できる
こととなる。さらに、表示回路７の内部には、上記第二
の表示器５ｂの表示画像の中にプリント基板１３に対す
るＸ線撮影範囲を表示する手段が設けられている。これ
により、図２に示すように、第二の表示器５ｂの画面に
は、プリント基板１３に電子部品１６，１６が実装され
た状態の画像１６′，１６′と共に、Ｘ線撮影範囲を示
す枠２０が表示されることとなる。なお、この枠２０
は、実線又は破線による表示に限らず、上記枠２０内に
相当する部分の画像の輝度又は色調をそれ以外の部分と
変えて表示するようにしてもよい。
メラ６は、プリント基板１３の電子部品１６，１６（図
２参照）が搭載された側にて前記Ｘ線撮像部３による撮
影範囲より広い範囲を撮影し得るものとされている。す
なわち、前記ＸＹテーブル１の下面側にて下方に所定の
距離だけ離れて設けられており、例えば二つのミラー１
７，１７により導かれた光１８を入射するようになって
いる。このとき、上記テレビカメラ６のレンズがプリン
ト基板１３を見込む角度は、図１に示すように、Ｘ線源
２からＸ線撮像部３に向けて放射されるＸ線ビーム１９
の広がり角度よりも大きくされており、この結果、上記
Ｘ線撮像部３による撮影範囲より広い範囲を撮影できる
こととなる。さらに、表示回路７の内部には、上記第二
の表示器５ｂの表示画像の中にプリント基板１３に対す
るＸ線撮影範囲を表示する手段が設けられている。これ
により、図２に示すように、第二の表示器５ｂの画面に
は、プリント基板１３に電子部品１６，１６が実装され
た状態の画像１６′，１６′と共に、Ｘ線撮影範囲を示
す枠２０が表示されることとなる。なお、この枠２０
は、実線又は破線による表示に限らず、上記枠２０内に
相当する部分の画像の輝度又は色調をそれ以外の部分と
変えて表示するようにしてもよい。
【００２２】また、前記Ｘ線源２からのＸ線の照射領域
内には、線量計９が設けられている。この線量計９は、
図３に示すように、Ｘ線源２からプリント基板１３に向
けて照射されるＸ線の線量を測定するもので、例えば電
離箱又は計数管などから成り、そのセンサ部分がＸ線の
照射領域内に達している。そして、Ｘ線カメラコントロ
ーラ４の内部には、上記線量計９から出力される測定信
号を入力して前記Ｘ線撮像部３からの画像のゲインを調
整する手段が設けられている。この場合、上記線量計９
は、Ｘ線源２の発生Ｘ線量を測定してそのＸ線量に応じ
た出力信号をＸ線カメラコントローラ４に送る。する
と、このＸ線カメラコントローラ４は、上記線量計９か
ら入力した測定結果に応じて、Ｘ線撮像部３の画像のゲ
インを調整する。すなわち、Ｘ線源２からの発生Ｘ線量
が少ない場合はゲインを高め、発生Ｘ線量が多い場合は
ゲインを低めるようにする。これにより、上記Ｘ線撮像
部３で撮影され第一の表示器５ａに表示される検査画像
の濃度が常に一定となるように制御される。
内には、線量計９が設けられている。この線量計９は、
図３に示すように、Ｘ線源２からプリント基板１３に向
けて照射されるＸ線の線量を測定するもので、例えば電
離箱又は計数管などから成り、そのセンサ部分がＸ線の
照射領域内に達している。そして、Ｘ線カメラコントロ
ーラ４の内部には、上記線量計９から出力される測定信
号を入力して前記Ｘ線撮像部３からの画像のゲインを調
整する手段が設けられている。この場合、上記線量計９
は、Ｘ線源２の発生Ｘ線量を測定してそのＸ線量に応じ
た出力信号をＸ線カメラコントローラ４に送る。する
と、このＸ線カメラコントローラ４は、上記線量計９か
ら入力した測定結果に応じて、Ｘ線撮像部３の画像のゲ
インを調整する。すなわち、Ｘ線源２からの発生Ｘ線量
が少ない場合はゲインを高め、発生Ｘ線量が多い場合は
ゲインを低めるようにする。これにより、上記Ｘ線撮像
部３で撮影され第一の表示器５ａに表示される検査画像
の濃度が常に一定となるように制御される。
【００２３】さらに、前記Ｘ線源２とＸ線撮像部３との
間には、図４に示すように、校正用試料１０が設けられ
ている。この校正用試料１０は、上記Ｘ線撮像部３の感
度が経時変化により低下するので、この感度低下を補償
するために画像の濃度を校正するためのもので、図５に
示すように、例えばＸ線吸収係数が一定で板厚がｔ1，
ｔ2，ｔ3，ｔ4，ｔ5（ｔ1＞ｔ2＞ｔ3＞ｔ4＞ｔ5）のよ
うに順次変化する板材から成り、駆動部２３によりＸ線
の撮像領域内に進退可能に設けられている。そして、Ｘ
線カメラコントローラ４の内部には、上記の校正用試料
１０をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像の
ゲインとガンマ値を調整する手段が設けられている。
間には、図４に示すように、校正用試料１０が設けられ
ている。この校正用試料１０は、上記Ｘ線撮像部３の感
度が経時変化により低下するので、この感度低下を補償
するために画像の濃度を校正するためのもので、図５に
示すように、例えばＸ線吸収係数が一定で板厚がｔ1，
ｔ2，ｔ3，ｔ4，ｔ5（ｔ1＞ｔ2＞ｔ3＞ｔ4＞ｔ5）のよ
うに順次変化する板材から成り、駆動部２３によりＸ線
の撮像領域内に進退可能に設けられている。そして、Ｘ
線カメラコントローラ４の内部には、上記の校正用試料
１０をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像の
ゲインとガンマ値を調整する手段が設けられている。
【００２４】この場合、まず、上記駆動部２３により校
正用試料１０をＸ線撮像部３の撮像領域内に進め、その
入射面の前方に位置させる。次に、ＸＹテーブル１上に
は何も載せない状態でＸ線源２からＸ線を放射し、上記
校正用試料１０を透過したＸ線像をＸ線撮像部３で撮影
する。このとき、線量計９でＸ線源２の発生Ｘ線量を測
定してその信号をＸ線カメラコントローラ４に送る。す
ると、Ｘ線カメラコントローラ４は、上記Ｘ線撮像部３
及び線量計９からの信号を入力して、上記校正用試料１
０のそれぞれの板厚ｔ1〜ｔ5と画像上の輝度の変化との
関係を初期値として記録しておく。その後、適宜の時間
間隔で上記の校正用試料１０を用いて、その板厚と画像
上の輝度変化との関係が上記の初期値と等しくなるよう
にＸ線カメラコントローラ４のゲインとガンマ値を調整
すればよい。これにより、Ｘ線撮像部３が経時変化によ
り感度低下するのを補償することができる。
正用試料１０をＸ線撮像部３の撮像領域内に進め、その
入射面の前方に位置させる。次に、ＸＹテーブル１上に
は何も載せない状態でＸ線源２からＸ線を放射し、上記
校正用試料１０を透過したＸ線像をＸ線撮像部３で撮影
する。このとき、線量計９でＸ線源２の発生Ｘ線量を測
定してその信号をＸ線カメラコントローラ４に送る。す
ると、Ｘ線カメラコントローラ４は、上記Ｘ線撮像部３
及び線量計９からの信号を入力して、上記校正用試料１
０のそれぞれの板厚ｔ1〜ｔ5と画像上の輝度の変化との
関係を初期値として記録しておく。その後、適宜の時間
間隔で上記の校正用試料１０を用いて、その板厚と画像
上の輝度変化との関係が上記の初期値と等しくなるよう
にＸ線カメラコントローラ４のゲインとガンマ値を調整
すればよい。これにより、Ｘ線撮像部３が経時変化によ
り感度低下するのを補償することができる。
【００２５】なお、上記校正用試料１０は、駆動部２３
により進退可能とされたシャッタのような形式として示
したが、これに限らず、例えばＸＹテーブル１の適当な
箇所に試料となる板材を取り付けておき校正時にはこの
板材を撮影するようにしてもよいし、或いはプリント基
板１３自体を校正用の板材として校正のための初期値を
求めるようにしてもよい。
により進退可能とされたシャッタのような形式として示
したが、これに限らず、例えばＸＹテーブル１の適当な
箇所に試料となる板材を取り付けておき校正時にはこの
板材を撮影するようにしてもよいし、或いはプリント基
板１３自体を校正用の板材として校正のための初期値を
求めるようにしてもよい。
【００２６】また、前記Ｘ線撮像部３は、ＸＹ駆動機構
１１に取り付けられており、このＸＹ駆動機構１１と前
記ＸＹテーブル１との間には同期駆動回路１２が設けら
れている。上記ＸＹ駆動機構１１は、図６に示すよう
に、Ｘ線撮像部３を二次元平面内でＸ方向及びＹ方向に
移動させるもので、ＸＹテーブル１に平行に設けられ、
従来公知の二次元方向の移動機構から成る。そして、同
期駆動回路１２は、上記ＸＹ駆動機構１１の移動に対し
一定の割合でＸＹテーブル１を同じ方向に同期して移動
させるもので、それぞれの駆動部（図示省略）に対して
同期信号を送出するようになっている。これは、Ｘ線撮
像部３としてビジコン等の高解像度の撮像管を用いた場
合は、上記Ｘ線撮像部３の入射面をなるべくプリント基
板１３に接近させる必要があるが、該Ｘ線撮像部３の入
射面とプリント基板１３との距離を変えることなくその
プリント基板１３や搭載電子部品への透過Ｘ線の角度を
変えるようにするため、Ｘ線撮像部３の入射面がプリン
ト基板１３の板面と平行を保ったまま二次元平面内で任
意に移動できるようにするためである。
１１に取り付けられており、このＸＹ駆動機構１１と前
記ＸＹテーブル１との間には同期駆動回路１２が設けら
れている。上記ＸＹ駆動機構１１は、図６に示すよう
に、Ｘ線撮像部３を二次元平面内でＸ方向及びＹ方向に
移動させるもので、ＸＹテーブル１に平行に設けられ、
従来公知の二次元方向の移動機構から成る。そして、同
期駆動回路１２は、上記ＸＹ駆動機構１１の移動に対し
一定の割合でＸＹテーブル１を同じ方向に同期して移動
させるもので、それぞれの駆動部（図示省略）に対して
同期信号を送出するようになっている。これは、Ｘ線撮
像部３としてビジコン等の高解像度の撮像管を用いた場
合は、上記Ｘ線撮像部３の入射面をなるべくプリント基
板１３に接近させる必要があるが、該Ｘ線撮像部３の入
射面とプリント基板１３との距離を変えることなくその
プリント基板１３や搭載電子部品への透過Ｘ線の角度を
変えるようにするため、Ｘ線撮像部３の入射面がプリン
ト基板１３の板面と平行を保ったまま二次元平面内で任
意に移動できるようにするためである。
【００２７】この場合の同期駆動回路１２による移動制
御は次のようになる。いま、Ｘ方向の移動制御をすると
して、Ｘ線源２のＸ線放射の焦点からＸＹテーブル１の
上面までの距離をＬ1，Ｘ線撮像部３の入射面までの距
離をＬ2とし、上記Ｘ線源２によるＸ線照射中心からの
プリント基板１３のＸ方向の移動距離をｘ1，Ｘ線撮像
部３のＸ方向の移動距離をｘ2とすると、これらの間に
次の関係が成立するように制御する。 ｘ2：ｘ1＝Ｌ2：Ｌ1 これにより、移動前も移動後もプリント基板１３上の同
じ位置を撮影することができる。
御は次のようになる。いま、Ｘ方向の移動制御をすると
して、Ｘ線源２のＸ線放射の焦点からＸＹテーブル１の
上面までの距離をＬ1，Ｘ線撮像部３の入射面までの距
離をＬ2とし、上記Ｘ線源２によるＸ線照射中心からの
プリント基板１３のＸ方向の移動距離をｘ1，Ｘ線撮像
部３のＸ方向の移動距離をｘ2とすると、これらの間に
次の関係が成立するように制御する。 ｘ2：ｘ1＝Ｌ2：Ｌ1 これにより、移動前も移動後もプリント基板１３上の同
じ位置を撮影することができる。
【００２８】この状態で、図７に示すように、プリント
基板１３に実装された電子部品１６のリード２４の半田
付け状態を検査するのに、Ｘ線の透過経路２５がプリン
ト基板１３に対して垂直な場合は、上記リード２４の立
上り部によるＸ線吸収が大きくなるので、該リード２４
下部の半田２７の接着状態はよくわからない。しかし、
図６においてプリント基板１３及びＸ線撮像部３を例え
ば左側方にそれぞれｘ1，ｘ2だけ移動すると、図７に示
すように、Ｘ線の透過経路２６がプリント基板１３に対
して斜めに傾くこととなり、この場合はリード２４をＸ
線が透過する距離が短くなって該リード２４によるＸ線
吸収が小さくなり、そのリード２４下部の半田２７の接
着状態をよく観察することができる。
基板１３に実装された電子部品１６のリード２４の半田
付け状態を検査するのに、Ｘ線の透過経路２５がプリン
ト基板１３に対して垂直な場合は、上記リード２４の立
上り部によるＸ線吸収が大きくなるので、該リード２４
下部の半田２７の接着状態はよくわからない。しかし、
図６においてプリント基板１３及びＸ線撮像部３を例え
ば左側方にそれぞれｘ1，ｘ2だけ移動すると、図７に示
すように、Ｘ線の透過経路２６がプリント基板１３に対
して斜めに傾くこととなり、この場合はリード２４をＸ
線が透過する距離が短くなって該リード２４によるＸ線
吸収が小さくなり、そのリード２４下部の半田２７の接
着状態をよく観察することができる。
【００２９】次に、このように構成された基板半田付け
状態検査装置の全体的な動作について説明する。まず、
プリント基板１３の検査に先立って、図４に示すよう
に、ＸＹテーブル１上にプリント基板１３を載せること
なく、校正用試料１０をＸ線撮像部３の撮像領域内にセ
ットし、Ｘ線源２からＸ線を放射して上記校正用試料１
０を撮影する。そして、Ｘ線カメラコントローラ４によ
り、Ｘ線撮像部３及び線量計９からの信号を入力して、
上記校正用試料１０を用いた場合の輝度変化の状態を初
期値として記録しておく。
状態検査装置の全体的な動作について説明する。まず、
プリント基板１３の検査に先立って、図４に示すよう
に、ＸＹテーブル１上にプリント基板１３を載せること
なく、校正用試料１０をＸ線撮像部３の撮像領域内にセ
ットし、Ｘ線源２からＸ線を放射して上記校正用試料１
０を撮影する。そして、Ｘ線カメラコントローラ４によ
り、Ｘ線撮像部３及び線量計９からの信号を入力して、
上記校正用試料１０を用いた場合の輝度変化の状態を初
期値として記録しておく。
【００３０】この状態で、図１において、ＸＹテーブル
１上にプリント基板１３を載置固定する。このとき、上
記プリント基板１３に実装された電子部品１６がテレビ
カメラ６の設置してある側に向くようにする。次に、光
源１５の点灯により光を上記プリント基板１３に照射
し、この基板面からの光をミラー１７，１７で導いてテ
レビカメラ６で撮影し、図２に示すように、電子部品１
６の実装された面の画像を第二の表示器５ｂに表示す
る。このとき、上記第二の表示器５ｂの画面には、同時
にＸ線撮影範囲を示す枠２０が表示される。そこで、操
作者は、この表示器５ｂの画面を見ながらＸＹテーブル
１を移動操作し、図２に示す第二の表示器５ｂの枠２０
内にプリント基板１３の検査部位、すなわち目的とする
電子部品１６のリード２４の周辺の画像が位置するよう
にセットする。これにより、所望の検査部位がＸ線撮像
部３による撮影範囲内に正しく位置合わせされる。な
お、この検査部位の位置合わせのときは、図２に示すよ
うにシャッタ板２１を進出させてシャッタ８が閉じられ
ている。従って、Ｘ線源２から放射されているＸ線は上
記シャッタ８により遮られ、プリント基板１３及びＸ線
撮像部３には照射されない。このことから、Ｘ線撮像部
３の劣化を防止することができる。
１上にプリント基板１３を載置固定する。このとき、上
記プリント基板１３に実装された電子部品１６がテレビ
カメラ６の設置してある側に向くようにする。次に、光
源１５の点灯により光を上記プリント基板１３に照射
し、この基板面からの光をミラー１７，１７で導いてテ
レビカメラ６で撮影し、図２に示すように、電子部品１
６の実装された面の画像を第二の表示器５ｂに表示す
る。このとき、上記第二の表示器５ｂの画面には、同時
にＸ線撮影範囲を示す枠２０が表示される。そこで、操
作者は、この表示器５ｂの画面を見ながらＸＹテーブル
１を移動操作し、図２に示す第二の表示器５ｂの枠２０
内にプリント基板１３の検査部位、すなわち目的とする
電子部品１６のリード２４の周辺の画像が位置するよう
にセットする。これにより、所望の検査部位がＸ線撮像
部３による撮影範囲内に正しく位置合わせされる。な
お、この検査部位の位置合わせのときは、図２に示すよ
うにシャッタ板２１を進出させてシャッタ８が閉じられ
ている。従って、Ｘ線源２から放射されているＸ線は上
記シャッタ８により遮られ、プリント基板１３及びＸ線
撮像部３には照射されない。このことから、Ｘ線撮像部
３の劣化を防止することができる。
【００３１】その後、シャッタ板２１を後退させて上記
シャッタ８を開く。すると、図１に示すように、Ｘ線源
２から放射されているＸ線がプリント基板１３に照射さ
れ、そのＸ線透過像がＸ線撮像部３で撮影されて第一の
表示器５ａに検査画像が表示される。そして、この第一
の表示器５ａに表示されるＸ線検査画像を観察して、上
記プリント基板１３への電子部品１６の半田付け状態が
良好か否か検査する。このとき、図７に示すように、電
子部品１６のリード２４の立上り部とＸ線の照射方向が
重なって接着状態がよくわからない場合は、図６に示す
ようにＸ線撮像部３とプリント基板１３とを同期して移
動させ、Ｘ線の透過経路２６を斜めに傾けるとよい。な
お、上記のようにＸ線撮像部３とプリント基板１３とを
同期して移動させるときは、図２に示すようにシャッタ
板２１を進出させてシャッタ８を閉じておく。移動が終
ったら、上記シャッタ８を開いて検査を再開する。
シャッタ８を開く。すると、図１に示すように、Ｘ線源
２から放射されているＸ線がプリント基板１３に照射さ
れ、そのＸ線透過像がＸ線撮像部３で撮影されて第一の
表示器５ａに検査画像が表示される。そして、この第一
の表示器５ａに表示されるＸ線検査画像を観察して、上
記プリント基板１３への電子部品１６の半田付け状態が
良好か否か検査する。このとき、図７に示すように、電
子部品１６のリード２４の立上り部とＸ線の照射方向が
重なって接着状態がよくわからない場合は、図６に示す
ようにＸ線撮像部３とプリント基板１３とを同期して移
動させ、Ｘ線の透過経路２６を斜めに傾けるとよい。な
お、上記のようにＸ線撮像部３とプリント基板１３とを
同期して移動させるときは、図２に示すようにシャッタ
板２１を進出させてシャッタ８を閉じておく。移動が終
ったら、上記シャッタ８を開いて検査を再開する。
【００３２】上記の動作により、プリント基板１３への
電子部品１６の半田付け状態が検査されるが、適宜の使
用間隔又は時間間隔ごとに図４に示す校正用試料１０を
用いて、Ｘ線撮像部３が経時変化により感度低下するの
を補償すればよい。
電子部品１６の半田付け状態が検査されるが、適宜の使
用間隔又は時間間隔ごとに図４に示す校正用試料１０を
用いて、Ｘ線撮像部３が経時変化により感度低下するの
を補償すればよい。
【００３３】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
Ｘ線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し得るテ
レビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載された
側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられた表示
手段により該表示器の表示画像の中に上記プリント基板
に対するＸ線撮影範囲を表示することができる。これに
より、上記プリント基板を載置したＸＹテーブルを移動
して上記Ｘ線撮影範囲内に該プリント基板の検査部位を
位置合わせし、撮影位置を容易に決定することができ
る。
Ｘ線撮像部による撮影範囲より広い範囲を撮影し得るテ
レビカメラによりプリント基板の電子部品が搭載された
側を撮影し、第二の表示器の表示回路に設けられた表示
手段により該表示器の表示画像の中に上記プリント基板
に対するＸ線撮影範囲を表示することができる。これに
より、上記プリント基板を載置したＸＹテーブルを移動
して上記Ｘ線撮影範囲内に該プリント基板の検査部位を
位置合わせし、撮影位置を容易に決定することができ
る。
【００３４】また、前記Ｘ線源からのＸ線の照射領域内
にＸ線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してＸ線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、Ｘ線検査画像
を見易くすることができる。
にＸ線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線
量計の出力信号を入力してＸ線撮像部のゲインを調整す
る手段を設けたものにおいては、得られる画像濃度を常
に一定とすることができる。これにより、Ｘ線検査画像
を見易くすることができる。
【００３５】さらに、前記Ｘ線源とＸ線撮像部との間
に、該Ｘ線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
Ｘ線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
に、該Ｘ線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料を
Ｘ線の撮像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試
料をＸ線の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲ
インとガンマ値を調整する手段を設けたものにおいて
は、それぞれの試料に対応する画像の濃度が一定となる
ように感度補償することができる。これにより、得られ
る検査画像の精度を高めることができる。
【００３６】また、前記Ｘ線撮像部を、ＸＹテーブルに
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構
に取り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、Ｘ線源によるＸ線照
射中心より側方にずれた位置にＸ線撮像部を移動してＸ
Ｙテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のＸ線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
平行に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構
に取り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一
定の割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期
駆動回路を設けたものにおいては、Ｘ線源によるＸ線照
射中心より側方にずれた位置にＸ線撮像部を移動してＸ
Ｙテーブル上のプリント基板の検査部位を撮影すること
ができる。これにより、斜め入射のＸ線であっても検査
画像のゆがみを除去することができる。
【図１】本発明による基板半田付け状態検査装置の実施
例を示す全体構成図である。
例を示す全体構成図である。
【図２】テレビカメラの動作及びその画像を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図３】線量計の動作を説明するための図である。
【図４】校正用試料の動作を説明するための図である。
【図５】上記校正用試料の形状を示す説明図である。
【図６】ＸＹテーブルとＸＹ駆動機構の動作を説明する
ための図である。
ための図である。
【図７】プリント基板に実装された電子部品のリードに
対するＸ線の透過経路の変化を示す説明図である。
対するＸ線の透過経路の変化を示す説明図である。
１…ＸＹテーブル ２…Ｘ線源 ３…Ｘ線撮像部 ４…Ｘ線カメラコントローラ ５ａ，５ｂ…表示器 ６…テレビカメラ ７…表示回路 ９…線量計 １０…校正用試料 １１…ＸＹ駆動機構 １２…同期駆動回路 １３…プリント基板 １６…電子部品 ２０…枠
Claims (4)
- 【請求項１】 上面にプリント基板を載置し二次元平面
内で移動し得るＸＹテーブルと、上記プリント基板の検
査部位にＸ線を照射するＸ線源と、上記ＸＹテーブルを
間に挟んでＸ線源と対向配置され上記プリント基板の透
過Ｘ線像を撮影し電気信号に変換するＸ線撮像部と、こ
のＸ線撮像部からの出力信号を検査画像として表示する
第一の表示器と、上記ＸＹテーブルの一側面がわに設け
られプリント基板の実装状態を光学的に撮影して電気信
号に変換するテレビカメラと、このテレビカメラからの
出力信号を画像として表示する第二の表示器とを有し、
上記第一の表示器に表示される検査画像によりプリント
基板への電子部品の半田付け状態を検査する基板半田付
け状態検査装置において、上記テレビカメラは、プリン
ト基板の電子部品が搭載された側にて上記Ｘ線撮像部に
よる撮影範囲より広い範囲を撮影し得るものとし、上記
第二の表示器の表示画像の中にプリント基板に対するＸ
線撮影範囲を表示する手段を設けたことを特徴とする基
板半田付け状態検査装置。 - 【請求項２】 前記Ｘ線源からのＸ線の照射領域内にＸ
線の線量を測定する線量計を設けると共に、この線量計
の出力信号を入力して前記Ｘ線撮像部のゲインを調整す
る手段を設け、その画像濃度を常に一定とするようにし
たことを特徴とする請求項１記載の基板半田付け状態検
査装置。 - 【請求項３】 前記Ｘ線源とＸ線撮像部との間に、該Ｘ
線撮像部の画像濃度校正用の複数種類の試料をＸ線の撮
像領域内に進退可能に設けると共に、上記各試料をＸ線
の撮像領域内に挿入した際に得られる画像のゲインとガ
ンマ値を調整する手段を設け、それぞれの試料に対応す
る画像の濃度が一定となるように補償するようにしたこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の基板半田付け状態
検査装置。 - 【請求項４】 前記Ｘ線撮像部を、ＸＹテーブルに平行
に設けられ二次元平面内で移動し得るＸＹ駆動機構に取
り付けると共に、このＸＹ駆動機構の移動に対し一定の
割合で上記ＸＹテーブルを同期して移動させる同期駆動
回路を設け、Ｘ線源によるＸ線照射中心より側方にずれ
た位置にＸ線撮像部を移動してＸＹテーブル上のプリン
ト基板の検査部位を撮影し得るようにしたことを特徴と
する請求項１，２又は３記載の基板半田付け状態検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5144347A JP2696471B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 基板半田付け状態検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5144347A JP2696471B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 基板半田付け状態検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331571A true JPH06331571A (ja) | 1994-12-02 |
| JP2696471B2 JP2696471B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=15359996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5144347A Expired - Fee Related JP2696471B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 基板半田付け状態検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2696471B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281170A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 視野移動方法 |
| WO2003046532A1 (fr) * | 2001-11-26 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif d'examen radiographique, procedes de commande et de reglage associes |
| JP2005181242A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
| JP2007192598A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Saki Corp:Kk | 被検査体の検査装置 |
| JP2007198740A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Shimadzu Corp | Ｘ線検査装置 |
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