JPH09138203A

JPH09138203A - Ｘ線蛍光画像検査装置

Info

Publication number: JPH09138203A
Application number: JP7319700A
Authority: JP
Inventors: Manabu Harada; 学原田; Yoshinobu Abe; 可伸安部; Takeshi Inage; 剛稲毛
Original assignee: MARCOM KK; Malcom Co Ltd
Current assignee: MARCOM KK; Malcom Co Ltd
Priority date: 1995-11-14
Filing date: 1995-11-14
Publication date: 1997-05-27

Abstract

(57)【要約】【目的】従来感度が悪いため、医療用の直接撮影法に
しか用いられなかった安価な蛍光増感紙を用いて、従来
の間接撮影法に比較して解像度の高く視野の広いＴＶ画
像を利用した間接撮影法としての工業用に用いるＸ線蛍
光画像観察装置を安価に得る。【構成】Ｘ線源（１）から放射されたＸ線（２）を被
検査体（３）を貫通させた後に蛍光増感紙（４）を貫通
させる。このことにより蛍光増感紙が発光した光学像を
鉛ガラス（５）を経由して固体撮像素子カメラ（７）で
撮影する。その撮影画像信号を画像メモリ（８）を含む
画像処理部（９）によってモニタＴＶ（１０）にて表示
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は人間の医療用以外の
目的で不可視領域を検査するためのＸ線蛍光画像検査装
置である。例えば、陰に隠れて見えない半田接合箇所，
見にくい半田接合箇所など、或いは動物の骨の検査、等
を人体の検査以外の目的のために使用して特に有効なＸ
線検査装置の一種に関する。

【０００２】

【従来技術】人間の医療用の検査装置以外にも、工業用
としても種々の装置にＸ線検査装置が使用されている。

【０００３】かかるＸ線検査装置におけるＸ線透過法に
おける不可視域領域の検査は、Ｘ線が被検査体を通過す
る際に、内部の物質のＸ線吸収率の違いが、通過Ｘ線の
強度分布画像として検出できる原理を利用している。こ
こにＸ線自体は、目に見えないものであるから、これを
可視像とするためにＸ線撮影装置が数多く実用化されて
いる。以下に、従来におけるＸ線撮影方式について説明
する。

【０００４】図３を参照して、ここに示すのは、Ｘ線フ
ィルム１１を感光させる為に、該フィルム１１を蛍光増
感紙４と密着させて使用する直接撮影法である。尚、通
常はフィルム１１を前後２枚の増感紙４で挟んで使用す
る場合が多い。また、ここに説明している蛍光増感紙４
は、一般に医療用として上記のように直接撮影法に使用
されているが、本発明で期待する効果を求めるような工
業用としては使用されておらず、従って後記にて説明す
る間接撮影法に使用される蛍光体板（蛍光板）とは全く
異質なものとして取り扱われねばならない。

【０００５】Ｘ線フィルム１１のベース（一般にポリエ
チレンテレフタレート：ＰＥＴ等が用いられる）１３の
一方の面に形成される感光材料は、通常ハロゲン化銀を
主体とした乳剤１４である。Ｘ線フィルム１１の分光感
度に合わせて蛍光増感紙４の発光波長は決定されてお
り、ガドリニウムオキシサルファイド：テルビウム（Ｇ
ｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｔｂ）等に代表される緑色発光の蛍光体を
用いている。

【０００６】蛍光増感紙４は、Ｘ線写真の直接撮影法で
のＸ線（感光）フィルム１１とセットで使用される目的
で製作されたもので、蛍光増感紙４のベース（一般にポ
リエチレンテレフタレート：ＰＥＴ等が用いられる）１
５の他方の面には、蛍光体層１６が形成されている。

【０００７】蛍光増感紙４としては、緑感タイプのオル
ソタイプ（オルソフィルム）以外には、タングステン酸
カルシウム（ＣａＷＯ₄ ）に代表される青色発光の蛍光
体層１６を用いた青感タイプのレギュラータイプ（レギ
ュラーフィルム）がある。尚、オルソタイプの蛍光増感
紙４は、その蛍光体層１６がＸ線の吸収効率が高く、さ
らに緑色の発光効率も高いことから、レギュラータイプ
の蛍光増感紙４よりも２〜４倍の感度がある。尚、本発
明において用いて有用な蛍光増感紙４については、後記
する。

【０００８】以上のように蛍光増感紙４は、種々の構造
が知られているが、いま図５においては図示せずＸ線源
となるＸ線管１から矢印方向に放射されたＸ線２は、被
検査体３を貫通して蛍光増感紙４に至ると、その蛍光体
層１６の被検査体３によって遮られた部分以外を発光さ
せるので、Ｘ線フィルム１１を現像処理することで、上
記発光光学像を視認できる。符号１７は、蛍光体層１６
による蛍光方向を示す。

【０００９】図６は現在ではほとんど利用されていない
が、簡便な方法として過去に多用された間接撮影法を示
す。この間接撮影法では、視認しやすいように明るく光
る蛍光板２０を直接目で観察しながら、同図のようなカ
メラ２１で撮影する方法である。間接撮影法では、上記
のような直接観察法のようなＸ線フィルム１１と蛍光増
感紙３とをセットで用いる用いる変わりに、ベース５４
の一方の面にガドリニウムオキシサルファイド：テルビ
ウム（Ｇｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｔｂ）等に代表される緑色発光の
蛍光体２２を設けた蛍光板２０を用いている。

【００１０】従って、図６においては図示せずＸ線管１
から矢印方向に放射されたＸ線２は、被検査体３を貫通
して蛍光板２０に至ると、その蛍光板２０の被検査体３
によって遮られた部分以外を発光させるので、この発光
光学像を可視光２３として捉え、カメラ２１の光学レン
ズ２４を介してフィルム２５に撮影すれば、そのフィル
ム２５を現像処理することで、上記光学像を視認でき
る。

【００１１】しかしながら、この間接撮影方法による
と、カメラ２１をＸ線２を浴びる方向に向けて撮影しな
ければならず、医療現場で働く撮影技師がＸ線２を多量
にあびる点で危険である。その為に低照度の光を明るく
するイメージ管２６を設けた光増強撮像管である図７の
イメージオルシコン２７等で蛍光画像を撮影し、該画像
信号をモニタＴＶ１０で表示するようにしたＸ線ＴＶ方
式も多用された。尚、２８は光学レンズを示す。しかし
この方式は大きな視野における解像度が悪くなる欠点が
あった為に１９６０年頃から図８に示す次の方式がＸ線
ＴＶ方法が採用されるようになってきた。

【００１２】図８は現在多用されているＩ．Ｉ．間接撮
影方式を示す。ここに「Ｉ．Ｉ．」とは、イメージイニ
テシファイアの略で、暗いＸ線蛍光像を明るい可視像に
変える電子管のことである。Ｉ．Ｉ．間接撮影方式で
は、同図に示すように被検査体３を透過したＸ線２が
Ｉ．Ｉ．管２９の入力窓３０を通過して入力蛍光面３１
に吸収されると、蛍光体３２が発生した光が裏面の光電
面（陰極）３３を刺激して光電子３４を放出する。

【００１３】この光電子３４を加速し集束する電子レン
ズ系（集束電極３５、３６）によって出力蛍光面３７に
電子像を結ばせると、出力蛍光体３８は入射電子量に応
じた蛍光を発する。３９は陽極を示す。電子線４０の量
は入射Ｘ線エネルギ量に比例するため、出力蛍光面３７
の可視像はＸ線画像を表すものとなる。尚、後記するよ
うに、出力蛍光面３７の可視像を高価なビジコンカメラ
４１で撮影し、該カメラ４１からの信号を元にモニタＴ
Ｖ１０にて上記蛍光面３７の可視像を表示し、確認でき
る。

【００１４】図６で示した蛍光板２０の蛍光像を撮影す
る間接撮影法に比べ、このＩ．Ｉ．間接撮影法は、Ｘ線
２の量を数１０分の１に低減できるので、撮影枚数の多
い胃の集団検診などに利用されている。

【００１５】このＩ．Ｉ．管２９の特徴的な性能は、大
視野である点と、変換係数が大きな点を上げることがで
きる。「大視野」であるという点では、入力蛍光面３１
の直径が６インチ（φ１５０）から１４インチ（φ３５
６）までの大きな視野のものが各種市販されている。
「大変換係数」という点では、入力Ｘ線２の線量率と出
力蛍光面３７の輝度の比が単なる蛍光板と比べて１０4
倍程度大きいものとなっている。

【００１６】

【発明の課題】上記した従来の撮影方法の中で図８の
Ｉ．Ｉ．間接撮影方法は、最も望ましいＸ線検査装置と
いえる。しかしＩ．Ｉ．管２９は、解像度の点では、鉛
製Ｘ線テストチャートの１ｃｍ当たりの空隙の有無の数
が有ると無しで１Ｌｐ（ラインペア）として表現する
と、４０Ｌｐ／ｃｍ位が目視判定の限界である。これは
１２５μｍの縞模様を視認の限度としているのと同じ意
味で、これは現在の医療用蛍光増感紙の超高鮮鋭度タイ
プの増感紙自体の解像度（３０μｍ位）と比べると悪い
といえる。

【００１７】しかもＩ．Ｉ．管２９によれば、出力蛍光
面３７の発光画像を図８のようにビジコンカメラ４１等
で撮像し、それをモニタＴＶ１０で見る必要がある為、
更に解像度は悪くなる。何故ならＩ．Ｉ．管２９は、入
力蛍光面３１は大きいが、出力蛍光面３７は約１／１０
の大きさとなっており、従って１２５ｍのテストチャー
トの縞は出力面では１２．５μｍの縞として限界的に視
認される。出力蛍光面３７が、直径φ１５位の中で２０
μ以下の解像度を期待できるカメラは、非常に高価なカ
ルニコン、ブランビコン、高解像度ビジコン等で、それ
にしても充分とは言えない。結果としてＩ．Ｉ．管２９
及びビジコンカメラ４１等のカメラ系全体としての解像
度はさらに低くなる。

【００１８】図８の中でＩ．Ｉ．管２９を除いてＸ線画
像をビジコンカメラ４１で直視する方式も多用されてい
る。この方式は解像度が２５μｍと非常に良いが１イン
チ管で視野が９．５×１２．７ｍｍ² と小さく、Ｘ線像
はＸ線自体を拡大、縮小できない性質上、視野が小さい
という欠点がある。

【００１９】感度、解像度、視野という点で総合的に見
てＸ線ＴＶの技術を推進させた医療分野では、図８の
Ｉ．Ｉ．間接撮影法は優れているといえる。特に非常に
高い感度を持つという事は、人間に対するＸ線２の照射
量を非常に小さくして安全に検査できるという点でその
効果は高いのである。

【００２０】しかしながら医療分野ならともかく、工業
用においては上記優れたＩ．Ｉ．間接撮影法といえども
妥協できない欠点がある。それは高価、しかも非常に高
価という点である。

【００２１】図６で示した間接撮影法においても事情は
同じで、ＴＶ画像を得る事を目指すならば図７で示した
間接撮影法のようにイメージオルシコン２７のような低
照度撮像管を使用しなければならず、これも高価で、し
かも上記したように非常に危険である。

【００２２】図５の直接撮影法によれば、価格の点で
は、非常に安価になり、フィルムだけの画像に満足する
のであれば問題はないが、工業用の検査装置として用い
ることを考えれば、フィルムの現像の手間や時間は納得
できない工程となる。

【００２３】以上のように従来から公知になっているＸ
線撮影方法では、これを工業用として用いるＸ線検査装
置を得る場合には、種々の課題点を持つ。

【００２４】即ち、本発明の課題は、ＴＶ画像として利
用でき、視野と解像度の点で充分で、価格が安くあれ
ば、感度が低く、多少Ｘ線の量が多くても問題のない分
野（人間の医療用でなく、工業分野）に利用できる方式
のＸ線検査装置を得ることが本発明の課題である。

【００２５】

【発明の課題を達成するための手段】かかる本発明の課
題は、Ｘ線源から放射されたＸ線を被検査体を貫通させ
た後に蛍光増感紙を貫通させることで、該蛍光増感紙が
発光した光学像を鉛ガラスを経由して固体撮像素子カメ
ラで撮影し、該撮影画像信号を画像メモリを含む画像処
理部によってモニタＴＶにて表示するようにしたＸ線蛍
光画像検査装置を提供することで達成できる。

【００２６】かかる装置において、Ｘ線源へ長時間電流
を流すのは発熱などの点で危険であるから、かかる装置
をより有効な物とするために、具体的には上記固体撮像
素子カメラによる撮影に同期してＸ線源にパルス状に通
電を繰り返し流すことで、上記蛍光増感紙による静止発
光光学像を次々と作り、この順次送られてくる静止発光
光学像を撮影画像信号として画像メモリを含む画像処理
部によって順次モニタＴＶにて表示するようにすること
で、その課題は達成できる。

【００２７】また上記Ｘ線蛍光画像検査装置を実用的な
物とするために、上記蛍光増感紙は、発光中心波長５４
５ｎｍを含むオルソクロマチック（緑感性）の蛍光体が
塗布された鮮鋭度の高いものを用いることで課題を達成
できる。

【００２８】（作用）：本発明のＸ線蛍光画像検査装置
によれば、Ｘ線源となるＸ線管１から投射されたＸ線２
が被検査体３を通過して、蛍光増感紙４に至ると、該蛍
光増感紙４は、発光中心波長５４５ｎｍを含むオルソク
ロマチック（緑感性）の蛍光体が塗布された鮮鋭度の高
いものであるため、該蛍光増感紙４では被検査体３によ
ってＸ線２が通過した箇所が発光する。この発光光学像
は可視光２３となって鉛ガラス５を経由して固体撮像素
子（ＣＣＤ）カメラ７の光学系６を介して固体撮像素子
（ＣＣＤ）４２面に結像される。

【００２９】発光光学像が固体撮像素子４２に結像され
ると、カメラ７内の画像信号変換器４３によって画像変
換された画像信号４４が画像処理部９内の画像入出力部
４５に出力され、画像メモリ８に記憶される。該画像メ
モリ８に入力された画像信号は、処理部ＣＰＵ４６でデ
ータ処理され、画像メモリ８、画像入出力部４５を介し
てモニタＴＶ１０にて上記発光光学像が静止画像として
画像表示される。尚、処理部ＣＰＵ４６は、更にインタ
ーフェイス４７とデータのやり取りを行い、データライ
ン４８を介してパーソナルコンピュータ４９、プリンタ
５０にデータ等を表示する。

【００３０】以上のように本発明のＸ線蛍光画像検査装
置では、従来において直接撮影法で用いている感度が低
い蛍光増感紙４を用いても、従来の間接撮影法と同様に
モニタＴＶ１０にて容易に被検査体３（蛍光増感紙４の
発光光学像）を検査できる。ここに蛍光増感紙４は、感
度が悪いとはいえ、この蛍光増感紙４は、フィルムのみ
を感光させる目的で、しかも医療用に用いられているも
のであるため、微量なＸ線２の量であっても感光させる
ことができるように改良されているため、発光効率も高
くなってきており、その発光光学像をモニタＴＶ１０に
て充分に表示できるものとなる。

【００３１】また蛍光増感紙４の発光光学像を写すため
のカメラも、従来の間接撮影法に用いられているような
高価なイメージオルシコンやビジコンカメラ等のような
特殊管を使用せず、安価な固体撮像素子（ＣＣＤ）カメ
ラ７を用いるのみで、充分に高い解像度の発光光学像を
モニタＴＶ１０にて画像表示できる。特に昨今のＣＣＤ
カメラは、充分に明るく、しかも解像度も高くなってお
り、また極めて安価に入手できるものとなっている。

【００３２】またＸ線管１に長時間大電流を流すのは発
熱の点で問題があるため、撮影に同期してＸ線管１にパ
ルス状電流を繰り返して流すことで次々と静止画像を得
る方法で撮影しているため、Ｘ線管１に長時間大電流を
流さずに済み、非常に安全になり、また安価な固体撮像
素子カメラ７を用いても解像度が高く、鮮明な画像を得
ることができる。

【００３３】このため画像信号４４は、画像メモリ８に
取り込んだ後、Ｘ線管１に流す電流のパルスに同期して
画像処理部９からモニタＴＶ１０に静止画像を自動出力
させているので、上記静止画像を長時間に渡って観察す
ることができる。さらに画像をプリントアウトしたけれ
ば、プリンタ５０によって容易に実現できる。尚、最近
ではビデオプリンタの商品名で各メーカより各種の機種
が発売されており、以上の画像処理機能を低価格で実現
できる。

【００３４】本発明のＸ線蛍光画像検査装置によれば固
体撮像素子カメラ７として、１／３インチタイプのもの
で視野は、約５×４ｍｍ² で、８μｍの解像度であるか
ら、１５×１２ｍｍ² の視野では、２４μｍの解像度を
得ることができる。これはＸ線ビジコンカメラ４１並み
の解像度であって、Ｉ．Ｉ．間接撮影法よりも遥かに高
い解像度である。しかもＸ線ビジコンカメラ４１と異な
り可視光で像の拡大、縮小を光学的に行うことが可能で
ある為、視野の拡大、縮小は非常に容易となり、被検査
体３の全体を見てから局所を拡大して観測する事が容易
に実現できる。従って、本発明のＸ線蛍光画像検査装置
によれば、解像度、視野の点で優れているだけでなく価
格の点で特に優れたＸ線撮影方式のものを得ることがで
きる。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１を参照して、本発明の一実施
例としてのＸ線蛍光画像検査装置について説明する。

【００３６】図示せずＸ線蛍光画像検査装置の本体内に
設けたＸ線源としてＸ線管１が発生するＸ線２の放射光
が照射される位置に被検査体３を介して蛍光増感紙４を
配置する。この場合、蛍光増感紙４は、図示せず蛍光増
感紙配置部にセットされているので、被検査体３をＸ線
２が投射される面に設置できるようにしておくと都合よ
い。この場合、Ｘ線管１が上部にあり、蛍光増感紙４が
下部にある縦型配置構造の場合には、蛍光増感紙４の上
に被検査体３を搭載配置しておくとよい。尚、被検査体
３は、Ｘ線蛍光画像検査装置本体に設けた窓を開いて所
定の位置に配置できるようにしてある。

【００３７】Ｘ線用蛍光増感紙４には、オルソタイプと
レギュラータイプがあるが、本発明では、緑感タイプの
オルソタイプ（オルソフィルム）を用いる。レギュラー
タイプ（レギュラーフィルム）は、タングステン酸カル
シウム（ＣａＷＯ₄ ）に代表される青色発光の蛍光体層
を有する青感タイプのものであるが、オルソタイプの蛍
光増感紙４は、その蛍光体層１６がＸ線２の吸収効率が
高く、さらに緑色の発光効率も高いことから、レギュラ
ータイプの蛍光増感紙４よりも２〜４倍の感度がある。

【００３８】かかる蛍光増感紙４には、図２に示すよう
に主に３種類の構造のものがある。図２の（ａ）のもの
は、均一層構造のものを示し、同様なサイズの粒子が蛍
光体層（蛍光体結晶バインダー）１６全体に均一に分散
されているもので、標準画質型がこのタイプの構造とな
っている。符号１８は保護層を示し、１９は蛍光の吸収
層または反射層としての中間層を示す。

【００３９】図２（ｂ）は、傾斜粒径構造を示し、蛍光
増感紙４の表面に近いところは、比較的大きな粒子、ベ
ース１５に近い所、即ちフィルム１１の感光面となる乳
剤１４より離れた所は小さな粒子であり、光の拡散が少
なく、感度が高く、高鮮鋭度型構造となっている。

【００４０】次に図２（ｃ）に示すのは、２層構造のも
ので、上層と下層とで異なる蛍光体、例えば上層はＣａ
ＷＯ₄ で、下層に希土類蛍光体（原子番号５７から７１
までのランタニド元素及びＳｃとＹを加えた１７種の希
土類元素の１つを含有する蛍光体で高感度である）を使
用したものがあり、一般に超高感度型で、粒状性の劣化
が少ない。中間層１９は、蛍光を反射または吸収する。

【００４１】例えば、図３の蛍光増感紙４ー３に示すよ
うに、中間層１９が白色で蛍光を発する場合は、高感度
であるが、鮮鋭性が劣り（高感度タイプ）、蛍光増感紙
４ー１に示すように、中間層１９が着色され、蛍光を吸
収する場合は、感度が低いが鮮鋭性がよく（低感度高鮮
鋭タイプ）、蛍光増感紙４ー２のものは、丁度中間の標
準タイプとなっている。図３において、１２はボケの範
囲を示し、５１の部分はフィルムの黒化具合を示し、１
７は蛍光の方向を示し、５２は蛍光体を示し、５３はス
リットを示している。

【００４２】従って、本発明においては、感度よりも、
解像度、視野の点を優先したＸ線蛍光画像検査装置を得
るため、上記蛍光増感紙４としては、安価に医療用とし
て販売されているなかでも感度より鮮鋭度を重視した、
高鮮鋭度、超高鮮鋭度タイプの医療用の図３の蛍光増感
紙４ー１タイプの、発光中心波長５４５ｍｍを含むオル
ソクロマチック（緑感性）蛍光体が塗布された感度の良
いオルソタイプのものを用いる。図４は、緑色発光を蛍
光するガドリニウムオキシサルファイド：テルビウム
（Ｇｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｔｂ）を用いたオルソタイイプの蛍光
増感紙４における発光分布とフィルム分光感度分布を示
し、縦軸に相対輝度（感度）を、横軸に波長（ｎｍ）を
取る。

【００４３】被検査体３を介してＸ線２が照射される
と、被検査体３によって遮られた箇所を除いた部分の蛍
光増感紙４部分が発光するので、この発光光学像は可視
光２３となって鉛ガラス５を貫通して固体撮像素子（Ｃ
ＣＤ）カメラ７の光学系６によって固体撮像素子４２に
結像される。該固体撮像素子カメラ７は、視野を変化さ
せる光学系６とともに、平面を駆動する図示しないテー
ブルの上に設けてある。この場合、鉛ガラス５を含む鉛
箱５４と共に上記テーブル上に配置して一体して平面上
を走査出きるようにしておいてもよい。

【００４４】固体撮像素子カメラ７は、弱い蛍光像を見
るために外光を遮断する事や固体撮像素子４２に飛び込
んでくるＸ線２の入射部（鉛ガラス５部）を除いて、Ｘ
線２の入射する面を鉛板で形成した鉛箱５５で完全に遮
断している。この場合、Ｘ線２の入射部（鉛ガラス５
部）を除いて鉛箱５５で固体撮像素子カメラ７を囲わな
いときには、鉛ガラス５を含みＸ線管１部分をＸ線２が
所定の光路以外から固体撮像素子カメラ７側に飛び込ん
でこないように囲っておく必要がある。尚、５６は、外
光遮蔽箱を示す。

【００４５】発熱の点で問題があるので、Ｘ線管１に
は、長時間電流を流すことができない。そこで、Ｘ線管
１に撮影に同期してパルス電流を流し、その都度都度、
固体撮像素子４２に結像された光学像の画像信号を画像
信号変換器４３で画像信号４４に直し、その信号４４を
画像処理部９内の画像入出力部４５を介して、短時間の
Ｘ線２の照射で得られた画像を画像メモリ（ビデオメモ
リ）８に記録しておく。以上のように発熱を考慮してＸ
線の照射は短時間であるが、大きな電流を流さなければ
ならないことから、Ｘ線管１による撮影に同期して該Ｘ
線管１への電流をパルス状に繰り返して流し、しかも自
動露光パルス方式で撮影することで鮮明な静止画像を得
るようにしている。

【００４６】この為、一度、画像信号４４は画像メモリ
８に取り込んだ後、画像処理部９の画像入出力部４５を
介してモニタＴＶ１０に静止画像を自動出力するように
して、長時間の画像の観察を行えるようにしている。次
々とメモリされた静止画像を順次モニタＴＶ１０にて表
示させることで、連続してそれらの静止画像を観察でき
る。さらに画像をプリントアウトしたければ、処理部Ｃ
ＰＵ４６及びインターフェイス４７で画像信号を処理し
た後、データライン４８を介して画像プリンタ５０にて
プリントアウト（画像出力）することができる。またフ
ロッピーディスクやハードディスクに記憶させておきた
い場合には、データライン４８を介してパーソナルコン
ピュータにセットされたフロッピーディスクやハードデ
ィスクに画像信号を記憶させておけるようにしている。
フロッピーディスクやハードディスクに記憶させた画像
信号を基に画像をプリンタ５０にてプリントアウトさせ
ることもできる。

【００４７】

【効果】本発明によれば、感度が悪いために従来医療用
として直接撮影法にしか用いられていなかった感度の点
は劣るが鮮鋭度に優れる安価な蛍光増感紙を用いて、非
常に解像度が高く、しかも視野の点で優れた間接撮影方
式のＸ線蛍光画像検査装置を極めて安価に得ることがで
きる。また撮影に同期してＸ線管にパルス電流を繰り返
して流し、次々と静止画像を得る方法で撮影するように
して、Ｘ線管に大電流を長時間流さないで済むので、ま
たそれぞれの静止画像を順次、メモリに落としておき、
それを取り出してモニタＴＶにて観察できるので、静止
画像の処理方法も簡単に行え、安全性、コスト面に優れ
たＸ線蛍光画像検査装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例としてのＸ線蛍光画像検査
装置のシステムの説明図である。

【図２】蛍光増感紙と蛍光体層構造の説明図である。

【図３】蛍光増感紙のタイイプと感度及び鮮鋭性を示
す図である。

【図４】蛍光増感紙の発光分布と分光感度分布を示す
図である。

【図５】従来のＸ線の直接撮影法の説明図である。

【図６】従来のＸ線の間接撮影法の説明図である。

【図７】図６においてイメージオルシコンを用いる場
合の説明図である。

【図８】従来のＸ線のＩ．Ｉ．間接撮影法の説明図で
ある。

【符号の説明】

１Ｘ線管（Ｘ線源）２Ｘ線３被検査体４、４ー１、・・・、４ー３蛍光増感紙５鉛ガラス６光学系７固体撮像素子（ＣＣＤ）カメラ８画像メモリ９画像処理部１０モニタＴＶ１１Ｘ線フィルム１２ボケの範囲１３ベース１４乳剤１５ベース１６蛍光体層１７蛍光の方向１８保護層１９蛍光の吸収層または反射層としての中間層２０蛍光板２１カメラ２２蛍光体２３可視光２４光学レンズ２５フィルム２６イメージ管２７イメージオルシコン２８光学レンズ２９Ｉ．Ｉ．（イメージイニテシファイア）管３０入力窓３１入力蛍光面３２蛍光体３３光電面（陰極）３４光電子３５、３６集束電極３７出力蛍光面３８出力蛍光体３９陽極４０電子線４１ビジコンカメラ４２固体撮像素子（ＣＣＤ）４３画像信号変換器４４画像信号４５画像入出力部４６処理部ＣＰＵ４７インターフェイス４８データライン４９パーソナルコンピュータ５０画像プリンタ５１フィルムの黒化具合５２蛍光体５３スリット５４鉛箱５５外光遮蔽箱

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ線源（１）から放射されたＸ線（２）
を被検査体（３）を貫通させた後に蛍光増感紙（４）を
貫通させることで、該蛍光増感紙が発光した光学像を鉛
ガラス（５）を経由して固体撮像素子カメラ（７）で撮
影し、該撮影画像信号を画像メモリ（８）を含む画像処
理部（９）によってモニタＴＶ（１０）にて表示するよ
うにしたことを特徴とするＸ線蛍光画像検査装置。
【請求項２】上記固体撮像素子カメラによる撮影に同
期してＸ線源にパルス状に通電を繰り返し流すことで、
上記蛍光増感紙による静止発光光学像を次々と作り、こ
の順次送られてくる静止発光光学像を撮影画像信号とし
て画像メモリを含む画像処理部によって順次モニタＴＶ
にて表示するようにしたことを特徴とする請求項１に記
載のＸ線蛍光画像検査装置。
【請求項３】上記蛍光増感紙は、発光中心波長５４５
ｎｍを含むオルソクロマチック（緑感性）の蛍光体が塗
布された鮮鋭度の高いものを用いたことを特徴とする請
求項１または請求項２に記載のＸ線蛍光画像検査装置。