JP2013257155A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに対向配置されたX線発生装置1とX線検出器2との間に設けられ、被検査物Wが載置されるステージ3と、ステージ3をX線光軸方向を含む3軸方向に移動させる移動機構4と、被検査物Wの一部領域のX線透視画像を取得するX線透視画像取得部21aと、被検査物Wの全領域の外観像をX線光軸方向から撮影する光学カメラ5と、外観像を表示器23に表示する外観像表示制御部21bと、外観像上の所望の位置が指定されることにより、当該所望の位置を含むX線透視画像が取得されるように、移動機構4を駆動させる移動機構制御部21cとを備えるX線検査装置10であって、被検査物Wの高さhが入力されることにより、外観像表示制御部21bは、高さhに基づいてステージ3をX線光軸方向に移動させた後、光学カメラ5に外観像を撮影させる。
【選択図】図1
Description
図4は、光学カメラを設けているX線検査装置の構成を示すブロック図である。また、図2は、X線検査装置によって表示される画像の一例である。なお、X線発生装置とX線検出器とを結ぶ方向をZ方向とし、Z方向と垂直な一方向をX方向とし、Z方向とX方向とに垂直な方向をY方向とする。
そして、操作者は、光学カメラ5によりX線の透視方向と略同方向(−Z方向)から被検査物Wを撮影した外観像Cをマップのように用い、その外観像C上に刻々の透視位置を重畳表示させ、あるいは外観像C上に拡大表示すべき位置を入力装置22で指定することにより、ステージ3を自動的に移動させてX線透視画像Tを表示させている(外観ナビゲーション機能)。
高さh1が高い被検査物W1の外観像Cを撮影する場合には、被検査物W1の全領域が映らなくなってしまう。
なお、高さh1が高い被検査物W1の全領域が映るように所定の位置(X’,Y’,Z’)を設定すると、高さh2が低い被検査物W2の外観像Cを撮影する場合には、被検査物W2の全領域のサイズが小さくなってしまい、外観像C上の位置を指定することが困難となる。
X線透視画像Tにおいて、被検査物W中の所望の観察位置をX線透視画像Tの中心に移動させるための距離x1,x2を計算するには、観察したい位置(星印)のステージ3面からの高さh1,h2を知る必要がある。そこで、X線透視画像Tを取得する際には、観察したい位置(星印)のステージ3面からの高さh1,h2を入力することが行われているものがある。
そこで、光学カメラ5が外観像Cを撮影するためのステージ3の位置(X,Y,Z)を、被検査物Wの高さh1,h2によって調整することを見出した。
さらに、外観像Cに映っている被検査物Wの表面のステージからの高さhがわかっているので、外観像(被検査物Wの表面)C上に拡大表示すべき透視位置を指定することにより、ステージを移動させる際にも、移動させるための距離x,yを正確に計算することができる。つまり、外観ナビゲーション機能がうまく機能することになる。
X線検査装置10は、被検査物Wが載置されるステージ3と、ステージ3をXYZ方向に移動させる移動機構4と、X線発生装置1と、X線検出器2と、被検査物Wの全領域の外観像を撮影するための光学カメラ5と、X線検査装置1全体の制御を行う制御系20とを備える。
ステージ3は、X線発生装置1とX線検出器2との間に配置されており、上面に被検査物Wが載置されるようになっている。これにより、X線発生装置1から発生したX線は、ステージ3上の被検査物Wを透過してX線検出器2に入射して検出され、その検出出力(X線透視画像T)は、制御系20にリアルタイム(所定の時間間隔)で送られて表示器23に表示されるようになっている。
表示器23には、図2に示すように、右側領域に、現在透視しているX線透視画像Tが表示されるとともに、左側領域に外観像Cが表示される。
また、移動機構制御部21cは、表示器23に表示された外観像C上の所望の位置が入力装置22を用いて指定されることにより、所望の位置が中心となるX線透視画像Tが取得されるように、ステージ3をXY方向に移動させる制御を行う(外観ナビゲーション機能)。このとき、外観像Cに映っている被検査物Wの表面のステージ3からの高さhが高さ記憶領域24bに設定されているので、移動機構制御部21cは、外観像C上で指定された所望の位置が中心となるX線透視画像Tを取得するための距離x,yを、高さhを用いて計算して、ステージ3を移動させる。これにより、外観ナビゲーション機能がうまく機能する。
(1)上述したX線検査装置1において、被検査物Wの外観像Cを撮影する前には、被検査物Wの高さh1を高さ記憶領域24bに設定しておく構成としたが、同じ高さh1の被検査物Wを次々と検査する場合には、被検査物Wの高さh1を高さ記憶領域24bに設定する工程を省略する構成としてもよい。
2: X線検出器
3: ステージ
4: 移動機構
5: 光学カメラ
10: X線検査装置
21a: X線透視画像取得部
21b: 外観像表示制御部
21c: 移動機構制御部
22: 入力装置
23: 表示器
24: メモリ
Claims (1)
- 互いに対向配置されたX線発生装置とX線検出器との間に設けられ、被検査物が載置されるステージと、
前記ステージをX線光軸方向を含む少なくとも3軸方向に移動させる移動機構と、
前記被検査物の一部領域のX線透視画像を取得するX線透視画像取得部と、
前記被検査物の全領域の外観像をX線光軸方向から撮影するための光学カメラと、
前記外観像を表示器に表示する外観像表示制御部と、
前記外観像上の所望の位置が指定されることにより、当該所望の位置を含むX線透視画像が取得されるように、前記移動機構を駆動させる移動機構制御部とを備えるX線検査装置であって、
前記被検査物の高さが入力されることにより、前記外観像表示制御部は、当該高さに基づいてステージをX線光軸方向に移動させた後、前記光学カメラに外観像を撮影させることを特徴とするX線検査装置。
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