JPH01262450A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、電子回路基板等の被写体をＸ線により非破壊
検査するＸ線検査装置に関する。

（従来の技術） この種のＸ線検査装置は、Ｘ線発生源とＸ線ＴＶカメラ
との間に被写体を配置し、Ｘ線発生源より被写体に向け
てＸ線を曝射するようにｍ成している。

そして、被写体を透過したＸ線がＸ線′ｒＶカメラに入
力され、ここでＸ線透過像を光学像に変換し、これをカ
メラにて撮影して電気信号に変換し、モニタ上に被写体
像を表示するように構成している。

ここで、例えば電子回路基板を被写体とする場合には、
この電子回路基板上には複数のＩＣ等の電子部品が搭載
されているので、Ｘ−Ｙテーブル上にこの電子回路基板
を支持し、テーブル制御によって被写体位置を可変とし
、電子回路基板上の各種部品の画像化を実行するように
している。

（発明が解決しようとする問題点） 例えば電子回路基板等のように、−枚の基板上に多数の
ＩＣなどの被検査体が存在し、これら全ての画像検査を
実行する必要がある場合には、−枚の基板に対してＸ−
Ｙテーブルの位置決めを複数種行う必要があり、さらに
、通常の検査では同一種類の回路基板を多数枚検査する
必要があるので、各基板毎に上述したＸ、Ｙ位置の位置
決めを実行する必要があった。

そして、従来はこの種のＸ、Ｙ方向の移動入力として、
ジョイスティック等を使用し、画面上で被写体位置をそ
の都度確認しながら入力するしかなく、従って、Ｘ線検
査時に必要な上記位置決めのための入力操作が極めてａ
ｍであり、検査スピードが遅く、作業者に多大な負担が
かかつていた。

そこで、本発明の目的とするところは、被写体の検査位
置を変える場合に、被写体のＸ、Ｙ位置の指定作業を容
易とすることで、検査スピードを向上し、かつ、作業者
の負担を大幅に軽減することができるＸ線検査装置を提
供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、微小焦点のＸ線源からＸ線を曝射し、Ｘ−Ｙ
テーブル上に支持された被写体を透過したＸ線像を画像
化して、被写体を非破壊検査するＸ線検査装置において
、 被写体の撮影中心位置を移動するためのＸ、Ｙ方向の移
動量を数値人力する入力部と、この入力された移動量だ
け前記Ｘ−ＹテーブルをＸ、Ｙ方向に駆動して、撮影中
心位置を移動制御する制御手段とを設けた構成としてい
る。

なお、このような入力部は、ジョイスティック又はマウ
ス等の入力手段と併せて設けることもできる。また、Ｘ
線撮影画像を表示するデイスプレーには、Ｘ、Ｙ方向に
目盛りを有するものが望ましい。

（作用） 本発明では、被写体の撮影中心を移動入力するにあたっ
て、その中心をＸ、Ｙ方向に移動したい移動量を数値に
よ１て設定可能に構成している。

この種のＸ線検査装置の被写体として例えば電子回路基
板等では、被写体中にいくつかの検査部位が存在し、か
つ、その配列ピッチまたはパターンピッチ等は設計上の
約束等によって分かっているものもあるので、このよう
な場合には、ジョイスティック等を操作しかから画面上
で撮影中心を確認するよりも、予め分かっている移動量
を数値によって特定したほうが、撮影中心の移動を迅速
にかつ正確に実行できる。

また、このように数値によって移動量を入力して撮影中
心を移動させた結果、撮影部位の未知の大きさを入力し
た数値より把握できるという利点もある。

さらに、デイスプレー上にＸ、Ｙ方向の目盛りが付され
る構成とした場合には、撮影中心をどれだけ移動すれば
よいかは目盛りを確認することで一目瞭然であるので、
このような構成として本発明を実施すれば、撮影中心の
設定入力がさらに迅速化される。

なお、被写体の種類等によってはジョイステイク等によ
りて撮影中心を移動させたほうが好ましいこともあるの
で、上記数値入力部をジョイスティックまたはマウス等
と併用するものが好ましい。

また、本発明では、微小焦点のＸ線源を採用しているの
で、焦点が大きいことに起因する像のボヤケを解消でき
、鮮明な高分解能のＸ線透過像を画像化することかでき
る。そして、このように微小焦点のＸＳｌ源とすること
で、特にこの種のＸ線非破壊検査での微細な欠陥の検出
に必要な所定拡大率での撮影に際しても、高分解能で高
倍率の影像を得ることができる。また、Ｘ線密度を高め
るために、大電力を要さない点でも優れている。

（実施例） 以下、本発明を電子回路基板の非破壊検査装置であるＸ
線検査装置に適用した一実施例について、図面を参照し
て具体的に説明する。

このＸ線検査装置は、Ｘ線発生装置１０のＸ線管１１と
ＸＩ！検出を行うイメージセンサ４０との間に被写体２
０を配置してＸ線機影を実行可能とすると共に、イメー
ジセンサ４０の前面側に配置可能なＸ線記録媒体例えば
インスタントフィルム２０．０上にＸ線透過像を撮影可
能となっている。

前記Ｘ＠発生部１０は、Ｘ線を発生する前記Ｘ線管１１
と、このｘＨ管１１に高電圧を印加する高電圧発生部１
２とから構成されている。Ｘ線管１１は、その内部の真
空中に陰極フィラメントと、その対向極である陽極とを
具備し、フィラメントを加熱することで俄び出す熱電子
を直流高電圧によって加速し、これを陽極に衝突させ、
このときのｐ！％電子の運動エネルギーをＸＩｌとして
得るものである。なお、このＸ線の曝射量は、ｘＩｌ管
１１の管電圧またはフィラメント電流を可変することで
、変化させることが可能である。

また、上記Ｘ線管１１として、いわゆる微小焦点Ｘ線源
を採用している０本実施例ではその焦点の大きさを１０
０ミクロン以下好ましくは１５ミクロン以下の微小焦点
Ｘ線源を採用している。このような微小焦点とするため
には、熱電子のターゲットである陽極上の微小領域に熱
電子を衝突させればよく、ターゲット頭載を集束電極な
どによって絞ることで実現できる。

前記被写体２０は、本実施例の場合ＩＣ等の電子部品を
実装した電子回路基板であり、例えばＸ−Ｙテーブル１
００のＸ−Ｙステージ１０９上に配置された支持用治具
１１０に複数枚配置され、Ｘ−Ｙステージ】０９の移動
によってＸ＆ｌ唱射領域に設定可能となっている。なお
、前記Ｘ−Ｙテーブル１００及び支持用治具１１０の詳
細については後述する。

上記Ｘ線像を画像化するために、被写体２０を介してＸ
線を入力する前記イメージセンサ４０が設けられている
。ここで、本実施例ではこのイメージセンサ４０として
ビジコンを採用しているが、このビジコンはＸ線入力面
である光導電面がＸ線にも感応するもので、Ｘ線強度に
応じた電気信号が出力される。

前記イメージセンサ４０の後段には例えば利得可変型の
増幅器５０が設けられ、Ｉ＆適両画像得られるように決
定されるゲインによって前記電気信号を増幅して出力す
るようになっている。

また、前記増幅器５０の出力を入力する画像処理部６０
が設けられ、この画像処理部６０では前記電気信号を予
め定められた一定のレベル範囲毎に２５６段階又は５１
２段階に２値化し、この２値化された階調信号に対して
輪郭強調等の画像処理を施して出力する。

さらに、画像処理部６０の後段にはＴＶ信号処理部７０
が設けられ、画像処理部６０の出力であるディジタル信
号をアナログ信号に変換し、さらに同期信号の重畳等の
処理を施してＴＶ信号とし、後段のデイスプレー８０に
て影像表示可能としている。

また、本実施例ではＸ線像のフィルム撮影が可能であっ
て、このために載置台２０１上に前記インスタントフィ
ルム２００が載置可能となっている。このインスタント
フィルム２００とは、−枚のフィルムの中にネガとポジ
が密封されていて、同時に現像と定着を行う液剤が柔ら
かい物質に包まれて収容されている。そして、このフィ
ルムへの撮影後に上記液剤を押しつぶすことで現像、定
着が開始され、白黒フィルムであれば１５秒程度で画像
を認識することができるようになっている。

この神のインスタントフィルムとしては、例えばポラロ
イドカメラ（商品名）に使用されるフィルムを挙げるこ
とができ、上記フィルムがＸ線の波長にも感応するもの
である。

上記構成のＸ線検査装置において、前記Ｘ−Ｙテーブル
１００上の２次元面上の直交軸方向をＸ。

Ｙとし、このＸ、Ｙ軸に直交する方向をＺとした場合、
本実施例では被写体２０のＸ、Ｙ位置、及び前記インス
タントフィルム２００のＺ方向位置。

イメージセンナ４０のＺ方向位置を可変としている。

まず、前記Ｘ−Ｙテーブル】００の構成について、第２
図を参照して説明する。

このＸ−Ｙテーブル１００は、基台１０１上にＸ方向に
沿って形成されたボールねじ１０２を有し、このボール
ねじ１０２はモータ１０３によって回転駆動され、この
ボールねじ１０２の回転によって軸方向に移動可能なナ
ツト部１０４を有している。そして、゛前記基台１０１
上には、Ｘ方向移動板１０５が設けられ、前記ナツト部
１０４によって同方向に移動可能となっている。

前記Ｘ方向移動板１０５上には、Ｙ方向に沿って形成さ
れたボールねじ１０６が設けられ、モー夕１０７によっ
て回転駆動されるようになっている。また、このボール
ねじ１０６の回転によってＹ方向に移動自在なナツト部
１０８が設けられ、このナツト部１０８にｘ−Ｙステー
ジ１０９が支持されている。

従って、前記Ｘ−Ｙステージ１０９は、前記モータ１０
３，１０７の駆動によって、Ｘ、Ｙ方向に移動可能とな
っている。なお、前記基台１０１及びＸ−Ｙステージ１
０９は、ＸＳｌ曝射領域内に設定されるので、基台１０
１はステンレスで構成しながらも、そのＸ線通過経路は
切欠されていて、また、前記Ｘ−Ｙステージ１０９はＸ
線を透過し易い材質例えばアルミニウム等で形成されて
いる。

次に、前記Ｘ−Ｙステージ１０９上に固定支持され、前
記被写体２０を支持する支持用治具１１０について、第
３図を参照して説明する。

本実施例での上記被写体２０としては第３図に示すよう
な電子回路基板であり、上記支持用治具１１０は、枠体
１１１の内面に段差面１１２を有し、かつ、基板２０の
幅方向の端面を規制するロッド１１４を掛は渡した構成
となっていて、上記段差面１１２上に基板２０の端部を
支持することで、基板２０をＸ−Ｙステージ１０９と平
行に、かつ、ロッド１１４によって仕切ることで複数枚
の基板２０を支持可能となっている。

次に、前記インスタントフィルム２００及びイメージセ
ンサ４０のＺ方向高さを可変とするＺ方向調整機構１３
０について、第４図を参照して説明する。

同図に示すように、Ｚ方向に沿ってボールねじ１３１が
設けられ、このボールねじ１３１の−１にはアイドルプ
ーリ１３２が固着され、このアイドルプーリ１３２と、
モータ１３３の出力軸に固着された駆動プーリ１３４と
にタイミングベルト１３５を掛は渡すことで、前記ボー
ルねじ１３１を回転駆動するようになっている。

また、前記イメージセンサ４０とインスタントフィルム
２００の載置台２０１は、図示しないＺ方向ガイドに支
持され、かつ、前記ボールｂじ１３１に螺合するナツト
部１３６を固着することで、Ｚ方向高さが可変となって
いる。

次に、上述した各種駆動部の駆動制御系について第５図
を参照して説明する。

本実施例では、装置の入力部より入力される駆動情報に
よって制御可能となっていて、第５図に示すように、第
１人力部２２０または第２人力部２２２より入力された
情報は、ＣＰＵ２１０に送出され、このＣＰＵ２１０に
よってモータ駆動制御部２３０を制御することで、対応
するモータ１０３．１０７，１３３を駆動するようにな
っている。

ここで、上記２種の入力部２２０，２２２について説明
すると、第２人力部２２２はジョイステイク又はマウス
等で構成され、ジョイステックの操作量またはマウスの
移動量に応じて、撮影中心を２次元面上で任意に移動可
能とするものである。

一方、第１人力部２２０は、第６図に示すように、キー
ボード２２０ａと、ｘ、ｙ、ｚ方向指定キー２２０ｂか
ら構成され、方向指定キーで移動方向を特定した後、同
方向の移動量を数値（例えば■単位）で入力可能となっ
ている。′ｉ、た、訂正を要する場合に使用される訂正
キー２２０ｃ、数値データ入力後に移動を実行する場合
のスタートキー２２０ｄを設けている。

なお、本実施例のデイスプレー８０は、第７図に示すよ
うに撮影中心０と、これを交点とする直交軸座標の目盛
り８１を有している。また、デイスプレー８Ｑ上には、
前記イメージセンサ４０のＺ方向位置に応じてＣＰＵ２
１０で計算される撮影倍率が、撮影倍率１ｆｆ１８２に
表示され、かつ、この撮影倍率よりＣＰＵ２１０で計算
可能な前記目盛り８１の１目盛りの単位長さが、単位長
さ表示欄８３に表示可能となっている。

ここで、本実施例の被写体２０は、第３図に示すように
複数の電子部品を搭載した電子回路基板であり、この各
電子部品を被検査体としているため、一つの被写体２０
に対して撮影位置情報は複数有するようになっている。

このため、最初に設定された被写体２０のＸ、Ｙ座標位
置をティーチングさせ、また、必要に応じて撮影倍率を
変更する場合にはイメージセンサ４０の２座標をティー
チングさせ、この各座標位置を記憶できる構成としてい
る。

このために、前記各モータ１０３．１０７，１３３には
、エンコーダ等の回転位置センサ１０３Ａ、１０７Ａ、
１３３Ａが接続され、被写体２０のＸ、Ｙ位置座標、イ
メージセンサ４０の２座標を検出可能に構成している。

なお、この位置検出は、モータ出力を検出するものに限
らず、Ｘ、Ｙ。

Ｚ位置を直接検出するものでもよい。

この各センサ１０３Ａ、１０７Ａ、１３３Ａの位置検出
情報は、ＣＰＵ２１０に入力され、ここで、基準位置に
対するｘ、ｙ、ｚ座標位置情報とされ、固定ディスク２
４０あるいはフロッピーディスク２４２に記憶可能とな
っている。そして、Ｘ線検査時には、上記固定ディスク
２４０．フロッピーディスク２４２の情報は、ＣＰＵ２
１０を介して記憶回路としてのＲＡＭ　２４４にロード
されるようになっている。また、検査部位を変更する毎
にＣＰＵ２１０はＲＡＭ　２４４からＸ、Ｙ座標を読み
だし、このＣＰＵ２１０によって制御される駆動制御部
２３０が、上記情報に基づきモータ１０３．１０７，１
３３を駆動制御するように構成している。

次に、作用について説明する。

まず、検査ロットの最初の被写体２０をＸＩ検査する場
合、撮影位置及び撮影倍率のティーチングを行う、この
ために、まずインスタントフィルムｖｉ置台２０１にイ
ンスタントフィルム２００を位置しない状態で、被写体
２０のＸ、Ｙ方向の各位置およびイメージセンサ４０の
２方向位置を所定に設定し、Ｘ線ｇｌｌより被写体２０
に向けてＸ線を曝射する。

なお、本実施例では、微小焦点Ｘ線源を採用しているの
で、Ｘ線密度を高めるために大電力を要することもない
。

そうすると、被写体２０を透過したＸ＆ｌはイメージセ
ンサ４０に入力され、ここでＸ線透過像がイメージセン
サ４０で撮影されることになる。この際、本実施例では
微小焦点のＸ線源であるＸ線’Ｉ’ｌｌを採用している
ので、ボヤヶのない鮮明なＸ線像をイメージセンサ４０
の光導電面に投影することができる。

すなわち、第８図（ｂ）示すように、微小焦点でない場
合には、本来の被写体透過像Ａ１の他に、大焦点である
が故に発生する像のボヤケＡ２が発生するが、第８図（
ａ）示すように、微小焦点の場合には被写体２０のＸ線
透過像のみがイメージセンサ４０に入射することになる
ので、像のボヤヶのない鮮明な画像を得ることができる
。

イメージセンサ４０では、検出された光強度に応じた電
気信号として出力され、この電気信号がｔＨ幅器５０で
増幅された後に画像処理部６０に入力されることになる
。この画像処理部６０では、種々の画像処理を実行する
ために、前記アナログの電気信号を例えば２５６，５１
２段階等の階調に２値化し、このディジタル信号の段階
で各種処理を実行することになる。

その後、このディジタル信号は、後段のＴＶ信号処理部
７０に入力され、ここでアナログ変換されると共に、同
期信号等が重畳されたＴＶ信号に処理され、この’Ｉ’
　Ｖ信号に基づきデイスプレ−８０上画像表示すること
で、被写体２０のＸ線透過像が画像化されることになる
。

なお、従来の第８図（ｂ）に示すように大焦点のＸ線源
とした場合には、この大焦点より平行なＸ線が曝射され
るので、ＸＭ１ｇｌ光増倍管等の入力面積が大きなもの
を使用しなければＸ線撮影が不可能であったが、本実施
例では微小焦点のｘＨ管１１を使用しているので、入力
面の口径が数インチと小さいビジコン等をイメージセン
サ４０として採用できる。また、このように口径の小さ
い入力面であうでも、被写体２０のＸ、Ｙ位置を移動し
てスキャニングすることで、あるいは上述したようにＸ
線像の撮影倍率を拡大することで、電子部品の全体又は
その一部を所望に撮影することが可能となる。さらに、
Ｘ線螢光増倍管はビジコンに比べれば極めて高価であり
、本実施例の場合装置を安価にできる点でも優れている
。

ここで、オペレータは、デイスプレー８０上の画像を見
て、適切な検査部位であるか及び撮影倍率が所定に設定
されているか否かを判断することになる。

ここで、特に撮影中心がずれている場合には、ジョイス
テック等の第２人力部２２２を使用する以外に、本実施
例では移動量を数値入力可能な第１人力部２２０の使用
が可能となっている。

そして、本実施例の場合にはデイスプレー８０に目盛り
８１が表示され、かつ、この目盛り８１の単位長さもそ
の該当表示ｓ８３より認識ｉｒ能となっている。従って
、撮影中心がずれている場合には、前記Ｘ、Ｙ方向の目
盛り８１を見てＸ、Ｙ方向の移動量を把握し、かつ、こ
の１単位目盛りの長さを単位長さ表示ｌｌ１１８３で把
握することにより、設定すべき撮影中心までのＸ、Ｙ方
向の移動量を容易に認識することができる。この後、方
向指定キー２２０ｂで方向を指定し、続いてテンキー　
２２０　ａを操作して移動量を数値入力した後にスター
トキー２２０ｄを押下することで、所望する撮影中心へ
の移動を容易に実施することができる。なお、大まかな
移動量を数値で入力し、その後の微調整を第２人力部２
２２であるジョイステック等で行うようにしてもよい。

このようにして、訂正を要しない場合にはその時の設定
条件で、訂正を要する場合には、位置。

撮影倍率を変化させて再度撮影を実行して適否を確認し
、修正後の設定条件で、前記被写体２０のＸ、Ｙ座標位
置及びイメージセンサ４０の２座標位置を検出する。す
なわち、各モータ１０Ｂ、１０７．１３３のセンサ１０
３Ａ、１０７Ａ、１３３Ａの出力をＣＰＵ２１０が入力
することで、基準位置に対するｘ、ｙ、ｚ座標が検出さ
れる。

コノ第１座標を（Ｘｌ　、　Ｙｌ　、　Ｚｌ　）とする
。

この第１座標はＣＰＵ２１０よりディスク２４０又は２
４２に記憶されることになる。

次に、被写体２０の第２の検査位置に設定するため、新
たなＸ、Ｙ座標を指定し、Ｘ−Ｙテーブル１００のＸ−
Ｙステージ１０９を駆動する。この際、第２座標につい
ては、予め移動量が分かっている場合も多いので、この
ような場合には第１入力部２２０を使用してそのＸ、Ｙ
方向の移動量を数値で入力するようにすれば、第２座標
の設定入力を迅速に実行することができる。そして、同
様にしてＸ線撮影を実行し、デイスプレー８０上に表示
された画像を見てその適否を確認する。この際、撮影倍
率についても適否を行う、そして、検査部位、撮影倍率
が適切である場合には、そのＸ、Ｙ座標及びイメージセ
ンナ４０の２座標を前述した動作と同様にして検出し、
この第２座標（Ｘ２　、　Ｙ２　、　Ｚ２　）をディス
ク２４０又は２４２に記憶する。

以降、同様にして第３座標、第４座標、・・・について
も同様な動作を実行する。

このような座標位置の記憶動作の終了後、上記座ａｌｌ
情報をディスク２４０又は２４２からＲＡＭ２４４にロ
ードし、Ｘ線検査が開始されることになる。

本実施例では、第３図に示すように複数枚の被処理体２
０を支持用治具１１０に搭載して、Ｘ線検査を実行して
いる。まず、支持用治具１１０上の左端の被写体２０を
Ｘａ＊射領域に設定し、以降ＣＰＵ２１０は予めプログ
ラミングされているフローチャートに従って前記ＲＡＭ
　２４４より位置情報を順次読みだし、まず第１座標で
のＸ線検査を実行制御し、続いて第２座標、第３座標・
・・と自動的に被写体２０のＸ、Ｙ位置及び撮影倍率を
可変制御することで、連続してＸ線検査を実行すること
ができる。

次に、支持用治具１１０の２番目の被写体２０をＸ線曝
射領域に設定し、同様にして各座標位置でのＸ線撮影を
実行し、同様にして支持用治具１１０内の全ての被写体
２０に対してＸ線検査を実行することになる。支持用治
具１１０内の全ての被写体２０に対する検査が終了した
後は、治具１１０内の被写体２０を新たな被写体２０に
交換して、同一種類の被写体２０についてのＸ線検査を
進めてゆくことになる。なお、必要に応じてインスタン
トフィルム２００を設定し、Ｘ線透過像をインスタント
フィルム２００上に撮影することも可能である。

このように、本実施例装置によれば一つの被写体２０に
複数の検査部位が存在し、このような同一種類の被写体
２０を連続して検査する場合において、撮影前の座標デ
ータのティーチングを行うために、移動量を第１人力部
２２０を介して数値入力することで、撮影中心の移動を
迅速に実行することができる。また、−旦ティーチング
を実行した後には、被写体２０毎に位置決めを手動設定
する必要がなく、記憶部！＃１２４４の記憶情報に基づ
き自動的に位置決めすることができるので、検査スピー
ドが向上し、かつ、作業者の負担も大幅に軽減すること
ができる。また、数値入力による方式を採用した場合に
は、検査部位の設定だけでなく、入力した数値からある
検査部位の大きさを認識することができるという効果も
あり、この種のＸ線検査装置にＩｋｌ！ｉな入力部を構
成することができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、Ｘ、Ｙ座標を数値入力するための入力手段とし
ては、上述した実施例の構成に限定されるものに限らず
、特に、Ｘ、Ｙ方向の指定についてはＸ、Ｙ方向指定キ
ーを使用するものに限らず、Ｘ、Ｙを意味する他のコマ
ンド入力等の変形実施が可能である。

また、被写体２０のＸ、Ｙ４ｉ置を可変するための機構
及び撮影倍率を変更するための１ａｌｌｌＩは、上記実
施例に限定されず同一機能を有する他の１ａ構に置き換
え可能である。

さらに、上記実施例では座標位置を記憶する構成として
、繰り返し同一種類の被写体を連続して撮影する場合の
省力化を図った構成としたが、このようにする必要は必
ずしも要しない。

また、本発明のＸ線検査装置に適用される被写体として
は、電子回路基板に限らず、Ｘ線によって非破壊検査を
要する種々の被写体に適用することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば被写体の撮影中心
を移動するための入力として、Ｘ、Ｙ方向の移動量を数
値で直接入力可能とすることにより、予め移動量が既知
である場合、またはデイスプレー上で移動量の数値を認
識可能である場合等には、ジョイスティック等を使用す
るよりも迅速にかつ確実に撮影中心を所定の場所に移動
することができ、もって検査スピードを向上することが
できる。また、入力した数値から、検査部位の大きさを
把握できるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を電子回路基板のＸ線検査装置に適用
した一実施例を説明するための概略説明図、 第２図は、被写体を配置するためのＸ−Ｙテーブルの平
面図、 第３図は、被写体及び支持用治具を説明するための概略
斜視図、 第４図は、イメージセンサ及びＸ線記録媒体の位置可変
機構を説明するための概略説明図、第５図は、駆動制御
系の概略ブロック図、第６図は、数値によりＸ、Ｙ方向
の移動量を指定する第１人力部の概略説明図、 第７図は、目盛り、単位目盛り長さ表示欄等を有するデ
イスプレーを説明するための概略説明図、第８図（ａ）
、（ｂ）は、微小焦点とそうでない場合のＸ線透過像を
説明するための概略説明図である。 １１・・−微小焦点Ｘ線源、 ２０・・・被写体、 ８０・・・デイスプレー、８１・・・目盛り、８３・・
・単位長さ表示欄、 １０３．１０７，１３３・・・モータ、１０３Ａ、１０
７Ａ、１３３Ａ・・・センサ、１０９・・・Ｘ−Ｙステ
ージ、 ２１０・・・制御手段、 ２２０・・・第１人力部（数値入力部）２２２・・・第
２人力部、 ２４４・・・記憶部。 代理人　弁理士　井　上　　−（他１名）第３図 第４図 第５図 第６図 ２２０ｃ　　　　２２０ｄ 第７図 第８図 （０）（ｂ） Ａ＋Ｘ舎くイ１がυ引Ｓ　　　　　　　Ａ２　Ｘ＋Ｍし
η（町！、妙Ｑ（さいメツ（ユ生丁÷イ１，４ス六−グ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 微小焦点のＸ線源からＸ線を曝射し、Ｘ−Ｙテーブル上
   に支持された被写体を透過したＸ線像を画像化して、被
   写体を非破壊検査するＸ線検査装置において、 被写体の撮影中心位置を移動するためのＸ、Ｙ方向の移
   動量を数値入力する入力部と、 この入力された移動量だけ前記Ｘ−ＹテーブルをＸ、Ｙ
   方向に駆動して、被写体の撮影中心位置を移動制御する
   制御手段とを設けたことを特徴とするＸ線検査装置。