JP2007250220A - 試料観察方法,画像処理装置、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、染色された光学顕微鏡像と、荷電粒子線の照射によって検出されるX線に基づいて形成される元素マッピング像を比較することによって、荷電粒子検出のための位置を決定する方法、及び装置を提供する。
【選択図】図2
Description
Claims (8)
- 光学顕微鏡によって取得された光学顕微鏡像に表示される試料上の個所を、荷電粒子線装置によって観察する試料観察方法において、
光学顕微鏡によって光学顕微鏡像を取得するステップと、
光学顕微鏡によって取得された光学顕微鏡像を染色するステップと、
前記試料に荷電粒子線を走査したときに試料から放出されるX線の検出に基づいて元素マッピング像を取得するステップと、
前記染色された光学顕微鏡像と、前記元素マッピング像を比較するステップと、
前記染色された光学顕微鏡像と前記元素マッピング像の一致度が所定の値を越える試料上の個所、或いは一致度が最も高い個所について、前記荷電粒子線を走査し荷電粒子を検出、及び/又は当該個所の位置情報を検出することを特徴とする試料観察方法。 - 請求項1において、
前記試料上の個所を、一致度の高い順番に順位付けをすることを特徴とする試料観察方法。 - 請求項1において、
前記光学顕微鏡像、及び/又は前記元素マッピング像と、前記一致度が所定の値を越える試料上の個所、及び/又は前記一致度が最も高い試料上の個所の荷電粒子線像、或いは位置情報を1つのファイルとして記録することを特徴とする試料観察方法。 - 光学顕微鏡によって取得された光学顕微鏡像と、荷電粒子線装置によって取得された像との比較を行う画像処理装置であって、以下のシーケンスを実行するようにプログラムされていることを特徴とする画像処理装置、
光学顕微鏡によって取得され、染色された光学顕微鏡像と、荷電粒子線装置によるX線検出に基づく元素マッピング像を比較するステップ、及び
前記染色された光学顕微鏡像と、前記元素マッピング像の一致度が、所定の値を越えた個所、或いは一致度が最も高い個所を、前記荷電粒子線装置による荷電粒子像取得個所、或いは二次電子像、及び/又は反射電子像記録個所として選択、或いは当該個所の位置情報を記憶するステップ。 - 請求項4において、
前記試料上の個所を、一致度の高い順番に順位付けをすることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項4において、
前記光学顕微鏡像、及び/又は前記元素マッピング像と、前記一致度が所定の値を越える試料上の個所、及び/又は前記一致度が最も高い試料上の個所の荷電粒子線像、或いは位置情報を1つのファイルとして記録することを特徴とする画像処理装置。 - 光学顕微鏡によって取得された光学顕微鏡像と、荷電粒子線装置によって取得された像を比較する画像処理装置であって、以下のシーケンスを実行するようにプログラムされていることを特徴とする画像処理装置、
光学顕微鏡によって取得され、染色された光学顕微鏡像と、荷電粒子線装置によるX線検出に基づく元素マッピング像を比較するステップ、及び
前記染色された光学顕微鏡像と、前記元素マッピング像の一致度が高い順番に、荷電粒子線装置による荷電粒子線像取得個所として選択するステップ。 - 荷電粒子源と、
当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を試料上で集束する対物レンズと、
前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器と、
前記試料を移動させる試料ステージと、
当該試料ステージの移動を制御する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、前記試料について予め取得された染色された光学顕微鏡像と、前記X線検出器によって検出されるX線に基づいて形成される元素マップ像を比較し、前記染色された光学顕微鏡像と、元素マップ像の一致度が所定値以上、或いは最も一致度が高い個所の位置座標を記憶することを特徴とする荷電粒子線装置。
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