JPWO2020080508A1 - アライメントシステム及び位置合わせ用シール - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 試料を載置する試料キャリアと、
前記試料キャリアに載置された前記試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線が前記試料に照射されることにより発生する信号を検出する検出器とを備える荷電粒子線装置と、
前記試料キャリアに載置された前記試料を撮像装置により撮像した第1の画像及び前記第1の画像に対応する前記撮像装置の視野情報が入力されるアライメント制御部とを有し、
前記アライメント制御部は、前記荷電粒子線装置に載置された前記試料キャリアの複数の位置合わせ点の視野情報を取得する位置合わせ点取得部と、
前記撮像装置により前記第1の画像が撮像されるときにおける前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率及び、前記位置合わせ点取得部により取得された前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率に基づき、前記撮像装置の座標系と前記荷電粒子線装置の座標系を変換する変換行列を求めるアライメント処理部と、
前記第1の画像に対して指定された視野に対して前記変換行列を使用し、前記荷電粒子線装置の視野情報に変換する視野情報算出部とを有し、
前記複数の位置合わせ点は、前記試料が載置された状態での前記試料キャリアに設定されるアライメントシステム。 - 請求項1において、
前記撮像装置は、前記撮像装置の試料ホルダに固定した前記試料キャリアを前記撮像装置のステージに載置して、前記試料キャリアに載置された前記試料を撮像し、
前記荷電粒子線装置は、前記荷電粒子線装置の試料ホルダに固定した前記試料キャリアを前記荷電粒子線装置のステージに載置して、前記試料キャリアに載置された前記試料に前記荷電粒子線を照射し、
前記撮像装置の視野情報は、前記撮像装置が前記試料を撮像したときの倍率及び前記撮像装置のステージの座標を含み、
前記荷電粒子線装置の視野情報は、前記荷電粒子光学系が前記試料に前記荷電粒子線を照射するときの倍率及び前記荷電粒子線装置のステージの座標を含むアライメントシステム。 - 請求項2において、
前記アライメント制御部は、前記試料キャリアの前記複数の位置合わせ点のそれぞれを前記撮像装置により撮像した複数の第2の画像及び前記複数の第2の画像のそれぞれに対応する前記撮像装置の視野情報を格納するアライメントデータ管理部を有するアライメントシステム。 - 請求項3において、
前記位置合わせ点取得部は、前記アライメントデータ管理部に格納された前記複数の第2の画像及び前記複数の第2の画像のそれぞれに対応する前記撮像装置の視野情報を用いて、前記荷電粒子線装置に載置された前記試料キャリアの前記複数の位置合わせ点の視野情報を取得するアライメントシステム。 - 請求項3において、
前記位置合わせ点取得部は、前記アライメントデータ管理部に格納された前記複数の第2の画像及び前記複数の第2の画像のそれぞれに対応する前記撮像装置の視野情報を用いて、前記複数の位置合わせ点のそれぞれについて、前記第1の画像が撮像されるときにおける前記撮像装置の視野情報を取得し、
前記アライメント処理部は、前記位置合わせ点取得部が取得した前記第1の画像が撮像されるときにおける前記撮像装置の視野情報から、前記第1の画像が撮像されるときにおける前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報を求めるアライメントシステム。 - 請求項1において、
前記試料キャリアは位置合わせのための複数のアライメントマークを有し、
前記試料キャリアに配置された前記複数のアライメントマークで形成される図形が回転対称とならないよう、前記複数のアライメントマークが配置されるアライメントシステム。 - 請求項1において、
前記試料キャリアは位置合わせのための複数のアライメントマークを有し、
前記複数の位置合わせ点は、前記試料が載置された状態で、前記複数のアライメントマークから選択されたアライメントマークに基づき設定されるアライメントシステム。 - 請求項1において、
前記複数の位置合わせ点は、前記試料が載置された状態で、アライメントマークを示すシールを前記試料キャリアに貼付する、またはアライメントマークをスタンプすることにより設定されるアライメントシステム。 - 請求項6〜8のいずれか一項において、
前記アライメントマークは、点対称または線対称または回転対称ではない形状を有するアライメントシステム。 - 請求項9において、
前記アライメントマークは、前記撮像装置で認識可能な第1のマークと前記荷電粒子線装置で認識可能な第2のマークとを有し、
前記第1のマークと前記第2のマークとは同一の形状比を有するアライメントシステム。 - 試料を載置する試料キャリアと、
前記試料キャリアに載置された前記試料に荷電粒子線を照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子線が前記試料に照射されることにより発生する信号を検出する検出器とを備える荷電粒子線装置と、
前記試料キャリアに載置された前記試料を撮像する撮像装置と、
前記撮像装置を制御する撮像装置制御部と、
前記試料キャリアに載置された前記試料を前記撮像装置により撮像した第1の画像及び前記第1の画像に対応する前記撮像装置の視野情報が入力されるアライメント制御部とを備え、
前記撮像装置制御部は前記試料キャリアに対して複数の位置合わせ点の推奨位置を示す推奨位置ガイドを前記撮像装置が撮像する前記試料キャリアの像に重畳して表示し、
前記アライメント制御部は、前記推奨位置ガイドを用いて前記試料キャリアに設定された前記複数の位置合わせ点のそれぞれを前記撮像装置により撮像した複数の第2の画像及び前記複数の第2の画像のそれぞれに対応する前記撮像装置の視野情報を格納するアライメントデータ管理部と、
前記荷電粒子線装置に載置された前記試料キャリアの前記複数の位置合わせ点の視野情報を取得する位置合わせ点取得部と、
前記撮像装置により前記第1の画像が撮像されるときにおける前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率及び、前記位置合わせ点取得部により取得された前記複数の位置合わせ点のそれぞれの位置情報と倍率に基づき、前記撮像装置の座標系と前記荷電粒子線装置の座標系を変換する変換行列を求めるアライメント処理部と、
前記第1の画像に対して指定された視野に対して前記変換行列を使用し、前記荷電粒子線装置の視野情報に変換する視野情報算出部とを有するアライメントシステム。 - 請求項11において、
前記撮像装置は、前記撮像装置の試料ホルダに固定した前記試料キャリアを前記撮像装置のステージに載置して、前記試料キャリアに載置された前記試料を撮像し、
前記荷電粒子線装置は、前記荷電粒子線装置の試料ホルダに固定した前記試料キャリアを前記荷電粒子線装置のステージに載置して、前記試料キャリアに載置された前記試料に前記荷電粒子線を照射し、
前記撮像装置の視野情報は、前記撮像装置が前記試料を撮像したときの倍率及び前記撮像装置のステージの座標を含み、
前記荷電粒子線装置の視野情報は、前記荷電粒子光学系が前記試料に前記荷電粒子線を照射するときの倍率及び前記荷電粒子線装置のステージの座標を含むアライメントシステム。 - 請求項11において、
前記推奨位置ガイドは、前記複数の位置合わせ点の推奨位置範囲を指定する複数の第1の入力部と、前記複数の第1の入力部間の位置関係を保ちつつ拡大縮小操作を行う第2の入力部と、前記複数の第1の入力部間の位置関係を保ちつつ回転操作を行う第3の入力部と、前記複数の第1の入力部間の位置関係を保ちつつ平行移動を行う第4の入力部とを有するアライメントシステム。 - 請求項11において、
前記試料キャリアの像における前記試料または前記試料キャリアの特徴的な構造が、前記推奨位置ガイドの前記複数の第1の入力部のそれぞれに含まれるように前記推奨位置ガイドを調整することにより、前記複数の位置合わせ点が前記試料キャリアに設定されるアライメントシステム。 - 請求項11において、
アライメントマークを示すシールの像が前記推奨位置ガイドの前記複数の第1の入力部のそれぞれに含まれるように前記シールを前記試料キャリアに貼付することにより、またはアライメントマークを前記推奨位置ガイドの前記複数の第1の入力部のそれぞれに含まれるようにスタンプすることにより、前記複数の位置合わせ点が前記試料キャリアに設定されるアライメントシステム。 - 撮像装置による観察と荷電粒子線装置による観察との位置合わせのために試料キャリアに貼付されるシールであって、
導電性基材と、
前記導電性基材に表示されるアライメントマークとを有するシール。 - 請求項16において、
前記アライメントマークは、前記撮像装置で認識可能な第1のマークと前記荷電粒子線装置で認識可能な第2のマークとを有し、前記第1のマークと前記第2のマークとは同一の形状比を有するシール。 - 請求項16において、
前記導電性基材に表示される、前記アライメントマークを互いに識別可能とする印を有するシール。 - 請求項16〜18のいずれか一項において、
前記アライメントマークは、点対称または線対称または回転対称ではない形状を有するシール。
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US20230339246A1 (en) * | 2022-04-05 | 2023-10-26 | Wolter Corp. | Stamping kit, components thereof, and methods of use |
CN117649434B (zh) * | 2024-01-30 | 2024-04-30 | 国仪量子技术(合肥)股份有限公司 | 电子显微镜及其图像配准方法和装置、存储介质 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0613011A (ja) * | 1991-12-12 | 1994-01-21 | Denshi Kogaku Kenkyusho:Kk | 電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
US20030025087A1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-02-06 | Aspex, Llc | Apparatus for correlating an optical image and a SEM image and method of use thereof |
JP2009176572A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の制御装置及び制御方法 |
US20130101188A1 (en) * | 2011-10-19 | 2013-04-25 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopy of several samples using optical microscopy and particle beam microscopy |
JP2015062200A (ja) * | 2009-03-12 | 2015-04-02 | 株式会社荏原製作所 | 試料観察方法及び試料検査方法 |
JP2016119300A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 基準マークに基づく相関顕微鏡法 |
JP2017069024A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料位置合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 |
JP2018055924A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 日本電子株式会社 | 観察方法および試料観察装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006033273A1 (ja) | 2004-09-22 | 2006-03-30 | Nikon Corporation | 顕微鏡システムおよび画像処理方法 |
TWI585806B (zh) | 2008-04-11 | 2017-06-01 | 荏原製作所股份有限公司 | 試料觀察方法與裝置,及使用該方法與裝置之檢查方法與裝置 |
DE102009020663A1 (de) | 2009-05-11 | 2010-11-25 | Carl Zeiss Ag | Mikroskopie eines Objektes mit einer Abfolge von optischer Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie |
DE102010052674A1 (de) | 2010-11-24 | 2012-05-24 | Carl Zeiss Ag | Probenträger mit Justiermarkierung |
DE102014008383B9 (de) * | 2014-06-06 | 2018-03-22 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlsystem und Verfahren zum Betreiben einer Teilchenoptik |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0613011A (ja) * | 1991-12-12 | 1994-01-21 | Denshi Kogaku Kenkyusho:Kk | 電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
US20030025087A1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-02-06 | Aspex, Llc | Apparatus for correlating an optical image and a SEM image and method of use thereof |
JP2009176572A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡の制御装置及び制御方法 |
JP2015062200A (ja) * | 2009-03-12 | 2015-04-02 | 株式会社荏原製作所 | 試料観察方法及び試料検査方法 |
US20130101188A1 (en) * | 2011-10-19 | 2013-04-25 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopy of several samples using optical microscopy and particle beam microscopy |
JP2016119300A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 基準マークに基づく相関顕微鏡法 |
JP2017069024A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料位置合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 |
JP2018055924A (ja) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | 日本電子株式会社 | 観察方法および試料観察装置 |
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