JPS60109258U - 走査像表示装置 - Google Patents

走査像表示装置

Info

Publication number
JPS60109258U
JPS60109258U JP20329583U JP20329583U JPS60109258U JP S60109258 U JPS60109258 U JP S60109258U JP 20329583 U JP20329583 U JP 20329583U JP 20329583 U JP20329583 U JP 20329583U JP S60109258 U JPS60109258 U JP S60109258U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
image display
display means
screen
scanning
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20329583U
Other languages
English (en)
Inventor
健二 小原
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP20329583U priority Critical patent/JPS60109258U/ja
Publication of JPS60109258U publication Critical patent/JPS60109258U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例装置を示す構成図、第２図及
び第３図は第１図の一実施例装置で使用される入力手段
の構成図、第４図、第５図及び第６図は本考案を説明す
るための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４：試料、
・５ｘ、５ｙ：偏向コイル、６：走査信号回路、７：倍
率切換回路、８：加算回路、９：陰極線管、１０：二次
電子検出器、１１：加算回路、１２：試料ステージ、１
３Ｘ、１３ｙ：パルスモータ、１４：駆動回路、１５：
制御回路、１６：座標位置表示手段、１７：視野移動手
段、１８：目盛指定手段。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 観察対象物の任意な領域をプローブによって走査し、該
    走査と同期した像表示手段の画面に前記観察対象物の走
    査像を表示する装置において、前記プローブによる走査
    中心と前記観察対象物との位置関係を表わす視野信号Ｐ
    と前記走査像の倍率を表わす信号Ｍに基づいて前記観察
    対象物に想定した座標系に固定された目盛線を前記像表
    示手段の画面に表示する目盛線表示手段と、前記像表示
    手段の画面に表示される目盛線のいずれかの座標位置を
    表示する座標位置表示手段を設けたことを特徴とする走
    査像表示装置。
JP20329583U 1983-12-26 1983-12-26 走査像表示装置 Pending JPS60109258U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20329583U JPS60109258U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 走査像表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20329583U JPS60109258U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 走査像表示装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60109258U true JPS60109258U (ja) 1985-07-24

Family

ID=30765707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20329583U Pending JPS60109258U (ja) 1983-12-26 1983-12-26 走査像表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60109258U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4091374A (en) Method for pictorially displaying output information generated by an object imaging apparatus
JPS60109258U (ja) 走査像表示装置
JPS63116348A (ja) 電子線装置の視野対応装置
JPS6362142A (ja) 表面分析装置
JPS6080658U (ja) 走査電子顕微鏡等の像表示装置
JP2001006588A (ja) 走査電子顕微鏡
JPH0343742B2 (ja)
SU920894A1 (ru) Сканирующее устройство воспроизведени изображени образца
JPH0425803Y2 (ja)
JPH0567235B2 (ja)
JPS6129645B2 (ja)
JPS6194707U (ja)
JPS6288907U (ja)
JPH01109650A (ja) ２次荷電粒子像の高速表示
JPS60126967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS60101370U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS59166357U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS616252U (ja) 電子線装置
JPH01228387A (ja) 注目点位置座標検出方式
JPS6086907U (ja) 電子線像表示装置
JPH02215035A (ja) 試料像表示装置
JPS57199164A (en) Sample image observation unit
JPS62220984A (ja) 模擬視界装置
JPS62263425A (ja) サ−モグラフイ装置
JPH02162280A (ja) 表示装置