JPH0132674Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はエレクトロンプローブマイクロアナラ
イザ（EPMA）などの分析装置において、試料
観察用として設けられたブラウン管表示器の画面
上に試料の分析位置が分るように、マークを表示
する分析位置表示装置に関するものである。

一般にEPMAなどの分析装置においては、試
料表面を観察するとともに、観察した試料表面の
なかから分析に必要な位置を設定してその位置で
の試料の元素分析を行なう。このため、試料の走
査像を表示するブラウン管表示器（以下CRTと
略す）とともに、試料の分析位置が判別できるよ
うに、その位置をマークで画面上に表示する分析
位置表示装置が設けられている。

ところで、従来の分析位置表示装置において
は、分析位置を示すマークをCRTの画面上に表
示するには走査信号による走査像形成とは関係し
ない分析位置表示装置からの出力信号によつて、
行なわせる構成となつている。すなわち、分析位
置が設定された状態で、マークをCRT画面上に
表示するには、まず、スイツチを手動でポイント
モードに切換えてCRTを分析位置表示装置に接
続する。これにより上記走査信号は遮断されて画
像走査は一時停止され、これに代わつて分析位置
表示装置からCRTの画面上の分析位置に相当す
る位置電圧ならびに輝度変調信号が出力され、
CRTの画面上の設定位置に点マークが表示され
る。つまり、CRT画面上には試料の走査像か、
点マークかのどちらか一方のみが表示されるよう
に構成されている。

この様な従来の分析位置表示装置において、試
料の分析位置を新たに設定したい場合には、
CRTの試料の残像をたよりにしてポイントを移
動させていかねばならず短時間に要領よく分析位
置を設定しないと残像が消えてしまい分析位置の
設定ができなくなるという不具合がある。また、
設定した分析位置を確認するにはスイツチを再び
切換えて画像走査を行なう必要があるので、分析
位置の設定と、その位置確認のためにその都度ス
イツチの切換操作が必要となつて操作が煩雑にな
るという問題もある。

本考案は上記の問題点に鑑みてなされたもので
あつて、ブラウン管表示器の画面上に通常の試料
走査像とともに現在設定中の分析位置を識別しや
すいマーカで表示して、走査像を見ながら分析位
置が設定できるようにし、しかも、必要な分析位
置を複数か所設定することができ、さらに、マー
クで指定した分析位置からの情報を選択的に採取
できるようにし、これによつて分析位置の設定が
精度よく、かつ、簡単に行なうことができる分析
位置表示装置を提供することを目的とする。

以下、本考案の構成を実施例について、図面に
基づいて説明する。

図において、符号１はEPMAなどの分析装置、
２はこの分析装置の本体で、本体２は、図示省略
した電子線発生部から発生される電子線を走査す
るための走査コイル３と電子線が照射された試料
から放出される二次電子等を検出する検出器４を
備える。また５は走査コイル３へ出力される走査
信号を予じめ増幅する増幅器、６も同じく検出器
４からの出力信号を増幅する増幅器である。一
方、CRT７は、表示部８、この表示部８の電子
線を画像走査するための走査コイル９、この走査
コイル９に入力される走査信号を予じめ増幅する
増幅器１０および表示部８に入力される輝度変調
信号を予じめ増幅する増幅器１１とを備える。１
２は分析装置１ならびにCRT７の各走査コイル
３，９にそれぞれXY方向の走査信号を出力する
走査信号発生回路、１３は分析装置１の検出器４
から増幅器６を介して入力した検出信号を画像用
の輝度変調信号に変換して、CRT７に出力する
画像信号変換回路、１４は本考案に係る分析位置
表示装置の本体部である。この分析位置表示装置
の本体部１４は、試料上の電子線の位置および
CRT７の表示部８上の設定位置にそれぞれ対応
した複数の位置信号の電圧を記憶する記憶部１５
と、前記走査信号発生回路１２から出力される走
査信号を入力し、この走査信号に応答した所定時
間（たとえば水平走査信号の帰線時間）ごとに、
走査信号発生回路１２と分析装置１およびCRT
７との接続する遮断する切換信号を出力し、同時
に分析装置１とCRT７の各走査コイル３，９へ
上記記憶部１５に記憶された位置信号を順次出力
し、さらに、この位置信号が出力されるごとにタ
イミング信号を出力する信号処理部１６と、この
信号処理部１６から出力された上記タイミング信
号を入力して分析位置表示用のマークに対応した
輝度変調信号をCRT７に出力するマーク発生部
１７とを備える。また、１８は信号処理部１６か
らの切換信号に応答して、記憶部１４から読み出
された位置信号を分析装置１とブラウン管表示器
７の各走査コイル３，９に共通に与えるととも
に、マーク発生部１７からの輝度変調信号をブラ
ウン管表示器７に出力する信号切換部である。な
お、２０，２１，２２は信号切換部１８の各スイ
ツチである。

次に、分析位置表示装置１４によるCRT７の
画面上へのマーク表示と、分析位置を設定するた
めマークを移動する場合の操作について説明す
る。

分析装置１に配置された試料の表面観察を継続
している場合は、走査信号発生回路１２から走査
信号が常時出力される。分析装置１による試料の
走査像がCRT７に表示されている間は、信号切
換部１８の各スイツチ２０，２１，２２は図にお
いて実線位置にあり、走査信号発生回路１２と分
析装置１ならびにCRT７とは互いに接続され、
また、画像変換回路１３も分析装置１とCRT７
に接続されている。従つて、走査信号発生回路１
２からの走査信号はスイツチ２０と増幅器５を介
して本体２の走査コイル３へ、さらにスイツチ２
１、増幅器１０を介してCRT７の走査コイル９
へ入力され、かつ、検出器４の検出信号は増幅器
６を介して画像変換回路１３に入力されて画像表
示用の輝度変調信号に変換される。そして、この
輝度変調信号はスイツチ２２、増幅器１１を介し
てCRT７の表示部８に入力される。従がつて、
分析装置１で発生される電子線と、CRT７の画
面走査用の電子線とは同期して走査されるので、
CRT７の画面上に試料の走査像が表示される。
一方、上記走査信号発生手段１２からの走査信号
は分析位置表示装置１４の信号処理部１６に出力
されている。このため、走査信号を入力した信号
処理部１６はこの走査信号に応答した所定の時間
間隔（たとえば水平走査信号の帰線期間間隔）ご
とに切換信号を出力する。この切換信号は信号切
換部１８に入力されるので信号切換部１８の各ス
イツチ２０，２１，２２は図において破線位置に
切換わる。これにより分析装置１とCRT７とは
走査信号発生回路１２との接続が遮断され、また
CRT７は画像信号変換回路１３との接続も遮断
される。これに代つて、分析装置１とCRT７は
分析位置表示装置１４に接続される。信号処理部
１６は上記切換信号を出力すると同時に予じめ記
憶部１５に記憶された分析位置に対応した位置信
号を呼び出して、この位置信号を一方はスイツチ
２０、増幅器５を介して分析装置１の走査コイル
３へ、他方は、スイツチ２１、増幅器１０を介し
てCRT７の走査コイル９へそれぞれ出力する。
さらに、信号処理部１６は上記位置信号の出力と
同期してタイミング信号をマーク発生部１７に出
力する。タイミング信号を入力したマーク発生部
１７は分析位置表示マークの輝度変調信号をスイ
ツチ２２、増幅器１１を介してCRT７の表示部
８に出力する。従つて表示部８の画面上の所定位
置にたとえば〓，＋，×などのような識別しやすい
マークが表示される。この様に、信号切換部１８
のスイツチ２０，２１，２２は分析位置表示装置
１４によつて走査信号発生回路１２から出力され
る走査信号の所定周期ごとに切換えられ、しか
も、そのたびに分析位置表示装置１４の記憶部１
５に記憶されているそれぞれ異なる位置信号が順
次呼び出されてCRT７の走査コイル９に出力さ
れる。このためCRT７の画面には試料の走査像
と分析位置を示す複数のマークが交互に表示され
る。従つて、目の残像上からはCRTのブラウン
管８上に試料の走査像と複数個のマークとが共存
して観察される。次に、試料の分析位置を新たに
設定するため、CRT７画面上に表示されている
マークを移動させたい場合には、図示省略した分
析位置設定手段によつて分析位置表示装置１４の
記憶部１５に記憶されている位置信号を適宜変化
させる。他の動作はマークを表示する場合と同様
なのでこれにより、CRT７の画面上においては、
試料の走査像が存在した状態でマークが必要な分
析位置へと移動していく。従つて、試料の点分析
を行なうには、分析位置表示装置１４の記憶部１
５に新たに設定した分析位置の位置信号がすでに
記憶されているので、試料の所定の分析位置に電
子線が照射され、また、その分析位置の確認は
CRT７画面に表示される走査像とマークとで容
易に確認される。

以上のように、本考案によれば、ブラウン管表
示器の画面上に通常の試料の走査像とともに設定
中の分析位置を示すマーカを表示し、しかも、そ
のマーカは複数個表示されるようにしたので、試
料の走査像を観察しながら分析位置を複数か所設
定できることになる。このため、従来のように試
料の残像をたよりに試料の分析位置を設定してい
た場合と比べて、分析位置の設定が非常に精度よ
く、かつ簡単に行なうことができる。しかも、複
数個所設定できて順次その分析位置が呼び出せる
ため、分析位置設定のための繰返し動作が省略さ
れて分析作業の労力が低減される。また、試料の
点分析を行う場合には、マークを必要な分析位置
に移動させてその箇所を指定すれば、その位置で
の検出出力を測定することが可能となるため、分
析位置の指定とその測定結果との対応が極めて正
確になる等の実用上、優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の分析位置表示装置を含む電気回
路のブロツク図である。 １……分析装置、３，９……走査コイル、７…
…ブラウン管表示器（CRT）、１２……走査信号
発生回路、１４……分析位置表示装置、１５……
記憶部、１６……信号処理部、１７……マーク発
生部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 エレクトロンプローブマイクロアナライザ
   （EPMA）などの分析装置による試料の検出信号
   に基づく画像ならびに試料の分析位置を示すマー
   クを共に画像表示するブラウン管表示器と、前記
   分析装置とブラウン管表示器にそれぞれ設けられ
   た走査コイルに対して走査信号を共通に出力する
   走査信号発生回路とを有する分析位置表示装置に
   おいて、 試料上の分析位置に対応した複数の位置信号を
   記憶する記憶部と、 前記走査信号発生回路からの走査信号を入力
   し、この走査信号に応答して前記ブラウン管表示
   器の帰線期間ごとに切換信号を出力するととも
   に、前記記憶部に記憶された位置信号を順次出力
   し、さらに、この位置信号の出力と同期してタイ
   ミング信号を出力する信号処理部と、 この信号処理部からの前記タイミング信号に応
   答して前記分析位置を示す複数種類のマークを表
   示する輝度変調信号を出力するマーク発生部と、 前記信号処理部からの前記切換信号に応答し
   て、記憶部から読み出された位置信号を前記分析
   装置とブラウン管表示器の各走査コイルに共通に
   与えるとともに、前記マーク発生部からの輝度変
   調信号を前記ブラウン管表示器に出力する信号切
   換部と、 を備えていることを特徴とする分析位置表示装
   置。