JPH02301946A - イメージデイセクタ装置 - Google Patents
イメージデイセクタ装置Info
- Publication number
- JPH02301946A JPH02301946A JP12197289A JP12197289A JPH02301946A JP H02301946 A JPH02301946 A JP H02301946A JP 12197289 A JP12197289 A JP 12197289A JP 12197289 A JP12197289 A JP 12197289A JP H02301946 A JPH02301946 A JP H02301946A
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- Japan
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- photocathode
- aperture
- coil
- magnification
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、物体の像を電子光学的に拡大縮小してｗＬ
察するイメージディセクタ装置Ｇミ関する。
察するイメージディセクタ装置Ｇミ関する。
従来、この種イメージディセクタ装置は、光電面に発生
した電子を集束コイルによってその倍率を変更して、螢
光面上に像を形成させるものであリ、集束コイル電流に
よって光電面の電子像が、螢光面で指定された倍率に拡
大され、この拡大された像の中心点が、螢光面の中心に
なるように、偏向コイル電流が送り出されるようにした
ものである。
した電子を集束コイルによってその倍率を変更して、螢
光面上に像を形成させるものであリ、集束コイル電流に
よって光電面の電子像が、螢光面で指定された倍率に拡
大され、この拡大された像の中心点が、螢光面の中心に
なるように、偏向コイル電流が送り出されるようにした
ものである。
しかしながら、上記のようなイメージディセクタにおい
ては、倍率が固定されているため、光電面上に映される
イメージの種々な大きさに対応できないという問題点が
ある。 即ち、上記イメージディセクタにおいては、単に拡大倍
率が固定のうえ、測定径（光電面上でのアパーチャ径）
が一定なために、光電面上のイメージが大きい場合は、
該イメージ全体が螢光面に入らないことがあり、又、逆
に、小さ過ぎる場合は、不要な冑景光が螢光面に入り、
Ｓ ／ Ｎ比が低下するという問題点がある。 この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので
あって、光電面上のイメージの大きさに対応して、最適
の拡大倍率で、効率的にこれを測定できるようにしたイ
メージティセクタ装置を提供することを目的とする。
ては、倍率が固定されているため、光電面上に映される
イメージの種々な大きさに対応できないという問題点が
ある。 即ち、上記イメージディセクタにおいては、単に拡大倍
率が固定のうえ、測定径（光電面上でのアパーチャ径）
が一定なために、光電面上のイメージが大きい場合は、
該イメージ全体が螢光面に入らないことがあり、又、逆
に、小さ過ぎる場合は、不要な冑景光が螢光面に入り、
Ｓ ／ Ｎ比が低下するという問題点がある。 この発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので
あって、光電面上のイメージの大きさに対応して、最適
の拡大倍率で、効率的にこれを測定できるようにしたイ
メージティセクタ装置を提供することを目的とする。
この発明は、円筒気密容器と、この円筒気密容器の一方
の底面に形成された光電面と、他方の端面近傍に配置さ
れたアノード電極と、このアノード電極と前記光な面と
の間に配置されたアパーチャと、このアパーチャと前記
光電面との間の位置における前記円筒気密容器の外側に
配置された、水平偏向コイル、垂直偏向コイル及び前記
円筒気密容器の軸方向に分離されている複数の集束コイ
ルと、これらのコイルに流す電流を制御するコイルコン
トローラと、を有してなり、前記複数の集束コイルを、
各集束コイルへの励磁電流の大小により光電面からの放
出電子が前記アパーチャに導かれる光電面の有効面積を
拡大、縮小させるようにしたイメージディセクタ装置に
より上Ｊピロ的を達成するものである。 又、前記コイルコントローラを、測定すべき前記充電面
上の点の位置及び拡大倍率を記・１、ヲするメモリと、
このメモリの記憶に基づき、各測定点の光電子を記憶さ
れた拡大倍率で順次サンプリングし、前記アパーチャに
導くように、前記水平偏向コイル、垂直偏向コイル、及
び集束コイルを駆動する駆動装置とを、含んで構成し上
記目的を達成するものである。 又、前記光電面の、標準走査モードでの走査をモニター
し、且つ、このモニター結果に基づき、前記メモリに、
測定すべき前記光電面上の点の位置及び測定倍率を入力
する入力装置を備えることにより１記目的を達成するも
のである。
の底面に形成された光電面と、他方の端面近傍に配置さ
れたアノード電極と、このアノード電極と前記光な面と
の間に配置されたアパーチャと、このアパーチャと前記
光電面との間の位置における前記円筒気密容器の外側に
配置された、水平偏向コイル、垂直偏向コイル及び前記
円筒気密容器の軸方向に分離されている複数の集束コイ
ルと、これらのコイルに流す電流を制御するコイルコン
トローラと、を有してなり、前記複数の集束コイルを、
各集束コイルへの励磁電流の大小により光電面からの放
出電子が前記アパーチャに導かれる光電面の有効面積を
拡大、縮小させるようにしたイメージディセクタ装置に
より上Ｊピロ的を達成するものである。 又、前記コイルコントローラを、測定すべき前記充電面
上の点の位置及び拡大倍率を記・１、ヲするメモリと、
このメモリの記憶に基づき、各測定点の光電子を記憶さ
れた拡大倍率で順次サンプリングし、前記アパーチャに
導くように、前記水平偏向コイル、垂直偏向コイル、及
び集束コイルを駆動する駆動装置とを、含んで構成し上
記目的を達成するものである。 又、前記光電面の、標準走査モードでの走査をモニター
し、且つ、このモニター結果に基づき、前記メモリに、
測定すべき前記光電面上の点の位置及び測定倍率を入力
する入力装置を備えることにより１記目的を達成するも
のである。
この発明においては、予め指定された測定点の光電子を
記憶された拡大倍率でアパーチャに導くことができるの
で、測定点の大きさに対応してアパーチャ一杯にその像
を形成することができ、従って、光電面上の像が過大に
なったり、過小になり、Ｓ／Ｎ比が悪化したりするよう
なことがない。 即ち、実質的にアパーチャの径を測定点に応じて変化さ
せることができ、これによって光電面の発光点の光量を
確実に、且つＳ／Ｎ比良く測定することができる。
記憶された拡大倍率でアパーチャに導くことができるの
で、測定点の大きさに対応してアパーチャ一杯にその像
を形成することができ、従って、光電面上の像が過大に
なったり、過小になり、Ｓ／Ｎ比が悪化したりするよう
なことがない。 即ち、実質的にアパーチャの径を測定点に応じて変化さ
せることができ、これによって光電面の発光点の光量を
確実に、且つＳ／Ｎ比良く測定することができる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
この実施例は、第１図に示されるように、円筒気密容器
１０と、この円筒気密容器１０の一方の底面（図におい
て左＠）位置に形成された光電面１２と、他方の端面近
傍に配置されたアノード電！！１４と、このアノード電
極１４と前記光電面１２との間に配！されたアパーチャ
１６と、このアパーチャ１６と前記光電面１２との間の
位置における前記円筒気密容器１０の外側に配置された
水平偏向コイル１８、垂直偏向コイル２０及び２つの集
束コイル２２Ａ、２２Ｂと、コイルコントローラ２４と
からイメージディセクタ装置を構成したものである。前
記２つの集束コイル２２Ａ、２２Ｂは前記円筒気密容器
１０の軸方向に分離して配置されている。 前記円筒気密容器１０内における光電面１２の、アパー
チャ１６側に隣接した位置には、メツシュｔ ％ ２６
が配置され、又、前記アパーチャ１６とアノード電極１
４との間には、増暗部を構成するダイノード２８が配置
されている。 図の符号３０はアノード電極１４からの出力を増幅する
ためのアンプを示す。 前記コイルコントローラ２４は、前記光電面１２上にお
ける測定すべき点の位置及び拡大倍率を記憶させるメモ
リ３２と、このメモリ３２の記憶に基づき、各測定点の
光電子を、記憶された拡大倍率で順次サンプリングし、
前記アパーチャ１６に導くように、前記水平偏向コイル
１８、垂直偏向コイル２０、及び集束コイル２２Ａ、２
２Ｂを駆動する駆動装置３４と、前記光電面１２の状態
を表示すると共に、該光電面１２上の測定すべき点の位
置及び拡大倍率を設定するためのモニター３６と、測定
したデータを記憶するためのデータメモリ３８と、前記
メモリ３２からの入力信号を順次切換えて前記コイル１
８．２０．２２Ａ又は２２Ｂに出力するマルチプレクサ
−４０と、前記アンプ３０を介してアノード電極１４か
らの入力信号を取込むと共に、前記メモリ３２、駆動装
置３４、モニター３６、データメモリ３８及びマルチプ
レクサ−４０への信号の入出力及び制御をするための中
央制御装置４２とから構成されている。 前記駆動装置３４は、前記水平府内コイル１８への励磁
電流を制御するための水平偏向ドライバー３４Ａと、垂
直偏向コイル２０を制御するための垂直偏向ドライバー
３４Ｂと、前記集束コイル２２Ａ、２２Ｂを制御するた
めの拡大コイルドライバー３４Ｃとから構成されている
。 前記中央制御装置４２は、光電面１２全体を均一に走査
する標準走査モードと、予め指定された位置及びその位
置での倍率で、光電面１２からの光電子がアパーチャ１
６に導かれるようにするサンプリングモードで、前記駆
動装置３４をＭ ｍできるようにされている。 又、標準走査モードにおけるモニター３６の画面上での
ＸＹ座標指定及び倍率指定の設定データを、メモリ３２
に入力させ、サンプリングモードにおける測定データの
データメモリ３８の入出力を制御するようにされている
。 次に、上記実施例装置により、物体の像を電子光学的に
測定する場合について説明する。 例えば、第２図に示されるように、顕微鏡４４下で、細
胞４６を測定する場合、まず標準走査モードで光電面１
２の全木像がアパーチャ１６に導かれ、これがモニター
３６に表示されるようにする。 モニター３６上には、測定範囲内にある細胞４６が発光
体として表示され、観測者は、例えばライトペンで、測
定すべき発光体８１〜ＳＧ（サンプル）を、順次指定し
、且つそのときの発光体の大きさに応じて倍率も同時に
設定する。この設定データ、即ち８１〜Ｓ６のＸ−Ｙ庄
原（Ｘ ＋ ・Ｙｌ、・・・Ｘ６・Ｙａ）及び倍率Ｄ１
〜Ｄ６は、中央制御装置４２を介してメモリ３２に入力
される。 次に、中央制御装置４２によりサンプリングモードとす
る。 中央制御装置４２からの指令により、メモリ３２に格納
された測定点の座標（Ｘ−Ｙ）及び拡大倍率（Ｄ）がマ
ルチプレクサ−４０を経て、駆動装置３４に順次出力さ
れる。駆動装置３４では、マルチプレクサ−４０からの
データに従い、例えば、第２図に示されるサンプル８１
〜サンプルＳ６の順で、且つ各サンプル（測定点）の設
定拡大倍率に応じて、水平偏向コイル１８、垂直偏向コ
イル２０及び集束コイル２２Ａ、２２Ｂとの励磁電流を
ＭｆＸＪする。 光電面１２から放出された光電子は、メツシュ電極２６
により加速されてアパーチャ１６に向かって飛んで行く
が、このとき集束コイル２２Ａ、２２Ｂにより作られた
集束磁力線に束縛されて、該磁力線に巻き付くように飛
んで行く。 そこで、磁力線の方向を集束コイル２２Ａ、２２Ｂに流
す電流を変えることによって変化させる。 即ち、光電面１２に近い側の集束コイル２２Ａの＠磁電
流を小さく、集束コイル２２Ｂの励磁電流を大きくすれ
ば、光電面１２側はアパーチャ１６側より磁束密度が小
さくなり、光電面１２から放出された光電子が該アパー
チャ１６に導かれる光電面１２の有効面積が拡がり、又
、励磁電流の量を逆にすれば有効面積が小さくなる。 例えば、測定点の有効面積を拡大する場合は、第３図（
Ａ）示されるように、集束コイル２２ＡのｗＪ磁電流Ｉ
Ａに対して、集束コイル２２Ｂの励磁電流１日を大きく
すると、光電面１２からの光電子は集束されて、アパー
チャ１６に導かれる。 即ち、見掛けのアパーチャ径が大きくされる。 又、測定点の有効面積の拡大又は縮小がなく、等倍の場
合は、集束コイル２２Ａ、２２Ｂの励磁電流ＩＡ、１日
を同一とする（第３図（Ｂ）参照）。 又、測定点の有効面積を縮小する場合は、第３図（Ｃ）
に示されるように、集束コイル２２Ａの励磁電流ＩＡを
大、集束コイル２２Ｂの励磁電流１日を小とする。この
ようにすると、光電面１２からの光電子が拡大されてア
パーチャ１６に導かれる。 従って、アパーチャ１６の直径が、実質的に縮小された
ことになる。 なお、所望の拡大率を得るために集束コイル２２Ａ、２
２Ｂに電流を流すと、光電面１２上の電子像が拡大又は
縮小されるが、この場合、電子像は中心口りに回転させ
られる。 このときの拡大率と回転角の間には一定の関係があるの
で、予めこれを見込んで測定する必要がある。 なお、上記実施例において、集束コイルは円筒気密容器
１０の軸方向に２個設けられているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、３個以上であってもよい。 又、上記実施例は、拡大倍率りを、モニター３６によっ
て画像をモニタリングしながら設定するものであるが、
これは、光電面１２上の発光点の大きさによって自動的
に決定するようにしてもよい。
１０と、この円筒気密容器１０の一方の底面（図におい
て左＠）位置に形成された光電面１２と、他方の端面近
傍に配置されたアノード電！！１４と、このアノード電
極１４と前記光電面１２との間に配！されたアパーチャ
１６と、このアパーチャ１６と前記光電面１２との間の
位置における前記円筒気密容器１０の外側に配置された
水平偏向コイル１８、垂直偏向コイル２０及び２つの集
束コイル２２Ａ、２２Ｂと、コイルコントローラ２４と
からイメージディセクタ装置を構成したものである。前
記２つの集束コイル２２Ａ、２２Ｂは前記円筒気密容器
１０の軸方向に分離して配置されている。 前記円筒気密容器１０内における光電面１２の、アパー
チャ１６側に隣接した位置には、メツシュｔ ％ ２６
が配置され、又、前記アパーチャ１６とアノード電極１
４との間には、増暗部を構成するダイノード２８が配置
されている。 図の符号３０はアノード電極１４からの出力を増幅する
ためのアンプを示す。 前記コイルコントローラ２４は、前記光電面１２上にお
ける測定すべき点の位置及び拡大倍率を記憶させるメモ
リ３２と、このメモリ３２の記憶に基づき、各測定点の
光電子を、記憶された拡大倍率で順次サンプリングし、
前記アパーチャ１６に導くように、前記水平偏向コイル
１８、垂直偏向コイル２０、及び集束コイル２２Ａ、２
２Ｂを駆動する駆動装置３４と、前記光電面１２の状態
を表示すると共に、該光電面１２上の測定すべき点の位
置及び拡大倍率を設定するためのモニター３６と、測定
したデータを記憶するためのデータメモリ３８と、前記
メモリ３２からの入力信号を順次切換えて前記コイル１
８．２０．２２Ａ又は２２Ｂに出力するマルチプレクサ
−４０と、前記アンプ３０を介してアノード電極１４か
らの入力信号を取込むと共に、前記メモリ３２、駆動装
置３４、モニター３６、データメモリ３８及びマルチプ
レクサ−４０への信号の入出力及び制御をするための中
央制御装置４２とから構成されている。 前記駆動装置３４は、前記水平府内コイル１８への励磁
電流を制御するための水平偏向ドライバー３４Ａと、垂
直偏向コイル２０を制御するための垂直偏向ドライバー
３４Ｂと、前記集束コイル２２Ａ、２２Ｂを制御するた
めの拡大コイルドライバー３４Ｃとから構成されている
。 前記中央制御装置４２は、光電面１２全体を均一に走査
する標準走査モードと、予め指定された位置及びその位
置での倍率で、光電面１２からの光電子がアパーチャ１
６に導かれるようにするサンプリングモードで、前記駆
動装置３４をＭ ｍできるようにされている。 又、標準走査モードにおけるモニター３６の画面上での
ＸＹ座標指定及び倍率指定の設定データを、メモリ３２
に入力させ、サンプリングモードにおける測定データの
データメモリ３８の入出力を制御するようにされている
。 次に、上記実施例装置により、物体の像を電子光学的に
測定する場合について説明する。 例えば、第２図に示されるように、顕微鏡４４下で、細
胞４６を測定する場合、まず標準走査モードで光電面１
２の全木像がアパーチャ１６に導かれ、これがモニター
３６に表示されるようにする。 モニター３６上には、測定範囲内にある細胞４６が発光
体として表示され、観測者は、例えばライトペンで、測
定すべき発光体８１〜ＳＧ（サンプル）を、順次指定し
、且つそのときの発光体の大きさに応じて倍率も同時に
設定する。この設定データ、即ち８１〜Ｓ６のＸ−Ｙ庄
原（Ｘ ＋ ・Ｙｌ、・・・Ｘ６・Ｙａ）及び倍率Ｄ１
〜Ｄ６は、中央制御装置４２を介してメモリ３２に入力
される。 次に、中央制御装置４２によりサンプリングモードとす
る。 中央制御装置４２からの指令により、メモリ３２に格納
された測定点の座標（Ｘ−Ｙ）及び拡大倍率（Ｄ）がマ
ルチプレクサ−４０を経て、駆動装置３４に順次出力さ
れる。駆動装置３４では、マルチプレクサ−４０からの
データに従い、例えば、第２図に示されるサンプル８１
〜サンプルＳ６の順で、且つ各サンプル（測定点）の設
定拡大倍率に応じて、水平偏向コイル１８、垂直偏向コ
イル２０及び集束コイル２２Ａ、２２Ｂとの励磁電流を
ＭｆＸＪする。 光電面１２から放出された光電子は、メツシュ電極２６
により加速されてアパーチャ１６に向かって飛んで行く
が、このとき集束コイル２２Ａ、２２Ｂにより作られた
集束磁力線に束縛されて、該磁力線に巻き付くように飛
んで行く。 そこで、磁力線の方向を集束コイル２２Ａ、２２Ｂに流
す電流を変えることによって変化させる。 即ち、光電面１２に近い側の集束コイル２２Ａの＠磁電
流を小さく、集束コイル２２Ｂの励磁電流を大きくすれ
ば、光電面１２側はアパーチャ１６側より磁束密度が小
さくなり、光電面１２から放出された光電子が該アパー
チャ１６に導かれる光電面１２の有効面積が拡がり、又
、励磁電流の量を逆にすれば有効面積が小さくなる。 例えば、測定点の有効面積を拡大する場合は、第３図（
Ａ）示されるように、集束コイル２２ＡのｗＪ磁電流Ｉ
Ａに対して、集束コイル２２Ｂの励磁電流１日を大きく
すると、光電面１２からの光電子は集束されて、アパー
チャ１６に導かれる。 即ち、見掛けのアパーチャ径が大きくされる。 又、測定点の有効面積の拡大又は縮小がなく、等倍の場
合は、集束コイル２２Ａ、２２Ｂの励磁電流ＩＡ、１日
を同一とする（第３図（Ｂ）参照）。 又、測定点の有効面積を縮小する場合は、第３図（Ｃ）
に示されるように、集束コイル２２Ａの励磁電流ＩＡを
大、集束コイル２２Ｂの励磁電流１日を小とする。この
ようにすると、光電面１２からの光電子が拡大されてア
パーチャ１６に導かれる。 従って、アパーチャ１６の直径が、実質的に縮小された
ことになる。 なお、所望の拡大率を得るために集束コイル２２Ａ、２
２Ｂに電流を流すと、光電面１２上の電子像が拡大又は
縮小されるが、この場合、電子像は中心口りに回転させ
られる。 このときの拡大率と回転角の間には一定の関係があるの
で、予めこれを見込んで測定する必要がある。 なお、上記実施例において、集束コイルは円筒気密容器
１０の軸方向に２個設けられているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、３個以上であってもよい。 又、上記実施例は、拡大倍率りを、モニター３６によっ
て画像をモニタリングしながら設定するものであるが、
これは、光電面１２上の発光点の大きさによって自動的
に決定するようにしてもよい。
本発明は、上記のように構成したので、光電面上に結像
された発光体の光量を、背景光によるバックグラウンド
をアパーチャにより実効的に除去し、且つＳ／Ｎ比良く
しかも広いダイナミックレンジをもって計測できるとい
う優れた効果を有する。
された発光体の光量を、背景光によるバックグラウンド
をアパーチャにより実効的に除去し、且つＳ／Ｎ比良く
しかも広いダイナミックレンジをもって計測できるとい
う優れた効果を有する。
第１図は本発明に係るイメージディセクタ装置の実施例
を示す一部断面図を含むブロック図、第２図は同実施例
装置により顕微鏡下の物体を測定する場合を示すブロッ
ク図、第３図は同実施例における集束コイルの励磁電流
の大小と光電子の拡大、縮小の関係を示す略示断面図で
ある。 １０・・・円筒気密容器、 １２・・・光電面、 １４・・・アノード電極、 １６・・・アパーチャ、 １８・・・水平偏向コイル、 ２０・・・垂直偏向コイル、 ２２Ａ、２２Ｂ・・・集束コイル、 ２４・・・コイルコントローラ、 ３２・・・メモリ、 ３４・・・駆動装置、 ３６・・・モニター、 ３８・・・データメモリ、 ４０・・・マルチプレクサ−１ ４２・・・中央制御装置。
を示す一部断面図を含むブロック図、第２図は同実施例
装置により顕微鏡下の物体を測定する場合を示すブロッ
ク図、第３図は同実施例における集束コイルの励磁電流
の大小と光電子の拡大、縮小の関係を示す略示断面図で
ある。 １０・・・円筒気密容器、 １２・・・光電面、 １４・・・アノード電極、 １６・・・アパーチャ、 １８・・・水平偏向コイル、 ２０・・・垂直偏向コイル、 ２２Ａ、２２Ｂ・・・集束コイル、 ２４・・・コイルコントローラ、 ３２・・・メモリ、 ３４・・・駆動装置、 ３６・・・モニター、 ３８・・・データメモリ、 ４０・・・マルチプレクサ−１ ４２・・・中央制御装置。
Claims (3)
- （１）円筒気密容器と、この円筒気密容器の一方の底面
に形成された光電面と、他方の端面近傍に配置されたア
ノード電極と、このアノード電極と前記光電面との間に
配置されたアパーチャと、このアパーチャと前記光電面
との間の位置における前記円筒気密容器の外側に配置さ
れた、水平偏向コイル、垂直偏向コイル及び前記円筒気
密容器の軸方向に分離されている複数の集束コイルと、
これらのコイルに流す電流を制御するコイルコントロー
ラと、を有してなり、前記複数の集束コイルは、各集束
コイルへの励磁電流の大小により光電面からの放出電子
が前記アパーチャに導かれる光電面の有効面積を拡大、
縮小することを特徴とするイメージデイセクタ装置。 - （２）請求項１において、前記コイルコントローラは、
測定すべき前記光電面上の点の位置及び拡大倍率を記憶
するメモリと、このメモリの記憶に基づき、各測定点の
光電子を記憶された拡大倍率で順次サンプリングし、前
記アパーチャに導くように、前記水平偏向コイル、垂直
偏向コイル、及び集束コイルを駆動する駆動装置とを、
含んでなるイメージデイセクタ装置。 - （３）請求項２において、前記光電面の、標準走査モー
ドでの走査をモニターし、且つ、このモニター結果に基
づき、前記メモリに、測定すべき前記光電面上の点の位
置及び測定倍率を入力する入力装置を備えたことを特徴
とするイメージデイセクタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197289A JPH02301946A (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | イメージデイセクタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12197289A JPH02301946A (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | イメージデイセクタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02301946A true JPH02301946A (ja) | 1990-12-14 |
Family
ID=14824423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12197289A Pending JPH02301946A (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | イメージデイセクタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02301946A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6185758A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-05-01 | Hamamatsu Photonics Kk | 像拡大装置 |
| JPS62262354A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 画像変換装置 |
| JPS62280614A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Ya Man Ltd | 電子光学式変位測定装置 |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP12197289A patent/JPH02301946A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6185758A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-05-01 | Hamamatsu Photonics Kk | 像拡大装置 |
| JPS62262354A (ja) * | 1986-05-06 | 1987-11-14 | Hamamatsu Photonics Kk | 画像変換装置 |
| JPS62280614A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-05 | Ya Man Ltd | 電子光学式変位測定装置 |
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