JPS6139441A - 映像スクリーン上の焼付け現象防止回路装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 し産業上の利用分野〕 この発明は、強度が制御され偏向系によって位置が制御
される電子ビームを使用する表示装置の映像スクリーン
の焼き付は現象を防止する回路装置に関する。

し従来の技術〕 この種の装置は特に走査型電子顕微鏡に設けられるもの
で、例えばケンブリッジ　ステレオスキャｙ　（Ｃａｍ
ｂｒｉｄｇｅ　５ｔｅｒｅｏｓｃａｎ　）　Ｓ　＋５０
と呼ばれている走査型電子顕微鏡に付設されている。

この装置の場合電子ビームがその偏向系の外部からの制
御により位置ぎめされると（スポット動作）、この回路
装置は電子ビームを表示装置内で小さな円周（二沿って
付卯的に偏向する。これによって長い時間に亘って制御
された画素が高い照射エネルギー密度によって破壊され
あるいは損傷を受けることを避けることができる。顕微
鏡の鏡体から受取る輝度情報による電子ビームの強度制
御はこの操作中中断され、その代りに上記の円周が一定
の明るさとなるように表示装置が制御される。

しかしこれＣ二よって走査型電子顕微鏡試料のスポット
操作中の画像表示は不可能となる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この発明の目的は、電子ビームの強度制御を送られて釆
だ輝度情報に関係して中断することなくゆっくりしたビ
ーム偏向とそれＣ二伴って各画素において長い滞留時間
を可能Ｃ二する簡単な構成の回路装置を提供することで
ある。

〔問題点の解決手段〕

この目的は、少くとも一つの偏向系の信号入力端が微分
向路に接続されていること、その出力端がコンパレータ
の’Ｋｌ入力端（＝結ばれこのコンパレータの第２入力
端に参照電圧が加えられること、コンパレータの出力端
が遅延トリが可能の単安定マルチバイブレータの入力端
に接続されていること、単安定マルチバイブレークの出
力端が電子ビームの強度制御に影響を及ぼ丁コントロー
ルユニットの制御入力端に結ばれている回路装置を採用
することによって達成される。

〔発明の効果〕

この発明（二よる回路装置の利点は、例えば走査型電子
顕微鏡によって形成され電子回路に蓄積された試料像を
計算機制御により再生する際に起る電子ビームの遅い偏
向速度と長い滞留時間により映■管の発光層に焼き付は
班点の発生が避けられることである。

特許請求の範囲第２項乃至第１４項にはこの発明の有利
な実施態様が示されている。

し実施例〕 図面を参照してこの発明を更に詳細に説明する。

第１図はこの発明による回路装置を備える走査型電子顕
微鏡の原理的接続図である。この顕微鏡は鏡筒１と映＠
雪２から構成され、この映便管２がラスタ形成回路３と
共（二表示装置を構成する。

鏡筒１には電子銃４、磁気レンズとして作用する二つの
結像コイノν５と６、二つの磁気偏向系７と８、試料保
持体９、この保持体（二とりつけられた試料１０および
出力端１２を備える検出器１１が収められている。電子
銃４は陰極とウェーネルト筒と陽極を備える公知のもの
である。電子＃、、４で作られコイル５と６で集束され
た電子ビーム１３は、偏向系７と８の作用で試料ｌＯを
行うスク形式で走査する。電子ビームが試料表面の一定
点に向けられている間入射電子により二次電子Ｉ４が放
出され、電場によって検出器に導かれ出力端１２からそ
れζ二対応する信号が送り出される。出力端Ｉ２は同時
に例えば後方散乱電子又は試料電流による別の有効信号
が取り出されるようにすることも可能である。

出力端＋２から送り出された信号は信号増幅器＋５、切
換器３１と８５およびコントロールユニット１６を通っ
て映滓管２の強度制御入力端＋７に導かれる。映津管２
は陰極１８、入力端１７に結ばれた例えばウェーネルト
筒型の強度制御電極２０、電子°ビーム１９に影響を及
ぼす二つの偏向系２１と２２および映ｆ象面２３を含む
。並列（二接続されビーム１３と１”９をＸ方向（：偏
向する偏向系７と２１は共通の接続点２４（＝結）（れ
るの（二対して、ビームＩ３と１９をｙ方向（；偏向す
る偏向系８と２２は互に並列に接続され共通の接続、截
２５に結ばれる。これらの偏向系は総て七のｉ極カを規
準電位に接続されている。

ラスタ形成回路３がその出力端２６と切換−器Ｓλを通
して接続端２４（＝線周波数のこぎＩＪ波偏向電圧な那
え、出力端２７と切換器Ｓ２ならび（二別の切換器Ｓ４
を通して接続端２５に画周波数のこぎり波偏向電圧な那
えると、試料表面）！電子ビーム１３（＝より走査され
映ｆ’Ｊスクリーンの面部分２８はこれに同期して電子
ビーム１９＋＝よって走査される。試料表面の各点から
はそれ（二特有のイ言号カー出力端１２に現われ、入力
端１７を通して゛電子ビーム１９の強度制御を行うから
、こＯ）点≦二対応する映像面上の画点例えば２９がこ
の信号（二対応する輝度となる。これ（二よって映像ス
クリーン２３の面部分２８内に試料表面の像が作られる
。この像は写真機３０で撮影することができるが、その
際妨害光の影響を排除するため映像スクリーン２３と写
真機光学系３２の間に遮蔽筒３Ｉを設けると効果的であ
る。

試料表面から引き出され検出器の出力端Ｉ２で捕捉され
る信号は電子的（＝蓄積することも可能である。この場
合計算機３３は切換器Ｓ２の破線で示した位置（二おい
てラスタ形成回路３（二代って試料１０の表面の各点と
映像スクリーン２３上の対応する点の逐次制御を行う。

計算機３３の設定４１１Ｍを通してメモリ場所のそれぞ
れ３部分群から成る個々の群がアドレスされるが、その
際第１部分群から第、Ｉディジタル位置信号がＤＡ変換
器３４（＝与えられ、第１偏向電圧に変換されて切換器
Ｓ２から接続端２４に導かれ、電子ビーム１３と１９を
Ｘ偏向方向の第１座標（二調整する。同時に牛２部分群
から’ｇ−２ディジタル位置信号がＤＡ変換器３５に導
かれ、ここで第２偏向電圧（＝変換されてＳ２と８４を
通して接続端２５１＝与えられ、電子ビーム＋３と１９
をＸ偏向方向の１！！２座標に調整する。このよう（ニ
して探索された試料表面の点から端子１２罵：現われる
信号が作られ、この信号は信号増幅器Ｉ５とＡＤ変換器
３６を通して計算機３３（；輝度情報として与えられ、
上記のメモリ場所群の１８３部分群内に蓄積される。こ
の経過は試料表面の各所定点（：対して繰り返される。

その際試料表面はラスタ状に定量され、試料表面の儂が
画素数に対応する個数のメモリ場所群内に蓄積される。

切換器、９＋の実線（＝示した位置ではこの電子的に蓄
積された像が同時Ｃ二映像スクリーン２３に表示される
。

計算機３３に蓄積された試料表面像を映像スクリーン２
３に再生する際には切換器ＳＬが破線位置（二移され、
切換器Ｓ２はその破線位置にとどまる。

各画素に対応するメモリ場所群のラスタ走査順による逐
次アトレンジングに際しては、最初の２部分群の位置信
号によって調整された各画素２９に対して第３部分群に
蓄積されていた輝度情報が与えられ、ＤＡ変換器３７に
よりアナログ輝度信号に変えられ、切換器８１とコント
ロールユニット１６を通して強度制御入力端Ｉ７に導か
れる。

電子的に蓄積された画像はこのよう（ニして映像スクリ
ーン２３上に表示される。その際電子ビーム１３は遮断
しておく方が有利である。

電子ビーム１９の計算機３３による位置制御とラスタ形
成回路３（＝よる位置制御のいずれにおいても電子ビー
ム１９は、映倫スクリーン上の該当個所が過大のエネル
ギー吸収（二よって破壊又は損傷されるまで画素２９に
向けておかれることがある。この欠点を避けるため第１
入力端４０と出力端４１を備える部分回路３９を含む回
路装置３８（点破線でかこまれている）が設けられる。

入力端４０は接続端２４に結ばれ、出力端４Ｉは後（二
　〜続く論理回路４２の第１入力端（二結ばれる。この
論理回路は第１図ではＡＮＤ回路となっている。

その第２入力端は切換器Ｓ３によってラスタ形成回路３
の出力端４３と計算機３３の出力端４４のいずれかに結
ばれ、論理回路４２の第３入力端は切換器Ｓ３によりラ
スタ形成回路３の出力端４３ａと計算機３３の出力端４
４ａのいずれかに結ばれる。論理回路４２の出力端４２
ａはコントロール信号ッ）１６の制御入力端４５（二結
ばれている。

第２図は部分回路３９の詳細図である。入力端４０は低
出力抵抗の増幅段４６を通して微分回路４７の入力端：
：接続され、その出力端はコンパレータ４８の第１入力
端に結ばれる。コンパレータ４８の第２入力端４８ａに
は参照電圧■ｒｅｆ１　　が卯えられ、その出力端は遅
延トリガ可能の単安定マルチバイブレータ５０の入力端
４９に接続される。マルチバイブレータ５０の出力端は
部分回路３９の出力端４１となっている。

切換器Ｓ２の実線位置においては、ラスタ形成回路３で
作られた線周波数のこぎり波偏向電圧が入力端４０を通
って第２図の微分回路４７に導かれ微分される。微分回
路４７の出力レベルはコンパレータ４８において参照電
圧ｖｒｅｆ　Ｉ　と比較され、それがｖｒ８ｆ、を越え
ているとコンパレータ４８内にトリが信号が発生し、単
安定マルチバイブレーク５０が安定状態（＝あればそれ
を直ちにトリガし、非安定状態にあれば遅延トリガする
。マルチバイブレータ５０がトリガされるとコントロー
ル信号を送り出丁が、マルチバイブレーク５０に特有の
調整可能時間間隔の後戻しトリガにより遮断される。マ
ルチバイブレーク５０がトリが信号の到着時に非安定状
態にあると、この状態はトリが信号の出現後もある時間
の間はそのまま保持される。この時間が終った後始めて
マルチバイブレータ５０のコントロール信号が停止する
。

電子ビーム１９と場合によっては電子ビーム１３がラス
タ形成回路３Ｃ：よって位置制御されているときは切換
器Ｓ３は実線位置に置かれる。出力端４３からはＸ偏向
電圧が各行の最後の画素のＸ偏向に対応する規定値を越
えない限り信号ＬＣを取す出すことができる。偏向電圧
がこの規定値を越えると信号ＬＣは遮断される。ラスタ
形成回路３からは更Ｃ；端子２７から送り出されるＸ偏
向電圧がラスタの最下行のＸ偏向（二対応す、る−規定
値を越えない限り信号ＰＣが出力端４３ａを通して送り
出される。電子ビーム１９が画面の最下縁の外に出ると
信号ＦＣは遮断される。

ｖｒｅｆ　１”よって規定されている最低偏向速度より
も高速度で電子ビーム１９が映像スクリーン上をＸ方向
に動くと、コンパレータ４８はマルチバイブレーク５０
に対してトリが信号を連続的に与え、それによってマル
チバイブレータは連続的Ｃ二非安定状態にとどまり、そ
の出力端４１からコントロール信号を送り出す。この信
号はＬＣとＦＣが同時に出現したとき論理回路４２の出
力端４２ａに送られる。このコントロール信号は制御入
力端４５を通してコントロールユニット１６に作用し、
その入力端４５ＪＬに送られてきた信号を強度制御入力
端１７に導く。これに対して電子ビーム１９の偏向速度
がその最低偏向速度以下であると、点４ＩにおＣするコ
ントロール信号従って制御入力端４５におけるコントロ
ール信号が遮断され、又入力端４５ａに送られてきた信
号のコントロールユニット１６内の映像管入力端１７へ
の転送も停止される。ｖｒｅｆｌ　　の大きさ従って最
低偏向速度は、一方では電子ビーム１９が走査Ｔる各画
素に与えられるエネルギーが許容値を越えないように低
く選ばれると同時に、入力端４０から侵入した雑音電圧
がコンパレータ４８の出力端のトリが信号となり誤った
ビーム偏向を惹き起すことのないような大きな値に選ば
れる。電子ビーム１９が一つの行の終端を通り過ぎると
出力端４３の信号ＬＣが遮断され、点４２ａζ二おいて
コントロール信号が消滅するからフントロールユニット
１６は入力端４５ａと１７の間の信号路を切断する。こ
れに対して電子ビーム１９が画面の最下縁の外に出ると
出力端４３（二おいて信号ｐｃが遮断され、論理回路４
２を通して送り出されるコントロール信号が遮断されて
上記の信号路が切断される。

回路装置３８の上記の動作様態は、ラスタ形成回路３が
のこぎり波偏向電圧の代りに階段状の偏向電圧を発生す
る場合にも起る。この種の偏向電圧は例えば低域フィル
タを接続したクロック制御のカウンタを使用してディジ
タル法により作ることができる。この偏向電圧の場合各
段の開の電圧飛躍がコンパレータ４８の出力端；ニ一連
のトリガ信号を作り、この信号が上記の連続トリが信号
に対応してマルチバイブレータ５０の遅延トリが作用を
行わせる。

電子ビーム１９と場合によって電子ビームＩ３の計算機
３３による位置制御に際しても回路装置３８は上記のよ
うに動作する。この場合切換器Ｓ２と８３は破線で示し
た位置Ｃ二ある。ＡＤ変換器３４と３５から送られる偏
向電圧は、映像面部分２８と試料表面が行走査されると
き階段形となる。信号ＬＣとＦＣは計算機３３の出力端
４４と４４＆から取り出される同種の信号ＬＣ’とＦＣ
’に置き換えられる。このＬＣ’は電子ビーム１９が各
行の最後の画素を越えるまで出力端４４から送り出され
、Ｆｅ２は電子ビーム１９が画像の最下縁を越えるまで
送り出される。電子ビームがそれらの終点を越えると信
号ＬＣＩ、　　ＦＣ’は遮断され、　入力端４５は別の
コントロール信号を自由に受け入れられるよう（二なり
、コントロールユニット１６内の入力端４５ａと１７の
間の信号路は切断される。互に分離した個々の画素２９
の列が制御されるスポット動作（＝おいても、続く画素
に切換える際の電圧飛躍の作用によりマルチバイブレー
タ５ｏのトリが動作を起す。電子ビーム１９が一つの画
素に滞留する時間が長過ぎるとコントロールユニット内
の信号路が上記の経過によって切断され、映像スクリー
ンの発うｅＲの焼付は現象を防止する。

第３図に部分回路３９の別の実施形態な示す。

この実施例は第２因の回路を基本とし、マルチバイブレ
ータ５０のトリガ動作にｙ方向偏向電圧も関与するよう
に拡張したものである。＠路の構成部分の中梁２図の回
路部分（二対応する”ものには同じ番号がつけである。

第３因の回路には接続点２５（＠ｌ）に結ばれる第２入
力端５１が追加され、出力抵抗が低い増幅器５２を介し
−て一微分回路５３に結ばれる。この微分回路の出力端
はコンパレータ５４の第１入力端に接続され、その第２
入力端５５には比較電圧ｖｒｅｆ２が導かれる。コンパ
レータ４８と５４の出力端はＯＲ回路５６の入力端に接
続され、回路５６の出力端は遅延トリガされる単安定マ
ルチバイブレータ５０の入力端４９（二結ばれている。

第３図の部分回路を含む接続装置３８（第１図に点破線
で囲んで示す）は接続端２４に導かれたＸ偏向電圧が階
段状（二飛躍するか充分急峻な変化を示すときマルチバ
イブレータ５０をトリガするだけではなく、接続端２５
（−導かれたＸ偏向電圧が同様な変化を示すときにもマ
ルチバイブレータ５０をトリガする。これに対してはＸ
偏向電圧を微分する回路５３がｖｒｅｆ２　　よりも高
１／ＮＬ／ベルの信号をコンパレータ５４の第１入力端
に与えることが必要である。コンパレータ４８と５４の
出力端からトリが信号が送り出されると、いつでもマル
チパイブレーク５０がトリが又は遅延トリガされる。従
ってこの拡張実施形態により電子ビーム１９が垂直方向
だけ（二充分な速度をもって映像スクリーン上を移動す
る場合（二おいても暗走査が避けられる。電圧Ｖ　　　
は小さい値Ｃ：ｅｆ　ｚ 選び、ｖｒｅｆ２　　を僅かに越えた信号レベルによっ
ても焼き付は現象を確実に避けることができる最低のＸ
方向偏向速度が達成されるようにするのが有利であるが
、一方では■ｒｅｆ２　　は入力端５Ｉを通して導か九
る雑音電圧が電子ビームの誤った動きをひき起すことが
ないように充分大きな値（二選ぶ必要がある。

これまでは第１図に示したスイッチＳ４と８５が常（二
実線で示した位置にあるものとしたが、これらのスイッ
チを破線で示した位置に切り換えると１スロースキヤン
”と呼ばれている動作様態左なり、電子ビーム１９は接
続端２４１＝導かれるラスタ形成回路３又は計算機３３
の切換器Ｓ２の位置に応するＸ偏向電圧の作用で映像ス
クリーン上で一つの行に沿って偏向される。更（＝電子
ビーム１９は８１の位置に応じて増幅器１５又は変換器
３７を通して導かれる信号によりＸ方向に偏向され、上
記の行からの垂直方向の偏位が増幅器＋５又は変換器３
７を通して導かれた信号の尺度となる。このようＣ二し
てこれらの信号の曲線形がブラウン管オシログラフと同
様（二映像スクリーンＣ二表示される。この場合コント
ロールユニット１６の入力端４５ａには第１図に示され
ていない一定電圧が導かれ、電子ビーム１９に一定の明
走査を実の作用を停止させた′＠３図の構成とする。こ
の停止は切換器Ｓ６を閉結して微分回路５３０入力端を
規準電位に置くことによって実施される。

第１図の装置の部分１と４乃至Ｉ５を取り去るとこの装
置はこの発明（二よる接続装ａ３８を備えた一般に使用
される表示装置となる。切換器ｓ４と３５を実線で示し
た位置の固定結合で置き換えると、入力端４５ａには電
子ビーム１９の強度を制御する信号を導くことができる
。この場−合電子ビーム１９は映像スクリーン２３を線
ラスタの形で走査する。制御信号は切換器８１の実線位
置において外から導くかあるいは切換器ＳＬの破線位置
において計算機３３のメモリから導く。この種の一般に
使用される表示装置の別の実施形態は、＠１図において
部分１と４乃至Ｉ５を取り去りＳ４と８５をその破線位
置（二対応する固定結合で置き換えることによって実現
する。この場合入力端４５ａには電子ビーム１９に明走
査を行わせる一定電圧を７１０え、同時Ｃ二部分３又は
３３によりＸ方向だけに偏向される電子ビームをＸ方向
にも偏向し曲線を画かせる信号を切換器Ｓｔを通して導
く。この信号も外から導くかあるいは計算機３３のメモ
リから導くことができる。計算機から導く場合Ｃ二はＤ
Ａ変換器３５は不要となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による回路装置を備える走査型電子顕
微鏡の原理的接続図であづ１第２図と第３図はこの発明
による回路装置の２種類の実施形態を示す。第２図、第
３因において、４６と５２・・・増幅段、　　４７と５
３・・・微分回路、　　４Ｂト５４・・・コンパレーク
、　５０・・・　単安定？　ｔｖチパイプレーク、　　
５６・・・　ＯＲ回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）強度が制御され偏向系（２１、２２）を介して位置
   が制御される電子ビーム（１９）を使用する表示装置の
   映像スクリーン上の焼付け現象を防止する回路装置にお
   いて、少くとも一つの偏向系（２１）の信号入力端（２
   ４）が微分回路（４７）に接続されていること、その出
   力端がコンパレータ（４８）の第１入力端に結ばれこの
   コンパレータの第２入力端（４８ａ）に参照電圧が加え
   られること、コンパレータ（４８）の出力端が遅延トリ
   ガ可能の単安定マルチバイブレータ（５０）の入力端（
   ４９）に接続されていること、単安定マルチバイブレー
   タの出力端（４１）が電子ビーム（１９）の強度制御に
   影響を及ぼすコントロールユニット（１６）の制御入力
   端（４５）に結ばれていることを特徴とする映像スクリ
   ーン上の焼付け現象防止回路装置。 ２）電子ビーム（１９）に影響を及ぼす２偏向系（２１
   、２２）の信号入力端（２４、２５）が微分回路（４７
   、５３）とその後に続くコンパレータ（４８、５４）に
   接続され、このコンパレータの第２入力端（４８ａ、５
   ５）にはそれぞれ参照電位が加えられていること、両コ
   ンパレータ（４８、５５）の出力端がＯＲ回路（５６）
   を通してマルチバイブレータ（５０）の入力端（４９）
   に接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の回路装置。 ３）マルチバイブレータ（５０）の出力端（４０が論理
   回路（４２）の第１入力端に結ばれ、この論理回路の出
   力側はコントロールユニット（１６）の制御入力端（４
   ５）に接続されていること、論理回路（４２）が第２入
   力端を備えこの入力端に電子ビーム（１９）が映像スク
   リーン（２３）の走査面（２８）に向けられていること
   を示す第１信号（ＬＣ、ＬＣ′）が導かれること、論理
   回路（４２）はマルチバイブレータ（５０）の出力信号
   をこの信号の発生に関係してコントロールユニットの（
   １６）の制御入力端（４５）に導くことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項又は第２項記載の回路装置。 ４）論理回路（４２）が第３入力端を備え、この入力端
   に電子ビーム（１９）が映像スクリーン（２３）上の走
   査面（２８）に向けられていることを示す信号（ＦＣ、
   ＦＣ′）が導かれること、論理回路（４２）がマルチバ
   イブレータ（５０）の出力信号を第１と第２の信号（Ｌ
   Ｃ、ＬＣ′；ＦＣ；ＦＣ′）の共通発生に関係してコン
   トロールユニット（１６）の制御入力端（４５）に導く
   ことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の回路装置
   。 ５）論理回路（４２）の第２入力端が指示装置の少くと
   も一つの偏向系を制御するための偏向電圧を発生するラ
   スタ形成回路（３）の第１指示信号（ＬＣ）を送り出す
   出力端（４３）に結ばれていること、必要に応じて論理
   回路（４２）の第３入力端がラスタ形成回路（３）の第
   ２指示信号（ＦＣ）を送り出す出力端（４３ａ）に結ば
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第３項又は第
   ４項記載の回路装置。 ６）論理回路（４２）の第２入力端が指示装置の少くと
   も一つの偏向系を制御する偏向電圧をＤＡ変換器（３４
   ）を通して送り出す計算機（３３）の第１指示信号（Ｌ
   Ｃ′）送出出力端（４４）に結ばれていること、必要に
   応じて論理回路（４２）の第３入力端が計算機（３３）
   の第２指示信号（ＦＣ′）送出出力端（４４ａ）に結ば
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第３項又は第
   ４項記載の回路装置。 ７）論理回路（４２）の第２入力端が切換器（Ｓ３）を
   通してラスタ形成回路（３）と計算機（３３）の第１指
   示信号（ＬＣ、ＬＣ′）送出出力端（４３、４４）に結
   ばれること、必要に応じて論理回路（４２）の第３入力
   端が切換器（Ｓ３）を通してラスタ形成回路（３）と計
   算機（３３）の第２指示信号（ＦＣ、ＦＣ′）送出出力
   端（４３ａ、４４ａ）に結ばれることを特徴とする特許
   請求の範囲第５項又は第６項記載の回路装置。 ８）論理回路（４２）がＡＮＤ回路として構成されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第７項の
   一つに記載の回路装置。 ９）コントロールユニット（１６）が電子ビーム（１９
   ）の強度制御信号を受け取る信号入力端（４５ａ）を備
   えること、コントロールユニット（１６）の出力端が表
   示装置の強度制御入力端（１７）に結ばれること、信号
   入力端（４５ａ）とコントロールユニット（１６）の出
   力端の間の信号伝送路がこのユニットの制御入力端にコ
   ントロール信号が出現したことに関係して実効的に導通
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第、各
   項の一つに記載の回路装置。 １０）電子ビーム（１９）の強度制御用の信号が走査型
   電子顕微鏡（１）の検出器出力端（２）から引き出され
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第９項の
   一つに記載の回路装置。 １１）電子ビーム（１９）の強度制御用の信号が特に電
   子ビームの位置を制御する計算機（３３）のＤＡ変換器
   （３７）を通して送り出されることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項乃至第９項の一つに記載の回路装置。 １２）電子ビーム（１９）を映像スクリーン（２３）上
   で第１方向に偏向させる偏向系（２１）に第１偏向電圧
   が加えられ、第２方向に偏向させる偏向系（２２）に加
   えられる信号の時間経過は第１方向における電子ビーム
   の偏向経過に対して映像スクリーン（２３）に表示され
   その際表示装置の強度制御入力端（１７）には一定電圧
   が加えられ、第２偏向系（２２）の信号入力端（２５）
   と後に続く微分回路（５３）の間の結合は切断されるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第９項の一つ
   に記載の回路装置。 １３）第１方向における電子ビームの偏向経過に対する
   経過が映像スクリーン（２３）に表示される信号が走査
   型電子顕微鏡（１）の鏡筒の出力端子（１２）から取り
   出されることを特徴とする特許請求の範囲第１２項記載
   の回路装置。 １４）第１方向における電子ビームの偏向経過に対する
   経過が映像スクリーン（２３）に表示される信号が特に
   電子ビームの位置を制御する計算機（３３）のＤＡ変換
   器（３７）を通して送り出されることを特徴とする特許
   請求の範囲第１２項記載の回路装置。