JPH0238366Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0238366Y2 JPH0238366Y2 JP1984015653U JP1565384U JPH0238366Y2 JP H0238366 Y2 JPH0238366 Y2 JP H0238366Y2 JP 1984015653 U JP1984015653 U JP 1984015653U JP 1565384 U JP1565384 U JP 1565384U JP H0238366 Y2 JPH0238366 Y2 JP H0238366Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- deflection
- electron
- deflector
- electron microscope
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 44
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 101100382340 Arabidopsis thaliana CAM2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100494530 Brassica oleracea var. botrytis CAL-A gene Proteins 0.000 description 1
- 101100165913 Brassica oleracea var. italica CAL gene Proteins 0.000 description 1
- 101150118283 CAL1 gene Proteins 0.000 description 1
- 102100021849 Calretinin Human genes 0.000 description 1
- 101000898072 Homo sapiens Calretinin Proteins 0.000 description 1
- 101100029577 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) CDC43 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100439683 Saccharomyces cerevisiae (strain ATCC 204508 / S288c) CHS3 gene Proteins 0.000 description 1
- 101150014174 calm gene Proteins 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、電子顕微鏡における電子線光学系の
動作状態を表示する装置の改良に関する。
動作状態を表示する装置の改良に関する。
最近の電子顕微鏡には、各電子線偏向コイルや
各電子レンズに供給される励磁電流の強度や極性
を表わす記号や数値キーボード操作によつてブラ
ウン管等の表示装置に表示するよう構成したもの
がある。
各電子レンズに供給される励磁電流の強度や極性
を表わす記号や数値キーボード操作によつてブラ
ウン管等の表示装置に表示するよう構成したもの
がある。
しかし乍ら、該ブラウン管には例えば電子線偏
向系における。軸合せ用の偏向コイルによる電子
線の偏向角や方向は全て数値や記号で表示される
ので、オペレーターは表示された数値から電子線
がどの方向に偏向されたかを思い浮べながら操作
しなければならなかつた。そのため、電子線を概
略どちらにどの程度偏向すれば良いかを直感的に
把握することが出来ず、軸合わせを容易に行うこ
とができなかつた。又、像が見えない場合に、電
子線の偏向量が大きすぎて電子線が偏向器等に当
たつてカツトされてしまつているためか、それ以
外の原因によるためなのかを容易に認識すること
ができなかつた。
向系における。軸合せ用の偏向コイルによる電子
線の偏向角や方向は全て数値や記号で表示される
ので、オペレーターは表示された数値から電子線
がどの方向に偏向されたかを思い浮べながら操作
しなければならなかつた。そのため、電子線を概
略どちらにどの程度偏向すれば良いかを直感的に
把握することが出来ず、軸合わせを容易に行うこ
とができなかつた。又、像が見えない場合に、電
子線の偏向量が大きすぎて電子線が偏向器等に当
たつてカツトされてしまつているためか、それ以
外の原因によるためなのかを容易に認識すること
ができなかつた。
本考案はこのような従来の問題点を解決し、電
子線の偏向による軸合わせ作業等を容易にし得る
電子顕微鏡を提供することを目的としている。
子線の偏向による軸合わせ作業等を容易にし得る
電子顕微鏡を提供することを目的としている。
そのため本考案は、電子顕微鏡に設けられた表
示手段へ該電子顕微鏡の電子線偏向器を図形表示
するための手段と、前記偏向器へ供給される偏向
信号値の情報に基づいて、前記図形表示された偏
向器に対する電子線の軌跡を、該偏向信号値の変
更に応答して偏向の向き及び量を変えるように前
記表示手段に図形表示するための手段を備えるこ
とを特徴としている。
示手段へ該電子顕微鏡の電子線偏向器を図形表示
するための手段と、前記偏向器へ供給される偏向
信号値の情報に基づいて、前記図形表示された偏
向器に対する電子線の軌跡を、該偏向信号値の変
更に応答して偏向の向き及び量を変えるように前
記表示手段に図形表示するための手段を備えるこ
とを特徴としている。
以下本考案の一実施例を図面を用いて詳述す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示す略図であり、
１は電子顕微鏡の鏡筒を示し、該鏡筒内には電子
レンズ、偏向コイル等の電子光学系が収納されて
いる。又、鏡筒を支持する基板２の前面パネル内
の３，４には各種の操作に必要なツマミ類や計器
類が組み込まれており、鏡筒１内において結像す
る電子線像を観察するための観察窓５の近傍には
種々の情報を表示するためのブラウン管６が設け
られている。第２図は、第１図の装置のブラウン
管６によつて表示される内容を決めるための構成
部分が示されている。図中７は軸合せ用及びイメ
ージシフト用の偏向コイル等多数の偏向コイルか
らなる電子線偏向系であり、８は対物レンズ、中
間レンズ、投影レンズから成る電子レンズ系であ
る。９は電子線偏向系７に偏向信号を供給するた
めの電子線偏向用電源であり、１０は電子レンズ
系の電子レンズ用電源である。１１及び１２は電
子線偏向用電源９及び電子レンズ用電源１０から
電子線偏向系７及び電子レンズ系８に供給するア
ナログ信号をデジタル信号に変換するためのＡ／
Ｄ変換器であり、夫々のＡ／Ｄ変換器１１及び１
２よりの信号は制御回路１３に入力される。該制
御回路１３には、ブラウン管６に表示すべき情報
の種類を選択するための表示選択回路１４が接続
されており、該表示選択回路１４の選択スイツチ
を操作することにより、電子線偏向系用の図形表
示回路１５又は電子レンズ系用の図形表示回路１
６に表示情報が入力される。１７は輝度変調回路
であり、該図形表示回路１５又は１６よりの情報
は輝度変調回路１７を介してブラウン管６に入力
され表示される。１８は電子線偏向系７及び電子
レンズ系８を通過する電子線である。第３図は表
示選択回路１４の操作パネルを示しており、１４
ａは電子線偏向系の偏向コイルの動作状態を表示
するための選択スイツチであり、１４ｂは電子レ
ンズ系の動作状態を表示するための選択スイツチ
である。
１は電子顕微鏡の鏡筒を示し、該鏡筒内には電子
レンズ、偏向コイル等の電子光学系が収納されて
いる。又、鏡筒を支持する基板２の前面パネル内
の３，４には各種の操作に必要なツマミ類や計器
類が組み込まれており、鏡筒１内において結像す
る電子線像を観察するための観察窓５の近傍には
種々の情報を表示するためのブラウン管６が設け
られている。第２図は、第１図の装置のブラウン
管６によつて表示される内容を決めるための構成
部分が示されている。図中７は軸合せ用及びイメ
ージシフト用の偏向コイル等多数の偏向コイルか
らなる電子線偏向系であり、８は対物レンズ、中
間レンズ、投影レンズから成る電子レンズ系であ
る。９は電子線偏向系７に偏向信号を供給するた
めの電子線偏向用電源であり、１０は電子レンズ
系の電子レンズ用電源である。１１及び１２は電
子線偏向用電源９及び電子レンズ用電源１０から
電子線偏向系７及び電子レンズ系８に供給するア
ナログ信号をデジタル信号に変換するためのＡ／
Ｄ変換器であり、夫々のＡ／Ｄ変換器１１及び１
２よりの信号は制御回路１３に入力される。該制
御回路１３には、ブラウン管６に表示すべき情報
の種類を選択するための表示選択回路１４が接続
されており、該表示選択回路１４の選択スイツチ
を操作することにより、電子線偏向系用の図形表
示回路１５又は電子レンズ系用の図形表示回路１
６に表示情報が入力される。１７は輝度変調回路
であり、該図形表示回路１５又は１６よりの情報
は輝度変調回路１７を介してブラウン管６に入力
され表示される。１８は電子線偏向系７及び電子
レンズ系８を通過する電子線である。第３図は表
示選択回路１４の操作パネルを示しており、１４
ａは電子線偏向系の偏向コイルの動作状態を表示
するための選択スイツチであり、１４ｂは電子レ
ンズ系の動作状態を表示するための選択スイツチ
である。
この様に構成された装置において、表示選択回
路１４に設けられた選択スイツチ１４ａをオンの
状態として、電子線偏向用電源９の軸合せ用摘子
（図示せず）を操作するブラウン管６には、第４
図に示すように電子線偏向系７を構成する偏向コ
イルの名称（略記号）と共に動作状態が図形表示
される。ここで、７ａ，７ｂは例えば軸合せ用の
偏向コイルCAL１，CAL２で、７ｃはイメージ
シフト用の偏向コイルSCで、SPは試料である。
第４図に示された動作状態は、軸合せ用の偏向コ
イル７ａ及び７ｂが励磁されている状態を示し、
イメージシフト用の偏向コイル７ｃは動作が停止
している状態が表示され、更に偏向コイル７ａ，
７ｂの励磁状態によつて、該偏向コイル７ａ，７
ｂを通過する電子線１７が偏向された場合の電子
線１８の軌跡も同時に表示されている。この電子
線１８の偏向は、第１図の前面パネル３に設けら
れた電子線偏向用電源を調整する摘子（図示せ
ず）を操作することにより、点線で表示するよう
に偏向角が任意に可変され、第４図に示す実線イ
は電子線１８がブランキング状態であることを示
している。第５図は、選択スイツチ１４ａがオン
状態で電子線偏向用電源９の焦点合せ用摘子（図
示せず）を操作した場合の電子線偏向系７の状態
が図形表示されており、第５図は、焦点合せ用と
して照射系の偏向コイル７ａ及び７ｂに交番電流
を供給することにより、電子線１８が二方向に偏
向された場合を示すものである。
路１４に設けられた選択スイツチ１４ａをオンの
状態として、電子線偏向用電源９の軸合せ用摘子
（図示せず）を操作するブラウン管６には、第４
図に示すように電子線偏向系７を構成する偏向コ
イルの名称（略記号）と共に動作状態が図形表示
される。ここで、７ａ，７ｂは例えば軸合せ用の
偏向コイルCAL１，CAL２で、７ｃはイメージ
シフト用の偏向コイルSCで、SPは試料である。
第４図に示された動作状態は、軸合せ用の偏向コ
イル７ａ及び７ｂが励磁されている状態を示し、
イメージシフト用の偏向コイル７ｃは動作が停止
している状態が表示され、更に偏向コイル７ａ，
７ｂの励磁状態によつて、該偏向コイル７ａ，７
ｂを通過する電子線１７が偏向された場合の電子
線１８の軌跡も同時に表示されている。この電子
線１８の偏向は、第１図の前面パネル３に設けら
れた電子線偏向用電源を調整する摘子（図示せ
ず）を操作することにより、点線で表示するよう
に偏向角が任意に可変され、第４図に示す実線イ
は電子線１８がブランキング状態であることを示
している。第５図は、選択スイツチ１４ａがオン
状態で電子線偏向用電源９の焦点合せ用摘子（図
示せず）を操作した場合の電子線偏向系７の状態
が図形表示されており、第５図は、焦点合せ用と
して照射系の偏向コイル７ａ及び７ｂに交番電流
を供給することにより、電子線１８が二方向に偏
向された場合を示すものである。
以上のように本考案においては、電子顕微鏡に
設けられた表示手段へ該電子顕微鏡の電子線偏向
器を図形表示するための手段と、前記偏向器へ供
給される偏向信号値の情報に基づいて、前記図形
表示された偏向器に対する電子線の軌跡を、該偏
向信号値の変更に応答して偏向の向き及び量を変
えるように前記表示手段に図形表示するための手
段を備えるようにしたため、軸合わせ作業を行う
場合等において、概略どちらにどの程度電子線を
偏向すれば良いか直観的に把握することができ、
作業を極めて容易にすることができる。
設けられた表示手段へ該電子顕微鏡の電子線偏向
器を図形表示するための手段と、前記偏向器へ供
給される偏向信号値の情報に基づいて、前記図形
表示された偏向器に対する電子線の軌跡を、該偏
向信号値の変更に応答して偏向の向き及び量を変
えるように前記表示手段に図形表示するための手
段を備えるようにしたため、軸合わせ作業を行う
場合等において、概略どちらにどの程度電子線を
偏向すれば良いか直観的に把握することができ、
作業を極めて容易にすることができる。
又、像が満足に表示されない場合に、電子線の
偏向量が大きすぎ、そのため電子線が偏向器に当
たつてカツトしているためかそれ以外の原因によ
るためなのかを直観的に把握して必要な操作を容
易に行い得る。
偏向量が大きすぎ、そのため電子線が偏向器に当
たつてカツトしているためかそれ以外の原因によ
るためなのかを直観的に把握して必要な操作を容
易に行い得る。
第１図は本考案の一実施例装置を示す略図、第
２図は第１図の装置の要部を示す略図、第３図は
操作パネルを示す略図、第４図、第５図は本考案
装置によつて図形表示される電子線偏向系の動作
状態の略図である。 １……電子顕微鏡の鏡筒、６……ブラウン管、
７……電子線偏向系、８……電子レンズ系、９…
…電子線偏向系用電源、１０……電子レンズ系用
電源、１１，１２……Ａ／Ｄ変換器、１３……制
御回路、１４……表示選択回路、１５，１６……
図形表示回路、１７……輝度変調回路、１８……
電子線。
２図は第１図の装置の要部を示す略図、第３図は
操作パネルを示す略図、第４図、第５図は本考案
装置によつて図形表示される電子線偏向系の動作
状態の略図である。 １……電子顕微鏡の鏡筒、６……ブラウン管、
７……電子線偏向系、８……電子レンズ系、９…
…電子線偏向系用電源、１０……電子レンズ系用
電源、１１，１２……Ａ／Ｄ変換器、１３……制
御回路、１４……表示選択回路、１５，１６……
図形表示回路、１７……輝度変調回路、１８……
電子線。
Claims (1)
- 電子顕微鏡に設けられた表示手段へ該電子顕微
鏡の電子線偏向器を図形表示するための手段と、
前記偏向器へ供給される偏向信号値の情報に基づ
いて、前記図形表示された偏向器に対する電子線
の軌跡を、該偏向信号値の変更に応答して偏向の
向き及び量を変えるように前記表示手段に図形表
示するための手段を備えることを特徴とする電子
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1565384U JPS60129064U (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1565384U JPS60129064U (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60129064U JPS60129064U (ja) | 1985-08-29 |
| JPH0238366Y2 true JPH0238366Y2 (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=30501691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1565384U Granted JPS60129064U (ja) | 1984-02-07 | 1984-02-07 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60129064U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6535811B2 (ja) * | 2016-04-13 | 2019-06-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54163670A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-26 | Nippon Electron Optics Lab | Electron ray device |
-
1984
- 1984-02-07 JP JP1565384U patent/JPS60129064U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54163670A (en) * | 1978-06-15 | 1979-12-26 | Nippon Electron Optics Lab | Electron ray device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60129064U (ja) | 1985-08-29 |
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