JP2673900B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JP2673900B2 JP2673900B2 JP63307278A JP30727888A JP2673900B2 JP 2673900 B2 JP2673900 B2 JP 2673900B2 JP 63307278 A JP63307278 A JP 63307278A JP 30727888 A JP30727888 A JP 30727888A JP 2673900 B2 JP2673900 B2 JP 2673900B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving means
- moving
- magnification
- electron microscope
- visual field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 23
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子顕微鏡に係り、特に、試料の観察位置を
移動する手段として、試料の位置を機械的に移動する手
段と、試料を透過した電子線を偏向する手段との両方を
具備した電子顕微鏡において、両方の移動手段を共通の
操作手段によって選択的に制御することを可能にした電
子顕微鏡に関する。
移動する手段として、試料の位置を機械的に移動する手
段と、試料を透過した電子線を偏向する手段との両方を
具備した電子顕微鏡において、両方の移動手段を共通の
操作手段によって選択的に制御することを可能にした電
子顕微鏡に関する。
（従来の技術） 電子顕微鏡における試料観察位置の移動手段には、
（１）試料台（試料）を移動する機械的観察像移動手段
と（２）試料を透過した電子線を偏向する電気的観察像
移動手段とがあり、従来技術においては、これらの移動
手段を別々の操作手段で操作することによって試料の観
察位置を移動していた。
（１）試料台（試料）を移動する機械的観察像移動手段
と（２）試料を透過した電子線を偏向する電気的観察像
移動手段とがあり、従来技術においては、これらの移動
手段を別々の操作手段で操作することによって試料の観
察位置を移動していた。
（１）機械的試料移動手段とは、モータ、歯車等を組み
合わせた移動装置であり、モータのオン／オフ操作によ
って歯車を回転運動させ、その回転運動を直線運動に変
換することによって試料が載置される試料台をXY方向に
移動するものである。
合わせた移動装置であり、モータのオン／オフ操作によ
って歯車を回転運動させ、その回転運動を直線運動に変
換することによって試料が載置される試料台をXY方向に
移動するものである。
機械的試料移動装置では、試料の最大移動範囲を大き
くすることができ、通常は±1mm程度に設計されてい
る。また、最小移動ピッチは、モータ、歯車等の精度上
の制約から、100Å程度となっている。
くすることができ、通常は±1mm程度に設計されてい
る。また、最小移動ピッチは、モータ、歯車等の精度上
の制約から、100Å程度となっている。
（２）電気的試料移動装置とは、対物レンズの下方に設
けられたイメージシフト（偏向）コイルであり、試料を
透過した電子線を偏向し、これによって蛍光板に照射さ
れる電子線を移動して観察像を移動するものである。
けられたイメージシフト（偏向）コイルであり、試料を
透過した電子線を偏向し、これによって蛍光板に照射さ
れる電子線を移動して観察像を移動するものである。
電気的試料移動装置では、最大移動範囲を大きくする
と、電子光学的な収差が大きくなってしまうため、偏向
部分での電子線の最大移動範囲は±５μｍ程度に設計さ
れている。また、最小移動ピッチは、イメージシフトコ
イルに供給する電流の安定度を向上させることによって
１Å以下にすることも容易である。
と、電子光学的な収差が大きくなってしまうため、偏向
部分での電子線の最大移動範囲は±５μｍ程度に設計さ
れている。また、最小移動ピッチは、イメージシフトコ
イルに供給する電流の安定度を向上させることによって
１Å以下にすることも容易である。
このように、機械的試料移動装置と電気的試料移動装
置とでは、それぞれの特性が異なるため、比較的低倍率
での観察時には機械的観察像移動手段が用いられ、高倍
率での観察時、あるいは機械的観察像移動手段を用いて
移動した後の微調整時には電気的観察像移動手段が用い
られていた。
置とでは、それぞれの特性が異なるため、比較的低倍率
での観察時には機械的観察像移動手段が用いられ、高倍
率での観察時、あるいは機械的観察像移動手段を用いて
移動した後の微調整時には電気的観察像移動手段が用い
られていた。
（発明が解決しようとする課題） 上記した従来技術は、機械的観察像移動手段と電気的
観察像移動手段との操作手段が別々であったために、特
に、倍率が機械的観察像移動手段での移動に適した低倍
率と電気的観察移動手段での移動に適した高倍率との間
の中間的な倍率にある場合などでは、倍率を変更・調整
する場合に両者の操作手段を使い分けなければならず、
操作が複雑になるばかりか、正確な試料移動も困難であ
った。
観察像移動手段との操作手段が別々であったために、特
に、倍率が機械的観察像移動手段での移動に適した低倍
率と電気的観察移動手段での移動に適した高倍率との間
の中間的な倍率にある場合などでは、倍率を変更・調整
する場合に両者の操作手段を使い分けなければならず、
操作が複雑になるばかりか、正確な試料移動も困難であ
った。
また、対物レンズの磁場を電子線が通過すると、電子
線は磁場の強さに応じた角度だけ光軸の回りにも偏向さ
れてしまうために、蛍光板上での観察像が回転してしま
う。その結果、操作手段での操作に基づく機械的観察像
移動手段による観察像の移動方向と、電気的観察像移動
手段による観察像の移動方向とが一致しなくなって操作
性が悪いという問題があった。
線は磁場の強さに応じた角度だけ光軸の回りにも偏向さ
れてしまうために、蛍光板上での観察像が回転してしま
う。その結果、操作手段での操作に基づく機械的観察像
移動手段による観察像の移動方向と、電気的観察像移動
手段による観察像の移動方向とが一致しなくなって操作
性が悪いという問題があった。
（課題が解決するための手段） 上記した問題点を解決するために、本発明は、試料台
をXY方向に移動することによって試料の観察位置を移動
する機械的観察像移動手段と、対物レンズで拡大された
電子線をXY方向に偏向することによって試料の観察位置
を移動する電気的観察像移動手段とのいずれか一方を選
択的に制御する観察像移動制御手段を具備することによ
って、前記２つの移動手段を見かけ上同一のものとして
取り扱うようにした点に特徴がある。
をXY方向に移動することによって試料の観察位置を移動
する機械的観察像移動手段と、対物レンズで拡大された
電子線をXY方向に偏向することによって試料の観察位置
を移動する電気的観察像移動手段とのいずれか一方を選
択的に制御する観察像移動制御手段を具備することによ
って、前記２つの移動手段を見かけ上同一のものとして
取り扱うようにした点に特徴がある。
また、機械的および電気的観察像移動手段のXY座標系
同士を、予定の角度だけ回転方向にずらして設置した
り、あるいは、電気的観察像移動手段による電子線の偏
向方向を、予定の角度だけ回転方向にずらすように制御
したりするようにした点に特徴がある。
同士を、予定の角度だけ回転方向にずらして設置した
り、あるいは、電気的観察像移動手段による電子線の偏
向方向を、予定の角度だけ回転方向にずらすように制御
したりするようにした点に特徴がある。
（作用） 機械的および電気的観察像移動手段のいずれか一方を
選択的に制御する観察像移動制御手段を具備し、それぞ
れの移動手段を共通の操作手段で制御するようにしたの
で、拡大倍率に拘らず同一の操作手段によって観察像移
動を行えるようになり、その結果、前記２つの移動手段
を見かけ上同一の移動手段として扱えるようになるの
で、観察像移動時の操作性が向上し、正確な試料移動が
可能になる。
選択的に制御する観察像移動制御手段を具備し、それぞ
れの移動手段を共通の操作手段で制御するようにしたの
で、拡大倍率に拘らず同一の操作手段によって観察像移
動を行えるようになり、その結果、前記２つの移動手段
を見かけ上同一の移動手段として扱えるようになるの
で、観察像移動時の操作性が向上し、正確な試料移動が
可能になる。
また、機械的および電気的観察像移動手段のXY座標系
同士を、予定の角度だけ回転方向にずらして設置した
り、あるいは、電気的観察像移動手段による電子線の偏
向方向を、予定の角度だけ回転方向にずらしたりするこ
とによって、観察像移動制御手段によって制御される観
察像の蛍光板上での移動方向が、機械的および電気的観
察像移動手段の両者において一致するようにしたので、
観察像移動時の操作性が向上し、正確な試料移動が可能
になる。
同士を、予定の角度だけ回転方向にずらして設置した
り、あるいは、電気的観察像移動手段による電子線の偏
向方向を、予定の角度だけ回転方向にずらしたりするこ
とによって、観察像移動制御手段によって制御される観
察像の蛍光板上での移動方向が、機械的および電気的観
察像移動手段の両者において一致するようにしたので、
観察像移動時の操作性が向上し、正確な試料移動が可能
になる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図を用いて説明する。
同図において、ドーナツ状の試料ステージ２の内側に
は試料13がセットされており、該試料ステージ２は、機
械的観察像移動手段である直進モータ3X,3Yによって、
それぞれＸ方向およびＹ方向に移動させられる。
は試料13がセットされており、該試料ステージ２は、機
械的観察像移動手段である直進モータ3X,3Yによって、
それぞれＸ方向およびＹ方向に移動させられる。
前記直進モータ3X,3Yには、それぞれ電源６−1,6−２
が接続されており、該直進モータ3X,3Yの前進・後退・
距離、すなわち試料ステージ２の移動距離は、電源６−
1,6−２に接続されたD/Aコンバータ９−1,9−２の出力
電圧によって決定される。
が接続されており、該直進モータ3X,3Yの前進・後退・
距離、すなわち試料ステージ２の移動距離は、電源６−
1,6−２に接続されたD/Aコンバータ９−1,9−２の出力
電圧によって決定される。
試料13を透過した電子線は、対物レンズ４によって拡
大され、拡大像８を蛍光板（図示せず）上に結像する。
対物レンズ４と蛍光板との間には、電子線をXY方向に偏
向するためのイメージシフトコイル5X,5Yが設置されて
いる。
大され、拡大像８を蛍光板（図示せず）上に結像する。
対物レンズ４と蛍光板との間には、電子線をXY方向に偏
向するためのイメージシフトコイル5X,5Yが設置されて
いる。
イメージシフトコイル5X,5Yの励磁電圧、すなわち蛍
光板上での拡大像の移動距離は、電源７−1,7−２に接
続されたD/Aコンバータ９−３、９−４の出力電圧によ
って決定される。
光板上での拡大像の移動距離は、電源７−1,7−２に接
続されたD/Aコンバータ９−３、９−４の出力電圧によ
って決定される。
計算処理装置10には、前記D/Aコンバータ９−１〜９
−４、拡大倍率を指定する倍率変換器12、および観察位
置を調整する操作卓11が接続されている。なお、操作卓
11はロータリーエンコーダ等によって構成されたＸ方向
調整つまみ11XとＹ方向調整つまみ11Yとを具備してい
る。
−４、拡大倍率を指定する倍率変換器12、および観察位
置を調整する操作卓11が接続されている。なお、操作卓
11はロータリーエンコーダ等によって構成されたＸ方向
調整つまみ11XとＹ方向調整つまみ11Yとを具備してい
る。
このような構成を有する電子顕微鏡においては、初め
に拡大倍率を倍率変換器12によって指定する。
に拡大倍率を倍率変換器12によって指定する。
ここで、オペレータが操作卓11のＸ方向調整つまみ11
XとＹ方向調整つまみ11Yとを操作すると、計算処理装置
10は倍率変換器12から現在の指定倍率を読み込み、指定
倍率が、たとえば10万倍以下であれば、観察像移動手段
として機械的観察像移動手段を選択する。
XとＹ方向調整つまみ11Yとを操作すると、計算処理装置
10は倍率変換器12から現在の指定倍率を読み込み、指定
倍率が、たとえば10万倍以下であれば、観察像移動手段
として機械的観察像移動手段を選択する。
そして、D/Aコンバータ９−1,9−２に、倍率および移
動距離に応じた移動信号を出力して直進モータ3X,3Yを
前進・後退させ、試料をXY方向へ移動する。
動距離に応じた移動信号を出力して直進モータ3X,3Yを
前進・後退させ、試料をXY方向へ移動する。
一方、指定倍率が10万倍以上であれば、観察像移動手
段として電気的観察像移動手段を選択し、D/Aコンバー
タ９−３、９−４に、前記と同様の移動信号を出力する
ことによってイメージシフトコイル5X,5Yを励磁して観
察像の蛍光板上での位置を移動する。
段として電気的観察像移動手段を選択し、D/Aコンバー
タ９−３、９−４に、前記と同様の移動信号を出力する
ことによってイメージシフトコイル5X,5Yを励磁して観
察像の蛍光板上での位置を移動する。
なお、計算処理装置10は常に倍率変換器12から現在の
指定倍率を読み込んでいるので、その指定倍率が変更さ
れた場合でも、直ちに該指定倍率に対応した移動手段を
自動的に選択することができる。
指定倍率を読み込んでいるので、その指定倍率が変更さ
れた場合でも、直ちに該指定倍率に対応した移動手段を
自動的に選択することができる。
なお、本実施例においては、機械的観察像移動手段と
電気的観察像移動手段との選択が、計算処理装置10によ
って倍率に応じて自動的に行われるものとして説明した
が、両者を任意に切り替えるためのスイッチ手段を別に
設け、オペレータが適宜切り替えるようにしても良い。
電気的観察像移動手段との選択が、計算処理装置10によ
って倍率に応じて自動的に行われるものとして説明した
が、両者を任意に切り替えるためのスイッチ手段を別に
設け、オペレータが適宜切り替えるようにしても良い。
上記したように、本実施例によれば、機械的観察像移
動手段と電気的観察像移動手段とを同一の操作つまみに
よって操作することができるので、観察像移動の操作性
が向上する。
動手段と電気的観察像移動手段とを同一の操作つまみに
よって操作することができるので、観察像移動の操作性
が向上する。
また、本実施例では、特に観察像移動手段の選択が倍
率に応じて自動的に行われるようにしたので、オペレー
タは倍率を意識することなく最適の観察像移動手段を選
択することができるようになるので、さらに操作性が向
上する。
率に応じて自動的に行われるようにしたので、オペレー
タは倍率を意識することなく最適の観察像移動手段を選
択することができるようになるので、さらに操作性が向
上する。
ところで、イメージシフトコイルで電子線を偏向させ
ることによって視野を移動させると、対物レンズの磁場
によって電子線が、その光軸の回りにも偏向されてしま
うため、蛍光板上に表れる観察像が、前記磁場の大きさ
に応じた角度θだけ回転してしまう。
ることによって視野を移動させると、対物レンズの磁場
によって電子線が、その光軸の回りにも偏向されてしま
うため、蛍光板上に表れる観察像が、前記磁場の大きさ
に応じた角度θだけ回転してしまう。
この結果、機械的観察像移動手段と電気的観察像移動
手段とのXY座標系が前記角度θだけ回転方向にずれてし
まうために、両者を同一の操作つまみによって操作して
も観察像の移動方向に差が生じてしまい、操作性が悪化
してしまうという問題がある。
手段とのXY座標系が前記角度θだけ回転方向にずれてし
まうために、両者を同一の操作つまみによって操作して
も観察像の移動方向に差が生じてしまい、操作性が悪化
してしまうという問題がある。
一般的に、対物レンズの磁場Ｂ（Ｚ）を電子線が通過
すると、θ＝Ｋ∫Ｂ（Ｚ）dt（ｋは定数）だけ観察像は
回転する。なお、該磁場Ｂ（Ｚ）の大きさはフォーカス
合せ時に多少変化するものの、ほぼ一定の値と考えるこ
とができる。
すると、θ＝Ｋ∫Ｂ（Ｚ）dt（ｋは定数）だけ観察像は
回転する。なお、該磁場Ｂ（Ｚ）の大きさはフォーカス
合せ時に多少変化するものの、ほぼ一定の値と考えるこ
とができる。
したがって、機械的観察像移動手段であるモータ3X,3
Yと電気的観察像移動手段であるイメージシフトコイル5
X,5Yとの相対位置を、あらかじめ角度θだけずらして設
置することによって両者のXY座標系が一致するようにす
れば、上記した問題を解決することができる。
Yと電気的観察像移動手段であるイメージシフトコイル5
X,5Yとの相対位置を、あらかじめ角度θだけずらして設
置することによって両者のXY座標系が一致するようにす
れば、上記した問題を解決することができる。
また、移動手段の相対位置をずらさなくても、イメー
ジシフトコイルに流す電流IX,IYを、既知の関数計算に
基づいて以下のように調整することによっても観察像を
一致させることができるようになる。
ジシフトコイルに流す電流IX,IYを、既知の関数計算に
基づいて以下のように調整することによっても観察像を
一致させることができるようになる。
IX＝Ix×cosθ−IY×sinθ IY＝Ix×sinθ＋IY×cosθ ただし、Ix、IYは前記回転が無い場合にイメージシフ
トコイルに流す電流を示している。
トコイルに流す電流を示している。
このように、イメージシフトコイルに流す電流を制御
することによっても両移動手段の座標系を一致させて、
観察像移動時の操作性を向上させることができる。
することによっても両移動手段の座標系を一致させて、
観察像移動時の操作性を向上させることができる。
なお、上記した実施例においては、それぞれの観察像
移動手段を構成する一組の直進モータあるいはイメージ
シフトコイルが、互いに直交するように設置されている
もとして説明したが、所望する観察位置を蛍光板上に写
し出すことができるのであれば、任意の角度で交差させ
るようにしても良い。
移動手段を構成する一組の直進モータあるいはイメージ
シフトコイルが、互いに直交するように設置されている
もとして説明したが、所望する観察位置を蛍光板上に写
し出すことができるのであれば、任意の角度で交差させ
るようにしても良い。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、次
のような効果が達成される。
のような効果が達成される。
（１）機械的および電気的観察像移動手段のいずれか一
方を共通の制御手段で選択的に制御するようにしたの
で、拡大倍率に拘らず同一の操作つまみによって観察像
移動を行えるようになり、観察像移動時の操作性が向上
し、正確な観察像移動が可能になる。
方を共通の制御手段で選択的に制御するようにしたの
で、拡大倍率に拘らず同一の操作つまみによって観察像
移動を行えるようになり、観察像移動時の操作性が向上
し、正確な観察像移動が可能になる。
（２）観察像移動手段の選択が倍率に応じて自動的に行
われるようにすれば、オペレータは倍率を意識すること
なく最適の観察像移動手段を選択することができるよう
になるので、さらに操作性が向上する。
われるようにすれば、オペレータは倍率を意識すること
なく最適の観察像移動手段を選択することができるよう
になるので、さらに操作性が向上する。
（３）機械的および電気的観察像移動手段を、両者のXY
座標系同士が予定の角度だけ回転方向にずれるように設
置する、あるいは、電気的観察像移動手段による電子線
の偏向方向を、予定の角度だけ回転方向にずらすように
調整することによって、共通の操作つまみによる蛍光板
上での観察像の移動方向が一致するようにしたので、観
察像移動時の操作性が向上し、正確な観察像移動が可能
になる。
座標系同士が予定の角度だけ回転方向にずれるように設
置する、あるいは、電気的観察像移動手段による電子線
の偏向方向を、予定の角度だけ回転方向にずらすように
調整することによって、共通の操作つまみによる蛍光板
上での観察像の移動方向が一致するようにしたので、観
察像移動時の操作性が向上し、正確な観察像移動が可能
になる。
第１図は本発明の一実施例である電子顕微鏡の構成図で
ある。 １……電子線、２……試料ステージ、3X,3Y……直進モ
ータ、４……対物レンズ、5X,5Y……イメージシフトコ
イル、６−1,6−２、７−1,7−２……電源、９−１〜９
−４……D/Aコンバータ、10……計算処理装置、11……
操作卓、12……倍率変換器、13……試料
ある。 １……電子線、２……試料ステージ、3X,3Y……直進モ
ータ、４……対物レンズ、5X,5Y……イメージシフトコ
イル、６−1,6−２、７−1,7−２……電源、９−１〜９
−４……D/Aコンバータ、10……計算処理装置、11……
操作卓、12……倍率変換器、13……試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−90042（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−114171（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−201354（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−16256（ＪＰ，Ａ)
Claims (6)
- 【請求項１】試料を載置する試料台と、 拡大倍率を設定する手段と、 試料を透過した電子線を拡大する対物レンズと、 観察位置の移動方向および距離に関する操作者の指示を
入力する手段と、 試料台を移動する第１の移動手段と、 電子線を偏向する第２の移動手段と、 拡大倍率に応じて、前記第１および第２の移動手段のい
ずれか一方を選択する手段と、 選択された第１の移動手段を、指示された方向へ試料台
が移動されるように制御する第１の移動制御手段と、 選択された第２の移動手段を、指示された方向から予定
の角度だけ異なる方向へ電子線が偏向されるように制御
する第２の移動制御手段とを具備し、 前記予定の角度は、対物レンズ磁場による電子線回転が
キャンセルされ、観察位置の選択時に同一の移動方向が
指示された場合、第１および第２の移動手段によって移
動される観察位置の移動方向が拡大倍率にかかわらず一
致するように定められたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項２】前記選択手段は、拡大倍率が予定の倍率よ
り小さい場合は第１の視野移動手段を選択し、該倍率が
予定の倍率より大きい場合は第２の視野移動手段を選択
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子
顕微鏡。 - 【請求項３】前記第１の視野移動手段は、互いの移動方
向が交差するように設置された一組の直進モータであ
り、前記第２の視野移動手段は、それぞれが励磁される
ことによる電子線の偏向方向が互いに交差するように設
置された一組の偏向コイルであることを特徴とする特許
請求の範囲第１項または第２項のいずれかに記載の電子
顕微鏡。 - 【請求項４】前記直進モータによる視野移動または偏向
コイルによる視野移動を選択する手動切り替えスイッチ
を、さらに具備したことを特徴とする特許請求の範囲第
３項記載の電子顕微鏡。 - 【請求項５】前記第２の視野移動手段は、そのXY座標系
が前記第１の視野移動手段のXY座標系に対して前記予定
の角度だけ回転方向へずれるように設置されたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか
に記載の電子顕微鏡。 - 【請求項６】前記第２の視野移動手段は、そのXY座標系
が前記第１の視野移動手段のXY座標系と一致するように
設置され、その電子線の偏向方向は、指示された方向に
対して前記予定の角度だけ回転方向にずれるように制御
されることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第
４項のいずれかに記載の電子顕微鏡。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63307278A JP2673900B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 電子顕微鏡 |
| US07/446,283 US5008536A (en) | 1988-12-05 | 1989-12-05 | Electron microscope having electrical and mechanical position controls for specimen and positioning method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63307278A JP2673900B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02152151A JPH02152151A (ja) | 1990-06-12 |
| JP2673900B2 true JP2673900B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=17967203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63307278A Expired - Fee Related JP2673900B2 (ja) | 1988-12-05 | 1988-12-05 | 電子顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5008536A (ja) |
| JP (1) | JP2673900B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5412180A (en) * | 1993-12-02 | 1995-05-02 | The Regents Of The University Of California | Ultra high vacuum heating and rotating specimen stage |
| JPH07335165A (ja) * | 1994-06-10 | 1995-12-22 | Hitachi Ltd | 格子欠陥観察用電子顕微鏡 |
| US6396059B1 (en) * | 2000-07-10 | 2002-05-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Using a crystallographic etched silicon sample to measure and control the electron beam width of a SEM |
| JP2012018812A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Keyence Corp | 拡大観察装置及び拡大観察方法、拡大観察用プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4833903B1 (ja) * | 1969-04-08 | 1973-10-17 | ||
| DE2149108C3 (de) * | 1971-09-28 | 1975-05-15 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Einrichtung zur VergröBerungseinstellung eines Elektronenmikroskops |
| DE2538521C2 (de) * | 1975-08-28 | 1977-09-08 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Korpuskularstrahl-Transmissionsmikroskop mit einem hinter dem Präparat liegenden Ablenksystem |
| JPS5858779B2 (ja) * | 1978-12-28 | 1983-12-27 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡等用視野移動装置 |
| JPS5916256A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-27 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における視野設定装置 |
| JPS6123255U (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-12 | 日本電子株式会社 | 電子線装置 |
| JPS61253756A (ja) * | 1985-05-07 | 1986-11-11 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
-
1988
- 1988-12-05 JP JP63307278A patent/JP2673900B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-12-05 US US07/446,283 patent/US5008536A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02152151A (ja) | 1990-06-12 |
| US5008536A (en) | 1991-04-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5192867A (en) | Electron optical measurement apparatus | |
| JP2673900B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US4788425A (en) | Optical axis adjusting apparatus for electron microscope | |
| EP0456219B1 (en) | Electron optical measurement apparatus | |
| JPH02174046A (ja) | 電子顕微鏡およびこれに用いる試料微動装置の制御方法 | |
| US4775790A (en) | Transmission electron microscope | |
| JPH08129985A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JPH057817B2 (ja) | ||
| JPS5858779B2 (ja) | 電子顕微鏡等用視野移動装置 | |
| JPH04366539A (ja) | 電子顕微鏡の対物絞り駆動装置 | |
| JP3117783B2 (ja) | 電子顕微鏡等における偏向器の駆動装置 | |
| JPH0234421B2 (ja) | ||
| JP2561739B2 (ja) | 電子顕微鏡のレンズ装置 | |
| JPH05144399A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH09259807A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2000077018A (ja) | 走査電子顕微鏡の焦点合わせ装置 | |
| JPS6314810B2 (ja) | ||
| JPH0343742B2 (ja) | ||
| JPH0227492Y2 (ja) | ||
| JPS6324618Y2 (ja) | ||
| JPS59123149A (ja) | 電子線装置における試料移動装置 | |
| JPH08180826A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JPH03233846A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH08180825A (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JPH0232741B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |