JPS6123255U - 電子線装置 - Google Patents

電子線装置

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JPS6123255U
JPS6123255U JP10785384U JP10785384U JPS6123255U JP S6123255 U JPS6123255 U JP S6123255U JP 10785384 U JP10785384 U JP 10785384U JP 10785384 U JP10785384 U JP 10785384U JP S6123255 U JPS6123255 U JP S6123255U
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JP
Japan
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moving
visual field
field
electromagnetic
electron beam
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JP10785384U
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健二 小原
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日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は第１図に
示したー実施例装置の各出力信号を例示するための図で
ある。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：電子線、４：偏向コ
イル、５：対物レンズ、６：試料、７：試料ステージ、
８Ｘ，８Ｙ：モータ、９：モータ駆動回路、１０：偏向
コイル電源、１１：制御部、１２：操作卓、１３：中間
レンズ、１４：投影レンズ、１５：螢光板。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電磁偏向により視野を移動させるための電磁的視野移動
    手段と、試料ステージの移動により視野を移動させるた
    めの機械的視野移動手段とを備え、電子線の照射により
    試料像を得る装置において、視野の移動を指示するため
    の手段と、該指示手段により視野の移動が指示された際
    に前記電磁的視野移動手段を動作させるための手段と、
    該視野移ｉの指示から一定時間経過後引き続き視野の移
    動が指示されている場合に、該電磁的視野移動手段によ
    る視野移動に代えて前記機械的視野移動手段により視野
    を移動させるための手段とを具備することを特徴とする
    電字線装置。
JP10785384U 1984-07-17 1984-07-17 電子線装置 Granted JPS6123255U (ja)

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JP10785384U JPS6123255U (ja) 1984-07-17 1984-07-17 電子線装置

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JP10785384U JPS6123255U (ja) 1984-07-17 1984-07-17 電子線装置

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Publication Number Publication Date
JPS6123255U true JPS6123255U (ja) 1986-02-12
JPH0243092Y2 JPH0243092Y2 (ja) 1990-11-16

Family

ID=30667078

Family Applications (1)

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JP10785384U Granted JPS6123255U (ja) 1984-07-17 1984-07-17 電子線装置

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JP (1) JPS6123255U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02152151A (ja) * 1988-12-05 1990-06-12 Hitachi Ltd 電子顕微鏡

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02152151A (ja) * 1988-12-05 1990-06-12 Hitachi Ltd 電子顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0243092Y2 (ja) 1990-11-16

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