JPS59123149A - 電子線装置における試料移動装置 - Google Patents
電子線装置における試料移動装置Info
- Publication number
- JPS59123149A JPS59123149A JP23419082A JP23419082A JPS59123149A JP S59123149 A JPS59123149 A JP S59123149A JP 23419082 A JP23419082 A JP 23419082A JP 23419082 A JP23419082 A JP 23419082A JP S59123149 A JPS59123149 A JP S59123149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- movement
- coordinate system
- switch
- motors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は大型試別を比較的狭い試料室内で移動させるに
好適な電子線装置における試料移動装置に関する。
好適な電子線装置における試料移動装置に関する。
走査電子顕微鏡や電子線露光装置等の電子線装置におい
ては、大型の試別を収納でき且つ任意の試別位置を電子
線光軸位置まで移動する必要から、試別室は出来るだけ
大きくすることが好ましい。
ては、大型の試別を収納でき且つ任意の試別位置を電子
線光軸位置まで移動する必要から、試別室は出来るだけ
大きくすることが好ましい。
しかし乍ら、試わ１室を大きくすると大型の排気装置が
必要どなる等の問題が生じる。
必要どなる等の問題が生じる。
第１図は試別移動に必要な範囲を説明するための略図で
あり、紙面に垂直な電子線光軸Ｚ方向から直径しの円形
試料１を眺めた図である。通常の試料移動装置は、光軸
７と交叉でる点を原点どする×Ｙ直交座標におけるＸ方
向に直線移動する機構とＹ方向に直線移動する機構を組
み合わせて構成されている。そのため試Ｉｔ ｌ内の全
ての位置を光軸７の位置へ移動可能にするためには、試
別室の内径を２１−以上にすることが必要になる。
あり、紙面に垂直な電子線光軸Ｚ方向から直径しの円形
試料１を眺めた図である。通常の試料移動装置は、光軸
７と交叉でる点を原点どする×Ｙ直交座標におけるＸ方
向に直線移動する機構とＹ方向に直線移動する機構を組
み合わせて構成されている。そのため試Ｉｔ ｌ内の全
ての位置を光軸７の位置へ移動可能にするためには、試
別室の内径を２１−以上にすることが必要になる。
このｊ：うな欠点を除くべく、最近ではθ方向の試別回
転を行う回転機構と、該試別回転機構による回転中心を
Ｒ方向に移動させる直線移動機構を絹み合わせたく極座
標型）試別移動装置が提案されている。このような装置
によれば第２図から明らかなように試別移動に要する範
囲の面積が１゜５１２以下となり、第１図の場合に必要
とされる面積π１−２に比較して大幅に狭くすることが
可能となる。所で、このような極座標型試料移動装置の
移動操作パネルには直線移動機構のみを操作するＲ動つ
まみと回転機構のみを操作するＯ動つまみが設置ノられ
るが、このつまみを操作して所望の試料位置を光軸７と
一致させることは、通常のＸ。
転を行う回転機構と、該試別回転機構による回転中心を
Ｒ方向に移動させる直線移動機構を絹み合わせたく極座
標型）試別移動装置が提案されている。このような装置
によれば第２図から明らかなように試別移動に要する範
囲の面積が１゜５１２以下となり、第１図の場合に必要
とされる面積π１−２に比較して大幅に狭くすることが
可能となる。所で、このような極座標型試料移動装置の
移動操作パネルには直線移動機構のみを操作するＲ動つ
まみと回転機構のみを操作するＯ動つまみが設置ノられ
るが、このつまみを操作して所望の試料位置を光軸７と
一致させることは、通常のＸ。
Ｙ動つまみを操作する場合よりも一般に勤しいものとな
る。
る。
本発明はこのような問題を解決して操作性の高い極座標
型試料移動装置を提供することを目的とするもので、そ
の装置は試別を回転させる回転機構と、該回転機構によ
る回転野中心を一定直線に沿って移動させる直線移動機
構と、該直線移動機構及び前記回転機構の夫々を駆動す
るモータと、ＸＹ直交座標系におけるＸ方向への移動を
指定するＸ切スイツチとＹ方向の移動を指定するＹ切ス
イツチを設【ノだ試１’３＋移動操作手段と、該試お１
移動操作手段からの信号に基づいて前記モータへの制御
信号を発生ずる制御手段とを備えたことを特徴とするも
のである。
型試料移動装置を提供することを目的とするもので、そ
の装置は試別を回転させる回転機構と、該回転機構によ
る回転野中心を一定直線に沿って移動させる直線移動機
構と、該直線移動機構及び前記回転機構の夫々を駆動す
るモータと、ＸＹ直交座標系におけるＸ方向への移動を
指定するＸ切スイツチとＹ方向の移動を指定するＹ切ス
イツチを設【ノだ試１’３＋移動操作手段と、該試お１
移動操作手段からの信号に基づいて前記モータへの制御
信号を発生ずる制御手段とを備えたことを特徴とするも
のである。
第３図は本発明の一実施例装置の要部を示す略図である
。第３図中、２は走査電子顕微鏡の試別室を表わしてお
り、その上方には光軸を７とする電子光学系（図示せず
）が載置されている。試別室２内には試別１を載置する
回転機構３と該回転機構３による回転中心を直線Ｒ方向
に移動させる直線移動機構４が収納されており、これら
の機構３、／Ｉは試別室側壁に取り付けられたステッピ
ング・モータ５，６によって駆動される。ステッピング
・モータ５，６はモータ駆動回路７からの制御信号にに
って制御されるが、モータ駆動回路へは試１’ｉｌ移動
操作手段８からの出力が中央制御回路９において変換処
理されたかたちで入力される。
。第３図中、２は走査電子顕微鏡の試別室を表わしてお
り、その上方には光軸を７とする電子光学系（図示せず
）が載置されている。試別室２内には試別１を載置する
回転機構３と該回転機構３による回転中心を直線Ｒ方向
に移動させる直線移動機構４が収納されており、これら
の機構３、／Ｉは試別室側壁に取り付けられたステッピ
ング・モータ５，６によって駆動される。ステッピング
・モータ５，６はモータ駆動回路７からの制御信号にに
って制御されるが、モータ駆動回路へは試１’ｉｌ移動
操作手段８からの出力が中央制御回路９において変換処
理されたかたちで入力される。
操作信号入力手段８にはＸＹ座標系における移動方向を
指定する（＋Ｘ）スイッチ１０．（−Ｘ）スイッチ１１
．（＋Ｙ）スイッチ１２．ｌＹ）スイッチ１３の他に極
座標系におりるＲ座標を変える（±ｒ）スイッチ１４．
θ座標を変える（±θ）スイッチ１５及び極座標系とＸ
Ｙ座標系の切換えを行う切換スイッチ１６が設（プられ
ている。
指定する（＋Ｘ）スイッチ１０．（−Ｘ）スイッチ１１
．（＋Ｙ）スイッチ１２．ｌＹ）スイッチ１３の他に極
座標系におりるＲ座標を変える（±ｒ）スイッチ１４．
θ座標を変える（±θ）スイッチ１５及び極座標系とＸ
Ｙ座標系の切換えを行う切換スイッチ１６が設（プられ
ている。
３−
第３図の装置を用いてＸ、Ｙ方向の試料移動を行うには
初めに原点調整を行うことが必要となる。
初めに原点調整を行うことが必要となる。
この原点調整は、走査電子顕微鏡の陰極線管画面に試別
像を表示しながら、試料移動操作手段８にお（〕るスイ
ッチ１６を゛”ＯＦＦ”に覆ると同時にθ切スイツチ１
５の十方向（反時計方向）又は一方向（時計方向）承部
を押し続りて試１！１１を回転させる。この状態で陰極
線管画面内における試別像の回転中心が陰極線管画面の
中心と一致するように、Ｒ切スイツチ１４を操作する。
像を表示しながら、試料移動操作手段８にお（〕るスイ
ッチ１６を゛”ＯＦＦ”に覆ると同時にθ切スイツチ１
５の十方向（反時計方向）又は一方向（時計方向）承部
を押し続りて試１！１１を回転させる。この状態で陰極
線管画面内における試別像の回転中心が陰極線管画面の
中心と一致するように、Ｒ切スイツチ１４を操作する。
この調整が行なわれると回転機構３による回転の中心と
光軸Ｚとが一致することになり、中央制御回路９はこの
状態を極座標系におけるＲ座標の原点として記憶する。
光軸Ｚとが一致することになり、中央制御回路９はこの
状態を極座標系におけるＲ座標の原点として記憶する。
次にＲ切スイツチとθ切スイツチを操作して所望とする
試Ｐｌ像の縦横方向が陰極線管画面の縦横方向と一致す
るように方向調整する。この方向調整により極座標系に
おける角度θの原点が記憶される。
試Ｐｌ像の縦横方向が陰極線管画面の縦横方向と一致す
るように方向調整する。この方向調整により極座標系に
おける角度θの原点が記憶される。
このようにして原点調整と方向調整を済まゼた４−
後、スイッチ１６を’ ＯＮ ″に切り変えるとＸＹ座
標系による試料移動操作が可能どなる。ＸＹ座標系によ
る移動を指定するスイッチ１０〜１３ば夫々スイッチが
押され続りている時間、±Ｘ、±Ｙ方向へ試料を一定の
速度上Ｖｘ、±Ｖｙで移動させる。これらの速度と極座
標系における座標／ｄｔどの関係は次のように表わされ
る。
標系による試料移動操作が可能どなる。ＸＹ座標系によ
る移動を指定するスイッチ１０〜１３ば夫々スイッチが
押され続りている時間、±Ｘ、±Ｙ方向へ試料を一定の
速度上Ｖｘ、±Ｖｙで移動させる。これらの速度と極座
標系における座標／ｄｔどの関係は次のように表わされ
る。
今、（十Ｘ）スイッチ１０を押し続【プる４Ｖｙ −な
がらステッピング・モータ５，６を駆動する制御信号が
中央制御回路９からモータ駆動回路７へ印加される。ス
テッピング・モータ５，６の駆動速度は夫々（１）、（
２）におけるθ、ｒに対応する。
がらステッピング・モータ５，６を駆動する制御信号が
中央制御回路９からモータ駆動回路７へ印加される。ス
テッピング・モータ５，６の駆動速度は夫々（１）、（
２）におけるθ、ｒに対応する。
第４図はＸＹ座標系と極座標系の関係を示すもので、×
Ｙ座標系の原点を極座標系のＲ軸原点と一致させ角度θ
の原点をＸＹ座標系のＸ軸方向と一致させている。現在
観察中の試料位置が図中Ａに示す点にあるとすると、（
＋Ｘ）スイッチ１０を押１Ｆすることにより試料はベク
トルχで示す方向へ移動するが、このときベクトルＹを
極座標にお【プるベクトルに分解した速度ベクトルＶｒ
、Ｖθに対応する駆動速度で回転機構３と、直線移動機
構４が駆動される。このときのＶｒ ＝ｒの極性は正で
め−θの極性は負となる。同様に、試料観察位置がＸＹ
座標系のどの位ｆ？ （Ｂ、Ｃ，Ｄ）にあるかによって
ｒとθの極性は図に示すように変化する。
Ｙ座標系の原点を極座標系のＲ軸原点と一致させ角度θ
の原点をＸＹ座標系のＸ軸方向と一致させている。現在
観察中の試料位置が図中Ａに示す点にあるとすると、（
＋Ｘ）スイッチ１０を押１Ｆすることにより試料はベク
トルχで示す方向へ移動するが、このときベクトルＹを
極座標にお【プるベクトルに分解した速度ベクトルＶｒ
、Ｖθに対応する駆動速度で回転機構３と、直線移動機
構４が駆動される。このときのＶｒ ＝ｒの極性は正で
め−θの極性は負となる。同様に、試料観察位置がＸＹ
座標系のどの位ｆ？ （Ｂ、Ｃ，Ｄ）にあるかによって
ｒとθの極性は図に示すように変化する。
第５図は（−Ｙ）スイッチ１３を押圧したときの試料移
動の様子を第４図と対応させて表わしたもので、ＶＸ＝
Ｏの条件を満たしつつ一定の駆動速度−ＶＶが得られる
ように５．θが中央制御回路９で演算される際の極性と
大きさが図中に示されている。
動の様子を第４図と対応させて表わしたもので、ＶＸ＝
Ｏの条件を満たしつつ一定の駆動速度−ＶＶが得られる
ように５．θが中央制御回路９で演算される際の極性と
大きさが図中に示されている。
以上のように本発明によれば極座標型試料移動機構を採
用しながらその移動操作を従来のＸＹ直交座標系による
移動操作と同様に行うことが可能となる効果が１９られ
る。
用しながらその移動操作を従来のＸＹ直交座標系による
移動操作と同様に行うことが可能となる効果が１９られ
る。
第１図は従来の試料移動操作による試料移動の様子を示
す略図、第２図は極座標型試料移動装置に（１３りる試
わ１移動の様子を示す略図、第３図は本発明の一実施例
装置を示す略図、第４図及び第５図は第３図の装置の動
作を説明するための略図である。 １：試料、２：試料室、３：回転ｍ１．４：直線移動機
構、５．６：ステッピング・モータ、７：モータ駆動回
路、８：試料移動操作手段、９：中央制御回路 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第１図
す略図、第２図は極座標型試料移動装置に（１３りる試
わ１移動の様子を示す略図、第３図は本発明の一実施例
装置を示す略図、第４図及び第５図は第３図の装置の動
作を説明するための略図である。 １：試料、２：試料室、３：回転ｍ１．４：直線移動機
構、５．６：ステッピング・モータ、７：モータ駆動回
路、８：試料移動操作手段、９：中央制御回路 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 第１図
Claims (1)
- 試料を回転させる回転機構と、該回転機構ににる回転の
中心を一定直線に沿って移動させる直線移動機構と、該
直線移動機構及び前記回転機構の夫々を駆動するモータ
と、ＸＹ直交座標系にお（プるＸ方向への移動を指定す
るＸ動スイッチとＹ方向への移動を指定づるＹ動スイッ
チを設けた試別移動操作手段と、該試わ１移動操作手段
からの信号に基づいて前記モータへの制御信号を発生す
る制御手段とを備えたことを特徴とする電子線装置にお
りる試料移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23419082A JPS59123149A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 電子線装置における試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23419082A JPS59123149A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 電子線装置における試料移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59123149A true JPS59123149A (ja) | 1984-07-16 |
Family
ID=16967085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23419082A Pending JPS59123149A (ja) | 1982-12-28 | 1982-12-28 | 電子線装置における試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59123149A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355936A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-10 | Omron Tateisi Electronics Co | 電子ビ−ム描画装置 |
| JPS6355935A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-10 | Omron Tateisi Electronics Co | 電子ビ−ム描画装置 |
| JP2008064957A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | 電子ビーム描画装置及び電子ビームのずれ補償方法 |
-
1982
- 1982-12-28 JP JP23419082A patent/JPS59123149A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355936A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-10 | Omron Tateisi Electronics Co | 電子ビ−ム描画装置 |
| JPS6355935A (ja) * | 1986-08-27 | 1988-03-10 | Omron Tateisi Electronics Co | 電子ビ−ム描画装置 |
| JP2008064957A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Fujifilm Corp | 電子ビーム描画装置及び電子ビームのずれ補償方法 |
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