JPH0227492Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227492Y2 JPH0227492Y2 JP1981055508U JP5550881U JPH0227492Y2 JP H0227492 Y2 JPH0227492 Y2 JP H0227492Y2 JP 1981055508 U JP1981055508 U JP 1981055508U JP 5550881 U JP5550881 U JP 5550881U JP H0227492 Y2 JPH0227492 Y2 JP H0227492Y2
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- JP
- Japan
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- electron
- excitation
- lens
- lenses
- focusing lens
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- Expired
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 21
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子線装置に使用される軸合わせ装置
に関する。
に関する。
複数の電子レンズを有する電子線装置、例えば
電子顕微鏡においては電子銃から発生する電子線
の中心軸と各電子レンズの中心軸とを一致させる
所謂軸合わせ操作が必要となる。この軸合わせは
電子線経路中に設けられた偏向手段を調整するこ
とによつて行われるが、各電子レンズの励磁状態
を変化させる毎に偏向手段を調整して軸を合わせ
る操作を数回くり返さなければならないので極め
て煩わしい操作であつた。
電子顕微鏡においては電子銃から発生する電子線
の中心軸と各電子レンズの中心軸とを一致させる
所謂軸合わせ操作が必要となる。この軸合わせは
電子線経路中に設けられた偏向手段を調整するこ
とによつて行われるが、各電子レンズの励磁状態
を変化させる毎に偏向手段を調整して軸を合わせ
る操作を数回くり返さなければならないので極め
て煩わしい操作であつた。
本考案は、このような複数個の電子レンズを備
えた従来装置における煩わしい軸合わせ操作を容
易にすることを目的とするもので、複数個の電子
レンズと軸合わせ用の偏向手段を備えた装置にお
いて、前記複数個の電子レンズの内、特定の電子
レンズの励磁を強くする状態と弱くする状態の２
種の状態に周期的に切り換えると共に、他の電子
レンズの励磁を電子銃のクロスオーバポイントの
像が特定位置に結像されるように、該特定の電子
レンズの励磁の周期的切換えに連動して他の電子
レンズの励磁を周期的に切り換える手段を設ける
ことに特徴がある。
えた従来装置における煩わしい軸合わせ操作を容
易にすることを目的とするもので、複数個の電子
レンズと軸合わせ用の偏向手段を備えた装置にお
いて、前記複数個の電子レンズの内、特定の電子
レンズの励磁を強くする状態と弱くする状態の２
種の状態に周期的に切り換えると共に、他の電子
レンズの励磁を電子銃のクロスオーバポイントの
像が特定位置に結像されるように、該特定の電子
レンズの励磁の周期的切換えに連動して他の電子
レンズの励磁を周期的に切り換える手段を設ける
ことに特徴がある。
図面は電子顕微鏡の試料照射用レンズ系に本考
案を適用した実施例装置の要部を示す略図であ
る。図中、電子銃１において形成されるクロスオ
ーバーポイントから放出される電子線２は第１集
束レンズ３と第２集束レンズ４により順次集束さ
れ試料５上に前記クロスオーバーポイントの像を
結像するように各集束レンズ３，４のレンズ電源
６，７が調整される。この場合、試料５上のクロ
スオーバー像を大きく（又は小さく）するには第
１集束レンズ３の励磁を弱く（又は強く）するこ
とが必要で、第２集束レンズ４の励磁は第１集束
レンズ３によつて形成されるクロスオーバー像を
再び試料５上に結像するように調整される。即
ち、第１集束レンズ３の励磁が決まると第２集束
レンズの励磁も一義的に定まり、通常は数通りの
励磁の組合わせが、試料観察目的に応じて切り換
えられる。例えば、第１集束レンズの励磁を強く
した場合、クロスオーバポイントを結像するため
には、第２集束レンズの励磁は弱くされ、逆に、
第１集束レンズの励磁を弱くする場合、第２集束
レンズの励磁は強くされる。一方、図に示す装置
において、電子銃１から発生する電子線の中心軸
と各集束レンズ３，４の中心軸とが一致していな
いと、試料５が置かれるべき位置に結像するクロ
スオーバー像を結像レンズ系の最下端に設けられ
た蛍光板（図示せず）に適当な大きさに撮影した
とき、集束レンズの励磁変化によつて蛍光板上の
クロスオーバー像が移動したり、明るさが変化し
てしまう。そのため電子銃から放射される電子線
の軸合わせを行う偏向コイル８，９とその偏向電
源１０及び集束レンズ３，４の中心軸を変化させ
るための偏向コイル１１，１２とその電源１３等
を設けてその偏向作用を調整する所謂軸合わせの
操作が必要となる。本考案装置においては前記２
つのレンズ電源６，７に対して予じめ設定された
２種類の制御信号を周期的に切り換えて供給する
手段が設けられている。即ち基準電源回路１４か
ら分割抵抗を介して取り出される４種類の信号は
夫々切換えスイツチ１５，１６を経てレンズ電源
６，７に供給され、互いに連動した切換スイツチ
１５，１６の駆動回路１７にはトリガー回路１８
によつて動作するウオブラー回路１９からの矩形
波パルス信号出力が供給される。前述した軸合わ
せ操作を行うには、トリガー回路１８を作動させ
て、レンズ電源６，７に異なつた縮小率のクロス
オーバー像を周期的に試料位置に結像させ蛍光板
で観察できるようにする。すなわち、第１集束レ
ンズ３の励磁が強い状態と弱い状態とに切り換え
られ、それに応じて第２集束レンズ４の励磁は逆
に弱い状態と強い状態とに切り換えられる。軸合
わせが正しいか否かは蛍光板上のクロスオーバー
像が移動するか否かで判別できるので、軸合わせ
操作における偏向手段の調整にのみにオペレータ
ーの注意力を集中させることが可能となり、精確
で迅速な軸合わせを行うことができる。
案を適用した実施例装置の要部を示す略図であ
る。図中、電子銃１において形成されるクロスオ
ーバーポイントから放出される電子線２は第１集
束レンズ３と第２集束レンズ４により順次集束さ
れ試料５上に前記クロスオーバーポイントの像を
結像するように各集束レンズ３，４のレンズ電源
６，７が調整される。この場合、試料５上のクロ
スオーバー像を大きく（又は小さく）するには第
１集束レンズ３の励磁を弱く（又は強く）するこ
とが必要で、第２集束レンズ４の励磁は第１集束
レンズ３によつて形成されるクロスオーバー像を
再び試料５上に結像するように調整される。即
ち、第１集束レンズ３の励磁が決まると第２集束
レンズの励磁も一義的に定まり、通常は数通りの
励磁の組合わせが、試料観察目的に応じて切り換
えられる。例えば、第１集束レンズの励磁を強く
した場合、クロスオーバポイントを結像するため
には、第２集束レンズの励磁は弱くされ、逆に、
第１集束レンズの励磁を弱くする場合、第２集束
レンズの励磁は強くされる。一方、図に示す装置
において、電子銃１から発生する電子線の中心軸
と各集束レンズ３，４の中心軸とが一致していな
いと、試料５が置かれるべき位置に結像するクロ
スオーバー像を結像レンズ系の最下端に設けられ
た蛍光板（図示せず）に適当な大きさに撮影した
とき、集束レンズの励磁変化によつて蛍光板上の
クロスオーバー像が移動したり、明るさが変化し
てしまう。そのため電子銃から放射される電子線
の軸合わせを行う偏向コイル８，９とその偏向電
源１０及び集束レンズ３，４の中心軸を変化させ
るための偏向コイル１１，１２とその電源１３等
を設けてその偏向作用を調整する所謂軸合わせの
操作が必要となる。本考案装置においては前記２
つのレンズ電源６，７に対して予じめ設定された
２種類の制御信号を周期的に切り換えて供給する
手段が設けられている。即ち基準電源回路１４か
ら分割抵抗を介して取り出される４種類の信号は
夫々切換えスイツチ１５，１６を経てレンズ電源
６，７に供給され、互いに連動した切換スイツチ
１５，１６の駆動回路１７にはトリガー回路１８
によつて動作するウオブラー回路１９からの矩形
波パルス信号出力が供給される。前述した軸合わ
せ操作を行うには、トリガー回路１８を作動させ
て、レンズ電源６，７に異なつた縮小率のクロス
オーバー像を周期的に試料位置に結像させ蛍光板
で観察できるようにする。すなわち、第１集束レ
ンズ３の励磁が強い状態と弱い状態とに切り換え
られ、それに応じて第２集束レンズ４の励磁は逆
に弱い状態と強い状態とに切り換えられる。軸合
わせが正しいか否かは蛍光板上のクロスオーバー
像が移動するか否かで判別できるので、軸合わせ
操作における偏向手段の調整にのみにオペレータ
ーの注意力を集中させることが可能となり、精確
で迅速な軸合わせを行うことができる。
以上に述べた如く、本考案装置においては軸合
わせが正しく行われているか否かの判別に要する
電子レンズの励磁切換えが自動的且つ迅速に行わ
れるため電子顕微鏡等の電子線装置に適用して大
きな効果が得られる。
わせが正しく行われているか否かの判別に要する
電子レンズの励磁切換えが自動的且つ迅速に行わ
れるため電子顕微鏡等の電子線装置に適用して大
きな効果が得られる。
図面は本考案の一実施例装置を示す略図であ
る。 １：電子銃、２：電子線、３：第１集束レン
ズ、４：第２集束レンズ、５：試料、６：レンズ
電源、７：レンズ電源、８：偏向コイル、９：偏
向コイル、１０：偏向電源、１１：偏向コイル、
１２：偏向コイル、１３：偏向電源、１４：基準
電源回路、１５：切換スイツチ、１６：切換スイ
ツチ、１７：駆動回路、１８：トリガー回路、１
９：ウオブラー回路。
る。 １：電子銃、２：電子線、３：第１集束レン
ズ、４：第２集束レンズ、５：試料、６：レンズ
電源、７：レンズ電源、８：偏向コイル、９：偏
向コイル、１０：偏向電源、１１：偏向コイル、
１２：偏向コイル、１３：偏向電源、１４：基準
電源回路、１５：切換スイツチ、１６：切換スイ
ツチ、１７：駆動回路、１８：トリガー回路、１
９：ウオブラー回路。
Claims (1)
- 複数個の電子レンズと軸合わせ用の偏向手段を
備えた装置において、前記複数個の電子レンズの
内、特定の電子レンズの励磁を強くする状態と弱
くする状態の２種の状態に周期的に切り換えると
共に、他の電子レンズの励磁を電子銃のクロスオ
ーバポイントの像が特定位置に結像されるよう
に、該特定の電子レンズの励磁の周期的切換えに
連動して他の電子レンズの励磁を周期的に切り換
える手段を設けたことを特徴とする電子線装置用
軸合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981055508U JPH0227492Y2 (ja) | 1981-04-17 | 1981-04-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981055508U JPH0227492Y2 (ja) | 1981-04-17 | 1981-04-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57168165U JPS57168165U (ja) | 1982-10-22 |
| JPH0227492Y2 true JPH0227492Y2 (ja) | 1990-07-25 |
Family
ID=29852061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981055508U Expired JPH0227492Y2 (ja) | 1981-04-17 | 1981-04-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227492Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5531515B2 (ja) * | 2009-09-02 | 2014-06-25 | 株式会社島津製作所 | 荷電粒子ビーム照射装置及び該装置の軸合わせ調整方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52150959A (en) * | 1976-06-10 | 1977-12-15 | Jeol Ltd | Electronic microscope or its similar device |
-
1981
- 1981-04-17 JP JP1981055508U patent/JPH0227492Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52150959A (en) * | 1976-06-10 | 1977-12-15 | Jeol Ltd | Electronic microscope or its similar device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57168165U (ja) | 1982-10-22 |
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