JPH0234421B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0234421B2 JPH0234421B2 JP57139324A JP13932482A JPH0234421B2 JP H0234421 B2 JPH0234421 B2 JP H0234421B2 JP 57139324 A JP57139324 A JP 57139324A JP 13932482 A JP13932482 A JP 13932482A JP H0234421 B2 JPH0234421 B2 JP H0234421B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field
- fluorescent screen
- view
- signal
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010291 electrical method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡における顕微鏡像の視野移
動を容易に行うことを目的とするものである。
動を容易に行うことを目的とするものである。
電子顕微鏡における顕微鏡像の視野移動は普
通、光軸と垂直な面内で試料を機械的に移動させ
ることによつて行われる。この視野移動の操作は
蛍光板上に表示される像を観察しながら行うが、
試料の位置を同一方向へ同一距離移動させても像
倍率が異なると蛍光板上の像の移動方向と移動量
は同一にはならないため、所望の視野を得るまで
には試行錯誤を何度も繰り返さなければならない
欠点があつた。
通、光軸と垂直な面内で試料を機械的に移動させ
ることによつて行われる。この視野移動の操作は
蛍光板上に表示される像を観察しながら行うが、
試料の位置を同一方向へ同一距離移動させても像
倍率が異なると蛍光板上の像の移動方向と移動量
は同一にはならないため、所望の視野を得るまで
には試行錯誤を何度も繰り返さなければならない
欠点があつた。
走査電子顕微鏡等のように、像表示手段として
陰極線管を使用する装置においては、例えば陰極
線管画面上で任意に移動可能なカーソル等を表示
して、カーソルで指示した部分が像の中心に自動
的に移動するように装置を構成することもでき
る。
陰極線管を使用する装置においては、例えば陰極
線管画面上で任意に移動可能なカーソル等を表示
して、カーソルで指示した部分が像の中心に自動
的に移動するように装置を構成することもでき
る。
しかしながら、像表示用に蛍光板を備える透過
型電子顕微鏡においては、電気的な移動制御が容
易なカーソル等のマークを蛍光板上に重畳表示す
ることは極めて困難であり、走査電子顕微鏡と同
様な方法で課題を解決することはできない。
型電子顕微鏡においては、電気的な移動制御が容
易なカーソル等のマークを蛍光板上に重畳表示す
ることは極めて困難であり、走査電子顕微鏡と同
様な方法で課題を解決することはできない。
本発明は、走査電子顕微鏡等と異なり、像表示
装置として陰極線管を使用しない透過型電子顕微
鏡において、視野の任意な向きへの任意量の移動
を簡単且つ短時間に行うことのできる電子顕微鏡
用視野移動装置を提供することを目的とするもの
で、試料への電子線照射に基づいて透過電子顕微
鏡線を形成する電子光学系と、前記顕微鏡像が表
示される蛍光板と、該蛍光板に表示される視野を
移動させるための視野移動機構と、該視野移動機
構を電気信号によつて操作する駆動部を備えた電
子顕微鏡用視野移動装置において、前記蛍光板又
は該蛍光板の近傍に蛍光板中心を中心として等角
度隔てて複数の基準マークが固定して付されてお
り、該基準マークはそれらが互いに識別可能なよ
うに形成又は色を異にしており、該基準マークの
各々と前記蛍光板中心を結ぶ線分を仮想的に考え
た際に、該線分上における距離の目盛りとなる目
盛りマークが蛍光板上の各線分上に固定して付さ
れており、前記基準マークの夫々に対応した複数
の移動指示ボタンを有する移動信号回路が備えら
れ、該移動信号回路からの出力信号、前記電子光
学系から出力される顕微鏡像の倍率に関する信号
及び前記電子光学系から出力される顕微鏡像の移
動方向と試料の移動方向との回転関係を表す信号
に基づいて前記駆動部へ駆動信号を供給し、前記
操作された前記移動指示ボタンに対応する基準マ
ークから前記中心に向かう向きに該操作回数に対
応する目盛り分だけ前記視野を移動させるための
中央制御回路を備えたことを特徴としている。
装置として陰極線管を使用しない透過型電子顕微
鏡において、視野の任意な向きへの任意量の移動
を簡単且つ短時間に行うことのできる電子顕微鏡
用視野移動装置を提供することを目的とするもの
で、試料への電子線照射に基づいて透過電子顕微
鏡線を形成する電子光学系と、前記顕微鏡像が表
示される蛍光板と、該蛍光板に表示される視野を
移動させるための視野移動機構と、該視野移動機
構を電気信号によつて操作する駆動部を備えた電
子顕微鏡用視野移動装置において、前記蛍光板又
は該蛍光板の近傍に蛍光板中心を中心として等角
度隔てて複数の基準マークが固定して付されてお
り、該基準マークはそれらが互いに識別可能なよ
うに形成又は色を異にしており、該基準マークの
各々と前記蛍光板中心を結ぶ線分を仮想的に考え
た際に、該線分上における距離の目盛りとなる目
盛りマークが蛍光板上の各線分上に固定して付さ
れており、前記基準マークの夫々に対応した複数
の移動指示ボタンを有する移動信号回路が備えら
れ、該移動信号回路からの出力信号、前記電子光
学系から出力される顕微鏡像の倍率に関する信号
及び前記電子光学系から出力される顕微鏡像の移
動方向と試料の移動方向との回転関係を表す信号
に基づいて前記駆動部へ駆動信号を供給し、前記
操作された前記移動指示ボタンに対応する基準マ
ークから前記中心に向かう向きに該操作回数に対
応する目盛り分だけ前記視野を移動させるための
中央制御回路を備えたことを特徴としている。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図であ
る。図中、１は試料を現わしており、電子光学系
の光軸Ｚに沿つて試料を照射する電子線の一部が
試料１を透過して対物レンズ２、中間レンズ３、
投影レンズ４等からなる電子光学系の結像レンズ
部によつて蛍光板５上に顕微鏡像を結像する。該
顕微鏡像の倍率は結像レンズのレンズ制御回路６
を調整することによつて可変される。蛍光板上に
表示される像の視野を移動するためには、通常試
料１を保持する試料移動機構７の水平移動杆を操
作して行うが、図の装置においては中央制御回路
９から駆動信号が供給されるパルスモータ８Ｘ，
８Ｙによつて自動的に操作される。又、視野移動
の別の方法として結像レンズ系内に設けられた偏
向コイル１０Ｘ，１０Ｙとその偏向電源１１Ｘ，
１１Ｙによつて電気的に行う方法もある。（詳細
は例えば特公昭48−33903号公報参照） 第２図は第１図の装置における蛍光板５を光軸
Ｚ方向から眺めた図であり、光軸Ｚを中心とする
円板状蛍光板５の周囲にはリング状の部材１２が
配置されており、その表面には光軸Ｚに関して対
称な位置にＡ、Ｂ、Ｃ、…、Ｈの文字が刻設され
ており、これらの文字と蛍光板５の中心を結ぶ線
上には等間隔で“＋”印のマークが蛍光板上に刻
設されれている。上記文字Ａ、Ｂ、…、Ｈに対応
する操作ボタンが第１図の装置の操作パネル１３
に設けられており、操作ボタンＡ，Ｂ，…，Ｈの
いずれかを選択して所望の回数押圧することによ
り、中央制御回路９に視野移動のための信号が供
給される。
る。図中、１は試料を現わしており、電子光学系
の光軸Ｚに沿つて試料を照射する電子線の一部が
試料１を透過して対物レンズ２、中間レンズ３、
投影レンズ４等からなる電子光学系の結像レンズ
部によつて蛍光板５上に顕微鏡像を結像する。該
顕微鏡像の倍率は結像レンズのレンズ制御回路６
を調整することによつて可変される。蛍光板上に
表示される像の視野を移動するためには、通常試
料１を保持する試料移動機構７の水平移動杆を操
作して行うが、図の装置においては中央制御回路
９から駆動信号が供給されるパルスモータ８Ｘ，
８Ｙによつて自動的に操作される。又、視野移動
の別の方法として結像レンズ系内に設けられた偏
向コイル１０Ｘ，１０Ｙとその偏向電源１１Ｘ，
１１Ｙによつて電気的に行う方法もある。（詳細
は例えば特公昭48−33903号公報参照） 第２図は第１図の装置における蛍光板５を光軸
Ｚ方向から眺めた図であり、光軸Ｚを中心とする
円板状蛍光板５の周囲にはリング状の部材１２が
配置されており、その表面には光軸Ｚに関して対
称な位置にＡ、Ｂ、Ｃ、…、Ｈの文字が刻設され
ており、これらの文字と蛍光板５の中心を結ぶ線
上には等間隔で“＋”印のマークが蛍光板上に刻
設されれている。上記文字Ａ、Ｂ、…、Ｈに対応
する操作ボタンが第１図の装置の操作パネル１３
に設けられており、操作ボタンＡ，Ｂ，…，Ｈの
いずれかを選択して所望の回数押圧することによ
り、中央制御回路９に視野移動のための信号が供
給される。
上記構成の装置によつて視野移動を行う手順は
以下のようになる。
以下のようになる。
初めにレンズ制御回路６を操作して視野捜しを
行うのに適した像倍率が得られるように調整す
る。次に蛍光板５上に表示される顕微鏡像を観察
して観察目的とする視野例えば第２図中１４で示
す部分を捜し、この部分を蛍光板の中央に移動さ
せるように操作パネル１３の操作ボタンＡを２回
押圧する。この操作によつて、部材１２のマーク
Ａから蛍光板の中心Ｏに向かう第２図の矢印１５
に示す方向へ像を移動させる信号が中央制御回路
９に供給される。又、その指定する移動量は蛍光
板上に刻設された“＋”マーク間隔の２目盛分と
なる。一方、中央制御回路９にはレンズ制御回路
６から、像倍率に関する倍率信号Ｍとパルスモー
タによる試料移動方向と顕微鏡像の移動方向との
ズレ、即ち像回転信号Ｒが供給されており、前述
した操作パネルのボタン操作によつて供給される
移動信号Ｓと共にパルスモータ８Ｘ，８Ｙへ供給
する駆動信号が予め定められた関係式に基づいて
演算される。該演算においては移動信号Ｓの大き
さを表わす部分には倍率信号Ｍに対応した係数が
付加され、移動信号Ｓの方向を表わす部分には前
記回転信号Ｒに対応した信号が加えられる。以上
のような手順によつてパルスモータ８Ｘ，８Ｙに
駆動信号が供給されると試料１は光軸Ｚに垂直な
平面内を適切な方向へ適切な量だけ移動し、蛍光
板５上には視野１４が中央に表示される。ここで
像倍率を増加させれば目的とする視野の詳細が観
察可能となる。
行うのに適した像倍率が得られるように調整す
る。次に蛍光板５上に表示される顕微鏡像を観察
して観察目的とする視野例えば第２図中１４で示
す部分を捜し、この部分を蛍光板の中央に移動さ
せるように操作パネル１３の操作ボタンＡを２回
押圧する。この操作によつて、部材１２のマーク
Ａから蛍光板の中心Ｏに向かう第２図の矢印１５
に示す方向へ像を移動させる信号が中央制御回路
９に供給される。又、その指定する移動量は蛍光
板上に刻設された“＋”マーク間隔の２目盛分と
なる。一方、中央制御回路９にはレンズ制御回路
６から、像倍率に関する倍率信号Ｍとパルスモー
タによる試料移動方向と顕微鏡像の移動方向との
ズレ、即ち像回転信号Ｒが供給されており、前述
した操作パネルのボタン操作によつて供給される
移動信号Ｓと共にパルスモータ８Ｘ，８Ｙへ供給
する駆動信号が予め定められた関係式に基づいて
演算される。該演算においては移動信号Ｓの大き
さを表わす部分には倍率信号Ｍに対応した係数が
付加され、移動信号Ｓの方向を表わす部分には前
記回転信号Ｒに対応した信号が加えられる。以上
のような手順によつてパルスモータ８Ｘ，８Ｙに
駆動信号が供給されると試料１は光軸Ｚに垂直な
平面内を適切な方向へ適切な量だけ移動し、蛍光
板５上には視野１４が中央に表示される。ここで
像倍率を増加させれば目的とする視野の詳細が観
察可能となる。
所で、観察倍率が高くなるに従つて機械的な試
料の移動による視野移動の精度が悪くなる傾向が
あり、このような欠点を避けるためには第１図の
装置におけるパルスモータ８Ｘ，８Ｙへ信号を供
給する代わりに偏向電源１１Ｘ，１１Ｙへ信号を
供給し電気的な視野移動を行うように構成するこ
とも容易である。
料の移動による視野移動の精度が悪くなる傾向が
あり、このような欠点を避けるためには第１図の
装置におけるパルスモータ８Ｘ，８Ｙへ信号を供
給する代わりに偏向電源１１Ｘ，１１Ｙへ信号を
供給し電気的な視野移動を行うように構成するこ
とも容易である。
又、上述した実施例においては、基準マークの
夫々を互いに識別するため、それらを文字とした
が、少なくとも形状や色等を異ならせることによ
り互いに識別可能にすれば、必ずしも文字で識別
しなくとも良い。
夫々を互いに識別するため、それらを文字とした
が、少なくとも形状や色等を異ならせることによ
り互いに識別可能にすれば、必ずしも文字で識別
しなくとも良い。
以上のように本発明によれば電子顕微鏡におけ
る視野移動の操作が迅速、確実に行われるので電
子顕微鏡の操作性向上に大きな効果が得られる。
る視野移動の操作が迅速、確実に行われるので電
子顕微鏡の操作性向上に大きな効果が得られる。
第１図は透過電子顕微鏡に本発明を適用した装
置を示す略図、第２図はその部分拡大図である。 １：試料、２：対物レンズ、３：中間レンズ、
４：投影レンズ、５：蛍光板、６：レンズ制御回
路、７：試料移動機構、８Ｘ，８Ｙ：パルスモー
タ、９：中央制御回路、１０Ｘ，１０Ｙ：偏向コ
イル、１１Ｘ，１１Ｙ：偏向電源、１２：リング
状部材、１３：操作パネル、１４：視野、１６：
走査電子顕微鏡の陰極線管。
置を示す略図、第２図はその部分拡大図である。 １：試料、２：対物レンズ、３：中間レンズ、
４：投影レンズ、５：蛍光板、６：レンズ制御回
路、７：試料移動機構、８Ｘ，８Ｙ：パルスモー
タ、９：中央制御回路、１０Ｘ，１０Ｙ：偏向コ
イル、１１Ｘ，１１Ｙ：偏向電源、１２：リング
状部材、１３：操作パネル、１４：視野、１６：
走査電子顕微鏡の陰極線管。
Claims (1)
- １ 試料への電子線照射に基づいて透過電子顕微
鏡像を形成する電子光学系と、前記顕微鏡像が表
示される蛍光板と、該蛍光板に表示される視野を
移動させるための視野移動機構と、該視野移動機
構を電気信号によつて操作する駆動部を備えた電
子顕微鏡用視野移動装置において、前記蛍光板又
は該蛍光板の近傍に蛍光板中心を中心として等角
度隔てて複数の基準マークが固定して付されてお
り、該基準マークはそれらが互いに識別可能なよ
うに形状又は色を異にしており、該基準マークの
各々と前記蛍光板中心を結ぶ線分を仮想的に考え
た際に、該線分上における距離の目盛りとなる目
盛りマークが蛍光板上の各線分上に固定して付さ
れており、前記基準マークの夫々に対応した複数
の移動指示ボタンを有する移動信号回路が備えら
れ、該移動信号回路からの出力信号、前記電子光
学系から出力される顕微鏡像の倍率に関する信号
及び前記電子光学系から出力される顕微鏡像の移
動方向と試料の移動方向との回転関係を表す信号
に基づいて前記駆動部へ駆動信号を供給し、前記
操作された前記移動指示ボタンに対応する基準マ
ークから前記中心に向かう向きに該操作回数に対
応する目盛り分だけ前記視野を移動させるための
中央制御回路を備えた電子顕微鏡用視野移動装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13932482A JPS5929333A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 電子顕微鏡用視野移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13932482A JPS5929333A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 電子顕微鏡用視野移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5929333A JPS5929333A (ja) | 1984-02-16 |
| JPH0234421B2 true JPH0234421B2 (ja) | 1990-08-03 |
Family
ID=15242654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13932482A Granted JPS5929333A (ja) | 1982-08-11 | 1982-08-11 | 電子顕微鏡用視野移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5929333A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3014274B2 (ja) * | 1994-06-29 | 2000-02-28 | 株式会社日立製作所 | ２軸傾斜試料微動装置及び像の逃げ補正方法 |
| JP2002216695A (ja) * | 2001-01-15 | 2002-08-02 | Topcon Denshi Beam Service:Kk | 分析透過型電子顕微鏡 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478075A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Sample image display device |
-
1982
- 1982-08-11 JP JP13932482A patent/JPS5929333A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5478075A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Sample image display device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5929333A (ja) | 1984-02-16 |
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