JPS59201352A - 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 - Google Patents
電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置Info
- Publication number
- JPS59201352A JPS59201352A JP7542283A JP7542283A JPS59201352A JP S59201352 A JPS59201352 A JP S59201352A JP 7542283 A JP7542283 A JP 7542283A JP 7542283 A JP7542283 A JP 7542283A JP S59201352 A JPS59201352 A JP S59201352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field
- circuit
- visual field
- screen
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子顕微鏡における観、察視野の記録及び表
示手段に関する。
示手段に関する。
走査電子顕微鏡や透過電子顕微鏡においては、１つの観
察試料の多数個所について各種の倍率で観察することが
多く、オペレータが視野移動を繰返すうちに既に観察（
写真撮影）した視野であるか否かの記憶が不離になって
しまい、必要な撮影や観察に抜けが生じたり重複撤彰が
行なわれるようなことがある。
察試料の多数個所について各種の倍率で観察することが
多く、オペレータが視野移動を繰返すうちに既に観察（
写真撮影）した視野であるか否かの記憶が不離になって
しまい、必要な撮影や観察に抜けが生じたり重複撤彰が
行なわれるようなことがある。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので・、必
要な写真撮影やｉ察の抜は或いは重複撮影を防＋Ｌする
ことを目的とし、電子顕微鏡像の倍率を可変する倍率指
定手段と、電子類ｍ鏡像の視野を移動させる視野移動手
段と、表示中の電子顕微鏡像の視野を表示する視野表示
手段と、試料面内の電子顕微鏡像観察可能な領域を微小
な単位エリアに分割したときの各単位エリアに対応する
記録領域を有するメモリと、前記倍率指定手段と前記視
野移動手段から得られる視野データに基づいて既に観察
された視野に対応する前記単位エリアを前記メモリに記
憶させると共に、該記憶された単位エリアに対応する視
野を前記視野表示手段の画面内に表示させるための制御
子［９を備えたことを特徴とするものである。
要な写真撮影やｉ察の抜は或いは重複撮影を防＋Ｌする
ことを目的とし、電子顕微鏡像の倍率を可変する倍率指
定手段と、電子類ｍ鏡像の視野を移動させる視野移動手
段と、表示中の電子顕微鏡像の視野を表示する視野表示
手段と、試料面内の電子顕微鏡像観察可能な領域を微小
な単位エリアに分割したときの各単位エリアに対応する
記録領域を有するメモリと、前記倍率指定手段と前記視
野移動手段から得られる視野データに基づいて既に観察
された視野に対応する前記単位エリアを前記メモリに記
憶させると共に、該記憶された単位エリアに対応する視
野を前記視野表示手段の画面内に表示させるための制御
子［９を備えたことを特徴とするものである。
第１図は、本発明を走査電子顕微鏡に適用した場合の実
施例装置を示す略図セある。図中、電子銃１から放射さ
れる電子線２は第１．第２の集束レンズ３．４によって
粗り集束された状態で試別５を照射する。電子線２を偏
向するＸ、Ｙ偏向コイル８，９には倍率回路６を介して
走査回路７からの走査信号が供給されており、試料面内
の任意領域が二次元的に走査される。電子線照射によっ
て試ＩＩ ５から放射される二次電子等は検出器１０に
よって電気信号として検出され、加算回路１１を経て陰
極線管１，２のｌｌ′ｌＦ皮変調信可変調信号いられる
。陰極線管１２の偏向コイルには前記走査電源７からの
走査信号が供給されており、陰？！ｉ線管１２の画面に
走査電子顕微鏡像が表示される。このようにして表示さ
れる像の倍率は倍率回路６における信号増幅率を可変す
ることによってなされ、表示像の視野移動は試１１５を
載置する試別ステージ１３のＸ、Ｙ方向移動機構を駆動
するモータ１４．１５の駆動回路１６を制御することに
よって行なわれる。制御回路１７に接続されたメモリ１
８には、第２図に示すように試料ステージの移動によっ
て像観察の可能な範囲Ｗを仮想的に微小な単位エリアＳ
に分割した総数例えば１０００Ｘ１０００に応じた記憶
領域が確保されている。制御回路１７は操作回路１９か
ら記憶指令を受けると、現在陰極線管１２の両面に表示
中の視野データ１叩ち倍率回路６及び駆動回路１６から
の電気信号に基づいて、例えば第２図中Ａに示す領域に
含まれる単位エリアに相当する前記メモリ内の記憶領域
へ観察済の信号を記憶させる。このようにして順次視野
を変えて同様の操作を繰返し、第２図中１３．０．Ｄに
相当する領域の視野観察とメモリへの記録を行なう。次
にＥに相当する視野を観察しようとすると、この視野Ｆ
の一部には既に観察済の視野Ａが重複することになる。
施例装置を示す略図セある。図中、電子銃１から放射さ
れる電子線２は第１．第２の集束レンズ３．４によって
粗り集束された状態で試別５を照射する。電子線２を偏
向するＸ、Ｙ偏向コイル８，９には倍率回路６を介して
走査回路７からの走査信号が供給されており、試料面内
の任意領域が二次元的に走査される。電子線照射によっ
て試ＩＩ ５から放射される二次電子等は検出器１０に
よって電気信号として検出され、加算回路１１を経て陰
極線管１，２のｌｌ′ｌＦ皮変調信可変調信号いられる
。陰極線管１２の偏向コイルには前記走査電源７からの
走査信号が供給されており、陰？！ｉ線管１２の画面に
走査電子顕微鏡像が表示される。このようにして表示さ
れる像の倍率は倍率回路６における信号増幅率を可変す
ることによってなされ、表示像の視野移動は試１１５を
載置する試別ステージ１３のＸ、Ｙ方向移動機構を駆動
するモータ１４．１５の駆動回路１６を制御することに
よって行なわれる。制御回路１７に接続されたメモリ１
８には、第２図に示すように試料ステージの移動によっ
て像観察の可能な範囲Ｗを仮想的に微小な単位エリアＳ
に分割した総数例えば１０００Ｘ１０００に応じた記憶
領域が確保されている。制御回路１７は操作回路１９か
ら記憶指令を受けると、現在陰極線管１２の両面に表示
中の視野データ１叩ち倍率回路６及び駆動回路１６から
の電気信号に基づいて、例えば第２図中Ａに示す領域に
含まれる単位エリアに相当する前記メモリ内の記憶領域
へ観察済の信号を記憶させる。このようにして順次視野
を変えて同様の操作を繰返し、第２図中１３．０．Ｄに
相当する領域の視野観察とメモリへの記録を行なう。次
にＥに相当する視野を観察しようとすると、この視野Ｆ
の一部には既に観察済の視野Ａが重複することになる。
第１図の装置においては、制御回路１７は常に表示中の
像視野に観察済゛単位エリアが含まれるか否かを読出し
ており、もし観察済１リアが含まれているような場合に
は、陰極線管１２０両面内、に第３５図に示すように、
その単位−［リアに相当する領域内の１ｖｉＩ良を上げ
る（又は下げる）信号を加算回路１１を介して陰Ｎ１Ｉ
ｉｌ管１２に印加する。従って、オペレータはこの表示
に基づいて観察済の視野と重ならないように視野移動や
倍率可変操作を行なうなどの措置をとることが可能とな
る。又、重複撤影や重複観察を承知のうえで観察を行な
一部）場合には、このような観察済視野表示は観察やｍ
ｌ影の妨げとなるので操作回路１９から表示解除指令に
よって表示を停止させる。
像視野に観察済゛単位エリアが含まれるか否かを読出し
ており、もし観察済１リアが含まれているような場合に
は、陰極線管１２０両面内、に第３５図に示すように、
その単位−［リアに相当する領域内の１ｖｉＩ良を上げ
る（又は下げる）信号を加算回路１１を介して陰Ｎ１Ｉ
ｉｌ管１２に印加する。従って、オペレータはこの表示
に基づいて観察済の視野と重ならないように視野移動や
倍率可変操作を行なうなどの措置をとることが可能とな
る。又、重複撤影や重複観察を承知のうえで観察を行な
一部）場合には、このような観察済視野表示は観察やｍ
ｌ影の妨げとなるので操作回路１９から表示解除指令に
よって表示を停止させる。
第４図は第１図の装置の液形を示す装置の要部のみを示
すもので、第１図と同一符号を付したものは同一構成要
素を表している。第１図の装置においては走査電子顕微
鏡像表示用の陰Ｉ４ｉ線管が視野表示用の陰極線管を兼
ねていたのに対して、第４図の装置は視野表示用の陰極
線管２１を像表示用の陰＋！ｉ線管とは別個に設けた点
に大ぎな違いがある。又、第４図の装置は第１図のｆｉ
計と比較して、試料ステージ１３の移動操作が操作回路
１９からの指令に基づいて制御回路１７によって行なわ
れる点、視野移動が試料ステージだけではなく、偏向］
イル８，９へ供給される走査信号のレベル可変を行なう
バイアス回路２０によっても行なわれる点においても違
いがある。このように、視野移動手段が２種類に増えた
ため、視野を表わすデータをこの２種類の信号に基づい
て得なければならない点を除いては、視野表示の原理は
第１図Ｇ装置の場合と全く同じである。即ち、陰極線管
２１の表示画面全域が電子顕微鏡像表示用の陰極線管１
２が表示する電子顕微鏡像の視野と等しくなる。しかし
乍ら、このような視野表示方法を採用する代わりに、陰
極線管２１の画面の全領域を観察可能な全視野範囲とし
、第５図に示す如く現在観察中の視野［と観察済の視野
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを豆いに異なった輝度で表示するように
しても本発明の目的を達成することは可能である。更に
、観察済の視野のうちで写真撮影済の視野を他の観察高
視野と識別し得るように表示することも容易である。
すもので、第１図と同一符号を付したものは同一構成要
素を表している。第１図の装置においては走査電子顕微
鏡像表示用の陰Ｉ４ｉ線管が視野表示用の陰極線管を兼
ねていたのに対して、第４図の装置は視野表示用の陰極
線管２１を像表示用の陰＋！ｉ線管とは別個に設けた点
に大ぎな違いがある。又、第４図の装置は第１図のｆｉ
計と比較して、試料ステージ１３の移動操作が操作回路
１９からの指令に基づいて制御回路１７によって行なわ
れる点、視野移動が試料ステージだけではなく、偏向］
イル８，９へ供給される走査信号のレベル可変を行なう
バイアス回路２０によっても行なわれる点においても違
いがある。このように、視野移動手段が２種類に増えた
ため、視野を表わすデータをこの２種類の信号に基づい
て得なければならない点を除いては、視野表示の原理は
第１図Ｇ装置の場合と全く同じである。即ち、陰極線管
２１の表示画面全域が電子顕微鏡像表示用の陰極線管１
２が表示する電子顕微鏡像の視野と等しくなる。しかし
乍ら、このような視野表示方法を採用する代わりに、陰
極線管２１の画面の全領域を観察可能な全視野範囲とし
、第５図に示す如く現在観察中の視野［と観察済の視野
Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄを豆いに異なった輝度で表示するように
しても本発明の目的を達成することは可能である。更に
、観察済の視野のうちで写真撮影済の視野を他の観察高
視野と識別し得るように表示することも容易である。
第６図は、本発明を透過電子顕微鏡に適用１ノだ実施例
装置を示すものであり、第１図及び第４図にお（Ｊる符
号と同−符号をイ・１したものは同一構成要素を示す。
装置を示すものであり、第１図及び第４図にお（Ｊる符
号と同−符号をイ・１したものは同一構成要素を示す。
第６図において、試ｒ１移動ステージ２２に保持された
観察試料（図示１１ず）に電子線が照則されろと、試ｙ
Ｐ＋を透過した電子線が対物レンズ２３．中間１ノンズ
２／１．２５．投影レンズ２６にＪ、り蛍光板２７上に
透過電子顕微鏡像を結像りる。この透過電子顕微鏡像の
倍率は各レンズを制御するレンズ電源２Ｂによって可変
されるが、その制御信号は操作回路１つからの指令を受
ける制御回路１７から印加される。透過電子顕微鏡像の
視野移動は１−に試料ステージ２２を駆動するモータ１
＝１．．１５の駆動回路２９を操作することによって行
なわれるが、偏向コイル３０．３１へ励磁電流を供給づ
る視野シフト回路３２の出力を調整覆ることにｊ一つで
も行なわれる。視野表示用の陰極線管２１には画面走査
用の走査回路を内蔵した陰極線管表示回路３３が接続さ
れており、その表示画面は観察可能な最大試料視野に対
応している。操作回路１９からの記憶指令が制御回路１
７に印加されると、制御回路は駆動回路２９と視野シフ
ト回路３２の出力に基づいて視野データをメモリー１８
に記憶させる。この記憶された視野データは常に読出さ
れていて、陰極線管表示回路３３を介して陰極線管２１
の画面に観察済の視野として輝度変調表示される。それ
と同時に、現在観察中の視野データも陰極線管表示回路
３３を介し−で陰極線管の画面内に観察済視野とは異な
った輝度で表示される。その結果、陰極線管２１の表示
を確認することにより、撤影視野の重複や観察もれ等を
防＋１＝することが出来る。但し、透′Ａ％ｆ子顕微鏡
の場合には像倍率が変わると蛍光板上に結像する像も回
転することがあるので、メモリー１８への記憶や読出し
にはこの像回転を考慮しなければならないことは言うま
でもない。 。
観察試料（図示１１ず）に電子線が照則されろと、試ｙ
Ｐ＋を透過した電子線が対物レンズ２３．中間１ノンズ
２／１．２５．投影レンズ２６にＪ、り蛍光板２７上に
透過電子顕微鏡像を結像りる。この透過電子顕微鏡像の
倍率は各レンズを制御するレンズ電源２Ｂによって可変
されるが、その制御信号は操作回路１つからの指令を受
ける制御回路１７から印加される。透過電子顕微鏡像の
視野移動は１−に試料ステージ２２を駆動するモータ１
＝１．．１５の駆動回路２９を操作することによって行
なわれるが、偏向コイル３０．３１へ励磁電流を供給づ
る視野シフト回路３２の出力を調整覆ることにｊ一つで
も行なわれる。視野表示用の陰極線管２１には画面走査
用の走査回路を内蔵した陰極線管表示回路３３が接続さ
れており、その表示画面は観察可能な最大試料視野に対
応している。操作回路１９からの記憶指令が制御回路１
７に印加されると、制御回路は駆動回路２９と視野シフ
ト回路３２の出力に基づいて視野データをメモリー１８
に記憶させる。この記憶された視野データは常に読出さ
れていて、陰極線管表示回路３３を介して陰極線管２１
の画面に観察済の視野として輝度変調表示される。それ
と同時に、現在観察中の視野データも陰極線管表示回路
３３を介し−で陰極線管の画面内に観察済視野とは異な
った輝度で表示される。その結果、陰極線管２１の表示
を確認することにより、撤影視野の重複や観察もれ等を
防＋１＝することが出来る。但し、透′Ａ％ｆ子顕微鏡
の場合には像倍率が変わると蛍光板上に結像する像も回
転することがあるので、メモリー１８への記憶や読出し
にはこの像回転を考慮しなければならないことは言うま
でもない。 。
尚、本発明は以」−の実施例装置に限定されるものでは
なく、例えば走査電子顕微鏡において、本来用いられる
像表示用陰極線管を切換操作によって視野表示用陰；七
線管として機能させることも容易である。又、走査電子
顕微鏡においても視野移動を偏向コイルを用いて電気的
に行なうことがあるが、この場合には機械的試ｒ１移仙
に基づく信号だけでなく電気的な偏向ｍ号を加味１ノで
視野データとしな（Ｊればならないことは苦うまでもな
い。
なく、例えば走査電子顕微鏡において、本来用いられる
像表示用陰極線管を切換操作によって視野表示用陰；七
線管として機能させることも容易である。又、走査電子
顕微鏡においても視野移動を偏向コイルを用いて電気的
に行なうことがあるが、この場合には機械的試ｒ１移仙
に基づく信号だけでなく電気的な偏向ｍ号を加味１ノで
視野データとしな（Ｊればならないことは苦うまでもな
い。
双子のように、本発明によれば電子顕微鏡を用いた観察
におｌ−＋ ８１ｉ２察視野の記録及び表示が確実に行
われるため、電子顕微鏡における観察操作をより容易に
することが可能どなる。
におｌ−＋ ８１ｉ２察視野の記録及び表示が確実に行
われるため、電子顕微鏡における観察操作をより容易に
することが可能どなる。
第１図は本発明の一実施例を示す略図、第２図及び第３
図は第１図の装置の動作を説明するための略図、第４図
は第１図の実施例の変形例を示す略図、第５図は第４図
の装置の動作を説明するための略図、第６図は本発明の
伯の実施例装置を示づ略図である。 １：電子銃、２：電子線、３．／Ｉ：集束１ノンズ、５
：試料、６：倍率回路、７：走査回路、８．９偏向コイ
ル、１０：検出器、１１：加輝回路、１２：陰極線管、
１３：試料ステージ、１４，１５：モータ、１６：駆動
回路、１７：制御回路、１８：メモリー、１９：操作回
路、２０：バイアス回路、２１：陰極線管、２２：試料
ステージ、２３：対物レンズ、２４，２５：中間レンズ
、２６：投影レンズ、２７：蛍光板、２８：レンズ電源
、２つ：駆動回路、３０．３１：偏向コイル、３２：視
野シフト回路、３３：陰極線管表示回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 Ｉｔ 、Ｓ ε ４ 第２図 爾 腋 ［ ↓
図は第１図の装置の動作を説明するための略図、第４図
は第１図の実施例の変形例を示す略図、第５図は第４図
の装置の動作を説明するための略図、第６図は本発明の
伯の実施例装置を示づ略図である。 １：電子銃、２：電子線、３．／Ｉ：集束１ノンズ、５
：試料、６：倍率回路、７：走査回路、８．９偏向コイ
ル、１０：検出器、１１：加輝回路、１２：陰極線管、
１３：試料ステージ、１４，１５：モータ、１６：駆動
回路、１７：制御回路、１８：メモリー、１９：操作回
路、２０：バイアス回路、２１：陰極線管、２２：試料
ステージ、２３：対物レンズ、２４，２５：中間レンズ
、２６：投影レンズ、２７：蛍光板、２８：レンズ電源
、２つ：駆動回路、３０．３１：偏向コイル、３２：視
野シフト回路、３３：陰極線管表示回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫 Ｉｔ 、Ｓ ε ４ 第２図 爾 腋 ［ ↓
Claims (1)
- 電子顕ｌＩｌ鏡像の倍率を可変する倍率指定手段と、電
子顕微鏡像の視野を移ｖＪさせる視野移動手段と、表示
中の電子類ｍ鏡像の視野を表示する視野表示手段と、試
料面内の電子１ｗ１１ｆＩｌ鏡像観察可能な領域を微小
な単位１リアに分υ１したときの各ｔｉｔ位エリアに対
応する記録領域を有するメモリと、前記倍率指定手段と
前記視野移動手段から得られる視野データに基づいて既
に観察された視野に対応する前記単位エリアを前記メモ
リに記憶させると共に、該記憶された単位エリアに対応
する視野を前記視野表示手段の両面内に表示させるため
の制御手段をＩＨ＾えたことを特徴とする電子顕微鏡に
おける観察視野の記録及び表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7542283A JPS59201352A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7542283A JPS59201352A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201352A true JPS59201352A (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=13575738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7542283A Pending JPS59201352A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201352A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239553A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
| JPS63285854A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | 試料像の視野移動装置 |
| WO1996031897A1 (fr) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Hitachi, Ltd. | Microscope electronique |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7542283A patent/JPS59201352A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61239553A (ja) * | 1985-04-15 | 1986-10-24 | Hitachi Ltd | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
| JPS63285854A (ja) * | 1987-05-19 | 1988-11-22 | Nikon Corp | 試料像の視野移動装置 |
| WO1996031897A1 (fr) * | 1995-04-07 | 1996-10-10 | Hitachi, Ltd. | Microscope electronique |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6173862B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP2003331773A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| GB1564628A (en) | Methods of providing a pictorial representaion of information obtained by a device and relating to an irradiated or radiant object | |
| US6800853B2 (en) | Electron microscope and method of photographing TEM images | |
| JPS59201352A (ja) | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 | |
| JPS63202834A (ja) | 電子顕微鏡のドリフト補正装置 | |
| JPH11135046A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3876129B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| JPS5919408B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH04106853A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS58137949A (ja) | 走査電子顕微鏡による立体像表示方法 | |
| JPS6020439A (ja) | 荷電粒子線装置における試料回転装置 | |
| JPH02262227A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP4223734B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP3234373B2 (ja) | 磁界形電子レンズおよびこれを用いた電子線装置 | |
| JPS5914222B2 (ja) | 走査電子顕微鏡等用倍率制御装置 | |
| JPS5858779B2 (ja) | 電子顕微鏡等用視野移動装置 | |
| JP3730396B2 (ja) | 電子顕微鏡装置 | |
| JPS59201354A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP2736356B2 (ja) | 試料観察装置 | |
| JPH0425803Y2 (ja) | ||
| JPH0139393Y2 (ja) | ||
| JPH0197359A (ja) | 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 | |
| JPS5816591B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH07130321A (ja) | 走査形電子顕微鏡 |