JPS63202834A - 電子顕微鏡のドリフト補正装置 - Google Patents
電子顕微鏡のドリフト補正装置Info
- Publication number
- JPS63202834A JPS63202834A JP3400587A JP3400587A JPS63202834A JP S63202834 A JPS63202834 A JP S63202834A JP 3400587 A JP3400587 A JP 3400587A JP 3400587 A JP3400587 A JP 3400587A JP S63202834 A JPS63202834 A JP S63202834A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- image data
- sample
- drift
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 10
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電子顕微鏡のドリフト補正装置に関し、更に詳
しくは、分解能の改善に関する。
しくは、分解能の改善に関する。
（従来の技術）
電子顕微鏡で高分解能の試料画像を観察するにあたって
は、試料自体の熱ドリフトや試料ホルダのドリフト・を
考慮する必要がある。
は、試料自体の熱ドリフトや試料ホルダのドリフト・を
考慮する必要がある。
そこで、従来から機構部分の機械的な安定度を高めるた
めの各種の工夫が施されている。
めの各種の工夫が施されている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、機構部分の機械的な安定度を高めたとしても、
試料の加熱、冷却、引っ張り等を行った場合にはこれら
に伴って試料にドリフトが生じることになり、高分解能
の観察は困難である。
試料の加熱、冷却、引っ張り等を行った場合にはこれら
に伴って試料にドリフトが生じることになり、高分解能
の観察は困難である。
本発明はこのような点に鑑みてになされたものであって
、その目的は、試料自体のドリフトがあっても高分解能
での観察が行える電子顕微鏡のドリフト補正装置を実現
することにある。
、その目的は、試料自体のドリフトがあっても高分解能
での観察が行える電子顕微鏡のドリフト補正装置を実現
することにある。
（問題点を解決するための手段）
前記した問題点を解決する本発明は、コンデンサレンズ
を介して試料に照射される電子ビームと試料との相対位
置を調整する位置調整手段と、対物レンズで結像された
試料イメージをシフトさせるイメージシフト手段と、基
準時の画像データを格納する第１の画像メモリと、補正
時の画像データを格納する第２の画像メモリと、これら
各画像メモリに格納された画像データの値を比較して両
データの値が等しくなるように前記位置調整手段及びイ
メージシフト手段を制御する演算制御部とで構成された
ことを特徴とするものである。
を介して試料に照射される電子ビームと試料との相対位
置を調整する位置調整手段と、対物レンズで結像された
試料イメージをシフトさせるイメージシフト手段と、基
準時の画像データを格納する第１の画像メモリと、補正
時の画像データを格納する第２の画像メモリと、これら
各画像メモリに格納された画像データの値を比較して両
データの値が等しくなるように前記位置調整手段及びイ
メージシフト手段を制御する演算制御部とで構成された
ことを特徴とするものである。
〈作用）
基準時における画像データと補正時（現時点）における
画像データとを比較し、両者が一致するように位置調整
手段及びイメージシフト手段を調整する。
画像データとを比較し、両者が一致するように位置調整
手段及びイメージシフト手段を調整する。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。図面におい
て、１は電子ビームを照射する電子銃である。２〜４は
コンデンサレンズであり、電子銃１から照射される電子
ビームの径を絞って画像を明るくする。５はコンデンサ
レンズ２〜４を通過した電子ビームの位置を調整するた
めのアライメントコイルであり、該アライメントコイル
５はインターフェイス６を介して演算制御部７により駆
動制御される。尚、演算制御部７としては例えばマイク
ロコンピュータを用いる。
て、１は電子ビームを照射する電子銃である。２〜４は
コンデンサレンズであり、電子銃１から照射される電子
ビームの径を絞って画像を明るくする。５はコンデンサ
レンズ２〜４を通過した電子ビームの位置を調整するた
めのアライメントコイルであり、該アライメントコイル
５はインターフェイス６を介して演算制御部７により駆
動制御される。尚、演算制御部７としては例えばマイク
ロコンピュータを用いる。
８は電子ビームが照射される試料である。９は試料８か
らの透過光を受ける対物レンズであり、試料８を透過し
た電子ビームを試料イメージとして集光する。１０は対
物レンズ９で集光された試料イメージをシフトさせるイ
メージシフトコイルである。該イメージシフトコイル１
０もインターフェイス１１を介して演算制御部７により
駆動制御される。１２〜１４は試料イメージを拡大する
拡大レンズである。１５は投射レンズであり、拡大レン
ズ１２〜１４で拡大された試料イメージをスクリーン１
６に投影する。１７はスクリーン１６に投影された試料
イメージを撮影するＴＶカメラである。該ＴＶカメラ１
７の出力信号はＡ／Ｄ変換器１８でディジタル信号に変
換された後、演算制御部７を介して画像メモリ１９又は
２０に格納される。２１はＣＲＴモニタであり、演算制
御部７に接続されており、ＴＶカメラで読取った画像を
表示する。
らの透過光を受ける対物レンズであり、試料８を透過し
た電子ビームを試料イメージとして集光する。１０は対
物レンズ９で集光された試料イメージをシフトさせるイ
メージシフトコイルである。該イメージシフトコイル１
０もインターフェイス１１を介して演算制御部７により
駆動制御される。１２〜１４は試料イメージを拡大する
拡大レンズである。１５は投射レンズであり、拡大レン
ズ１２〜１４で拡大された試料イメージをスクリーン１
６に投影する。１７はスクリーン１６に投影された試料
イメージを撮影するＴＶカメラである。該ＴＶカメラ１
７の出力信号はＡ／Ｄ変換器１８でディジタル信号に変
換された後、演算制御部７を介して画像メモリ１９又は
２０に格納される。２１はＣＲＴモニタであり、演算制
御部７に接続されており、ＴＶカメラで読取った画像を
表示する。
このように構成された装器の動作を説明すれば、以下の
通りである。 − 初めに、＃１１の画像メモリ１９には、第２図（ａ ）
に示すような基準時の画像データ、例えば初期状態での
画像データが格納される。一方、第２の画像メモリ２０
には、初期状態よりしばらく経過した後の画像データが
第２図（ｂ）に示すように格納され、試料のドリフト等
により対象物が右下の方に移動しているものとする。演
算制御部７は、これら各画像メモリ１９．２０に格納さ
れている画像データの強度を比較し、両データの強度が
等しくなるようにインターフェイス６を介してアライメ
ントコイル５を駆動制御すると共にインターフェイス１
１を介してイメージコイル１０を駆動制御する。
通りである。 − 初めに、＃１１の画像メモリ１９には、第２図（ａ ）
に示すような基準時の画像データ、例えば初期状態での
画像データが格納される。一方、第２の画像メモリ２０
には、初期状態よりしばらく経過した後の画像データが
第２図（ｂ）に示すように格納され、試料のドリフト等
により対象物が右下の方に移動しているものとする。演
算制御部７は、これら各画像メモリ１９．２０に格納さ
れている画像データの強度を比較し、両データの強度が
等しくなるようにインターフェイス６を介してアライメ
ントコイル５を駆動制御すると共にインターフェイス１
１を介してイメージコイル１０を駆動制御する。
今、画像メモリ１９に格納されている画像データの強度
を画像メモリ内の各ビクセルの強度の合計を（ΣＩｘ、
ｙ ） ＋＋画像メモリ内の各ピクセルの×、ｙ各方向
毎の強度の合計をそれぞれ（ΣＩＸ）＋、（Σ１ｙ）１
とし、画像メ−Ｅ ＩＪ ２０ニ格納されている画像デ
ータの強度を同様にして（ΣＩＸ、１／＞ｚ、＜ΣＩＸ
）ｚ、（ΣＩＶ）ｚとすると、 （ΣＩＸ、Ｖ）ｔ−（ΣＪｘ、ｙ ） ｚ ＝０となる
ように、或いは 〈ΣＩＸ）＋−（ΣＴＸ）２−○ （ΣｆＶ）＋ （ΣＩＶ’）ｚ−０となるように、
アライメントコイル５の励磁電流を制御すると共に、イ
メージコイル１０の励磁電流を制御する。ここで、アラ
イメントコイル５の励磁電流を制御することにより電子
ビームを目的とする試料上に移動させることができ、通
常最も明るい像となるよう前記（ΣｌＸ、Ｖ）＋、（Σ
■Ｘ）１．（ΣＴＶ）ｔを各々の最大値に設定して（Σ
ＩＸ、Ｖ）？、（ΣｒＸ）ｚ、（Σ［ｙ）２が最大値に
なるように制御される。
を画像メモリ内の各ビクセルの強度の合計を（ΣＩｘ、
ｙ ） ＋＋画像メモリ内の各ピクセルの×、ｙ各方向
毎の強度の合計をそれぞれ（ΣＩＸ）＋、（Σ１ｙ）１
とし、画像メ−Ｅ ＩＪ ２０ニ格納されている画像デ
ータの強度を同様にして（ΣＩＸ、１／＞ｚ、＜ΣＩＸ
）ｚ、（ΣＩＶ）ｚとすると、 （ΣＩＸ、Ｖ）ｔ−（ΣＪｘ、ｙ ） ｚ ＝０となる
ように、或いは 〈ΣＩＸ）＋−（ΣＴＸ）２−○ （ΣｆＶ）＋ （ΣＩＶ’）ｚ−０となるように、
アライメントコイル５の励磁電流を制御すると共に、イ
メージコイル１０の励磁電流を制御する。ここで、アラ
イメントコイル５の励磁電流を制御することにより電子
ビームを目的とする試料上に移動させることができ、通
常最も明るい像となるよう前記（ΣｌＸ、Ｖ）＋、（Σ
■Ｘ）１．（ΣＴＶ）ｔを各々の最大値に設定して（Σ
ＩＸ、Ｖ）？、（ΣｒＸ）ｚ、（Σ［ｙ）２が最大値に
なるように制御される。
又、各ｎについて
（ｌｘｎ ）＋−（Ｉｘｎ ）２
（ｒｙ η ）ｔ＝（ｌｖ η ）？
となるようにイメージコイル１０の励磁電流を制御する
ことにより、試料イメージを移動させることができ、（
Ｃ）に示されるるように（ｂ）の右下にドリフトで移動
した対象物が再び中央に表示される。
ことにより、試料イメージを移動させることができ、（
Ｃ）に示されるるように（ｂ）の右下にドリフトで移動
した対象物が再び中央に表示される。
このようにアライメントコイル５及びイメージシフトコ
イル１０の励磁電流を制御して画像データの強度を基準
時の画像データの強度と画像パターン全面にわたって等
しくすることにより、試料の加熱、引っ張り等に起因す
るドリフトの影響を補償することができ、高分解能の観
察が行える。
イル１０の励磁電流を制御して画像データの強度を基準
時の画像データの強度と画像パターン全面にわたって等
しくすることにより、試料の加熱、引っ張り等に起因す
るドリフトの影響を補償することができ、高分解能の観
察が行える。
尚、上記実施例ではアライメントコイル５の励磁電流を
制御して試料８に照射される電子ビームの位置を調整す
る例を説明したが、必要に応じて試料８の位置を試料ス
テージを移動させて調整するようにしてもよい。
制御して試料８に照射される電子ビームの位置を調整す
る例を説明したが、必要に応じて試料８の位置を試料ス
テージを移動させて調整するようにしてもよい。
又、上記実施例では演算制御部７からインターフェイス
６．１１を介してアライメントコイル５及びイメージシ
フトコイル１０を制御する例を説明したが、演算制御部
７から一旦装置全体を制御する図示しないコンピュータ
にデータを与え、該コンピュータによりアライメントコ
イル５及びイメージシフトコイル１０を制御するように
してもよい。
６．１１を介してアライメントコイル５及びイメージシ
フトコイル１０を制御する例を説明したが、演算制御部
７から一旦装置全体を制御する図示しないコンピュータ
にデータを与え、該コンピュータによりアライメントコ
イル５及びイメージシフトコイル１０を制御するように
してもよい。
又、発明は試料ホルダ等の温度変化に基づくドリフトの
補正のみならず、試料ホルダの機械的なドリフトや、照
射電子線の偏向系に起因するドリフトの補正にも有効で
ある。
補正のみならず、試料ホルダの機械的なドリフトや、照
射電子線の偏向系に起因するドリフトの補正にも有効で
ある。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、試料や偏向系の
ドリフトがあっても高分解能でのｉＡ＊が行える電子顕
微鏡のドリフト補正装置が実現できる。
ドリフトがあっても高分解能でのｉＡ＊が行える電子顕
微鏡のドリフト補正装置が実現できる。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は画像メモ
リに格納される画像パターンの説明図である。 １・・・電子銃 ２〜４・・・コンデンサレンズ ５・・・アライメントコイル ６．１１・・・インターフェイス ７・・・演算制御部 ８・・・試料９・・・対物
レンズ １０・・・イメージシフトコイル １２〜１４・・・拡大レンズ １５・・・投影レンズ １６・・・スクリーン１
７・・・ＴＶカメラ １８・・・Ａ／Ｄ変換器１
９．２０・・・画像メモリ ２１・・・ＣＲＴモニタ特
許出願人 日 本 電 子 株 式 会
礼式 理 人 弁 理 士 井
島 藤 冶外１名
リに格納される画像パターンの説明図である。 １・・・電子銃 ２〜４・・・コンデンサレンズ ５・・・アライメントコイル ６．１１・・・インターフェイス ７・・・演算制御部 ８・・・試料９・・・対物
レンズ １０・・・イメージシフトコイル １２〜１４・・・拡大レンズ １５・・・投影レンズ １６・・・スクリーン１
７・・・ＴＶカメラ １８・・・Ａ／Ｄ変換器１
９．２０・・・画像メモリ ２１・・・ＣＲＴモニタ特
許出願人 日 本 電 子 株 式 会
礼式 理 人 弁 理 士 井
島 藤 冶外１名
Claims (1)
- コンデンサレンズを介して試料に照射される電子ビーム
と試料との相対位置を調整する位置調整手段と、対物レ
ンズで結像された試料イメージをシフトさせるイメージ
シフト手段と、基準時の画像データを格納する第１の画
像メモリと、補正時の画像データを格納する第２の画像
メモリと、これら各画像メモリに格納された画像データ
の値を比較して両データの値が等しくなるように前記位
置調整手段及びイメージシフト手段を制御する演算制御
部とで構成されたことを特徴とする電子顕微鏡のドリフ
ト補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3400587A JPS63202834A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 電子顕微鏡のドリフト補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3400587A JPS63202834A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 電子顕微鏡のドリフト補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63202834A true JPS63202834A (ja) | 1988-08-22 |
Family
ID=12402320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3400587A Pending JPS63202834A (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 電子顕微鏡のドリフト補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63202834A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05144402A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-11 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
| JPH05172765A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Sharp Corp | Ａｅｓ分析におけるドリフト補正方法 |
| WO2003007328A1 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Nanofactory Instruments Ab | Device for reducing the impact of distortions in a microscope |
| JP2004047340A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
| JP2011228223A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 透過電子顕微鏡、および視野ずれ補正方法 |
| JP2013229188A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2022529384A (ja) * | 2019-08-16 | 2022-06-21 | プロトチップス，インコーポレイテッド | 電子顕微鏡下で研究される試料へのドリフト補正の自動化されたアプリケーション |
| US11514586B1 (en) | 2019-08-16 | 2022-11-29 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55121256A (en) * | 1979-03-13 | 1980-09-18 | Jeol Ltd | Correcting method of drift in electron microscope |
| JPS61109253A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-27 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザ |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP3400587A patent/JPS63202834A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55121256A (en) * | 1979-03-13 | 1980-09-18 | Jeol Ltd | Correcting method of drift in electron microscope |
| JPS61109253A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-27 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザ |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05144402A (ja) * | 1991-11-15 | 1993-06-11 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
| JPH05172765A (ja) * | 1991-12-24 | 1993-07-09 | Sharp Corp | Ａｅｓ分析におけるドリフト補正方法 |
| WO2003007328A1 (en) * | 2001-07-13 | 2003-01-23 | Nanofactory Instruments Ab | Device for reducing the impact of distortions in a microscope |
| US6924489B2 (en) | 2001-07-13 | 2005-08-02 | Nanofactory Instruments Ab | Device for reducing the impact of distortions in a microscope |
| JP2004047340A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Jeol Ltd | 電子線装置 |
| JP2011228223A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-11-10 | Hitachi High-Technologies Corp | 透過電子顕微鏡、および視野ずれ補正方法 |
| JP2013229188A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2022529384A (ja) * | 2019-08-16 | 2022-06-21 | プロトチップス，インコーポレイテッド | 電子顕微鏡下で研究される試料へのドリフト補正の自動化されたアプリケーション |
| US11399138B2 (en) | 2019-08-16 | 2022-07-26 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
| EP3931853A4 (en) * | 2019-08-16 | 2022-09-07 | Protochips, Inc. | AUTOMATED APPLICATION OF DRIFT CORRECTION TO A SAMPLE STUDIED UNDER AN ELECTRONIC MICROSCOPE |
| US11477388B2 (en) | 2019-08-16 | 2022-10-18 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
| US11514586B1 (en) | 2019-08-16 | 2022-11-29 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
| US11902665B2 (en) | 2019-08-16 | 2024-02-13 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
| US12010430B2 (en) | 2019-08-16 | 2024-06-11 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
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