JP2959687B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本発明は透過電子線像の観察に
最適な電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】 図２は電子顕微鏡の概略図を示したも
のである。図において、１は電子銃、２は集束レンズ、
３は試料、４は対物レンズ、５は中間レンズ、６は投影
レンズ、７は螢光板、８はＴＶカメラ、９は制御回路、
１０はＣＰＵ、１１は螢光板駆動機構、１２はメモリ、
１３は呼出し回路、１４は陰極線管である。 この様な
構成において、電子銃１から放出された電子線は集束レ
ンズ２により集束され試料３を照射する。試料３を透過
した電子線は、結像レンズ４〜６により螢光板７に結像
され、試料３の透過電子線像が得られる。一般に、螢光
板７に結像される像は全体像の一部である。

【０００３】さて、試料３を透過した電子線は螢光板７
に照射されているので、ＴＶカメラ８は何も撮影しな
い。この為、ＴＶカメラ８は輝度が最低の映像信号を制
御回路９に送る。制御回路９はＴＶカメラ８から送られ
てくる映像信号をメモリ１２に記憶する。メモリ１２に
記憶された映像信号は呼出し回路１３に呼出され陰極線
管１４に送られる。この場合、当然、陰極線管１４の画
面には試料３の透過電子線像は表示されない。また、Ｃ
ＰＵ１０からの制御信号により、制御回路９はＴＶカメ
ラ８のゲインをＴＶカメラ８の中間ゲインに設定する。

【０００４】次に、試料３の透過電子線像を陰極線管１
４の画面に表示する場合について説明する。先ず、ＣＰ
Ｕ１０からの駆動信号により、螢光板駆動機構１１は螢
光板７を開ける。この結果、ＴＶカメラ８は試料３の透
過電子線像を撮影する。また、ＣＰＵ１０は螢光板駆動
機構１１に駆動信号を送ると同時に、制御回路９に制御
信号を送る。この信号を受けた制御回路９は、ＴＶカメ
ラ８から送られてくる映像信号の輝度に応じてＴＶカメ
ラ８のゲインを制御する。すなわち、輝度が低い場合は
ゲインを高くし、また、輝度が高い場合はゲインを低く
する。従って、ＴＶカメラ８のゲインは、今まで設定さ
れていた中間ゲインからＴＶカメラ８から送られてくる
映像信号の輝度に対応したゲインに変化する。また、制
御回路９はＴＶカメラ８から送られてくる映像信号をメ
モリ１２に記憶する。メモリ１２に記憶された映像信号
は呼出し回路１３に呼出され陰極線管１４に送られる。
この結果、陰極線管１４の画面には試料３の透過電子線
像が表示される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】 ところで、ＴＶカメ
ラ８のゲインを中間ゲインから透過電子線像の明るさに
対応したゲインに変化させた時、ＴＶカメラ８が定常状
態になる迄には数秒かかる。この為、この間、陰極線管
１４の画面に表示される透過電子像の画像の状態は悪
い。従って、像観察者にとって非常に不快である。

【０００６】本発明はこの様な点に鑑みて成されたもの
で、螢光板を上げて撮像を開始した際に、ＴＶカメラが
定常状態になる迄の時間を短縮した電子顕微鏡を提供す
ることを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】 その為に本発明の電子
顕微鏡は、電子銃、該電子銃から放出された電子線を試
料に照射するための照射レンズ系、該試料を透過した電
子線を光軸上から退避可能に構成された螢光板上に結像
するための結像レンズ系、該結像された電子線を撮影す
るための撮影手段、該撮影手段からの映像信号に基づい
て画像を表示する表示手段を備え、前記撮影手段からの
映像信号に基づいて該撮影手段のゲインを制御するよう
にした電子顕微鏡において、前記螢光板を照射する電子
線の強度を検出する検出手段を備え、前記螢光板が光軸
上に配置された時には、前記検出手段の出力に基づいて
前記撮影手段のゲインを制御する一方、前記螢光板が光
軸上から退避された時には、それまでの前記検出手段の
出力に対応したゲインから撮影手段からの映像信号に対
応したゲインに該撮影手段のゲインを変化させることを
特徴とする。

【０００８】

【実施例】 図１は本発明の一実施例として示した電子
顕微鏡の概略図である。図において図２と同一番号を付
したものは同一構成要素である。また、図１中、１５は
電流検出器、１６，１７は制御回路である。前記電流検
出器１５は、導体である螢光板７に電気的に接続されて
おり、螢光板７に照射される電子線の電流を検出する。

【０００９】この様な構成において、電子銃１から放出
された電子線は集束レンズ２により集束され試料３を照
射する。試料３を透過した電子線は、結像レンズ４〜６
により螢光板７に結像され、試料３の透過電子線像が得
られる。

【００１０】さて、螢光板７に照射される電子線の電流
は電流検出器１５で検出される。ところで、電流検出器
１５で検出される電流の電流量が多ければ多いほど螢光
板７に照射される電子線の明るさは明るい。この電流量
と明るさの具体的な対応関係は実験を何回か繰り返し求
めており、この情報は制御回路１６のメモリに記憶され
ている。従って、制御回路１６は、電流検出器１５から
送られてくる電流信号に基づき、この電流に対応した輝
度信号を制御回路１７に送る。この信号を受けた制御回
路１７は、この輝度信号に基づいてＴＶカメラ８のゲイ
ンを、例えばゲインＡに制御する。

【００１１】次に、試料３の透過電子線像を陰極線管１
４に表示する場合について説明する。先ず、ＣＰＵ１０
からの駆動信号により、螢光板駆動機構１１は螢光板７
を開ける。この結果、ＴＶカメラ８は試料３の透過電子
線像を撮影する。また、ＣＰＵ１０は螢光板駆動機構１
１に駆動信号を送ると同時に、制御回路１７に制御信号
を送る。この信号を受けた制御回路１７は、ＴＶカメラ
８から送られてくる映像信号の輝度に基づいてＴＶカメ
ラ８のゲインを、前記ゲインＡから例えばゲインＢに変
える。さて、螢光板７とＴＶカメラ８の位置での電子線
の明るさは然程変わらないので、ＴＶカメラ８のゲイン
は瞬間にしてゲインＢになる。また、制御回路１７はＴ
Ｖカメラ８から送られてくる映像信号をメモリ１２に記
憶する。メモリ１２に記憶された映像信号は呼出し回路
１３に呼出され陰極線管１４に送られる。この結果、螢
光板７を開けた瞬間に、陰極線管１４の画面に、ＴＶカ
メラが最適のゲインの状態で撮影した試料３の透過電子
線像が表示される。

【００１２】

【発明の効果】 本発明によれば、螢光板を照射する電
子線の強度を検出する検出手段を備え、前記螢光板が光
軸上に配置された時には、前記検出手段の出力に基づい
て前記撮影手段のゲインを制御する一方、前記螢光板が
光軸上から退避された時には、それまでの前記検出手段
の出力に対応したゲインから撮影手段からの映像信号に
対応したゲインに該撮影手段のゲインを変化させてお
り、螢光板と撮影手段の位置での電子線強度は然程変わ
らないので、試料を透過した電子線を撮影する場合、撮
影手段はきわめて短い時間で定常状態になる。この結
果、螢光板を開けてからきわめて短い時間で、表示手段
の画面に、撮影手段が最適のゲインの状態で撮影した像
が表示される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例として示した電子顕微鏡の
概略図である。

【図２】 従来の電子顕微鏡の概略図である。

【符号の説明】

１…電子銃、２…集束レンズ、３…試料、４…対物レン
ズ、５…中間レンズ、６…投影レンズ、７…螢光板、８
…ＴＶカメラ、９…制御回路、１０…ＣＰＵ、１１…螢
光板駆動機構、１２…メモリ、１３…呼出し回路、１４
…陰極線管、１５…電流検出器、１６，１７…制御回路

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子銃、該電子銃から放出された電子線
   を試料に照射するための照射レンズ系、該試料を透過し
   た電子線を光軸上から退避可能に構成された螢光板上に
   結像するための結像レンズ系、該結像された電子線を撮
   影するための撮影手段、該撮影手段からの映像信号に基
   づいて画像を表示する表示手段を備え、前記撮影手段か
   らの映像信号に基づいて該撮影手段のゲインを制御する
   ようにした電子顕微鏡において、前記螢光板を照射する
   電子線の強度を検出する検出手段を備え、前記螢光板が
   光軸上に配置された時には、前記検出手段の出力に基づ
   いて前記撮影手段のゲインを制御する一方、前記螢光板
   が光軸上から退避された時には、それまでの前記検出手
   段の出力に対応したゲインから撮影手段からの映像信号
   に対応したゲインに該撮影手段のゲインを変化させるこ
   とを特徴とする電子顕微鏡。