JPS58919Y2 - 走査電子顕微鏡における写真撮影装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は新規な走査電子顕微鏡における写真撮影装置に
関するものである。

走査電子顕微鏡における写真撮影は普通透過電子顕微鏡
の直接露光と異なり、陰極線管上に投影された試料像を
、例えばポラロイドカメラ等の光学カメラを用いての間
接露光である。

而して、従来の写真撮影装置ではカメラのシャッターを
開くと同時に陰極線管のラスターは走査され、又ラスタ
ー走査の途中においても撮影ボタンを操作したときには
すぐにシャッターが開いて撮影が開始される様に構成さ
れているものが多いので、シャッター開閉時の機械的振
動により撮影された像がブしたり、シャッター開放前の
ラスターの残像がフィルムに投影され画質を大きく低下
させることが多い。

一方、撮影時間短縮の目的で実公昭４８−４９５４号記
載の如きシャッター開操作と同時に走査信号をリセット
し且つ陰極線管をカットオフし小許時間後に陰極線管の
輝点回復及び走査の開始を行なうようにした撮影装置も
提案されている。

しかしながら、斯かる装置はカメラのシャッター開操作
が最初に必ず行なわれるためシャッターを切る前の陰極
線管画面上の残像が露光されてしまい画質の向上は期待
できない。

この場合、陰極線管として観察用と撮影用を使いわける
場合には、陰極線管に残光性の少いものを選べばそれ程
問題はないが、特に小型・軽量化の目的で単一の陰極線
管を用いて観察と撮影とを行なうような装置では、高分
解能の像を観察するために残光性の高い陰極線管の使用
が必要不可欠となり、従って、上記公報記載のような装
置では全く実用できないわけである。

本考案は以上の従来例の欠点を解決することを目的にす
るもので、その構成は試料上で電子線を２次元的に走査
することにより得られる情報を該走査と同期した陰極線
管に導入し、該陰極線管上に表示された試料像を写真機
を用いて写真撮影する装置において、撮影ボタンを操作
した時点より一定時間経過した後上記写真機のシャッタ
ーが開く如くする手段を有し、前記撮影ボタンを押して
からシャッターが開くまでの間に走査信号発生回路をリ
セットし又陰極線管をカットオフの状態にする回路を備
え、前記シャッター開放後一定時間経過して走査信号を
発生させ且つ陰極線管のカットオフ状態を解除する回路
を設けた走査電子顕微鏡における写真撮影装置に特徴が
ある。

以下本考案の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図において、１は走査電子顕微鏡カラムで該カラム
内には電子銃２．集束レンズ３．偏向コイル４．試料５
及び散乱電子等の検出器６が収納されており、前記電子
銃から放出された電子線は集束レンズ３により細く集束
され試料５上に投射される。

偏向コイルには水平走査信号発生回路７及び垂直走査信
号発生回路８から倍率設定回路９を介して水平、垂直走
査信号が供給されており、これにより前記電子線は試料
５上の一定領域を二次元的に走査することになる。

該電子線の照射により試料表面から散乱する電子（２次
電子９反射電子。

透過電子等）は検出器６によって検出され、その出力は
増幅器１０に送られる。

該増幅器の出力は切換スイッチ１１のａ端子及び輝度制
御回路１２を介して陰極線管１３のグリッドに輝度変調
信号として導入される。

該陰極線管のコイル１４には前記水平、垂直走査信号発
生回路７及び８がら走査信号が供給されており、従って
該陰極線管１３の画面上には試料表面の走査画像が表示
されることになる。

１５はマーカーパルス発生器で、そのパルス幅及びパル
ス間隔は段階的に、又は連続的に可変であり、スイッチ
１６を介して倍率設定回路９より観察倍率に対応した信
号が送り込まれ、その信号値に応じてパルス幅及び間隔
が変化せられる。

該マーカーパルス発生器には更に垂直走査信号発生回路
８からブランキング信号がトリガ信号として導入されて
おり、更に又観察モード駆動回路１７からは固定のパル
ス幅及びパルス間隔のパルスを発生させるための制御信
号が送り込まれている。

該マーカーパルス発生器からのパルス信号は２分され、
その一方は切替スイッチ１１のｂ端子及び輝度制御回路
１２を介して陰極線管１３のグリッドに輝度変調信号と
して供給され、例えばパルス期間のみ輝度が向上せられ
る。

前記分岐された他方の信号はスイッチ１８を介して垂直
走査信号発生回路８に送られ、パルス期間の垂直走査信
号のレベルを変化せしめる。

これにより、前記陰極線管１３に表示される輝度変調倍
率マーカーはＹ軸変調も受けることになり、該マーカー
表示線は非常に見やすいものになる。

１９は撮影モード駆動回路で、その起動用押しボタンス
イッチ１９ ａはカメラ２０の近傍に置かれており、該
押しボタンを押すと撮影モード駆動回路より駆動信号が
発せられる。

１７ ａは観察モード駆動回路の押しボタンスイッチで
、このスイッチを操作すると該回路１７が働く。

そして、１７と１９の出力は相互に供給され、何れがか
作動状態になると他方は停止する。

該観察モード駆動回路からの信号は前記マーカーパルス
発生器以外に水平、垂直走査信号発生回路に送られ、観
察に適した走査速度の走査信号を発生せしめる。

更に、スイッチ１６にも送られ、該スイッチをＯＦＦに
する。

一方撮影モード駆動回路からの信号は水平、垂直走査信
号発生回路７及び８、スイッチ１６及び１８並びに制御
回路１２に送られ、７及び８を撮影に適した走査信号を
発生する様にセットし、スイッチ１６．１８を共にＯＮ
にし、更に制御回路１２を駆動して陰極線管１３をカッ
トオフの状態にする。

前記駆動回路１９からの出力信号は又遅延回路２１にも
送られ、一定時間遅らされ゛て第２の遅延回路２２及び
シャッター駆動回路２３に送られる。

該第２の遅延回路２２により更に一定時間遅延された駆
動信号は水平、垂直走査信号発生同筒７及び８並びに輝
度制御回路１２に送られ、走査信号を発生せしめると同
時に制御装置を駆動して陰極線管１３のカットオフを解
除する。

前記シャッター駆動回路は前記カメラ２０のシャッター
装置２４に接続され、遅延回路２１からの信号を受けて
シャッターを開く信号を送る。

以上の構成において、先ず観察モード駆動回路１７の押
しボタンスイッチ１７ ａを押すと、該観察モード駆動
回路１７から各部に信号が送られスイッチ１６及び１８
はＯＦＦにされ、水平、垂直走査信号発生回路は観察に
適した早い走査信号を発生する。

更に、マーカーパルス発生器は固定のパルス幅９間隔の
パルス信号を発生すべくセットされる。

該パルスは特に説明しないが輝度及びコントラストの表
示のため使用される。

斯かる状態において観察視野を選び、又倍率を所望に設
定し、且つ又コントラスト及び輝度を最適な状態に設定
する。

而して、次に撮影をしたいときは押しボタンスイッチ（
シャッターボタン）１９ａを押すと第２図ａに示す如き
単一パルス又は一定レベルの信号が発せられ、これによ
り、同図すの如き駆動信号が回路１９より出される。

この信号によりスイッチ１６と１８はＯＮの状態にされ
、又水平、垂直走査信号発生回路７及び８撮影に適した
速度の走査信号を発生すべくセットされ、更には第２図
Ｃに示す如く輝度制御回路は陰極線管１３をカットオフ
の状態にする。

前記す図の信号は遅延回路２１において一定時間τ１（
カットオフ後陰極線管画面の残光がなくなる程度の時間
）遅らされてシャッター駆動回路２３に送られる。

これによりシャッター装置２４は時刻ｔ２において働き
第２図すに示す如くシャッターは開く。

前記遅延回路２１の出力信号は第２の遅延回路２２によ
り更にτだけ遅延せられ、水平。

垂直走査信号発生回路７，８及び輝度制御回路１２に送
られ、ｅ図の如く走査信号（図は水平走査信号のみ示す
）を発生せしめると共に０図の時刻ｔ３において、陰極
線管のカットオフは解除され、ラスターが得られる。

前記第２の遅延回路２２による遅延時間τはシャッター
装置の機械的振動が撮影に影響を与えない程度に減衰す
るまでの時間を見込んで決定する。

斯かる状態において撮影が開始されるわけであるが、最
初の水平走査線Ｓ１の期間は倍率マーカーが表示される
期間である。

即ち、走査の開始に当り撮影モード駆動回路の信号によ
りスイッチ１６及び１８がＯＮにされ、又切換スイッチ
１１はａからｂに切換られ、同時にマーカーパルス発生
器１５がトリガーされて倍率を表すパルス幅及び間隔を
持つパルス信号が発生される。

該信号は切換スイッチ１１のｂ端子及び輝度制御回路を
通して陰極線管に輝度変調信号として加えられ、同時に
スイッチ１８を介して垂直走査信号発生回路８に送られ
、Ｙ軸変調が行われ、第３図に示す如く画面２５の上方
部に倍率マーカー２６が表示される。

この−水平走査が終了すると水平走査信号発生回路から
ブランキング信号が発生され、この信号によりスイッチ
１８はＯＦＦにされ、又切換スイッチ１１はｂからａに
切換ちれる。

これにより第２番目以降の水平走査期間は検出器６から
の試料情報信号がスイッチ１１．輝度制御回路１２を通
して陰極線管１３に導入され、試料画像が得られ撮影さ
れる。

而して、−回の画面走査（−回の垂直走査）が終了する
と垂直ブランキング信号がシャッター駆動回路２３及び
輝度制御回路１２に送られ、シャッターを閉じ、又陰極
線管１３をカットオフにする。

以上の撮影が終了した後押しボタン１７ ａを押せば観
察モードに切り変えることができる。

以上詳述した如き構成となせば、シャッター開閉時にお
ける機械的振動による影響並びにシャッター開放時にお
ける陰極線管の残光の影響を完全に除去でき、極めて鮮
明で良画質の写真が得られ、従来の装置のもつ欠点は解
消し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図及
び第３図は動作説明図である。 １：走査電子顕微鏡カラム、２：電子銃、３：集束レン
ズ、４：偏向コイル、５：試料、６：検出器、７：水平
走査信号発生回路、８：垂直走査信号発生回路、９：倍
率設定回路、１０：増幅器、１１：切換ス不ツチ、１２
：輝度制御回路、１３：陰極線管、１４：偏向コイル、
１５：マーカーパルス発生器、１６及び１８：スイッチ
、１７：観察モード駆動回路、１９：撮影モード駆動回
路、２０：カメラ、２１及び２２：遅延回路、２３：シ
ャッター駆動回路、２４：シャッター装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料上で電子線を２次元的に走査することにより得られ
   る情報を該走査と同期した陰極線管に導入し、該陰極線
   管上に表示された試料像を写真機を用いて写真撮影する
   装置において、撮影ボタンを操作した時点より一定時間
   経過した後上記写真機のシャッターが開く如くする手段
   を有し、前記撮影ボタンを押してからシャッターが開く
   までの間に走査信号発生回路をリセットし又陰極線管を
   カットオフの状態にする回路を備え、前記シャッター開
   放後一定時間経過して走査信号を発生させ且つ陰極線管
   のカットオフ状態を解除する回路を設けたことを特徴と
   する走査電子顕微鏡における写真撮影装置。