JPH07159128A - 測定顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、位置データに基づいて軌跡に沿う
ように移動ステージを移動制御し、習熟してない人でも
短時間で正確な測定を実現させることにある。 【構成】 移動ステージ（２）の試料（１）を撮影して
画像信号を入力する画像入力手段（４）と、この入力さ
れる画像信号に基づいて試料を表示画面に表示する画像
表示手段（７）と、座標入力面の絶対位置データを入力
及び指示可能な絶対位置入力手段（２１）と、絶対位置
入力手段から入力される絶対位置データを表示画面にお
ける画面内位置データに変換してこのデータに対応して
カーソルを表示画面に表示するカーソル表示手段（２
５）と、カーソル表示手段により表示されるカーソルが
移動し、絶対位置入力手段から絶対位置データが指示さ
れたとき、絶対位置データに対応して移動ステージを軌
跡に沿って移動させる移動指令を移動ステージに送出す
る移動ステージ制御手段（２６）とを備えた測定顕微
鏡。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば移動ステージに
載置された試料の長さや形状を測定する測定顕微鏡に係
わり、特に位置データの指示に基づいて所定の軌跡に沿
うように移動ステージを移動制御することにより、測定
の正確性を向上し得る測定顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、試料の長さや形状を測定する分野
では、移動ステージ上に試料を載置してこの移動ステー
ジを移動させると共に、この移動ステージの移動量に基
づいて、試料の長さ等を測定する測定装置が知られてい
る。

【０００３】この種の測定装置は、作業者により試料の
位置が観察され、手動操作により移動ステージが移動さ
れている。しかしながら、このような測定装置では、試
料の測定を作業者の手動操作によって行うため、測定の
再現性が低く、測定時間も長くかかるという問題があ
る。

【０００４】このため、測定者による手動操作の割合を
低減して試料を自動測定するように、電動ステージ、画
像処理装置及びエッジセンサ等を備えた測定顕微鏡が開
発されている。

【０００５】図９はこの種の測定顕微鏡の構成を示すブ
ロック図である。この測定顕微鏡は、試料１が載置され
てＸ，Ｙ方向に摺動自在に設けられた移動ステージ２を
有し、この移動ステージ２を下方から図示しない照明系
が照明している。

【０００６】試料１は、移動ステージ２の上方に配置さ
れた結像光学系３により、ＣＣＤカメラ４、観察系５及
びエッジセンサ６にそれぞれ投影されている。ＣＣＤカ
メラ４は投影像を画像信号に変換すると共に、この画像
信号をモニタ７に入力し、モニタ７はこの画像信号に基
づいて試料像を表示する。

【０００７】一方、入力部８は、例えばハンドル９、ジ
ョイスティック１０又はトラックボール１１等が使用可
能であり、操作者の操作に対応してステージ移動信号を
ステージ駆動部１２に送出する。

【０００８】ステージ駆動部１２は、このステージ移動
信号に従って移動ステージ２を駆動する。また、移動ス
テージ２はその移動量がカウンタ１３にカウントされ
る。

【０００９】一方、エッジセンサ６は移動中の試料像よ
り試料１のエッジを検出し、エッジ検出信号をカウンタ
１３に出力する。カウンタ１３はこのエッジ検出信号を
カウンタラッチ用信号として受信し、エッジ座標データ
をコンピュータ１４に送信する。

【００１０】コンピュータ１４はこのエッジ座標データ
に基づいて、試料１の長さ等を演算する。ここで、複数
のインナーリードを有するリードフレームを試料とした
場合の操作について図１０を用いて説明する。

【００１１】各インナーリード１５は、放物線状に形成
され、リード先端部１６から距離Ｌだけ離れたエッジ部
を夫々点ａ、点ｂとすると、これら点ａ，ｂの間の中央
部ｃ（ｘ，ｙ）がボンディング予定位置となっている。
なお、実際のボンディングは非常に正確さが要求される
ため、事前に基準位置からの各インナーリード１５のボ
ンディング予定位置を測定し、測定結果が設計上のボン
ディング位置の公差範囲内であるか否かを検査すること
が必要となる。

【００１２】そこで、測定者は、放射線状に広がる多数
のインナーリード１５の個々に対し、モニタ７もしくは
観察系５によりリード先端部１６よりほぼＬの距離にあ
る点Ａを目測すると共に、入力部８を操作してエッジセ
ンサ６の検出開始点を点Ａ近辺とするように移動ステー
ジ２を駆動する。また、同様にリード先端部１６よりほ
ぼＬの距離にある点Ｂを目測し、この点Ｂをエッジセン
サ６の検出点として点Ａから点Ｂ近辺に向けて移動させ
るように移動ステージ２を駆動する。

【００１３】これにより、エッジセンサ６がインナーリ
ード１５のエッジ部である点ａ、点ｂを検出して夫々エ
ッジ座標信号をコンピュータ１４に送出し、コンピュー
タ１４がこれらエッジ座標信号に基づいて、点ａ，点ｂ
の中央部の座標ｃ（ｘ，ｙ）を算出している。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような測定顕微鏡では、観察されるインナーリード１５
が放射線状に形成されているためにＸ方向又はＹ方向に
平行であるとは限らず、例えば、図１０に示すように、
斜めに観察されるインナーリード１５の場合、リード先
端部１６から距離Ｌだけ離間した点Ａ、点Ｂを目測する
のはほとんど不可能であるという問題がある。

【００１５】また、仮に、点Ａ、点Ｂが正しく目測され
たとしても、ハンドル９、ジョイスティック１０又はト
ラックボール１１の操作により、移動ステージ２を点Ａ
から点Ｂに向けて斜めにまっすぐ移動させることは極め
て困難であり、測定作業に慣れた熟練者でさえ、測定作
業に大幅に時間を要している。

【００１６】このため、実際のステージの動きは、図１
０の破線に示すように、直線ＡＢとはかなり異なる曲線
となり、エッジセンサが破線上の点ａ１、点ｂ１をエッ
ジとして検出するため、求めたい座標値ｃ（ｘ，ｙ）で
はなく、点ａ１と点ｂ１の中間座標を間違って測定して
しまうことになる。

【００１７】このように、移動ステージ２を、図１０に
示す如き、規定の軌跡を描くように正確に移動させるこ
とは不可能であり、試料１を正確に測定できないという
問題がある。

【００１８】本発明は上記実情を考慮してなされたもの
で、位置データの指示に基づいて所定の軌跡に沿うよう
に移動ステージを移動制御することにより、測定に習熟
してない人でも少ない作業時間で正確に試料を測定し得
る測定顕微鏡を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１に対応する発明
は、試料が載置された移動ステージを水平方向に移動さ
せ、当該移動中に前記試料の両端部を検出することによ
り、当該試料の両端部間の距離又は形状を測定可能な測
定顕微鏡において、前記移動ステージ上の試料を撮影し
てその画像信号を入力する画像入力手段と、この画像入
力手段から入力される画像信号に基づいて、前記試料を
表示画面に表示する画像表示手段と、平板状に形成され
た座標入力面を有し、この座標入力面における絶対位置
データを入力すると共に、該絶対位置データを指示可能
な絶対位置入力手段と、この絶対位置入力手段により入
力される前記座標入力面における絶対位置データを前記
表示画面における画面内位置データに変換し、且つこの
画面内位置データに対応してカーソルを前記表示画面に
表示するカーソル表示手段と、このカーソル表示手段に
より表示されるカーソルが移動し、前記絶対位置入力手
段により絶対位置データが指示されたとき、該絶対位置
データに対応して前記移動ステージを所定の軌跡に沿う
ように移動制御させる移動指令を前記移動ステージに送
出する移動ステージ制御手段とを備えた測定顕微鏡であ
る。

【００２０】また、請求項２に対応する発明は、試料が
載置された移動ステージを水平方向に移動させ、当該移
動中に前記試料の両端部を検出することにより、当該試
料の両端部間の距離又は形状を測定可能な測定顕微鏡に
おいて、平板状に形成された座標入力面を有し、この座
標入力面における絶対位置を指示するための絶対位置指
示手段と、この絶対位置指示手段により絶対位置が指示
されたとき、該絶対位置を前記移動ステージ内における
位置データに変換させてステージ内位置データを求める
絶対位置変換手段と、前記絶対位置変換手段によりステ
ージ内位置データが求められたとき、これらステージ内
位置データに対応して前記移動ステージを所定の軌跡に
沿うように移動制御させる移動指令を前記移動ステージ
に送出する移動ステージ制御手段とを備えた測定顕微鏡
である。

【００２１】さらに、請求項３に対応する発明は、試料
が載置された移動ステージを水平方向に移動させ、当該
移動中に前記試料の両端部を検出することにより、当該
試料の両端部間の距離又は形状を測定可能な測定顕微鏡
において、前記移動ステージ上の試料を撮影してその画
像信号を入力する画像入力手段と、この画像入力手段か
ら入力される画像信号に基づいて、前記試料を表示画面
に表示する画像表示手段と、平板状に形成された座標入
力面を有し、この座標入力面における絶対位置データを
入力すると共に、該絶対位置データを指示可能な絶対位
置入力手段と、この絶対位置入力手段により入力される
前記座標入力面における絶対位置データを前記表示画面
における画面内位置データに変換し、且つこの画面内位
置データに対応してカーソルを前記表示画面に表示する
カーソル表示手段と、前記絶対位置入力手段により指示
される絶対位置データを変換するための設定テーブルを
有し、この設定テーブルの設定に基づいて、前記座標入
力面に指示された絶対位置データを前記表示画面におけ
る画面内位置データ又は前記移動ステージ内におけるス
テージ内位置データに変換する指示位置変換手段と、こ
の指示位置変換手段により変換されて前記画面内位置デ
ータ又は前記ステージ内位置データが求められたとき、
当該位置データに対応して前記移動ステージを所定の軌
跡に沿うように移動制御させる移動指令を前記移動ステ
ージに送出する移動ステージ制御手段とを備えた測定顕
微鏡である。

【００２２】

【作用】従って、請求項１に対応する発明は以上のよう
な手段を講じたことにより、画像入力手段が、移動ステ
ージ上の試料を撮影してその画像信号を入力し、画像表
示手段が、この画像入力手段から入力される画像信号に
基づいて、試料を表示画面に表示し、絶対位置入力手段
が、平板状に形成された座標入力面における絶対位置デ
ータを入力すると共に、該絶対位置データを指示可能で
あり、カーソル表示手段が、この絶対位置入力手段によ
り入力される座標入力面における絶対位置データを表示
画面における画面内位置データに変換し、且つこの画面
内位置データに対応してカーソルを表示画面に表示し、
移動ステージ制御手段が、このカーソル表示手段により
表示されるカーソルが移動し、絶対位置入力手段により
絶対位置データが指示されたとき、該絶対位置データに
対応して移動ステージを所定の軌跡に沿うように移動制
御させる移動指令を移動ステージに送出するので、位置
データの指示に基づいて所定の軌跡に沿うように移動ス
テージを移動制御することにより、測定に習熟してない
人でも少ない作業時間で正確に試料を測定することがで
きる。

【００２３】また、請求項２に対応する発明は、平板状
に形成された座標入力面における絶対位置を指示するた
めの絶対位置指示手段を設け、絶対位置変換手段が、こ
の絶対位置指示手段により絶対位置が指示されたとき、
該絶対位置を移動ステージ内における位置データに変換
させてステージ内位置データを求め、移動ステージ制御
手段が、絶対位置変換手段によりステージ内位置データ
が求められたとき、これらステージ内位置データに対応
して移動ステージを所定の軌跡に沿うように移動制御さ
せる移動指令を移動ステージに送出するので、表示画面
を必要はなく、請求項１に対応する作用と同様の作用を
得ることができる。

【００２４】さらに、請求項３に対応する発明は、画像
入力手段が移動ステージ上の試料を撮影してその画像信
号を入力し、画像表示手段がこの画像入力手段から入力
される画像信号に基づいて、試料を表示画面に表示し、
絶対位置入力手段が、平板状に形成された座標入力面に
おける絶対位置データを入力すると共に、該絶対位置デ
ータを指示可能であり、カーソル表示手段が、この絶対
位置入力手段により入力される座標入力面における絶対
位置データを表示画面における画面内位置データに変換
し、且つこの画面内位置データに対応してカーソルを表
示画面に表示し、指示位置変換手段が、絶対位置入力手
段により指示される絶対位置データを変換するための設
定テーブルの設定に基づいて、座標入力面に指示された
絶対位置データを表示画面における画面内位置データ又
は移動ステージ内におけるステージ内位置データに変換
し、移動ステージ制御手段が、この指示位置変換手段に
より変換されて画面内位置データ又はステージ内位置デ
ータが求められたとき、当該位置データに対応して移動
ステージを所定の軌跡に沿うように移動制御させる移動
指令を移動ステージに送出するので、請求項１及び請求
項２に対応する作用を切換えて得ることができ、もっ
て、操作性の向上を図ることができる。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１の実施例に係る測定顕
微鏡の構成を示すブロック図であり、図９と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略し、ここでは
異なる部分についてのみ述べる。

【００２６】すなわち、本実施例装置は、位置データの
指示に基づいて所定の軌跡に沿うように移動ステージを
移動制御することにより、測定に習熟してない人でも少
ない作業時間で正確に試料を測定し得るようにしたもの
であって、具体的には図９に示す装置に対し、２次元上
の絶対位置データを指示可能なディジタイザ２１を付加
し、且つ従来のコンピュータ１４に代え、このディジタ
イザ２１から指示される絶対位置データに基づいて移動
ステージ２を制御するコンピュータ２２を備えた構成と
なっている。なお、このコンピュータ２２は従来のコン
ピュータ１４のもつ測定機能も備えている。

【００２７】ここで、ディジタイザ（絶対位置入力／指
示手段）２１は、平板状に形成された座標入力面として
の読取テーブル２３と、この読取テーブル２３上を移動
可能に設けられて絶対位置データをコンピュータ２２に
入力し、且つこの絶対位置データをコンピュータ２２に
指示するためのフリームービングカーソル２４とを備え
ている。

【００２８】コンピュータ２２は、ディジタイザ２１か
ら入力される絶対位置データをモニタ画面における画面
内位置データに変換し、且つこの画面内位置データに対
応してカーソルをモニタ画面に表示させるためのカーソ
ル表示信号をモニタ７に送出するカーソル表示部２５
と、ディジタイザ２１から指示される絶対位置データに
基づいて、移動ステージ２を所定の軌道に沿うように移
動させる移動指令を移動ステージ２に送出するステージ
制御部２６とを備えている。なお、ここでは所定の軌道
を直線軌道としている。

【００２９】次に、以上のように構成された測定顕微鏡
の動作を説明する。なお、モニタ画面の座標系は、図２
に示すように、ディジタイザ２１の座標系に１対１に対
応し、図２（ａ）に示す破線部が図２（ｂ）に示す破線
部に対応しているものとする。すなわち、モニタ画面２
７の点Ｃ_moはディジタイザ２１の点Ｃ_diに対応し、モニ
タ画面２７の点Ｄ_moはディジタイザ２１の点Ｄ_diに対応
している。

【００３０】ディジタイザ２１は、フリームービングカ
ーソル２４の位置をディジタイザ座標系の絶対位置デー
タに変換し、この絶対位置データをコンピュータ２２の
カーソル表示部２５及びステージ制御部２６に入力す
る。

【００３１】カーソル表示部２５は、この絶対位置デー
タをモニタ画面２７の座標系である画面内位置データに
変換してカーソル表示信号を作成し、このカーソル表示
信号をモニタ７に送出する。モニタ７は、図２（ａ）に
示すように、このカーソル表示信号に基づいてカーソル
を対応する画素に表示する。

【００３２】このとき、操作者はモニタ７を見ながらフ
リームービングカーソル２４をデジィタイザ２１の有効
範囲内に動かし、フリームービングカーソル２４に付い
ているボタンをクリックする。

【００３３】ステージ制御部２６は、クリックされたカ
ーソルの位置を移動ステージ２を移動させるために指示
された位置とみなして、ある規定の演算を実行する。例
えばモニタ１画素に対応する移動ステージ２上の距離
を、結像光学系３の倍率及びＣＣＤカメラ４の走査範囲
から演算し、この演算結果に基づいて、当該指示された
位置からモニタ画面２７の中心までの移動ステージ２上
における直線移動データを算出する。

【００３４】この直線移動データはクリックされた位置
を直線軌跡に沿ってモニタ画面２７の中心に移動させる
ためのＸＹ制御データであり、ステージ制御部２６はこ
の直線移動データを移動指令としてステージ駆動部１２
に送出する。

【００３５】ステージ駆動部１２はこの移動指令に基づ
いて移動ステージ２を移動させる。従って、図３に示す
ようなリードフレームが試料１であれば操作者の操作に
より、図３に示す点Ａが指示され、しかる後、点Ｂが指
示されると、移動ステージが直線ＡＢに沿って移動する
ので、点ａ及び点ｂの間の距離や中央の座標ｃ（ｘ，
ｙ）を正確に測定することができる。

【００３６】上述したように第１の実施例によれば、デ
ィジタイザ２１が絶対位置データを指示し、コンピュー
タ２２がこの絶対位置データに基づいて、移動ステージ
２を所定の軌道に沿うように移動させる移動指令を移動
ステージ２に送出するようにしたので、位置データの指
示に基づいて所定の軌跡に沿うように移動ステージ２を
移動制御することにより、測定に習熟してない人でも少
ない作業時間で正確に試料を測定することができる。

【００３７】また、第１の実施例によれば、独自の絶対
座標系をもつディジタイザ２１により位置を入力するよ
うにしたので、相対座標系であるマウスとは異なり、操
作者がモニタ画面２７内の位置とディジタイザ２１上の
位置とを視覚的に容易に対応づけることができ、もっ
て、位置の指示を確実かつ迅速に実行することができ
る。

【００３８】さらに、第１の実施例によれば、移動後の
終点位置を直接指示できるので、従来とは異なり、正確
かつ迅速に移動ステージを移動させることができる。次
に、本発明の第２の実施例に係る測定顕微鏡について説
明する。

【００３９】図４はこの測定顕微鏡の構成を示すブロッ
ク図であって、図１と同一部分には同一符号を付してそ
の詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分についての
み述べる。

【００４０】すなわち、本実施例装置は、第１の実施例
装置の操作性をさらに向上させるものであって、具体的
には図１に示す装置に対し、ディジタイザから指示され
る絶対位置データに基づいて所定の軌跡を算出し、且つ
この軌跡を表示させるための軌跡表示信号をモニタに送
出する軌跡算出部２８をコンピュータ２２に付加した構
成となっている。

【００４１】ここで、図５に示すように、測定対象とし
てのインナーリード１５がモニタ画面２７に表示されて
いるとする。モニタ画面２７では、操作者のフリームー
ビングカーソル２４の操作により、カーソルがインナー
リード先端部１６に移動され、且つフリームービングカ
ーソル２４のボタンのクリック操作により、このインナ
ーリード先端部１６の表示位置（ｓ１）がコンピュータ
２２に指示される。

【００４２】続いて同様に、操作者のフリームービング
カーソル２４の操作により、インナーリード先端部１６
に対し、直交する端面上の２点の表示位置（Ｓ２，Ｓ
３）がコンピュータ２２に指示される。

【００４３】ここで、コンピュータ２２の軌跡算出部２
８は、点ｓ２，ｓ３を通る直線に直交する直線軌跡であ
り、且つ点ｓ１から所定の距離Ｌだけ離間した直線軌跡
ｍを算出し、この直線軌跡ｍをリードフレーム画像に重
ねてモニタ画面２７に表示するための軌跡表示信号をモ
ニタ７に送出する。

【００４４】モニタ７はこの軌跡表示信号に基づいて、
直線軌跡ｍをリードフレーム画像に重ねて表示する。し
かる後、モニタ画面２７では、操作者のフリームービン
グカーソル２４の操作により、直線軌跡ｍ上のエッジ部
の点ａ，点ｂを含むように、点ａ，点ｂよりも外側の直
線軌跡ｍ上の点ｓ４、ｓ５が順次コンピュータ２２に指
示される。なお、ここで、点ｓ４から点ｓ５に至る線分
は移動ステージ２が描くべき軌跡である。

【００４５】コンピュータ２２のステージ制御部２６
は、点ｓ４をステージ移動の始点としてみなし、点ｓ４
がモニタ画面２７の中心にくるようにステージ移動量を
算出してステージ駆動部１２に移動指令を送出する。次
に、点ｓ５をステージ移動の終点とみなして、点ｓ５が
モニタ画面２７の中心にくるようにステージ移動量を算
出してステージ駆動部１２に移動指令を送出する。

【００４６】ステージ駆動部１２は、この移動指令によ
り、モニタ画面２７の中心を点ｓ４からｓ５に位置させ
るように移動ステージ２を移動させる。このように、移
動ステージ２が点ｓ４からｓ５に至るまで直線軌跡ｍに
沿って移動するので、点ａ及び点ｂの間の距離や中央の
座標ｃ（ｘ，ｙ）を一層正確に測定することができる。

【００４７】上述したように第２の実施例によれば、第
１の実施例装置に対し、所定の軌跡を算出して表示させ
る軌跡算出部２８を付加するようにしたので、第１の実
施例の効果に加え、インナーリード先端部１６からの距
離Ｌを目測する必要がなく、もって、一層測定の正確性
及び操作性を向上させることができる。

【００４８】次に、本発明の第３の実施例に係る測定顕
微鏡について説明する。図６はこの測定顕微鏡の構成を
示すブロック図であり、図７はこの測定顕微鏡に適用さ
れるステージ座標系及びディジタイザ座標系の設定を示
す模式図であって、図１と同一部分には同一符号を付す
と共に、図１とほぼ同一部分には同一符号にａの添字を
付してその詳しい説明は省略し、ここでは異なる部分に
ついてのみ述べる。

【００４９】すなわち、本実施例装置は、モニタ画面２
７を必要はなく、試料１の設計図により測定可能とした
ものであって、具体的には、第１及び第２の実施例装置
においてはディジタイザ座標系をモニタ画面２７に１対
１に対応させていたのに対し、ここではディジタイザ座
標系を移動ステージ座標系に１対１に対応させるための
絶対位置変換部２９をコンピュータ２２ａに備えた構成
となっている。

【００５０】いま、操作者により、図７（ｃ）に示すよ
うに試料１が移動ステージ２に載置され、図７（ｄ）に
示すようにこの試料１の設計図３０がディジタイザ２１
上に配置される。

【００５１】続いて、操作者の操作により、移動ステー
ジ２上の点Ｅにディジタイザ上の点Ｅ_diが対応し、移動
ステージ２上の点Ｆにディジタイザ２１上の点Ｆ_diが対
応するように予めコンピュータ２２ａに座標設定が行わ
れる。

【００５２】なお、この座標設定は、モニタ７又は観察
系（図示せず）を用い、試料１と設計図３０との対応関
係を観察してカーソル入力することにより実行可能であ
る。また、試料１を保持可能な保持具を使用し、試料１
がこの保持具に保持されたとしたとき、試料１をディジ
タイザ２１上の設計図３０に１対１対応させるように保
持具を移動テーブル２上に取付けて座標設定してもよ
い。

【００５３】座標設定が完了すると、操作者のフリーム
ービングカーソル２４の移動及びクリック操作により、
ディジタイザ２１上に配置された設計図３０のある絶対
位置データがコンピュータ２２ａの絶対位置変換部２９
に指示される。

【００５４】コンピュータ２２は、第１の実施例装置と
同様に、絶対位置変換部２９が指示された絶対位置デー
タを移動ステージ２内における位置データに変換し、移
動ステージ制御部２６ａがこの変換結果であるステージ
内位置データを含む移動指令をステージ駆動部２１に送
出することにより、移動ステージ２を設計図３０上の指
示した位置に移動させることができる。なお、コンピュ
ータ３３は、第２の実施例装置と同様に、クリックされ
た位置に基づいて、規定の演算を実行することにより、
移動ステージ２を所定の軌跡を描くように移動させる構
成としてもよい。

【００５５】上述したように第３の実施例によれば、絶
対位置変換部２９がディジタイザ２１から指示される絶
対位置データを移動ステージ２内における位置データに
変換し、移動ステージ制御部２６ａがこのステージ内位
置データに対応して移動指令を送出するようにしたの
で、操作者が試料１の設計図３０を見て移動ステージ２
の軌跡を直接指示できることから、どのような測定をす
べきか、また、測定のために移動ステージ２をどう移動
させるかといった測定条件を容易に把握でき、より一層
操作性を向上させることができる。

【００５６】また、第３の実施例によれば、移動ステー
ジ２の可動範囲をディジタイザ２１の有効範囲に１対１
対応させる座標設定が可能であり、これに伴い、移動ス
テージ２の一部を表示するモニタ画面２７の表示範囲を
越えるような長い距離に対しても、その距離の移動を容
易に指示することができる。

【００５７】次に、本発明の第４の実施例に係る測定顕
微鏡について説明する。図８はこの測定顕微鏡の構成を
示すブロック図であり、図１及び図６と同一部分には同
一符号を付してその詳しい説明は省略し、ここでは異な
る部分についてのみ述べる。

【００５８】すなわち、本実施例装置は、カーソル指示
されたディジタイザ座標系をモニタ座標系又は移動ステ
ージ座標系に切換えて変換可能にし、さらに操作性を向
上させるものであって、具体的には図１及び図６に示す
装置に対し、ステージ制御部２６，２６ａ及び絶対位置
変換部２９に代え、変換結果がモニタ座標系又はステー
ジ座標系のいずれかとなるように設定される設定テーブ
ル３１と、この設定テーブル３１の設定に基づいて、デ
ィジタイザ２１から指示された絶対位置データをモニタ
座標系の画面内位置データ又は移動ステージ座標系のス
テージ内位置データに変換する指示位置変換部３２と、
この指示位置変換部３２により得られる画面内位置デー
タ又はステージ内位置データに対応して移動指令を移動
ステージ２に送出する移動ステージ制御部３３とをコン
ピュータ２２ａに備えている。

【００５９】ここで、操作者の操作により、ディジタイ
ザ座標系を移動ステージ座標系に変換するように設定テ
ーブル３１が設定されたとする。続いて、前述同様に、
操作者のフリームービングカーソル２４の操作により、
ディジタイザ２１上に配置された設計図３０上のある位
置が絶対位置データとしてコンピュータ２２ａの指示位
置変換部３２に指示される。

【００６０】指示位置変換部３２は、設定テーブル３１
の設定に基づいて、この絶対位置データをステージ内位
置データに変換し、移動ステージ制御部３３はこのステ
ージ内位置データに対応して移動指令を移動テーブル２
に送出する。

【００６１】移動テーブル２は、この移動指令に基づい
て、ディジタイザ２１上で指示された位置をモニタ画面
２７の中心とするように移動し、モニタ７は試料１のう
ちの当該指示された位置をモニタ画面２７に拡大表示す
る。

【００６２】次に、操作者の操作により、ディジタイザ
座標系をモニタ座標系に変換するように設定テーブル３
１が切換え設定される。続いて、操作者のフリームービ
ングカーソル２４の操作により、モニタ画面２７に拡大
表示された試料１の所定位置が絶対位置データとしてコ
ンピュータ２２ａの指示位置変換部３２及びカーソル表
示部２５に指示される。

【００６３】カーソル表示部２５はこの絶対位置データ
を画面内位置データに変換し、カーソル表示信号をモニ
タ７に送出する。一方、指示位置変換部３２は、設定テ
ーブル３１の設定に基づいて、この絶対位置データを画
面内位置データに変換し、移動ステージ制御部３３はこ
の画面内位置データに対応して移動指令を移動テーブル
２に送出する。

【００６４】移動テーブル２は、この移動指令に基づい
て、モニタ画面２７に表示された指示位置をモニタ画面
２７の中心とするように移動する。以下、前述した通
り、操作者のフリームービングカーソル２４の操作によ
り、他の指示位置が指示されると、移動ステージ２が現
在位置から当該他の指示位置に直線的に移動し、例えば
インナーリード１５の中央の座標ｃ（ｘ，ｙ）等が正確
に測定される。

【００６５】上述したように第４の実施例によれば、設
定テーブル３１及び指示位置変換部３２を設け、設定テ
ーブル３１の設定に基づいて、指示位置変換部３２がデ
ィジタイザ２１から指示される絶対位置データをモニタ
座標系の画面内位置データ又は移動ステージ座標系のス
テージ内位置データに変換するようにしたので、測定の
状況に対応してモニタ座標系及び移動ステージ座標系を
切換えることにより、複雑かつ多様な測定を効率的に実
行することができる。

【００６６】なお、上記第１乃至第４の実施例では、直
線軌跡に沿ってインナーリード１５の中心座標ｃ（ｘ，
ｙ）を測定する場合について説明したが、これに限ら
ず、所定の規則に従って位置を指示することにより所定
の軌跡を求められる構成であれば、本発明を同様に実施
して同様の効果を得ることができる。

【００６７】例えば、図２（ａ）のモニタ画面２７の試
料のように、円周状に並んだスリットの間隔を測定する
場合、複数のスリットの開口部に沿って数点の座標を指
示し、これら指示位置の延長線上の交点を中心とした円
軌跡を算出し、この円軌跡に沿って移動ステージ２を移
動させる構成としてもよい。

【００６８】また、上述した円軌跡や直線軌跡などの軌
跡を描く複数の指示方法を予め登録し、操作者の操作に
より適切に指示方法を選択する構成としてもよい。ま
た、上記第２の実施例では、モニタ画面２７の全体をデ
ィジタイザ２１の有効範囲に対応させていたが、これに
限らず、例えばモニタ画面２７の一部をディジタイザ２
１の有効範囲に対応するように座標設定しても、本発明
を同様に実施し、より一層操作性を向上させることがで
きる。

【００６９】また、上記第１乃至第４の実施例では、ス
テージ制御部２６，３３、軌跡算出部２８、絶対位置変
換部２９及び指示位置変換部３２などの各構成要素を１
つのコンピュータ２２，２２ａにより実現した場合につ
いて説明したが、これに限らず、他の電気回路等の装置
を１つ又は複数使用して該各構成要素を実現しても、本
発明を同様に実施して同様の効果を得ることができる。
その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施できる。

【００７０】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、画像入力手段が、移動ステージ上の試料を撮影し
てその画像信号を入力し、画像表示手段が、この画像入
力手段から入力される画像信号に基づいて、試料を表示
画面に表示し、絶対位置入力手段が、平板状に形成され
た座標入力面における絶対位置データを入力すると共
に、該絶対位置データを指示可能であり、カーソル表示
手段が、この絶対位置入力手段により入力される座標入
力面における絶対位置データを表示画面における画面内
位置データに変換し、且つこの画面内位置データに対応
してカーソルを表示画面に表示し、移動ステージ制御手
段が、このカーソル表示手段により表示されるカーソル
が移動し、絶対位置入力手段により絶対位置データが指
示されたとき、該絶対位置データに対応して移動ステー
ジを所定の軌跡に沿うように移動制御させる移動指令を
移動ステージに送出するようにしたので、位置データの
指示に基づいて所定の軌跡に沿うように移動ステージを
移動制御することにより、測定に習熟してない人でも少
ない作業時間で正確に試料を測定できる測定顕微鏡を提
供できる。

【００７１】また、請求項２の発明によれば、平板状に
形成された座標入力面における絶対位置を指示するため
の絶対位置指示手段を設け、絶対位置変換手段が、この
絶対位置指示手段により絶対位置が指示されたとき、該
絶対位置を移動ステージ内における位置データに変換さ
せてステージ内位置データを求め、移動ステージ制御手
段が、絶対位置変換手段によりステージ内位置データが
求められたとき、これらステージ内位置データに対応し
て移動ステージを所定の軌跡に沿うように移動制御させ
る移動指令を移動ステージに送出するようにしたので、
表示画面を見ることなく、請求項１の効果と同様の効果
を奏する測定顕微鏡を提供できる。

【００７２】さらに、請求項３の発明は、画像入力手段
が移動ステージ上の試料を撮影してその画像信号を入力
し、画像表示手段がこの画像入力手段から入力される画
像信号に基づいて、試料を表示画面に表示し、絶対位置
入力手段が、平板状に形成された座標入力面における絶
対位置データを入力すると共に、該絶対位置データを指
示可能であり、カーソル表示手段が、この絶対位置入力
手段により入力される座標入力面における絶対位置デー
タを表示画面における画面内位置データに変換し、且つ
この画面内位置データに対応してカーソルを表示画面に
表示し、指示位置変換手段が、絶対位置入力手段により
指示される絶対位置データを変換するための設定テーブ
ルの設定に基づいて、座標入力面に指示された絶対位置
データを表示画面における画面内位置データ又は移動ス
テージ内におけるステージ内位置データに変換し、移動
ステージ制御手段が、この指示位置変換手段により変換
されて画面内位置データ又はステージ内位置データが求
められたとき、当該位置データに対応して移動ステージ
を所定の軌跡に沿うように移動制御させる移動指令を移
動ステージに送出するようにしたので、請求項１及び請
求項２の効果を切換えて得ることができ、もって、操作
性を向上できる測定顕微鏡を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る測定顕微鏡の構成
を示すブロック図。

【図２】同実施例におけるモニタ画面とディジタイザと
の関係を説明するための図。

【図３】同実施例における動作を説明するための模式
図。

【図４】本発明の第２の実施例に係る測定顕微鏡の構成
を示すブロック図。

【図５】同実施例における動作を説明するための模式
図。

【図６】本発明の第３の実施例に係る測定顕微鏡の構成
を示すブロック図。

【図７】同実施例におけるステージ座標系及びディジタ
イザ座標系の設定を示す模式図。

【図８】本発明の第３の実施例に係る測定顕微鏡の構成
を示すブロック図。

【図９】従来の測定顕微鏡の構成を示すブロック図。

【図１０】従来の動作を説明するための模式図。

【符号の説明】

１…試料、２…移動ステージ、３…結像光学系、４…Ｃ
ＣＤカメラ、６…エッジセンサ、７…モニタ、８…入力
部、９…ハンドル、１０…ジョイスティック、１１…ト
ラックボール、１２…ステージ駆動部、１３…カウン
タ、２１…ディジタイザ、２２…コンピュータ、２３…
読取りテーブル、２４…フリームービングカーソル、２
５…カーソル表示部、２６…ステージ制御部、２８…軌
跡算出部、２９…絶対位置変換部、３０…設計図、３１
…設定テーブル、３２…指示位置変換部、３３…移動ス
テージ制御部。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料が載置された移動ステージを水平方
   向に移動させ、当該移動中に前記試料の両端部を検出す
   ることにより、当該試料の両端部間の距離又は形状を測
   定可能な測定顕微鏡において、 前記移動ステージ上の試料を撮影してその画像信号を入
   力する画像入力手段と、 この画像入力手段から入力される画像信号に基づいて、
   前記試料を表示画面に表示する画像表示手段と、 平板状に形成された座標入力面を有し、この座標入力面
   における絶対位置データを入力すると共に、該絶対位置
   データを指示可能な絶対位置入力手段と、 この絶対位置入力手段により入力される前記座標入力面
   における絶対位置データを前記表示画面における画面内
   位置データに変換し、且つこの画面内位置データに対応
   してカーソルを前記表示画面に表示するカーソル表示手
   段と、 このカーソル表示手段により表示されるカーソルが移動
   し、前記絶対位置入力手段により絶対位置データが指示
   されたとき、該絶対位置データに対応して前記移動ステ
   ージを所定の軌跡に沿うように移動制御させる移動指令
   を前記移動ステージに送出する移動ステージ制御手段と
   を備えたことを特徴とする測定顕微鏡。
2. 【請求項２】 試料が載置された移動ステージを水平方
   向に移動させ、当該移動中に前記試料の両端部を検出す
   ることにより、当該試料の両端部間の距離又は形状を測
   定可能な測定顕微鏡において、 平板状に形成された座標入力面を有し、この座標入力面
   における絶対位置を指示するための絶対位置指示手段
   と、 この絶対位置指示手段により絶対位置が指示されたと
   き、該絶対位置を前記移動ステージ内における位置デー
   タに変換させてステージ内位置データを求める絶対位置
   変換手段と、 前記絶対位置変換手段によりステージ内位置データが求
   められたとき、これらステージ内位置データに対応して
   前記移動ステージを所定の軌跡に沿うように移動制御さ
   せる移動指令を前記移動ステージに送出する移動ステー
   ジ制御手段とを備えたことを特徴とする測定顕微鏡。
3. 【請求項３】 試料が載置された移動ステージを水平方
   向に移動させ、当該移動中に前記試料の両端部を検出す
   ることにより、当該試料の両端部間の距離又は形状を測
   定可能な測定顕微鏡において、 前記移動ステージ上の試料を撮影してその画像信号を入
   力する画像入力手段と、 この画像入力手段から入力される画像信号に基づいて、
   前記試料を表示画面に表示する画像表示手段と、 平板状に形成された座標入力面を有し、この座標入力面
   における絶対位置データを入力すると共に、該絶対位置
   データを指示可能な絶対位置入力手段と、 この絶対位置入力手段により入力される前記座標入力面
   における絶対位置データを前記表示画面における画面内
   位置データに変換し、且つこの画面内位置データに対応
   してカーソルを前記表示画面に表示するカーソル表示手
   段と、 前記絶対位置入力手段により指示される絶対位置データ
   を変換するための設定テーブルを有し、この設定テーブ
   ルの設定に基づいて、前記座標入力面に指示された絶対
   位置データを前記表示画面における画面内位置データ又
   は前記移動ステージ内におけるステージ内位置データに
   変換する指示位置変換手段と、 この指示位置変換手段により変換されて前記画面内位置
   データ又は前記ステージ内位置データが求められたと
   き、当該位置データに対応して前記移動ステージを所定
   の軌跡に沿うように移動制御させる移動指令を前記移動
   ステージに送出する移動ステージ制御手段とを備えたこ
   とを特徴とする測定顕微鏡。