JP2000146794A - ロックウェル硬度計 - Google Patents
ロックウェル硬度計Info
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- JP2000146794A JP2000146794A JP10315266A JP31526698A JP2000146794A JP 2000146794 A JP2000146794 A JP 2000146794A JP 10315266 A JP10315266 A JP 10315266A JP 31526698 A JP31526698 A JP 31526698A JP 2000146794 A JP2000146794 A JP 2000146794A
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料と圧子との位置合わせを自動的に行うこ
とができるロックウェル硬度計を提供する。 【解決手段】 画像処理部３０は、ＣＣＤカメラ２０で
撮像した画像データに基づいて試料２の形状を認識す
る。ＣＲＴ表示装置７０の画面上には試料２についての
画像データが表示される。オペレータがマウス６１を用
いてその画像データが表示された画面上で試料の一又は
複数の測定位置を指定すると、移動量算出部４０は、各
測定位置に圧子１１を押し付けることができるように各
測定位置に対するＸＹステージ１３の移動量を算出す
る。硬度測定を開始する旨の信号が送られると、制御部
５０は、移動量算出部４０で算出されたＸＹステージ１
３の移動量に関するテータに基づいてステージ駆動部１
４の動作を制御する。これにより、試料２と圧子１１と
の位置合わせを自動的に行うことができる。
とができるロックウェル硬度計を提供する。 【解決手段】 画像処理部３０は、ＣＣＤカメラ２０で
撮像した画像データに基づいて試料２の形状を認識す
る。ＣＲＴ表示装置７０の画面上には試料２についての
画像データが表示される。オペレータがマウス６１を用
いてその画像データが表示された画面上で試料の一又は
複数の測定位置を指定すると、移動量算出部４０は、各
測定位置に圧子１１を押し付けることができるように各
測定位置に対するＸＹステージ１３の移動量を算出す
る。硬度測定を開始する旨の信号が送られると、制御部
５０は、移動量算出部４０で算出されたＸＹステージ１
３の移動量に関するテータに基づいてステージ駆動部１
４の動作を制御する。これにより、試料２と圧子１１と
の位置合わせを自動的に行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料の硬度を
測定するロックウェル硬度計に関するものである。
測定するロックウェル硬度計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、金属材料の硬度を測定するの
に各種の硬度計が用いられている。このうち、ロックウ
ェル硬度計では、鋼球、ダイヤモンド等の圧子を用い、
その圧子を試料の表面に一定荷重で押し付けることによ
り、試料に圧痕を形成する。そして、その圧痕の深さを
測定し、その深さからロックウェル硬度を求める。かか
るロックウェル硬度計は、例えばビッカース硬度計に比
べて簡易な構造であるため、安価であり、また、硬度を
迅速に測定できるという利点がある。
に各種の硬度計が用いられている。このうち、ロックウ
ェル硬度計では、鋼球、ダイヤモンド等の圧子を用い、
その圧子を試料の表面に一定荷重で押し付けることによ
り、試料に圧痕を形成する。そして、その圧痕の深さを
測定し、その深さからロックウェル硬度を求める。かか
るロックウェル硬度計は、例えばビッカース硬度計に比
べて簡易な構造であるため、安価であり、また、硬度を
迅速に測定できるという利点がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のロッ
クウェル硬度計では自動化があまり図られていないのが
現状である。このため、オペレータは、硬度を測定する
際に、目視で試料と圧子との位置合わせを行い、圧子を
手動で試料の指定された測定位置に押し付ける。しかし
ながら、試料の大きさや形状によっては、試料の測定位
置が見づらい場合があり、試料と圧子との位置合わせ作
業はオペレータにとって煩雑であり、容易でないという
問題があった。
クウェル硬度計では自動化があまり図られていないのが
現状である。このため、オペレータは、硬度を測定する
際に、目視で試料と圧子との位置合わせを行い、圧子を
手動で試料の指定された測定位置に押し付ける。しかし
ながら、試料の大きさや形状によっては、試料の測定位
置が見づらい場合があり、試料と圧子との位置合わせ作
業はオペレータにとって煩雑であり、容易でないという
問題があった。
【０００４】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、試料と圧子との位置合わせを自動的に行うこと
ができるロックウェル硬度計を提供することを目的とす
るものである。
であり、試料と圧子との位置合わせを自動的に行うこと
ができるロックウェル硬度計を提供することを目的とす
るものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係るロックウェル硬度計は、試料を載置
し、その載置面内で互いに直交するＸ方向及びＹ方向に
移動可能なＸＹステージと、前記試料に圧子を所定の荷
重で押し付けることにより圧痕を形成し、前記圧痕の深
さから硬度を測定する硬度測定器と、前記ＸＹステージ
の載置面に略垂直な方向から前記試料を撮像する撮像手
段と、前記撮像手段で得られた画像データに基づいて前
記試料の形状を認識する画像処理手段と、前記画像処理
手段で形状認識された前記試料についての画像データを
画面上に表示すると共に、前記硬度測定器での硬度測定
の結果を画面上に表示する表示手段と、前記試料につい
ての画像データが表示された前記表示手段の画面上で前
記試料の一又は複数の測定位置を指定するための位置入
力手段と、前記位置入力手段により前記各測定位置が指
定されたときに、前記各測定位置に前記圧子を押し付け
ることができるように前記各測定位置に対する前記ＸＹ
ステージの移動量を算出する移動量算出手段と、硬度測
定を開始する旨の信号が送られたときに、前記移動量算
出手段で算出された前記ＸＹステージの移動量に関する
データに基づいて前記ＸＹステージの移動を制御する制
御手段と、を具備することを特徴とするものである。
めの本発明に係るロックウェル硬度計は、試料を載置
し、その載置面内で互いに直交するＸ方向及びＹ方向に
移動可能なＸＹステージと、前記試料に圧子を所定の荷
重で押し付けることにより圧痕を形成し、前記圧痕の深
さから硬度を測定する硬度測定器と、前記ＸＹステージ
の載置面に略垂直な方向から前記試料を撮像する撮像手
段と、前記撮像手段で得られた画像データに基づいて前
記試料の形状を認識する画像処理手段と、前記画像処理
手段で形状認識された前記試料についての画像データを
画面上に表示すると共に、前記硬度測定器での硬度測定
の結果を画面上に表示する表示手段と、前記試料につい
ての画像データが表示された前記表示手段の画面上で前
記試料の一又は複数の測定位置を指定するための位置入
力手段と、前記位置入力手段により前記各測定位置が指
定されたときに、前記各測定位置に前記圧子を押し付け
ることができるように前記各測定位置に対する前記ＸＹ
ステージの移動量を算出する移動量算出手段と、硬度測
定を開始する旨の信号が送られたときに、前記移動量算
出手段で算出された前記ＸＹステージの移動量に関する
データに基づいて前記ＸＹステージの移動を制御する制
御手段と、を具備することを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態
であるロックウェル硬度計の概略ブロック図、図２はそ
のロックウェル硬度計において測定位置を指定する画面
の一例を示す図、図３はそのロックウェル硬度計におい
て硬度測定結果を表示する画面の一例を示す図である。
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態
であるロックウェル硬度計の概略ブロック図、図２はそ
のロックウェル硬度計において測定位置を指定する画面
の一例を示す図、図３はそのロックウェル硬度計におい
て硬度測定結果を表示する画面の一例を示す図である。
【０００７】本実施形態のロックウェル硬度計は、図１
に示すように、硬度測定器１０と、撮像手段としてのＣ
ＣＤカメラ２０と、画像処理部３０と、移動量算出部４
０と、制御部５０と、マウス６１又はキーボード６２
と、ＣＲＴ表示装置７０と、カラープリンタ８０とを具
備するものである。
に示すように、硬度測定器１０と、撮像手段としてのＣ
ＣＤカメラ２０と、画像処理部３０と、移動量算出部４
０と、制御部５０と、マウス６１又はキーボード６２
と、ＣＲＴ表示装置７０と、カラープリンタ８０とを具
備するものである。
【０００８】硬度測定器１０は、圧子１１と、圧子駆動
部１２と、測定の対象物である試料２を載置するＸＹス
テージ１３と、ステージ駆動部１４と、第一ステップモ
ータ１５ａ及び第二ステップモータ１５ｂとを有する。
圧子１１としては、鋼球を用いる。圧子駆動部１２は、
図示しないモータを駆動して、圧子１１を上下方向（Ｚ
方向）に移動させる。硬度測定器１０は、圧子１１を試
料２の指定された位置に所定の荷重で押し付けることに
より、試料２にくぼみ（圧痕）を付ける。硬度測定器１
０には圧痕の深さを計測する機能が備わっており、硬度
測定器１０自身がその圧痕の深さからロックウェル硬度
ＨＲ を算出する。
部１２と、測定の対象物である試料２を載置するＸＹス
テージ１３と、ステージ駆動部１４と、第一ステップモ
ータ１５ａ及び第二ステップモータ１５ｂとを有する。
圧子１１としては、鋼球を用いる。圧子駆動部１２は、
図示しないモータを駆動して、圧子１１を上下方向（Ｚ
方向）に移動させる。硬度測定器１０は、圧子１１を試
料２の指定された位置に所定の荷重で押し付けることに
より、試料２にくぼみ（圧痕）を付ける。硬度測定器１
０には圧痕の深さを計測する機能が備わっており、硬度
測定器１０自身がその圧痕の深さからロックウェル硬度
ＨＲ を算出する。
【０００９】ＸＹステージ１３は、前後左右に移動可能
なものであり、図１の左右方向（Ｘ方向）に移動するＸ
方向ステージ１３ａと、図１の紙面に垂直な方向（Ｙ方
向）に移動するＹ方向ステージ１３ｂとを組み合わせて
構成される。Ｘ方向ステージ１３ａはＹ方向ステージ１
３ｂの上側に設けられており、試料２はＸ方向ステージ
１３ａ上に載置される。ＸＹステージ１３の移動は、ス
テージ駆動部１４により行う。ステージ駆動部１４は、
制御部５０の指示に基づいて、第一ステップモータ１５
ａを動作させることにより、Ｘ方向ステージ１３ａをＸ
方向に移動させ、また、第二ステップモータ１５ｂを動
作させることによりＹ方向ステージ１３ｂを移動させ
る。尚、以下では、Ｘ方向に平行な軸をＸ軸、Ｙ方向に
平行な軸をＹ軸とし、硬度測定器１０に固定して設けら
れた二次元座標系をＸＹ座標系と称する。
なものであり、図１の左右方向（Ｘ方向）に移動するＸ
方向ステージ１３ａと、図１の紙面に垂直な方向（Ｙ方
向）に移動するＹ方向ステージ１３ｂとを組み合わせて
構成される。Ｘ方向ステージ１３ａはＹ方向ステージ１
３ｂの上側に設けられており、試料２はＸ方向ステージ
１３ａ上に載置される。ＸＹステージ１３の移動は、ス
テージ駆動部１４により行う。ステージ駆動部１４は、
制御部５０の指示に基づいて、第一ステップモータ１５
ａを動作させることにより、Ｘ方向ステージ１３ａをＸ
方向に移動させ、また、第二ステップモータ１５ｂを動
作させることによりＹ方向ステージ１３ｂを移動させ
る。尚、以下では、Ｘ方向に平行な軸をＸ軸、Ｙ方向に
平行な軸をＹ軸とし、硬度測定器１０に固定して設けら
れた二次元座標系をＸＹ座標系と称する。
【００１０】ＣＣＤカメラ２０は、Ｚ方向から試料２を
撮像するものであり、圧子１１からＸ方向に沿って一定
の距離のところに設けられている。試料２を撮像すると
きには、試料２がＣＣＤカメラ２０の略下側に位置する
ように、ＸＹステージ１３を所定距離だけ移動する。こ
のＣＣＤカメラ２０のレンズとしては、試料２が一つの
画像中に写り且つ試料２を例えば５倍程度に拡大して写
すことができるものを用いる。また、ＣＣＤカメラ２０
には、オートフォーカス機能が付いており、試料２の光
学像の焦点を自動的に合わせることができる。ＣＣＤカ
メラ２０で撮像された画像データは画像処理部３０に送
られる。
撮像するものであり、圧子１１からＸ方向に沿って一定
の距離のところに設けられている。試料２を撮像すると
きには、試料２がＣＣＤカメラ２０の略下側に位置する
ように、ＸＹステージ１３を所定距離だけ移動する。こ
のＣＣＤカメラ２０のレンズとしては、試料２が一つの
画像中に写り且つ試料２を例えば５倍程度に拡大して写
すことができるものを用いる。また、ＣＣＤカメラ２０
には、オートフォーカス機能が付いており、試料２の光
学像の焦点を自動的に合わせることができる。ＣＣＤカ
メラ２０で撮像された画像データは画像処理部３０に送
られる。
【００１１】画像処理部３０は、ＣＣＤカメラ２０で取
得した画像データに所定の処理を施し、試料２の形状を
認識するものである。具体的には、まず、画像データに
二値化処理を施すことにより、二値画像データを得る。
次に、その二値画像データにラベル付け処理を施し、ラ
ベル付けられた各領域の特徴量を求めた後、特徴量に基
づいて試料２を表す領域を抽出する。そして、その試料
２を表す領域について、例えばボーダーサーチを行い、
試料２を表す領域の各輪郭点の座標データを取り込むこ
とにより、試料２の形状を認識する。この形状認識され
た試料２についての二値画像データは、ＣＲＴ表示装置
７０の画面上に表示される。試料２についての二値画像
データの一例を図２に示す。この例では、試料２として
歯車の一部を用いている。
得した画像データに所定の処理を施し、試料２の形状を
認識するものである。具体的には、まず、画像データに
二値化処理を施すことにより、二値画像データを得る。
次に、その二値画像データにラベル付け処理を施し、ラ
ベル付けられた各領域の特徴量を求めた後、特徴量に基
づいて試料２を表す領域を抽出する。そして、その試料
２を表す領域について、例えばボーダーサーチを行い、
試料２を表す領域の各輪郭点の座標データを取り込むこ
とにより、試料２の形状を認識する。この形状認識され
た試料２についての二値画像データは、ＣＲＴ表示装置
７０の画面上に表示される。試料２についての二値画像
データの一例を図２に示す。この例では、試料２として
歯車の一部を用いている。
【００１２】位置入力手段としてのマウス６１は、試料
２についての二値画像データが表示されたＣＲＴ表示装
置７０の画面上で、硬度の測定を行いたい試料２の測定
位置を指定するために用いられる。測定位置は一つだけ
でなく複数指定することができる。オペレータがＣＲＴ
表示装置７０の画面上でマウス６１のカーソルを移動
し、マウス７１をクリックすると、測定位置が指定され
る。この指定された測定位置は、画像上のｘｙ座標系の
座標値で特定される。図２の例では、各歯先の位置Ｐｋ
（ｋ＝１，３，５）と、各歯底の位置Ｐｋ （ｋ＝
２，４）とを指定する場合を示している。尚、マウス６
１の代わりにジョイスティック等を用いてもよい。
２についての二値画像データが表示されたＣＲＴ表示装
置７０の画面上で、硬度の測定を行いたい試料２の測定
位置を指定するために用いられる。測定位置は一つだけ
でなく複数指定することができる。オペレータがＣＲＴ
表示装置７０の画面上でマウス６１のカーソルを移動
し、マウス７１をクリックすると、測定位置が指定され
る。この指定された測定位置は、画像上のｘｙ座標系の
座標値で特定される。図２の例では、各歯先の位置Ｐｋ
（ｋ＝１，３，５）と、各歯底の位置Ｐｋ （ｋ＝
２，４）とを指定する場合を示している。尚、マウス６
１の代わりにジョイスティック等を用いてもよい。
【００１３】また、図２に示すように、オペレータがマ
ウス６１で各測定位置を指定する度に、ダイアログボッ
クスＤがＣＲＴ表示装置７０の画面上に表示される。こ
のダイアログボックスＤは、当該測定位置での硬度測定
の条件を設定するためのウィインドウである。図２に示
す例の場合、硬度測定の条件として、圧子１１にかける
荷重と荷重保持時間とを指定することができる。この測
定条件の指定は、オペレータがキーボード６２を用いて
所望の設定値を入力することにより行われる。但し、測
定条件を常にダイアログボックスＤで指定する必要はな
い。制御部５０のメモリには予め測定条件の基準値が記
憶されており、オペレータがダイアログボックスＤで測
定条件を指定しない場合には、測定条件はその基準値に
自動的に設定される。
ウス６１で各測定位置を指定する度に、ダイアログボッ
クスＤがＣＲＴ表示装置７０の画面上に表示される。こ
のダイアログボックスＤは、当該測定位置での硬度測定
の条件を設定するためのウィインドウである。図２に示
す例の場合、硬度測定の条件として、圧子１１にかける
荷重と荷重保持時間とを指定することができる。この測
定条件の指定は、オペレータがキーボード６２を用いて
所望の設定値を入力することにより行われる。但し、測
定条件を常にダイアログボックスＤで指定する必要はな
い。制御部５０のメモリには予め測定条件の基準値が記
憶されており、オペレータがダイアログボックスＤで測
定条件を指定しない場合には、測定条件はその基準値に
自動的に設定される。
【００１４】移動量算出部４０は、マウス６１で各測定
位置が指定されたときに、各測定位置に圧子１１を押し
付けることができるように各測定位置に対するＸＹステ
ージ１３の移動量を算出するものである。具体的には、
画像上のｘｙ座標系における各測定位置Ｐｋ （ｋ＝
１，２，３，４，５）の座標値（ｘｋ ，ｙｋ ）を、
ＸＹ座標系における座標値（Ｘｋ ，Ｙｋ ）に変換す
る。そして、ＸＹ座標系において、各測定位置Ｐｋ の
座標値（Ｘｋ ，Ｙｋ ）と圧子１１の座標値（Ｘ０
，Ｙ０ ）との差を求めることにより、各測定位置Ｐ
ｋ に対するＸＹステージ１３の移動量（Ｘ方向の移動
量とＹ方向の移動量）を算出することができる。また、
ＣＣＤカメラ２０のオートフォーカス機能を利用する
と、ＣＣＤカメラ２０の受光面から試料２までのＺ方向
距離を知ることができる。移動量算出部４０は、かかる
試料２までのＺ方向距離に関するデータに基づいて、圧
子１１のＺ方向の移動量を算出する。
位置が指定されたときに、各測定位置に圧子１１を押し
付けることができるように各測定位置に対するＸＹステ
ージ１３の移動量を算出するものである。具体的には、
画像上のｘｙ座標系における各測定位置Ｐｋ （ｋ＝
１，２，３，４，５）の座標値（ｘｋ ，ｙｋ ）を、
ＸＹ座標系における座標値（Ｘｋ ，Ｙｋ ）に変換す
る。そして、ＸＹ座標系において、各測定位置Ｐｋ の
座標値（Ｘｋ ，Ｙｋ ）と圧子１１の座標値（Ｘ０
，Ｙ０ ）との差を求めることにより、各測定位置Ｐ
ｋ に対するＸＹステージ１３の移動量（Ｘ方向の移動
量とＹ方向の移動量）を算出することができる。また、
ＣＣＤカメラ２０のオートフォーカス機能を利用する
と、ＣＣＤカメラ２０の受光面から試料２までのＺ方向
距離を知ることができる。移動量算出部４０は、かかる
試料２までのＺ方向距離に関するデータに基づいて、圧
子１１のＺ方向の移動量を算出する。
【００１５】制御部５０は、硬度測定器１０、画像処理
部３０、移動量算出部４０等を制御するものである。例
えば、ＣＲＴ表示装置７０の画面上で硬度測定を開始す
る旨のボタンが押されると、制御部５０は、移動量算出
部４０で算出されたＸＹステージ１３の移動量に関する
データをステージ駆動部１４に送り、これにより、ＸＹ
ステージ１３の移動を制御する。また、圧子１１の移動
量に関するデータを圧子駆動部１２に送ったり、硬度測
定の条件に関するデータを硬度測定器１０に送ったりす
る。さらに、制御部５０は、硬度測定器１０から送られ
た硬度測定の結果等、各種のデータを管理する。ここ
で、硬度測定の結果には、例えば、各測定位置について
の圧痕の深さや硬度ＨＲ が含まれている。
部３０、移動量算出部４０等を制御するものである。例
えば、ＣＲＴ表示装置７０の画面上で硬度測定を開始す
る旨のボタンが押されると、制御部５０は、移動量算出
部４０で算出されたＸＹステージ１３の移動量に関する
データをステージ駆動部１４に送り、これにより、ＸＹ
ステージ１３の移動を制御する。また、圧子１１の移動
量に関するデータを圧子駆動部１２に送ったり、硬度測
定の条件に関するデータを硬度測定器１０に送ったりす
る。さらに、制御部５０は、硬度測定器１０から送られ
た硬度測定の結果等、各種のデータを管理する。ここ
で、硬度測定の結果には、例えば、各測定位置について
の圧痕の深さや硬度ＨＲ が含まれている。
【００１６】ＣＲＴ表示装置７０は、硬度測定の前にあ
っては上述したように試料２についての二値画像データ
を画面上に表示したり、硬度測定の後にあっては硬度測
定器１０での硬度測定の結果を画面上に表示したりす
る。ここで、各測定位置での硬度測定の結果は、試料２
についての二値画像データ上において、それぞれの測定
位置に関連付けて表示される。硬度測定の結果の表示画
面の一例を図３に示す。図３に示す例では、試料２につ
いての二値画像データ上の各測定位置とそれぞれの測定
位置についての硬度測定の結果とを矢印で繋いで、それ
らの関連付けを行っている。このため、オペレータにと
っては測定結果がとても分かりやすい。また、カラープ
リンタ８０は、ＣＲＴ表示装置７０の画面上に表示した
硬度測定の結果をカラーで出力するものである。
っては上述したように試料２についての二値画像データ
を画面上に表示したり、硬度測定の後にあっては硬度測
定器１０での硬度測定の結果を画面上に表示したりす
る。ここで、各測定位置での硬度測定の結果は、試料２
についての二値画像データ上において、それぞれの測定
位置に関連付けて表示される。硬度測定の結果の表示画
面の一例を図３に示す。図３に示す例では、試料２につ
いての二値画像データ上の各測定位置とそれぞれの測定
位置についての硬度測定の結果とを矢印で繋いで、それ
らの関連付けを行っている。このため、オペレータにと
っては測定結果がとても分かりやすい。また、カラープ
リンタ８０は、ＣＲＴ表示装置７０の画面上に表示した
硬度測定の結果をカラーで出力するものである。
【００１７】次に、本実施形態のロックウェル硬度計に
おいて硬度を測定する手順について説明する。図４はそ
のロックウェル硬度計において硬度を測定する手順を説
明するためのフローチャートである。
おいて硬度を測定する手順について説明する。図４はそ
のロックウェル硬度計において硬度を測定する手順を説
明するためのフローチャートである。
【００１８】まず、オペレータは、試料２をＸ方向ステ
ージ１３ａ上に載置する（step11）。ここで、Ｘ方向ス
テージ１３ａ上には試料２を設置する位置がマークされ
ており、このマークにしたがって試料２を設置すること
になる。次に、オペレータは、マウス６１を用いてＣＲ
Ｔ表示装置７０の画面上で「画像の取り込み」ボタンを
押す。すると、制御部５０はステージ駆動部１４に信号
を送り、ステージ駆動部１４は、第一ステップモータ１
５ａを動作して、マークの位置がＣＣＤカメラ２０のレ
ンズの光軸上に位置するようにＸ方向ステージ１３ａを
所定距離だけ移動させる（step12）。こうしてＸ方向ス
テージ１３ａが所定の位置に移動した後、制御部５０は
画像処理部３０に画像を取り込む旨の信号を送る。画像
処理部３０はＣＣＤカメラ２０に信号を送り、ＣＣＤカ
メラ２０は試料２を撮像する（step13）。撮像動作が終
了すると、制御部５０はステージ駆動部１４に信号を送
り、ステージ駆動部１４はＸ方向ステージ１３ａを元の
位置に戻す（step14）。
ージ１３ａ上に載置する（step11）。ここで、Ｘ方向ス
テージ１３ａ上には試料２を設置する位置がマークされ
ており、このマークにしたがって試料２を設置すること
になる。次に、オペレータは、マウス６１を用いてＣＲ
Ｔ表示装置７０の画面上で「画像の取り込み」ボタンを
押す。すると、制御部５０はステージ駆動部１４に信号
を送り、ステージ駆動部１４は、第一ステップモータ１
５ａを動作して、マークの位置がＣＣＤカメラ２０のレ
ンズの光軸上に位置するようにＸ方向ステージ１３ａを
所定距離だけ移動させる（step12）。こうしてＸ方向ス
テージ１３ａが所定の位置に移動した後、制御部５０は
画像処理部３０に画像を取り込む旨の信号を送る。画像
処理部３０はＣＣＤカメラ２０に信号を送り、ＣＣＤカ
メラ２０は試料２を撮像する（step13）。撮像動作が終
了すると、制御部５０はステージ駆動部１４に信号を送
り、ステージ駆動部１４はＸ方向ステージ１３ａを元の
位置に戻す（step14）。
【００１９】また、ＣＣＤカメラ２０で得られた画像デ
ータは画像処理部３０に送られる。画像処理部３０はそ
の画像データを二値化処理し、その二値画像データに基
づいて試料２の形状を認識する。制御部５０は、この形
状認識された試料２についての二値画像データをＣＲＴ
表示装置７０の画面上に表示する（step15）。
ータは画像処理部３０に送られる。画像処理部３０はそ
の画像データを二値化処理し、その二値画像データに基
づいて試料２の形状を認識する。制御部５０は、この形
状認識された試料２についての二値画像データをＣＲＴ
表示装置７０の画面上に表示する（step15）。
【００２０】次に、オペレータは、マウス６１を用い
て、ＣＲＴ表示装置７０の画面上で「測定位置の指定」
ボタンを押した後、一つ又は複数の測定位置を指定する
（step16）。このとき、図２に示すように、一つの測定
位置を指定する度に、画面上には測定条件設定用のダイ
アログボックスＤが表示される。例えば、各測定位置毎
に荷重を変えて硬度を測定したい場合等には、オペレー
タは、キーボード６２を用いて所望の設定値を入力す
る。但し、ダイアログボックスＤで測定条件を指定しな
い場合には、測定条件は予め決められた基準値に自動的
に設定される。オペレータによって指定された測定位置
に関するデータや測定条件に関するデータは制御部５０
のメモリに格納される。
て、ＣＲＴ表示装置７０の画面上で「測定位置の指定」
ボタンを押した後、一つ又は複数の測定位置を指定する
（step16）。このとき、図２に示すように、一つの測定
位置を指定する度に、画面上には測定条件設定用のダイ
アログボックスＤが表示される。例えば、各測定位置毎
に荷重を変えて硬度を測定したい場合等には、オペレー
タは、キーボード６２を用いて所望の設定値を入力す
る。但し、ダイアログボックスＤで測定条件を指定しな
い場合には、測定条件は予め決められた基準値に自動的
に設定される。オペレータによって指定された測定位置
に関するデータや測定条件に関するデータは制御部５０
のメモリに格納される。
【００２１】かかる測定位置や測定条件の指定が終了す
ると、制御部５０は各測定位置に関するデータを移動量
算出部４０に送る。移動量算出部４０は、各測定位置に
圧子１１を押し付けることができるように各測定位置に
対するＸＹステージ１３のＸ方向移動量及びＹ方向移動
量を算出する。また、移動量算出部４０は、ＣＣＤカメ
ラ２０の受光面から試料２までのＺ方向距離に関するデ
ータに基づいて、圧子１１のＺ方向移動量を算出する。
これらの移動量に関するデータは制御部５０に送られ、
制御部５０のメモリに格納される。
ると、制御部５０は各測定位置に関するデータを移動量
算出部４０に送る。移動量算出部４０は、各測定位置に
圧子１１を押し付けることができるように各測定位置に
対するＸＹステージ１３のＸ方向移動量及びＹ方向移動
量を算出する。また、移動量算出部４０は、ＣＣＤカメ
ラ２０の受光面から試料２までのＺ方向距離に関するデ
ータに基づいて、圧子１１のＺ方向移動量を算出する。
これらの移動量に関するデータは制御部５０に送られ、
制御部５０のメモリに格納される。
【００２２】次に、オペレータは、マウス６１を用いて
ＣＲＴ表示装置７０の画面上で「硬度測定」ボタンを押
すと、制御部５０は、メモリに格納されている移動量に
関するデータや測定条件に関するデータを読み出し、こ
れらのデータを硬度測定器１０に送る。硬度測定器１０
は、かかるデータにしたがい、各測定位置において硬度
を測定する動作を開始する（step17）。この硬度測定
は、各測定位置毎に所定の順番で行われる。具体的に
は、まず、ステージ駆動部１４は、ある一つの測定位置
に対するＸＹステージの移動量に関するデータにしたが
ってＸＹステージ１３を移動することにより、圧子１１
と当該測定位置との位置合わせを行う。次に、圧子駆動
部１２は、圧子１１の移動量に関するデータにしたがっ
て圧子１１を所定の高さまで落とした後、測定条件に関
するデータにしたがって圧子１１を当該測定位置に押し
付け、試料２に圧痕を付ける。そして、硬度測定器１０
は、その圧痕の深さを測定し、その深さから当該測定位
置におけるロックウェル硬度ＨＲ を求める。その後、
他の測定位置に対しても同様にして硬度測定の動作を行
う。各測定位置における測定結果（圧痕の深さ、硬度Ｈ
Ｒ 等）は制御部５０に送られ、制御部５０はこれらの
測定結果をメモリに格納する。
ＣＲＴ表示装置７０の画面上で「硬度測定」ボタンを押
すと、制御部５０は、メモリに格納されている移動量に
関するデータや測定条件に関するデータを読み出し、こ
れらのデータを硬度測定器１０に送る。硬度測定器１０
は、かかるデータにしたがい、各測定位置において硬度
を測定する動作を開始する（step17）。この硬度測定
は、各測定位置毎に所定の順番で行われる。具体的に
は、まず、ステージ駆動部１４は、ある一つの測定位置
に対するＸＹステージの移動量に関するデータにしたが
ってＸＹステージ１３を移動することにより、圧子１１
と当該測定位置との位置合わせを行う。次に、圧子駆動
部１２は、圧子１１の移動量に関するデータにしたがっ
て圧子１１を所定の高さまで落とした後、測定条件に関
するデータにしたがって圧子１１を当該測定位置に押し
付け、試料２に圧痕を付ける。そして、硬度測定器１０
は、その圧痕の深さを測定し、その深さから当該測定位
置におけるロックウェル硬度ＨＲ を求める。その後、
他の測定位置に対しても同様にして硬度測定の動作を行
う。各測定位置における測定結果（圧痕の深さ、硬度Ｈ
Ｒ 等）は制御部５０に送られ、制御部５０はこれらの
測定結果をメモリに格納する。
【００２３】こうして、オペレータが指定したすべての
測定位置に対する硬度測定が終了すると、制御部５０
は、図３に示すように、ＣＲＴ表示装置７０の画面上
に、試料２についての二値画像データ上での各測定位置
とそれぞれの測定位置での測定結果とを関連付けて表示
する（step18）。但し、測定結果の表示内容は、オペレ
ータの選択で自由に変えることができる。例えば、圧痕
の深さを必要としない場合には、硬度ＨＲ だけを表示
させることができる。また、この測定結果は、必要に応
じてカラープリンタ８０から出力することができる。
測定位置に対する硬度測定が終了すると、制御部５０
は、図３に示すように、ＣＲＴ表示装置７０の画面上
に、試料２についての二値画像データ上での各測定位置
とそれぞれの測定位置での測定結果とを関連付けて表示
する（step18）。但し、測定結果の表示内容は、オペレ
ータの選択で自由に変えることができる。例えば、圧痕
の深さを必要としない場合には、硬度ＨＲ だけを表示
させることができる。また、この測定結果は、必要に応
じてカラープリンタ８０から出力することができる。
【００２４】本実施形態のロックウェル硬度計では、Ｃ
ＣＤカメラで試料を撮像して得られた画像データを二値
化処理し、その二値画像データに基づいて試料の形状を
認識した後、その試料についての二値画像データをＣＲ
Ｔ表示装置の画面上に表示する。このため、オペレータ
は、マウスを用いて画面上で試料の一又は複数の測定位
置を容易に指定することができる。そして、移動量算出
部が各測定位置に対するＸＹステージの移動量を算出
し、硬度測定を開始する旨の信号が送られたときに、制
御部がＸＹステージの移動量に関するデータに基づいて
ＸＹステージの移動を制御することにより、試料と圧子
との位置合わせを自動的に行うことができるので、オペ
レータにとって硬度測定の作業が容易になる。尚、本発
明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その要
旨の範囲内において種々の変形が可能である。
ＣＤカメラで試料を撮像して得られた画像データを二値
化処理し、その二値画像データに基づいて試料の形状を
認識した後、その試料についての二値画像データをＣＲ
Ｔ表示装置の画面上に表示する。このため、オペレータ
は、マウスを用いて画面上で試料の一又は複数の測定位
置を容易に指定することができる。そして、移動量算出
部が各測定位置に対するＸＹステージの移動量を算出
し、硬度測定を開始する旨の信号が送られたときに、制
御部がＸＹステージの移動量に関するデータに基づいて
ＸＹステージの移動を制御することにより、試料と圧子
との位置合わせを自動的に行うことができるので、オペ
レータにとって硬度測定の作業が容易になる。尚、本発
明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その要
旨の範囲内において種々の変形が可能である。
【００２５】上記の実施形態では、ＣＣＤカメラのオー
トフォーカス機能を利用して、ＣＣＤカメラの受光面か
ら試料までのＺ方向距離を知り、このＺ方向距離に基づ
いて圧子のＺ方向の移動量を算出することにしている。
これにより、硬度測定の際に圧子の移動を自動的に行う
ことができる。しかし、例えばＣＣＤカメラとしてオー
トフォーカス機能を持たないものを使用する場合等に
は、従来のようにオペレータが圧子の移動を手動で行う
ようにしてもよい。
トフォーカス機能を利用して、ＣＣＤカメラの受光面か
ら試料までのＺ方向距離を知り、このＺ方向距離に基づ
いて圧子のＺ方向の移動量を算出することにしている。
これにより、硬度測定の際に圧子の移動を自動的に行う
ことができる。しかし、例えばＣＣＤカメラとしてオー
トフォーカス機能を持たないものを使用する場合等に
は、従来のようにオペレータが圧子の移動を手動で行う
ようにしてもよい。
【００２６】また、上記の実施形態では、試料がＣＣＤ
カメラの略下側に位置するように、ＸＹステージを移動
して、試料を撮像する場合について説明したが、例え
ば、図５に示すように、圧子１１とＣＣＤカメラ２０の
レンズ２１とをレボルバー９０に取り付け、レンズ２１
の光軸がＣＣＤカメラ２０の光軸と一致するようにレボ
ルバー９０を回転して、試料２を撮像するようにしても
よい。この場合、ＣＣＤカメラ２０の光軸を基準軸Ａと
すると、レボルバー９０の回転軸Ｂは基準軸Ａと平行に
一定距離ｄだけ離れて設定される。圧子１１とレンズ２
１とは、レボルバー９０の回転軸Ｂに対して軸対称に取
り付けられ、また、圧子１１のＺ方向に沿った中心軸及
びレンズ２１の光軸は、それぞれレボルバー９０の回転
軸Ｂから距離ｄだけ離れて設定される。試料２はＸＹテ
ーブル１３の、基準軸Ａ上の位置に載置される。試料２
を撮像する場合には、レボルバー９０を回転軸Ｂの回り
に回転し、レンズ２１の光軸を基準軸Ａに一致させる。
また、硬度測定を行う場合には、レボルバー９０を回転
軸Ｂの回りに回転し、圧子１１のＺ方向の中心軸を基準
軸Ａと一致させる。尚、このレボルバー９０の回転は自
動で行っても、手動で行ってもよい。
カメラの略下側に位置するように、ＸＹステージを移動
して、試料を撮像する場合について説明したが、例え
ば、図５に示すように、圧子１１とＣＣＤカメラ２０の
レンズ２１とをレボルバー９０に取り付け、レンズ２１
の光軸がＣＣＤカメラ２０の光軸と一致するようにレボ
ルバー９０を回転して、試料２を撮像するようにしても
よい。この場合、ＣＣＤカメラ２０の光軸を基準軸Ａと
すると、レボルバー９０の回転軸Ｂは基準軸Ａと平行に
一定距離ｄだけ離れて設定される。圧子１１とレンズ２
１とは、レボルバー９０の回転軸Ｂに対して軸対称に取
り付けられ、また、圧子１１のＺ方向に沿った中心軸及
びレンズ２１の光軸は、それぞれレボルバー９０の回転
軸Ｂから距離ｄだけ離れて設定される。試料２はＸＹテ
ーブル１３の、基準軸Ａ上の位置に載置される。試料２
を撮像する場合には、レボルバー９０を回転軸Ｂの回り
に回転し、レンズ２１の光軸を基準軸Ａに一致させる。
また、硬度測定を行う場合には、レボルバー９０を回転
軸Ｂの回りに回転し、圧子１１のＺ方向の中心軸を基準
軸Ａと一致させる。尚、このレボルバー９０の回転は自
動で行っても、手動で行ってもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のロックウェ
ル硬度計によれば、撮像手段で試料を撮像して得られた
画像データに基づいて試料の形状を認識した後、その試
料についての画像データを表示手段の画面上に表示す
る。このため、オペレータは、位置入力手段を用いて画
面上で試料の一又は複数の測定位置を容易に指定するこ
とができる。そして、移動量算出手段が各測定位置に対
するＸＹステージの移動量を算出し、硬度測定を開始す
る旨の信号が送られたときに、制御手段がＸＹステージ
の移動量に関するデータに基づいてＸＹステージの移動
を制御することにより、試料と圧子との位置合わせを自
動的に行うことができるので、オペレータにとって硬度
測定の作業が容易になる。
ル硬度計によれば、撮像手段で試料を撮像して得られた
画像データに基づいて試料の形状を認識した後、その試
料についての画像データを表示手段の画面上に表示す
る。このため、オペレータは、位置入力手段を用いて画
面上で試料の一又は複数の測定位置を容易に指定するこ
とができる。そして、移動量算出手段が各測定位置に対
するＸＹステージの移動量を算出し、硬度測定を開始す
る旨の信号が送られたときに、制御手段がＸＹステージ
の移動量に関するデータに基づいてＸＹステージの移動
を制御することにより、試料と圧子との位置合わせを自
動的に行うことができるので、オペレータにとって硬度
測定の作業が容易になる。
【図１】本発明の一実施形態であるロックウェル硬度計
の概略ブロック図である。
の概略ブロック図である。
【図２】そのロックウェル硬度計において測定位置を指
定する画面の一例を示す図である。
定する画面の一例を示す図である。
【図３】そのロックウェル硬度計において硬度測定結果
を表示する画面の一例を示す図である。
を表示する画面の一例を示す図である。
【図４】そのロックウェル硬度計において硬度を測定す
る手順を説明するためのフローチャートである。
る手順を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明のロックウェル硬度計の他の例を説明す
るための図である。
るための図である。
２ 試料 １０ 硬度測定器 １１ 圧子 １２ 圧子駆動部 １３ ＸＹステージ １３ａ Ｘ方向ステージ １３ｂ Ｙ方向ステージ １４ ステージ駆動部 １５ａ 第一ステップモータ １５ｂ 第二ステップモータ ２０ ＣＣＤカメラ ２１ レンズ ３０ 画像処理部 ４０ 移動量算出部 ５０ 制御部 ６１ マウス ６２ キーボード ７０ ＣＲＴ表示装置 ８０ カラープリンタ ９０ レボルバー
Claims (5)
- 【請求項１】 試料を載置し、その載置面内で互いに直
交するＸ方向及びＹ方向に移動可能なＸＹステージと、 前記試料に圧子を所定の荷重で押し付けることにより圧
痕を形成し、前記圧痕の深さから硬度を測定する硬度測
定器と、 前記ＸＹステージの載置面に略垂直な方向から前記試料
を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段で得られた画像データに基づいて前記試料
の形状を認識する画像処理手段と、 前記画像処理手段で形状認識された前記試料についての
画像データを画面上に表示すると共に、前記硬度測定器
での硬度測定の結果を画面上に表示する表示手段と、 前記試料についての画像データが表示された前記表示手
段の画面上で前記試料の一又は複数の測定位置を指定す
るための位置入力手段と、 前記位置入力手段により前記各測定位置が指定されたと
きに、前記各測定位置に前記圧子を押し付けることがで
きるように前記各測定位置に対する前記ＸＹステージの
移動量を算出する移動量算出手段と、 硬度測定を開始する旨の信号が送られたときに、前記移
動量算出手段で算出された前記ＸＹステージの移動量に
関するデータに基づいて前記ＸＹステージの移動を制御
する制御手段と、 を具備することを特徴とするロックウェル硬度計。 - 【請求項２】 前記表示手段は、前記位置入力手段で前
記各測定位置が指定される度に、当該測定位置での硬度
測定の条件を設定するためのウィンドウを表示し、前記
制御手段は、前記ウィンドウ内で硬度測定の条件が入力
された場合に、前記硬度測定の条件に関するデータを前
記硬度測定器に送ることを特徴とする請求項１記載のロ
ックウェル硬度計。 - 【請求項３】 前記硬度測定の条件は、荷重又は荷重及
び荷重保持時間であることを特徴とする請求項２記載の
ロックウェル硬度計。 - 【請求項４】 前記表示手段は、前記試料についての画
像データ上において前記各測定位置での硬度測定の結果
を当該測定位置に関連付けて表示することを特徴とする
請求項１、２又は３記載のロックウェル硬度計。 - 【請求項５】 前記圧子を前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向に
直交するＺ方向に移動する圧子駆動手段を備えており、
前記撮像手段は自動焦点機能を有し、前記移動量算出手
段は前記自動焦点機能を利用して得られる前記試料まで
の距離に基づいて前記圧子のＺ方向の移動量を算出し、
前記制御手段は前記圧子のＺ方向の移動量に関するデー
タに基づいて前記圧子駆動手段を制御することを特徴と
する請求項１、２、３又は４記載のロックウェル硬度
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315266A JP2000146794A (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | ロックウェル硬度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10315266A JP2000146794A (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | ロックウェル硬度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000146794A true JP2000146794A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18063361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10315266A Withdrawn JP2000146794A (ja) | 1998-11-06 | 1998-11-06 | ロックウェル硬度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000146794A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003004613A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Akashi Corp | 圧痕形成機構および硬さ試験機 |
| JP2011220790A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機及び硬さ試験方法 |
| JP2012078307A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-19 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
| WO2012133690A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | 日野自動車株式会社 | インライン硬度検査装置、インライン硬度検査方法およびロボット |
| JP2013015423A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 |
| JP2014035285A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Shimadzu Corp | 硬さ試験機および硬さ試験機における硬さ試験方法 |
| JP2014126417A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 |
| CN104614263A (zh) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 株式会社岛津制作所 | 硬度试验机 |
| CN105021479A (zh) * | 2015-07-10 | 2015-11-04 | 桂林市晶准测控技术有限公司 | 由位移传感器变化来判断洛氏硬度计状态的测量方法 |
| EP2645079A3 (en) * | 2012-03-27 | 2017-09-13 | Mitutoyo Corporation | Hardness tester |
| WO2021205915A1 (ja) * | 2020-04-09 | 2021-10-14 | 三菱パワー株式会社 | 計測装置、計測システム、計測方法及びプログラム |
| CN114096942A (zh) * | 2019-07-12 | 2022-02-25 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | 控制测试样本台面布置的方法和装置 |
-
1998
- 1998-11-06 JP JP10315266A patent/JP2000146794A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003004613A (ja) * | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Akashi Corp | 圧痕形成機構および硬さ試験機 |
| JP2011220790A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機及び硬さ試験方法 |
| JP2012078307A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-19 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機 |
| WO2012133690A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | 日野自動車株式会社 | インライン硬度検査装置、インライン硬度検査方法およびロボット |
| CN103430005A (zh) * | 2011-03-30 | 2013-12-04 | 日野自动车株式会社 | 在线硬度检测装置、在线硬度检测方法以及机械手 |
| JP2013015423A (ja) * | 2011-07-05 | 2013-01-24 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 |
| EP2645079A3 (en) * | 2012-03-27 | 2017-09-13 | Mitutoyo Corporation | Hardness tester |
| JP2014035285A (ja) * | 2012-08-09 | 2014-02-24 | Shimadzu Corp | 硬さ試験機および硬さ試験機における硬さ試験方法 |
| JP2014126417A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Mitsutoyo Corp | 硬さ試験機、及び硬さ試験方法 |
| CN104614263A (zh) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 株式会社岛津制作所 | 硬度试验机 |
| CN105021479A (zh) * | 2015-07-10 | 2015-11-04 | 桂林市晶准测控技术有限公司 | 由位移传感器变化来判断洛氏硬度计状态的测量方法 |
| CN114096942A (zh) * | 2019-07-12 | 2022-02-25 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | 控制测试样本台面布置的方法和装置 |
| WO2021205915A1 (ja) * | 2020-04-09 | 2021-10-14 | 三菱パワー株式会社 | 計測装置、計測システム、計測方法及びプログラム |
| JP2021167734A (ja) * | 2020-04-09 | 2021-10-21 | 三菱パワー株式会社 | 計測装置、計測システム、計測方法及びプログラム |
| JP7438001B2 (ja) | 2020-04-09 | 2024-02-26 | 三菱重工業株式会社 | 計測装置、計測システム、計測方法及びプログラム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060110 |