JP2749766B2 - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、載物台に載置された測
定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系
を備えた光学式測定装置に関する。詳しくは、載物台に
載置された測定対象物に光を照射しその光に基づく測定
対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系を
備えた投影機を利用し、この光学系と測定対象物とを相
対移動させながらスクリーン上に結像された画像から測
定対象物の寸法や形状を測定する装置に関する。
定対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系
を備えた光学式測定装置に関する。詳しくは、載物台に
載置された測定対象物に光を照射しその光に基づく測定
対象物の光学画像をスクリーン上に結像させる光学系を
備えた投影機を利用し、この光学系と測定対象物とを相
対移動させながらスクリーン上に結像された画像から測
定対象物の寸法や形状を測定する装置に関する。
【０００２】
【背景技術】投影機の中には、測定対象物の画像をスク
リーン上に結像させる光学系と測定対象物を載置する載
物台とを相対移動させ、その相対移動過程において、エ
ッジ検出センサが画像のエッジの通過を検出したとき前
記相対移動量を順次取り込み、これらの相対移動量から
測定対象物の寸法や形状を求めるＣＮＣ（コンピュータ
ＮＣ）投影機が知られている。従来、ＣＮＣ投影機にお
いて、光学系と載物台とを相対移動させるための相対移
動軌跡を設定するには、スクリーン上に結像された測定
対象物の画像を見ながらキーパネル上のファンクション
キーによってティーチング開始や終了等を指令し、か
つ、ジョイスティックによって載物台をＸ−Ｙ方向へ移
動させていた。
リーン上に結像させる光学系と測定対象物を載置する載
物台とを相対移動させ、その相対移動過程において、エ
ッジ検出センサが画像のエッジの通過を検出したとき前
記相対移動量を順次取り込み、これらの相対移動量から
測定対象物の寸法や形状を求めるＣＮＣ（コンピュータ
ＮＣ）投影機が知られている。従来、ＣＮＣ投影機にお
いて、光学系と載物台とを相対移動させるための相対移
動軌跡を設定するには、スクリーン上に結像された測定
対象物の画像を見ながらキーパネル上のファンクション
キーによってティーチング開始や終了等を指令し、か
つ、ジョイスティックによって載物台をＸ−Ｙ方向へ移
動させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記スクリーンは、作
業者が見やすいように作業者の顔の正面に配置されるの
に対して、キーパネルやジョイスティックは作業者が操
作しやすいように、作業者の手元に近い位置に配置され
る。通常、キーパネルやジョイスティックは投影機の下
部、あるいは、投影機とは別体のスタンドに設けられる
ことが多い。そのため、測定対象物の寸法を測定するに
あたり、作業者は、スクリーン上の画像を見ながら、そ
の都度、目線を下方のキーパネルに移さなければならな
いので、操作しにくいという問題点がある。ここに、本
発明の目的は、このような従来の欠点を解消し、操作性
の良好な光学式測定装置を提供することにある。
業者が見やすいように作業者の顔の正面に配置されるの
に対して、キーパネルやジョイスティックは作業者が操
作しやすいように、作業者の手元に近い位置に配置され
る。通常、キーパネルやジョイスティックは投影機の下
部、あるいは、投影機とは別体のスタンドに設けられる
ことが多い。そのため、測定対象物の寸法を測定するに
あたり、作業者は、スクリーン上の画像を見ながら、そ
の都度、目線を下方のキーパネルに移さなければならな
いので、操作しにくいという問題点がある。ここに、本
発明の目的は、このような従来の欠点を解消し、操作性
の良好な光学式測定装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式測定装置
は、測定対象物の画像をスクリーン上に結像させる光学
系と測定対象物を載置する載物台とを相対移動させ、そ
の相対移動過程において、エッジ検出センサが画像のエ
ッジの通過を検出したとき前記相対移動量を順次取り込
み、これらの相対移動量から測定対象物の寸法を求める
光学式測定装置において、前記光学系と載物台との相対
移動を指令するためのキーを含むファンクションキーを
前記スクリーン上に設けたことを特徴とする。
は、測定対象物の画像をスクリーン上に結像させる光学
系と測定対象物を載置する載物台とを相対移動させ、そ
の相対移動過程において、エッジ検出センサが画像のエ
ッジの通過を検出したとき前記相対移動量を順次取り込
み、これらの相対移動量から測定対象物の寸法を求める
光学式測定装置において、前記光学系と載物台との相対
移動を指令するためのキーを含むファンクションキーを
前記スクリーン上に設けたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】この構成の本発明では、スクリーン上に測定対
象物の画像を結像させる光学系と測定対象物が載置され
た載物台とを相対移動させるとともに、エッジ検出セン
サで画像のエッジの通過を検出する。この検出を複数箇
所で繰り返し、検出箇所の相対移動量から測定対象物の
寸法を求める。ここで、光学系と載物台との相対移動を
指令するためのキーを含むファンクションキーが測定対
象物の画像が結像されたスクリーン上に設けられている
ので、光学系と載物台とを手動で相対移動させる場合や
光学系と載物台との相対移動軌跡を設定する場合でも、
目と手の移動量が少なくてすみ、光学式測定装置の操作
がしやすくなる。
象物の画像を結像させる光学系と測定対象物が載置され
た載物台とを相対移動させるとともに、エッジ検出セン
サで画像のエッジの通過を検出する。この検出を複数箇
所で繰り返し、検出箇所の相対移動量から測定対象物の
寸法を求める。ここで、光学系と載物台との相対移動を
指令するためのキーを含むファンクションキーが測定対
象物の画像が結像されたスクリーン上に設けられている
ので、光学系と載物台とを手動で相対移動させる場合や
光学系と載物台との相対移動軌跡を設定する場合でも、
目と手の移動量が少なくてすみ、光学式測定装置の操作
がしやすくなる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の一実施例にかかる光学式測定
装置を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明する。光
学式測定装置は、図１に示す如く、測定対象物に光を照
射しその光に基づく測定対象物の光学画像を結像させる
光学系を備えた投影機１と、この投影機１で結像された
測定対象物の光学画像の測定箇所を指定するカーソル２
と、このカーソル２の位置座標値を検出するカーソル位
置座標値検出装置３と、このカーソル位置座標値検出装
置３で検出されたカーソル２の位置座標値を基に光学系
と測定対象物との相対移動軌跡を含む測定プログラムを
作成し、その測定プログラムに従って光学系と測定対象
物とを相対移動させるとともに測定対象物の寸法を測定
する演算制御装置４と、操作パネル６とから構成されて
いる。なお、符号の５は前記カーソル座標値検出装置３
および演算制御装置４を載置するスタンドである。
装置を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明する。光
学式測定装置は、図１に示す如く、測定対象物に光を照
射しその光に基づく測定対象物の光学画像を結像させる
光学系を備えた投影機１と、この投影機１で結像された
測定対象物の光学画像の測定箇所を指定するカーソル２
と、このカーソル２の位置座標値を検出するカーソル位
置座標値検出装置３と、このカーソル位置座標値検出装
置３で検出されたカーソル２の位置座標値を基に光学系
と測定対象物との相対移動軌跡を含む測定プログラムを
作成し、その測定プログラムに従って光学系と測定対象
物とを相対移動させるとともに測定対象物の寸法を測定
する演算制御装置４と、操作パネル６とから構成されて
いる。なお、符号の５は前記カーソル座標値検出装置３
および演算制御装置４を載置するスタンドである。
【０００７】前記投影機１は、投影機本体１１を有す
る。投影機本体１１には、上面に測定対象物を載置する
載物台１２が互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動可能
に設けられているとともに、この載物台１２の下方から
測定対象物に光を照射しその透過光に基づく測定対象物
の光学画像をスクリーン１３上に結像させる光学系１４
が設けられている。前記載物台１２は後述する移動機構
を構成するＸ，Ｙ，Ｚ駆動系１６，１７，１８（図４参
照）によってそれぞれの方向へ自動的に移動されるとと
もに、各方向への移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz が図示しない変位
検出器によって検出されている。前記スクリーン１３上
には、図４に示す如く、互いに直交するＸおよびＹ方向
に沿って所定間隔ピッチで配列した導体よりなるグリッ
ドパターン１５が設けられている。グリッドパターン１
５には、前記カーソル位置座標値検出装置３からスキャ
ンパルスが順番に印加されるようになっている。つま
り、グリッドパターン１５を構成するＸ方向の導体にス
キャンパルスが順番に印加され、ついで、Ｙ方向の導体
にスキャンパルスが順番に印加され、以後、交互にスキ
ャンパルスが印加される。
る。投影機本体１１には、上面に測定対象物を載置する
載物台１２が互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ方向へ移動可能
に設けられているとともに、この載物台１２の下方から
測定対象物に光を照射しその透過光に基づく測定対象物
の光学画像をスクリーン１３上に結像させる光学系１４
が設けられている。前記載物台１２は後述する移動機構
を構成するＸ，Ｙ，Ｚ駆動系１６，１７，１８（図４参
照）によってそれぞれの方向へ自動的に移動されるとと
もに、各方向への移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz が図示しない変位
検出器によって検出されている。前記スクリーン１３上
には、図４に示す如く、互いに直交するＸおよびＹ方向
に沿って所定間隔ピッチで配列した導体よりなるグリッ
ドパターン１５が設けられている。グリッドパターン１
５には、前記カーソル位置座標値検出装置３からスキャ
ンパルスが順番に印加されるようになっている。つま
り、グリッドパターン１５を構成するＸ方向の導体にス
キャンパルスが順番に印加され、ついで、Ｙ方向の導体
にスキャンパルスが順番に印加され、以後、交互にスキ
ャンパルスが印加される。
【０００８】前記カーソル２は、前記スクリーン１３上
を移動されかつ任意の位置で静止可能な本体２１を有す
る。本体２１には、図２および図３に示す如く、リング
状に巻回された位置読取用誘導コイル２２、この誘導コ
イル２２の近傍に設けられた読取位置決め用標板２３、
前記誘導コイル２２の中心軸線上に配置されスクリーン
１３上の画像を２分割するプリズム２４、このプリズム
２４によって分割された一方の画像を拡大する拡大用レ
ンズ２５、前記エッジ検出センサ２６の光電変換部２６
Ａ、この光電変換部２６Ａに前記プリズム２４によって
分割された他方の画像を結像させるリレーレンズ２７お
よび画像の測定箇所を指示する座標値取込スイッチ２８
などがそれぞれ設けられている。前記誘導コイル２２
は、スクリーン１３と平行に移動され、誘導電流を出力
する。前記エッジ検出センサ２６の光電変換部２６Ａ
は、誘導コイル２２の中心にある読取位置を中心とする
正方形の中心および各角点に相当する位置に配設された
光電変換素子を有する。前記読取位置決め用標板２３に
は、誘導コイル２２の中心を指示するとともに、光電変
換部２６Ａの各光電変換素子の位置を決定する正方形の
対角線方向を指示するターゲット２９が設けられてい
る。
を移動されかつ任意の位置で静止可能な本体２１を有す
る。本体２１には、図２および図３に示す如く、リング
状に巻回された位置読取用誘導コイル２２、この誘導コ
イル２２の近傍に設けられた読取位置決め用標板２３、
前記誘導コイル２２の中心軸線上に配置されスクリーン
１３上の画像を２分割するプリズム２４、このプリズム
２４によって分割された一方の画像を拡大する拡大用レ
ンズ２５、前記エッジ検出センサ２６の光電変換部２６
Ａ、この光電変換部２６Ａに前記プリズム２４によって
分割された他方の画像を結像させるリレーレンズ２７お
よび画像の測定箇所を指示する座標値取込スイッチ２８
などがそれぞれ設けられている。前記誘導コイル２２
は、スクリーン１３と平行に移動され、誘導電流を出力
する。前記エッジ検出センサ２６の光電変換部２６Ａ
は、誘導コイル２２の中心にある読取位置を中心とする
正方形の中心および各角点に相当する位置に配設された
光電変換素子を有する。前記読取位置決め用標板２３に
は、誘導コイル２２の中心を指示するとともに、光電変
換部２６Ａの各光電変換素子の位置を決定する正方形の
対角線方向を指示するターゲット２９が設けられてい
る。
【０００９】前記カーソル位置座標値検出装置３は、図
４に示す如く、前記グリッドパターン１５を構成するＸ
およびＹ方向の導体に順番にスキャンパルスＳＰx,ＳＰ
y を印加するとともに、その各方向における走査開始時
および走査終了時に走査開始信号Ｓx,Ｓy および走査終
了信号Ｅx,Ｅy を出力する走査部３１と、クロックパル
ス発生器３２と、前記走査部３１から走査開始信号Ｓx
が出力されてから走査終了信号Ｅx が出力されるまでの
間クロックパルス発生器３２からのクロックパルスＣＬ
Ｋの数を計数するＸカウンタ３３と、前記走査部３１か
ら走査開始信号Ｓy が出力されてから走査終了信号Ｅy
が出力されるまでの間クロックパルス発生器３２からの
クロックパルスＣＬＫの数を計数するＹカウンタ３４
と、前記誘導コイル２２の出力が位相反転したとき前記
各カウンタ３３，３４の計数値を取り込み記憶するカー
ソル位置座標値検出部３５とから構成されている。な
お、各カウンタ３３，３４は、走査終了信号Ｅx,Ｅy に
よってクリアされる。
４に示す如く、前記グリッドパターン１５を構成するＸ
およびＹ方向の導体に順番にスキャンパルスＳＰx,ＳＰ
y を印加するとともに、その各方向における走査開始時
および走査終了時に走査開始信号Ｓx,Ｓy および走査終
了信号Ｅx,Ｅy を出力する走査部３１と、クロックパル
ス発生器３２と、前記走査部３１から走査開始信号Ｓx
が出力されてから走査終了信号Ｅx が出力されるまでの
間クロックパルス発生器３２からのクロックパルスＣＬ
Ｋの数を計数するＸカウンタ３３と、前記走査部３１か
ら走査開始信号Ｓy が出力されてから走査終了信号Ｅy
が出力されるまでの間クロックパルス発生器３２からの
クロックパルスＣＬＫの数を計数するＹカウンタ３４
と、前記誘導コイル２２の出力が位相反転したとき前記
各カウンタ３３，３４の計数値を取り込み記憶するカー
ソル位置座標値検出部３５とから構成されている。な
お、各カウンタ３３，３４は、走査終了信号Ｅx,Ｅy に
よってクリアされる。
【００１０】前記演算制御装置４は、図４に示す如く、
キーボード４１、メモリ４２，４３、表示器４４、プリ
ンタ４５および演算制御部４６などを有する。前記キー
ボード４１からは、プログラム作成用の設定モードや測
定モードを選択するための選択指令、設定モードにおい
て測定項目（例えば、円の直径や中心を求める項目な
ど）の指定データなどが入力される。前記メモリ４２に
は、例えば、取り込んだ位置座標値や演算結果などが格
納される。前記メモリ４３には、測定プログラムが格納
される。前記演算制御部４６は、設定モードにおいて、
座標値取込スイッチ２８が押されたときカーソル位置座
標値検出装置３で検出されたカーソル２の位置座標値を
取り込み、これらの位置座標値を基に光学系１４と測定
対象物を載置する載物台１２との相対移動軌跡を算出す
るとともに、これらの相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムを作成し、これをメモリ４３に格納する。また、測定
モードにおいて、測定プログラムの相対移動軌跡に従っ
て光学系１４と測定対象物を載置する載物台１２とを相
対移動させるとともに、カーソル２のエッジ検出センサ
２６によって画像のエッジの通過が検出されたとき、各
方向の移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz を取り込み、これらを基に測
定部位の寸法を算出する。
キーボード４１、メモリ４２，４３、表示器４４、プリ
ンタ４５および演算制御部４６などを有する。前記キー
ボード４１からは、プログラム作成用の設定モードや測
定モードを選択するための選択指令、設定モードにおい
て測定項目（例えば、円の直径や中心を求める項目な
ど）の指定データなどが入力される。前記メモリ４２に
は、例えば、取り込んだ位置座標値や演算結果などが格
納される。前記メモリ４３には、測定プログラムが格納
される。前記演算制御部４６は、設定モードにおいて、
座標値取込スイッチ２８が押されたときカーソル位置座
標値検出装置３で検出されたカーソル２の位置座標値を
取り込み、これらの位置座標値を基に光学系１４と測定
対象物を載置する載物台１２との相対移動軌跡を算出す
るとともに、これらの相対移動軌跡を含む測定プログラ
ムを作成し、これをメモリ４３に格納する。また、測定
モードにおいて、測定プログラムの相対移動軌跡に従っ
て光学系１４と測定対象物を載置する載物台１２とを相
対移動させるとともに、カーソル２のエッジ検出センサ
２６によって画像のエッジの通過が検出されたとき、各
方向の移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz を取り込み、これらを基に測
定部位の寸法を算出する。
【００１１】前記操作パネル６は、図１に示す如く、ス
クリーン１３上でかつ画像が結像される部分に近接して
設けられており、その構成は、図５に示す如く、載物台
１２を光学系１４に対してＸ，Ｙ方向へ移動させる指令
を与えるステージコントロールキー６１、ティーチィン
グ開始キー６２、ティーチィング終了キー６３、相対移
動軌跡を含む測定プログラムを実行させるＲＵＮ・リピ
ートキー６４、載物台１２の原点設定を行うＡＢＳ・Ｚ
ＥＲＯキー６５及びテンキー６６からなるファンクショ
ンキーと、前記表示器４４と同一のデータを表示する表
示部６７とを含む。前記ステージコントロールキー６１
は、前記Ｘ，Ｙ駆動系１６，１７を作動させる信号を演
算制御部４６へ送るもので、前後左右を示す４個のキー
スイッチで構成される。これらのキースイッチのいずれ
かを押すことにより、その押した時間に応じて載物台１
２がＸまたはＹ方向へ移動する。ティーチィング開始キ
ー６２は、光学系１４と載物台１２との相対移動軌跡を
ティーティングさせる前に演算制御部４６へ信号を送る
もので、ティーチィング終了キー６３は、前記相対移動
軌跡をティーティングさせた後に演算制御部４６へ信号
を送るものである。
クリーン１３上でかつ画像が結像される部分に近接して
設けられており、その構成は、図５に示す如く、載物台
１２を光学系１４に対してＸ，Ｙ方向へ移動させる指令
を与えるステージコントロールキー６１、ティーチィン
グ開始キー６２、ティーチィング終了キー６３、相対移
動軌跡を含む測定プログラムを実行させるＲＵＮ・リピ
ートキー６４、載物台１２の原点設定を行うＡＢＳ・Ｚ
ＥＲＯキー６５及びテンキー６６からなるファンクショ
ンキーと、前記表示器４４と同一のデータを表示する表
示部６７とを含む。前記ステージコントロールキー６１
は、前記Ｘ，Ｙ駆動系１６，１７を作動させる信号を演
算制御部４６へ送るもので、前後左右を示す４個のキー
スイッチで構成される。これらのキースイッチのいずれ
かを押すことにより、その押した時間に応じて載物台１
２がＸまたはＹ方向へ移動する。ティーチィング開始キ
ー６２は、光学系１４と載物台１２との相対移動軌跡を
ティーティングさせる前に演算制御部４６へ信号を送る
もので、ティーチィング終了キー６３は、前記相対移動
軌跡をティーティングさせた後に演算制御部４６へ信号
を送るものである。
【００１２】次に、本実施例の作用を図６及び図７に基
づいて説明する。例えば、円の直径を測定する場合で
は、キーボード４１において、円測定の測定モードを選
択する。この状態において、載物台１２上に測定対象物
を載置すると、図６（Ａ）に示す如く、光学系１４によ
って測定対象物の画像である円Ｈがスクリーン１３上に
結像される。そのあと、カーソル２を光学系１４の光軸
上、つまり、スクリーン１３上の十字線の中心に静止さ
せるとともに、操作パネル６のＡＢＳ・ＺＥＲＯキー６
５を押して載物台１２の原点設定を行う。スクリーン１
３上に設けられた操作パネル６のステージコントロール
キー６１を操作してスタートポイントＳＰの上にカーソ
ル２が位置するように載物台１２を移動させる。さら
に、図６（Ｂ）に示す如く、ステージコントロールキー
６１を操作してカーソル２の位置にＡ点が位置するよう
に載物台１２を移動させると、カーソル２の下を円Ｈ上
の点Ｐ1 , Ｐ2 が通過することになり、この点Ｐ1 ,Ｐ
2 の位置ＧＡーソル２に設けられたエッジ検出センサ２
６で検出される。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ
駆動系１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量Ｐ
x,Ｐy,Ｐz が取り込まれ、メモリ４２に格納される。
づいて説明する。例えば、円の直径を測定する場合で
は、キーボード４１において、円測定の測定モードを選
択する。この状態において、載物台１２上に測定対象物
を載置すると、図６（Ａ）に示す如く、光学系１４によ
って測定対象物の画像である円Ｈがスクリーン１３上に
結像される。そのあと、カーソル２を光学系１４の光軸
上、つまり、スクリーン１３上の十字線の中心に静止さ
せるとともに、操作パネル６のＡＢＳ・ＺＥＲＯキー６
５を押して載物台１２の原点設定を行う。スクリーン１
３上に設けられた操作パネル６のステージコントロール
キー６１を操作してスタートポイントＳＰの上にカーソ
ル２が位置するように載物台１２を移動させる。さら
に、図６（Ｂ）に示す如く、ステージコントロールキー
６１を操作してカーソル２の位置にＡ点が位置するよう
に載物台１２を移動させると、カーソル２の下を円Ｈ上
の点Ｐ1 , Ｐ2 が通過することになり、この点Ｐ1 ,Ｐ
2 の位置ＧＡーソル２に設けられたエッジ検出センサ２
６で検出される。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ
駆動系１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量Ｐ
x,Ｐy,Ｐz が取り込まれ、メモリ４２に格納される。
【００１３】そのあと、ステージコントロールキー６１
により、図６（Ｃ）に示す如く、カーソル２の位置にＢ
点が位置するようにし、さらに、図６（Ｄ）に示す如
く、カーソル２の位置にＣ点が位置するように載物台１
２を移動させる。これにより、測定対象物の円Ｈ上の点
Ｐ3 , Ｐ4 がカーソル２の下を通過することになり、こ
の点Ｐ3 , Ｐ4 の位置が前記エッジ検出センサ２６で検
出される。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系
１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量Ｐ x,Ｐy,
Ｐz が取り込まれ、メモリ４２に格納される。そのの
ち、演算制御装置４６は、これらのデータを基に円Ｈの
直径を算出し、これを演算制御装置４の表示器４４およ
び操作パネル６の表示部６７の双方で表示し、かつ、プ
リンタ４５でプリンクアウトする。
により、図６（Ｃ）に示す如く、カーソル２の位置にＢ
点が位置するようにし、さらに、図６（Ｄ）に示す如
く、カーソル２の位置にＣ点が位置するように載物台１
２を移動させる。これにより、測定対象物の円Ｈ上の点
Ｐ3 , Ｐ4 がカーソル２の下を通過することになり、こ
の点Ｐ3 , Ｐ4 の位置が前記エッジ検出センサ２６で検
出される。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系
１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量Ｐ x,Ｐy,
Ｐz が取り込まれ、メモリ４２に格納される。そのの
ち、演算制御装置４６は、これらのデータを基に円Ｈの
直径を算出し、これを演算制御装置４の表示器４４およ
び操作パネル６の表示部６７の双方で表示し、かつ、プ
リンタ４５でプリンクアウトする。
【００１４】また、繰り返し測定の場合では、キーボー
ド４１において、設定モードを選択する。この状態にお
いて、載物台１２上に測定対象物を載置すると、図７に
示す如く、光学系１４によって測定対象物の画像がスク
リーン１３上に結像される。そのあと、操作パネル６の
ＡＢＳ・ＺＥＲＯキー６５を押して載物台１２の原点設
定を行い、さらに、光学系１４と載物台１２との相対移
動軌跡をティーティングさせる前にティーチィング開始
キー６２を押す。この状態で、スクリーン１３上に結像
された画像の測定箇所をカーソル２によって順番に指定
していく。例えば、図６に示すように、スクリーン１３
上に結像された画像の円Ｈの直径を測定しようとする場
合、その円Ｈの外側の任意の４点ＳＰ，Ａ，Ｂ，Ｃをカ
ーソル２によって順番に指定していく。
ド４１において、設定モードを選択する。この状態にお
いて、載物台１２上に測定対象物を載置すると、図７に
示す如く、光学系１４によって測定対象物の画像がスク
リーン１３上に結像される。そのあと、操作パネル６の
ＡＢＳ・ＺＥＲＯキー６５を押して載物台１２の原点設
定を行い、さらに、光学系１４と載物台１２との相対移
動軌跡をティーティングさせる前にティーチィング開始
キー６２を押す。この状態で、スクリーン１３上に結像
された画像の測定箇所をカーソル２によって順番に指定
していく。例えば、図６に示すように、スクリーン１３
上に結像された画像の円Ｈの直径を測定しようとする場
合、その円Ｈの外側の任意の４点ＳＰ，Ａ，Ｂ，Ｃをカ
ーソル２によって順番に指定していく。
【００１５】まず、カーソル２をスクリーン１３上に沿
ってスタートポイントＳＰへ移動し、ターゲット２９の
中心を点ＳＰに位置させたのち、座標値取込スイッチ２
８を押すと、そのときのカーソル２の位置座標値がカー
ソル位置座標値検出部３５から演算制御部４６に取り込
まれる。次に、ターゲット２９の中心を点Ａまで移動さ
せていくと、そのカーソル２の位置座標値がカーソル位
置座標値検出部３５に更新記憶されていく。ターゲット
２９の中心を点Ａに位置させたのち、座標値取込スイッ
チ２８を押すと、そのときのカーソル２の位置座標値が
カーソル位置座標値検出部３５から演算制御部４６に取
り込まれる。同様に、ターゲット２９の中心を点Ｂに位
置させたのち、座標値取込スイッチ２８を押すと、その
ときのカーソル２の位置座標値がカーソル位置座標値検
出部３５から演算制御部４６に取り込まれる。そのあ
と、ターゲット２９の中心を点Ｃに位置させたのち、座
標値取込スイッチ２８を押すと、そのときのカーソル２
の位置座標値が演算制御部４６に取り込まれる。する
と、演算制御部４６は、カーソル位置座標値検出部３５
から取り込んだ点ＳＰ，Ａ，Ｂ，Ｃの位置座標値を結ぶ
３本の直線を算出し、これらの直線がスクリーン１３上
の十字線の中心を通過するような載物台１２の移動軌跡
を算出し、この移動軌跡を含む測定プログラムを作成
し、これをメモリ４３に格納する。このとき、設定モー
ドにおける像倍率により座標値の換算補正が行われるの
は言うまでもない。
ってスタートポイントＳＰへ移動し、ターゲット２９の
中心を点ＳＰに位置させたのち、座標値取込スイッチ２
８を押すと、そのときのカーソル２の位置座標値がカー
ソル位置座標値検出部３５から演算制御部４６に取り込
まれる。次に、ターゲット２９の中心を点Ａまで移動さ
せていくと、そのカーソル２の位置座標値がカーソル位
置座標値検出部３５に更新記憶されていく。ターゲット
２９の中心を点Ａに位置させたのち、座標値取込スイッ
チ２８を押すと、そのときのカーソル２の位置座標値が
カーソル位置座標値検出部３５から演算制御部４６に取
り込まれる。同様に、ターゲット２９の中心を点Ｂに位
置させたのち、座標値取込スイッチ２８を押すと、その
ときのカーソル２の位置座標値がカーソル位置座標値検
出部３５から演算制御部４６に取り込まれる。そのあ
と、ターゲット２９の中心を点Ｃに位置させたのち、座
標値取込スイッチ２８を押すと、そのときのカーソル２
の位置座標値が演算制御部４６に取り込まれる。する
と、演算制御部４６は、カーソル位置座標値検出部３５
から取り込んだ点ＳＰ，Ａ，Ｂ，Ｃの位置座標値を結ぶ
３本の直線を算出し、これらの直線がスクリーン１３上
の十字線の中心を通過するような載物台１２の移動軌跡
を算出し、この移動軌跡を含む測定プログラムを作成
し、これをメモリ４３に格納する。このとき、設定モー
ドにおける像倍率により座標値の換算補正が行われるの
は言うまでもない。
【００１６】相対移動軌跡のティーティングが終了した
ら、操作パネル６のティーチィング終了キー６３を押
す。ここで、カーソル２を光学系１４の光軸上、つま
り、スクリーン１３上の十字線の中心に静止させ、ＲＵ
Ｎ・リピートキー６４を押して載物台１２を移動させる
指令を演算制御部４６に与える。すると、演算制御部４
６は、測定プログラムを実行させ、Ｘ駆動系１６、Ｙ駆
動系１７およびＺ駆動系１８の駆動を制御しながら載物
台１２が移動する。これにより、スクリーン１３上に結
像された画像のエッジが十字線の中心を通過すると、こ
の通過がエッジ検出センサ２６によって検出される。す
ると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ
駆動系１８による各方向の移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz が取り込
まれ、メモリ４２に格納される。
ら、操作パネル６のティーチィング終了キー６３を押
す。ここで、カーソル２を光学系１４の光軸上、つま
り、スクリーン１３上の十字線の中心に静止させ、ＲＵ
Ｎ・リピートキー６４を押して載物台１２を移動させる
指令を演算制御部４６に与える。すると、演算制御部４
６は、測定プログラムを実行させ、Ｘ駆動系１６、Ｙ駆
動系１７およびＺ駆動系１８の駆動を制御しながら載物
台１２が移動する。これにより、スクリーン１３上に結
像された画像のエッジが十字線の中心を通過すると、こ
の通過がエッジ検出センサ２６によって検出される。す
ると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７およびＺ
駆動系１８による各方向の移動量Ｐx,Ｐy,Ｐz が取り込
まれ、メモリ４２に格納される。
【００１７】例えば、先に記憶させた図７に示す画像の
円Ｈの直径を測定する場合、まず、ＳＰ，Ａの位置座標
値を結ぶ直線がスクリーン１３上の十字線の中心を通過
するように載物台１２が移動される。やがて、円Ｈの点
Ｐ1,Ｐ2 がスクリーン１３上の十字線の中心を通過する
と、この通過がエッジ検出センサ２６によって検出され
る。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７お
よびＺ駆動系１８による各方向の移動量が取り込まれ、
メモリ４２に格納される。同様にして、Ａ，Ｂ，Ｃの位
置座標値を結ぶ直線がスクリーン１３上の十字線の中心
を通過する過程において、Ｐ3,Ｐ4 がスクリーン１３上
の十字線の中心を通過したことがエッジ検出センサ２６
によって検出されたとき、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ
駆動系１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量が
取り込まれ、メモリ４２に格納される。そののち、演算
制御装置４６は、これらのデータを基に円Ｈの直径を算
出し、これを表示器４４および操作パネル６の表示部６
７に表示し、かつ、プリンタ４５でプリントアウトす
る。同形状の測定対象物を繰り返して測定するには、前
記ＲＵＮ・リピートキー６４を押して載物台１２を移動
させる指令を演算制御部４６に与える。すると、演算制
御部４６は、メモリ４３に格納されている測定プログラ
ムを読み出して実行させる。
円Ｈの直径を測定する場合、まず、ＳＰ，Ａの位置座標
値を結ぶ直線がスクリーン１３上の十字線の中心を通過
するように載物台１２が移動される。やがて、円Ｈの点
Ｐ1,Ｐ2 がスクリーン１３上の十字線の中心を通過する
と、この通過がエッジ検出センサ２６によって検出され
る。すると、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ駆動系１７お
よびＺ駆動系１８による各方向の移動量が取り込まれ、
メモリ４２に格納される。同様にして、Ａ，Ｂ，Ｃの位
置座標値を結ぶ直線がスクリーン１３上の十字線の中心
を通過する過程において、Ｐ3,Ｐ4 がスクリーン１３上
の十字線の中心を通過したことがエッジ検出センサ２６
によって検出されたとき、そのときのＸ駆動系１６、Ｙ
駆動系１７およびＺ駆動系１８による各方向の移動量が
取り込まれ、メモリ４２に格納される。そののち、演算
制御装置４６は、これらのデータを基に円Ｈの直径を算
出し、これを表示器４４および操作パネル６の表示部６
７に表示し、かつ、プリンタ４５でプリントアウトす
る。同形状の測定対象物を繰り返して測定するには、前
記ＲＵＮ・リピートキー６４を押して載物台１２を移動
させる指令を演算制御部４６に与える。すると、演算制
御部４６は、メモリ４３に格納されている測定プログラ
ムを読み出して実行させる。
【００１８】従って、本実施例によれば、前記光学系１
４と載物台１２とを相対移動させる指令を与えるステー
ジコントロールキー６１およびＲＵＮ・リピートキー６
４をを有するファンクションキー６１〜６６を含み操作
パネル６を構成し、この操作パネル６を前記スクリーン
１３上に設けたから、目と手の移動量が少なくてすみ、
光学式測定装置の操作性が良好となる。さらに、載物台
１２を移動させるために必要であったジョイステックを
不要にできるので、この点からも、製造コストを下げる
ことができる。さらに、前記操作パネル６は、測定値を
表示する表示部６７を備えて構成したから、測定値を読
み取る場合でも、スクリーン３から目を離さなくてよい
から、この点からも操作性が向上する。
４と載物台１２とを相対移動させる指令を与えるステー
ジコントロールキー６１およびＲＵＮ・リピートキー６
４をを有するファンクションキー６１〜６６を含み操作
パネル６を構成し、この操作パネル６を前記スクリーン
１３上に設けたから、目と手の移動量が少なくてすみ、
光学式測定装置の操作性が良好となる。さらに、載物台
１２を移動させるために必要であったジョイステックを
不要にできるので、この点からも、製造コストを下げる
ことができる。さらに、前記操作パネル６は、測定値を
表示する表示部６７を備えて構成したから、測定値を読
み取る場合でも、スクリーン３から目を離さなくてよい
から、この点からも操作性が向上する。
【００１９】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではなく、次のような変形例も含む。例えば、エッ
ジ検出センサ２６については、上記実施例ではカーソル
２と一体に設けたが、カーソル２とは別体として構成し
てもよい。スクリーン１３上における取付位置について
も、十字線の中心に限らず、予め定めた定位置であれば
よく、しかも、スクリーン１３内に一体的に組み込んだ
構造でもよい。ただし、光学系１４の光軸位置、従っ
て、スクリーン１３の十字線の中心に対応する位置にエ
ッジ検出センサ２６を組み込むことが好ましい。このよ
うにすれば、画像歪みによる影響を全く受けることがな
く、測定時に像倍率を変化させても測定のプログラムデ
ータを変更する必要がないなどの効果が得られる。さら
に、カーソル２を設けない場合にあっては、スクリーン
をタッチパネル式とし、タッチパネル式のスクリーンに
直接測定ポイントを入力するものでもよい。このように
すれば、操作する場所がスクリーン１３に集中すること
で、光学式測定装置を製造するために必要な電子基板の
枚数を削減でき、配線を短くしたり、廃止することがで
きるため、製造コストを下げることができる。また、カ
ーソル位置座標値検出装置３としては、上記実施例で述
べた構造に限らず、カーソル２の位置座標値を求められ
るものであればいずれでもよい。更に、上記実施例で
は、載物台１２を移動させるようにしたが、載物台１２
を固定したままとして、光学系１４を移動させるように
してもよい。
ものではなく、次のような変形例も含む。例えば、エッ
ジ検出センサ２６については、上記実施例ではカーソル
２と一体に設けたが、カーソル２とは別体として構成し
てもよい。スクリーン１３上における取付位置について
も、十字線の中心に限らず、予め定めた定位置であれば
よく、しかも、スクリーン１３内に一体的に組み込んだ
構造でもよい。ただし、光学系１４の光軸位置、従っ
て、スクリーン１３の十字線の中心に対応する位置にエ
ッジ検出センサ２６を組み込むことが好ましい。このよ
うにすれば、画像歪みによる影響を全く受けることがな
く、測定時に像倍率を変化させても測定のプログラムデ
ータを変更する必要がないなどの効果が得られる。さら
に、カーソル２を設けない場合にあっては、スクリーン
をタッチパネル式とし、タッチパネル式のスクリーンに
直接測定ポイントを入力するものでもよい。このように
すれば、操作する場所がスクリーン１３に集中すること
で、光学式測定装置を製造するために必要な電子基板の
枚数を削減でき、配線を短くしたり、廃止することがで
きるため、製造コストを下げることができる。また、カ
ーソル位置座標値検出装置３としては、上記実施例で述
べた構造に限らず、カーソル２の位置座標値を求められ
るものであればいずれでもよい。更に、上記実施例で
は、載物台１２を移動させるようにしたが、載物台１２
を固定したままとして、光学系１４を移動させるように
してもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の通り、本発明の光学式測定装置に
よれば、操作性が良好になるという効果が期待できる。
よれば、操作性が良好になるという効果が期待できる。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】同上実施例におけるカーソルの正面図である。
【図３】図２のIII-III 線断面図である。
【図４】同上実施例の回路構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図５】同上実施例におけるファンクションキーを拡大
して示す正面図である。
して示す正面図である。
【図６】（Ａ）から（Ｄ）は同上実施例における測定操
作を説明する図である。
作を説明する図である。
【図７】同上実施例における測定箇所を指定する方法を
示す図である。
示す図である。
６ 操作パネル １２ 載物台 １３ スクリーン １４ 光学系 ２６ エッジ検出センサ ６１ ステージコントロールキー ６２ ティーチング開始キー ６３ ティーチング終了キー ６４ ＲＵＮ・リピートキー ６５ ＡＢＳ・ＺＥＲＯキー ６６ テンキー
Claims (1)
- 【請求項１】測定対象物の画像をスクリーン上に結像さ
せる光学系と測定対象物を載置する載物台とを相対移動
させ、その相対移動過程において、エッジ検出センサが
画像のエッジの通過を検出したとき前記相対移動量を順
次取り込み、これらの相対移動量から測定対象物の寸法
を求める光学式測定装置において、 前記光学系と載物台との相対移動を指令するためのキー
を含むファンクションキーを前記スクリーン上に設けた
ことを特徴とする光学式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26882893A JP2749766B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 光学式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26882893A JP2749766B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 光学式測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120214A JPH07120214A (ja) | 1995-05-12 |
| JP2749766B2 true JP2749766B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=17463825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26882893A Expired - Fee Related JP2749766B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 光学式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2749766B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006101269A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Sanyo Electric Co Ltd | ラッチクロック生成回路及びシリアル−パラレル変換回路 |
-
1993
- 1993-10-27 JP JP26882893A patent/JP2749766B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120214A (ja) | 1995-05-12 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980127 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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