JPH10318712A - 測長装置 - Google Patents

測長装置

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JPH10318712A
JPH10318712A JP9123646A JP12364697A JPH10318712A JP H10318712 A JPH10318712 A JP H10318712A JP 9123646 A JP9123646 A JP 9123646A JP 12364697 A JP12364697 A JP 12364697A JP H10318712 A JPH10318712 A JP H10318712A
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JP9123646A
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English (en)
Inventor
Katsuaki Suzuki
克明 鈴木
Hiroshi Yamashita
浩 山下
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンピュータ側でも装置本体の設定ができる
ようにすることにより、操作性を高めることができる。 【解決手段】 被測定物と画像取り込み手段とを移動手
段で相対移動させて測長を装置本体Mで行うとともに、
視野内の画像をモニタ66に表示させる態様などをマウ
ス64により指示するコンピュータCを備えている測長
装置において、モニタ66には座標画像表示領域を設
け、視野の大きさに応じた視野枠を、検出された座標で
座標画像表示領域に重ね合わせて表示する重ね合わせ表
示部68cを設けるとともに、マウス66を、視野枠を
所望の方向に移動可能で、かつ、少なくとも二種類の特
定動作を指示可能に構成し、マウス66による視野枠の
移動と特定動作とに基づき視野を所望の方向に粗動また
は微動するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
作成用の原板や、液晶表示装置や半導体ウエハなどに所
定のパターンを焼き付けるためのガラスマスク作成用の
原板や、高い精度を必要とする印刷物等の図形の寸法や
座標などを測定するのに用いられる測長装置に係り、特
に、画像取り込み手段の視野を移動する技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の測長装置として、例え
ば、測定台に被測定物を載置し、その上方に配設されて
いる画像取り込み部を移動機構により相対移動させ、画
像取り込み部の視野の座標を座標検出部により検出し
て、その座標に基づいて被測定物上の特定箇所の座標や
寸法を測定する装置本体と、上記の画像取り込み部の視
野内の画像を視野内画像としてモニタに表示させる際の
態様などを指示部で指示するコンピュータとを備えてい
るものが挙げられる。
【0003】このように構成されている装置では、例え
ば、座標や寸法などを計測したい箇所の設定を行うため
に、まず、オペレータが装置本体に配設されたジョイス
ティックなどを操作して移動機構を駆動し、画像取り込
み部の視野をその箇所付近に大まかに移動する。次い
で、装置本体に配設された微動ツマミを操作して視野を
微妙に移動させてその箇所の測定台上の座標を正確に記
憶させる。
【0004】そして、上記のような設定が完了すると、
今度はコンピュータの指示部を操作して、そのモニタに
表示させる態様を設定したり、視野内画像に施す画像処
理の方法などを指示する。次に、これらの指示が完了し
て測定開始を指示すると、画像読み取り部が予め設定さ
れた箇所に移動機構によって移動され、モニタにその視
野内画像を表示させつつ測定を行うとともに、測定した
箇所の座標や寸法などをモニタに表示するようになって
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、オペレータは、まず装置本体のジョイ
スティックおよび微動ツマミを操作して視野を所望の方
向に移動させ、次いでコンピュータの指示部を操作して
各種の設定を行う必要があるので、オペレータの目線の
移動量などが大きくなり、操作が煩雑となって操作性が
低くなるという問題点がある。
【0006】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、コンピュータ側でも装置本体の設定が
できるようにすることにより、操作性を高めることがで
きる測長装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の測長装置は、測定台に載置された
被測定物と、この被測定物の画像を取り込む画像取り込
み手段とを、前記測定台と平行な平面内で移動手段によ
り相対移動させ、前記画像取り込み手段の視野の座標を
座標検出手段により検出することに基づき前記被測定物
上の特定箇所の座標や寸法の測定を装置本体で行うとと
もに、前記画像取り込み手段の視野内の画像を視野内画
像として表示手段に表示させる態様などを指示手段によ
り指示するコンピュータを備えている測長装置におい
て、前記表示手段には、前記視野内画像を表示する画像
表示領域に加えて、前記測定台上の座標に相当する座標
画像を表示する座標画像表示領域を設け、前記画像取り
込み手段の視野の大きさに応じた視野枠を、前記座標検
出手段により検出された座標で前記座標画像表示領域に
重ね合わせて表示する重ね合わせ表示手段を設けるとと
もに、前記指示手段を、前記視野枠を所望の方向に移動
可能で、かつ、少なくとも二種類の特定動作を指示可能
に構成し、前記指示手段による視野枠の移動と特定動作
とに基づき、前記移動手段を介して前記視野を所望の方
向に粗動または微動するようにしたことを特徴とするも
のである。
【0008】また、請求項2に記載の測長装置は、請求
項1に記載の測長装置において、前記指示手段をマウス
で構成したことを特徴とするものである。
【0009】
【作用】請求項1に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。測定台に載置された被測定物の画像は、画像取り込
み手段によって取り込まれ、その視野内画像が表示手段
の画像表示領域に表示される。オペレータは、表示手段
の座標画像表示領域に、重ね合わせ表示手段によって表
示されている現在の画像取り込み手段の視野枠を見なが
ら、指示手段により所望の方向にその視野枠を移動させ
るとともに少なくとも二種類の特定動作を行うことによ
って粗動または微動の指示をする。
【0010】すると画像取り込み手段が移動手段によっ
て移動され、その移動先における視野内画像が表示手段
の画像表示領域に表示されるとともに、座標検出手段に
よって移動先における視野の座標が検出され、視野枠が
表示手段の座標画像表示領域に表示される。オペレータ
は、表示手段の画像表示領域および座標画像表示領域を
見ることにより、移動先の視野内にある被測定物と、被
測定物上のどの位置に現在の視野が位置しているのかを
即座に知ることができ、移動先が適切か否かを容易に判
断することができる。したがって、オペレータは粗動お
よび微動のために装置本体のジョイスティックや微動ツ
マミを操作する必要がなく、コンピュータの表示手段を
見ながら指示手段を操作するだけで装置本体の設定をも
行うことができる。
【0011】また、請求項2に記載の発明によれば、最
近のコンピュータには一般的に備えられているマウスを
操作することにより、クリックやダブルクリック、ある
いはクリックとドラッグなどの二種類の特定動作を行う
ことができ、視野枠を移動させたい方向と粗動や微動の
指示を行うことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。図1は本発明に係る測長装置の概略
構成を示す外観斜視図であり、図2は装置の概略構成を
示すブロック図である。なお、以下の説明においては、
プリント配線基板作成用の原板や印刷物等を被測定物と
称する。
【0013】ガラスなどの光透過性材料で平板状に形成
され、被測定物Wを載置する測定台1は、装置本体Mを
操作するための各種スイッチを含む操作パネル3aと、
ジョイスティック3bと、2つの微動ツマミ3cとを前
面に備えた装置筐体5の上面に水平姿勢で配設されてい
る。測定台1の上方には、画像取り込み手段7がX方向
駆動架台9を介して取り付けられており、これによりX
方向に移動されるようになっている。また、X方向駆動
架台9は、装置筐体5の上部に内蔵されたY方向駆動部
11により画像取り込み手段7ごとY方向に移動される
ようになっており、X方向駆動架台9とY方向駆動部1
1によって測定台1に平行なX−Y平面内で画像取り込
み手段7が移動されるようになっている。なお、上記の
X方向駆動架台9とY方向駆動部11とが本発明の移動
手段に相当する。
【0014】測定台1の下方には、図2に示すように、
画像取り込み手段7に対向する位置に反射鏡13aを有
する投光部13が配設されている。この投光部13に
は、光ファイバー15を通してハロゲンランプ19から
の光が導かれており、常に画像取り込み手段7と対向し
た状態で移動しつつ被測定物Wを下方から照明するよう
になっている。
【0015】なお、上記の構成のように投光部13によ
って画像取り込み手段7の直下付近のみを照明するので
はなく、測定台1の下面全体に蛍光灯を配設して、全体
を照明するようにしてもよく、また被測定物Wの上方か
ら照明する照明手段をさらに設けて、下方あるいは上方
のいずれか一方または上方および下方の両面から照明す
るようにしてもよい。
【0016】画像取り込み手段7は、対物レンズを含む
鏡筒部21の上部にCCDカメラ23を備えている。C
CDカメラ23は、カメラコントロール部25によって
制御されるとともに、画像取り込み部27に画像信号を
出力するようになっている。取り込まれた画像信号は、
制御部29によって処理されて測定台1の上方に取り付
けられたCRT31に出力され、画像取り込み手段7の
視野内にある被測定物Wの画像が映し出される。
【0017】この画像取り込み手段7は、サーボモータ
コントローラ33に制御されるX軸サーボモータ33a
によってX方向に駆動され、Y軸サーボモータ33bに
よってX方向駆動架台9ごとY方向に駆動されるように
なっている。また、X/Y軸サーボモータ33a,33
bの回転量に応じた移動距離は、エンコーダ35によっ
て検出されて座標読み取り部37によって測定台1上の
座標(以下、『機械座標』と称する)として読み取られ
る。画像取り込み手段7の視野内の特定位置(例えば、
十字線などの指標)の機械座標は、このようにして座標
読み取り部37によって読み取られ、制御部29の指示
に基づき適宜に座標記憶部39に格納される。なお、上
記のエンコーダ35と座標読み取り部37とが本発明に
おける座標検出手段に相当する。
【0018】また、上述したジョイスティック3bをオ
ペレータが操作すると、その操作量に応じてX/Y軸サ
ーボモータ33a,33bにより画像読み取り手段7が
X−Y方向に粗動し、2つの微動ツマミ3cを操作する
とその操作量に応じて画像読み取り手段7がX−Y方向
に微動するようになっている。なお、ここで言う粗動と
は、細かい位置に停止させることはできないが、移動速
度が速い動作であり、微動とは、細かい位置に停止させ
ることができるが、移動速度が遅い動作のことである。
【0019】上述した画像取り込み部27やカメラコン
トロール部25などは、制御部29によりバス41を介
して統括制御されるようになっており、さらにハロゲン
ランプ19も制御部29によってその光量などが制御さ
れるようになっている。バス41には、外部機器との通
信のためのインターフェイス(I/F)43が配備され
ている。
【0020】装置本体MのI/F43は、装置本体Mに
隣接して置かれたコンピュータCのインターフェイス
(I/F)50にケーブルを介して接続されている。コ
ンピュータCは、CPU52のバス54に、I/F50
と、ROM56と、RAM58と、ハードディスクなど
の補助記憶装置60と、キーボード62と、マウス64
と、モニタ66に画像信号を出力する表示制御部68が
接続されている。
【0021】表示制御部68の画像表示領域メモリ68
aは、画像読み取り手段7の視野内にある被測定物Wの
画像(視野内画像)、つまり装置本体MのCRT31と
同じ画像をモニタ66の画像表示領域に表示するための
画像データが書き込まれる。座標画像表示領域メモリ6
8bは、『機械座標』を表す画像データが書き込まれる
ものであり、ここには画像取り込み手段7の視野の大き
さに応じた視野枠が、座標読み取り部37で読み取られ
た座標で重ね合わせ表示部68cにより随時合成される
ようになっている。なお、上記のモニタ66が本発明に
おける表示手段に相当し、重ね合わせ表示部68cが重
ね合わせ表示手段に相当する。
【0022】本発明の指示手段に相当するマウス64
は、図示しないロータリエンコーダを内蔵しており、コ
ンピュータCが載置されたテーブルTの上の相対位置を
CPU52によって検出可能に構成されているととも
に、左ボタン64Lと右ボタン64Rとを備えており、
それぞれのオンまたはオフがCPU52によって検出可
能になっている。なお、マウス64の相対位置に応じ
て、モニタ66上には後述するようなカーソルが表示さ
れる。
【0023】CPU52は、例えば、マウス64の相対
移動を検出して、その位置がモニタ66上の座標画像表
示領域(測定台1の機械座標を表示)に相当する場合で
あって、かつ、マウス64の左ボタン64Lが一度だけ
短時間押下される特定動作(いわゆるクリック)である
ことを検出した場合には、重ね合わせ表示部68cに対
して座標画像表示領域の視野枠を、クリックされた位置
に応じて再描画させる指示を行うとともに、I/F50
を通して装置本体Mの制御部29にその位置の機械座標
を送信する。すると、制御部29は、サーボコントロー
ラ33を介してその機械座標に応じた位置に画像取り込
み手段7を粗動する。一方、マウス64の位置が座標画
像表示領域に表示されている視野枠内に相当し、その位
置でマウス64の左ボタン64Lが押下され、そのまま
移動する特定動作(いわゆるドラッグ)であることを検
出した場合には、重ね合わせ表示部68cに対して座標
画像表示領域の視野枠をその位置に応じて随時再描画さ
せる指示を行うとともに、装置本体Mにその位置の機械
座標を随時送信する。そして、制御部29は、その機械
座標に応じた位置に画像取り込み手段7を随時微動す
る。なお、画像取り込み手段7が移動された場合には、
その視野内の画像がCRT31に映し出されるととも
に、モニタ66の画像表示領域に同じ画像(視野内画
像)が表示されるようになっている。
【0024】次に、上記のように構成された測長装置に
よる測長処理について、図3のフローチャートを参照し
つつ説明する。なお、フローチャート中の点線枠は、装
置内部の動作を示している。
【0025】ステップS1(被測定物をセット) オペレータは、例えば、プリント配線基板作成用の原板
(被測定物W)を測定台1にセットする。なお、図4の
模式図に示すように、初期状態では、画像取り込み手段
7の視野Vが、被測定物Wに描かれた文字Fを含む矩形
領域(図4中の二点鎖線)に位置しているものとし、オ
ペレータが所望する測長位置は、被測定物Wの文字G,
H,J,Kによって囲まれた部分(図4中の一点鎖線で
示す目的位置O)であるとする。
【0026】また、このときのモニタ66の表示態様
は、図5に示すようなものとなっている。つまり、モニ
タ66の上部左側には測定手法等を指示するための命令
などのアイコンを表示する命令ウインドウIWが表示さ
れ、その右側には画像取り込み手段7や投光部13など
の設定を行うコントロールパネルウインドウCWが表示
され、上部右側には、例えば、視野Vの中心位置座標を
数値で示す座標表示ウインドウDWが表示されている。
さらに命令ウインドウIWの下方には、画像表示領域C
Rが表示されて、画像取り込み手段7の視野Vの内側に
位置する被測定物Wの一部画像が表示され、この画像表
示領域CRの右側には、座標画像表示領域ARが表示さ
れて、測定台1の機械座標と、視野Vの位置が機械座標
の原点を示す基準線RLとともに視野枠VBとして表示
されている。なお、この領域中に点線矩形で示したの
は、実際には表示されないが説明の理解を容易にするた
めに補助的に示した被測定物(W)の外形である。
【0027】ステップS2(目的位置付近をクリック) オペレータは、マウス64を操作してモニタ66の座標
表示画像領域ARにカーソルCSを移動する。そして、
図6に示すように、基準線RLを参照しつつ被測定物W
上の目的位置Oに近い位置にカーソルCSを移動し、そ
の位置で左ボタン64Lをクリックする。
【0028】なお、目的位置Oが座標表示画像領域AR
に表示されていない場合には、その上部にある拡大/縮
小ボタンをクリックしたり、右側および下側に隣接する
スクロールバーを使って目的位置O付近が表示されるよ
うに調整してからクリックを行う。上記のようにして目
的位置O付近をクリックすると、元の位置(図6中の点
線)からその位置に視野枠VB(図6中の実線)がサー
ボモータの動きに同期して移動する。
【0029】ステップS3(視野枠の粗動、画像表示) 上記のようにクリックすると、画像読み取り手段7は、
その位置に応じてX方向駆動架台9およびY方向駆動部
11によって粗動され、図7に示すように視野Vが元の
位置(図7中の点線)からその位置(図7中の二点鎖
線)に移動する。視野Vが移動するとともに、装置本体
MのCRT31には視野V内の画像が映し出され、さら
にモニタ66の画像表示領域CRには、図6に示すよう
に視野V内の画像が表示される。
【0030】ステップS4(大まかな位置OK?) オペレータは、モニタ66の画像表示領域CRを見て、
被測定物W上の所望する測長位置付近が表示されている
か否かを判断する。もし仮に所望の測長位置付近が表示
されていない場合には、表示されるまでステップS2に
戻って粗動を行えばよい。以下、所望の測長位置付近が
表示されたとして説明する。
【0031】ステップS5(視野枠をドラッグ) 図8に示すように、マウス64を操作してカーソルCS
を視野枠VB内に移動し、左ボタン64Lを押下したま
まマウス64を移動する。つまり、視野枠VBをドラッ
グする。
【0032】ステップS6(視野枠の微動、画像表示) 上記のようにドラッグすると、画像読み取り手段7は、
その位置に応じてX方向駆動架台9およびY方向駆動部
11によって微動され、図8に示すように視野Vが元の
位置(図9中の点線)からその位置(図9中の実線)に
移動し、ここでは目的位置Oに視野Vが一致したとす
る。視野Vが移動すると、CRT31には視野V内の画
像が映し出されるとともに、モニタ66の画像表示領域
CRには、図8に示すように視野V内の画像が表示され
る。
【0033】ステップS7(詳細な位置OK?) オペレータは、モニタ66の画像表示領域CRを見て、
被測定物W上の所望する測長位置が表示されているか否
かを判断する。もし仮に所望の測長位置が表示されてい
ない場合には、表示されるまでステップS5に戻って微
動を繰り返し行えばよい。以下、測長位置が表示された
ものとして説明する。
【0034】ステップS8(測定方法等の各種設定) 上記のようにして所望の測長位置が画像表示領域CRに
表示された後、マウス64を操作してカーソルCSを画
像表示領域CRに移動し、命令ウインドウIW、コント
ロールパネルウインドウCW、座標表示ウインドウDW
を駆使して測定位置の測定方法などの各種の設定を行
う。なお、複数箇所の測定位置がある場合には、上述し
たステップS2以降を繰り返し行う。
【0035】ステップS9(測長処理) 測定条件の設定が終了して、測定開始を指示すると測長
処理が行われる。この処理は、上述したようにして設定
された全ての測定位置を設定した条件で自動的に測長す
るものである。また、測長処理が完了すると、その結果
(座標や寸法)などがモニタ66に表示される。
【0036】従来ならばオペレータが装置本体Mの方に
移動して、ジョイスティック3bと2つの微動ツマミ3
cを操作して測定位置に画像取り込み手段7を移動し、
次いでコンピュータC側に移動して測定位置の特定と測
定方法などの各種設定を行い、さらに測定位置の数だけ
これらを繰り返す必要があったので、オペレータの移動
および目線の移動が激しく煩雑であった。
【0037】しかしながら上記のように構成した測長装
置では、装置本体Mに被測定物Wをセットした後は、コ
ンピュータC側でマウス64を操作するだけで測定位置
の設置や条件など全ての操作が可能となったので、オペ
レータの負担を軽減することができ、操作性を高めるこ
とができる。したがって、測長処理(ステップS9)に
至るまでのセットアップ時間を従来に比較して短縮する
ことができる。
【0038】なお、上記の実施例では、マウス64の左
ボタン64Lをクリックすることを粗動に対応させ、マ
ウス64の左ボタン64Lでドラッグすることを微動に
対応させたが、本発明はこのような対応関係に限定され
るものではない。また、モニタ66に微動/粗動の選択
ボタンと視野枠VBの移動方向を示すスライダーを表示
させ、マウス64でそれらを指示することによって、視
野枠VBを所望する方向に所望の動作で移動させるよう
にしてもよい。この場合には、マウス64と両インジケ
ータが本発明の指示手段に相当する。
【0039】また、上記の実施例では、指示手段として
マウス64を採用しているが、これに代えて2種類の特
定動作を行うことができるスイッチ付きのジョイスティ
ックやトラックボールなどを採用してもよい。また、キ
ーボード62のカーソルキーとその他のキーの組み合わ
せで特定動作を行うようにしてもよい。
【0040】なお、上記の装置には、装置本体Mに粗動
用のジョイスティック3bと、微動用の微動ツマミ3c
が配設されているが、これはコンピュータCを用いるこ
となく手動で測長を行う場合も想定しているからであ
る。したがって、コンピュータCによる自動計測のみを
用いる場合であれば、それらは不要となるので、装置本
体Mの構成を簡単にすることができて装置コストを低減
することができる。
【0041】また、上記実施例では、被測定物Wを載置
した測定台1を位置固定とし、画像取り込み手段7を移
動させるように構成したが、画像取り込み手段7を位置
固定として測定台1を移動させるようにしてもよい。ま
た、被測定物Wを一定位置に係止することができるなら
ば、測定台1は水平姿勢でなく傾斜姿勢や垂直姿勢であ
ってもよい。
【0042】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の発明によれば、オペレータは粗動および微動
のために装置本体のジョイスティックや微動ツマミを操
作する必要がなく、コンピュータの表示手段を見ながら
指示手段を操作するだけで装置本体の設定をも行うこと
ができ、オペレータの目線の移動量などを最小限にする
ことができる。したがって、操作性を高めることができ
て、測定に取りかかるまでに要する準備時間を短縮する
ことができる。
【0043】また、装置本体には、粗動や微動を指示す
るためのジョイスティックや微動ツマミなどの機構が不
要となるので、装置本体の構成を簡略化することがで
き、装置の製造コストを低減することができる。
【0044】また、請求項2に記載の発明によれば、最
近のコンピュータには常識的に配備されていることが多
いマウスを指示手段として利用することにより、指示手
段として特別な構成を新たに付加する必要がない。した
がって、比較的容易に本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る測長装置の概略構成を示す外観斜
視図である。
【図2】本発明に係る測長装置の概略構成を示すブロッ
ク図である。
【図3】測長処理を示すフローチャートである。
【図4】画像取り込み手段の視野の位置を示す模式図で
ある。
【図5】モニタの初期の表示態様を示す図である。
【図6】視野枠を粗動する際のモニタの表示態様を示す
図である。
【図7】画像取り込み手段の視野の位置を示す模式図で
ある。
【図8】視野枠を微動する際のモニタの表示態様を示す
図である。
【図9】画像取り込み手段の視野の位置を示す模式図で
ある。
【符号の説明】
W … 被測定物 M … 装置本体 1 … 測定台 7 … 画像取り込み手段 9 … X方向駆動架台(移動手段) 11 … Y方向駆動部(移動手段) 23 … CCDカメラ 35 … エンコーダ(座標検出手段) 37 … 座標読み取り部(座標検出手段) C … コンピュータ 62 … キーボード 64 … マウス(指示手段) 66 … モニタ(表示手段) 68 … 表示制御部 68a … 画像表示領域メモリ 68b … 座標画像表示領域メモリ 68c … 重ね合わせ表示部(重ね合わせ表示手段) V … 視野 VB … 視野枠 CR … 画像表示領域 AR … 座標画像表示領域

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定台に載置された被測定物と、この被
    測定物の画像を取り込む画像取り込み手段とを、前記測
    定台と平行な平面内で移動手段により相対移動させ、前
    記画像取り込み手段の視野の座標を座標検出手段により
    検出することに基づき前記被測定物上の特定箇所の座標
    や寸法の測定を装置本体で行うとともに、前記画像取り
    込み手段の視野内の画像を視野内画像として表示手段に
    表示させる態様などを指示手段により指示するコンピュ
    ータを備えている測長装置において、 前記表示手段には、前記視野内画像を表示する画像表示
    領域に加えて、前記測定台上の座標に相当する座標画像
    を表示する座標画像表示領域を設け、 前記画像取り込み手段の視野の大きさに応じた視野枠
    を、前記座標検出手段により検出された座標で前記座標
    画像表示領域に重ね合わせて表示する重ね合わせ表示手
    段を設けるとともに、 前記指示手段を、前記視野枠を所望の方向に移動可能
    で、かつ、少なくとも二種類の特定動作を指示可能に構
    成し、 前記指示手段による視野枠の移動と特定動作とに基づ
    き、前記移動手段を介して前記視野を所望の方向に粗動
    または微動するようにしたことを特徴とする測長装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の測長装置において、前
    記指示手段をマウスで構成したことを特徴とする測長装
    置。
JP9123646A 1997-05-14 1997-05-14 測長装置 Pending JPH10318712A (ja)

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH068171A (ja) * 1992-06-29 1994-01-18 Shimadzu Corp マイクロマニピュレータ用操作装置
JPH07103735A (ja) * 1993-10-05 1995-04-18 Mitsutoyo Corp 非接触画像計測システム
JPH10197224A (ja) * 1997-01-10 1998-07-31 Mitsutoyo Corp 画像測定装置
JPH10197223A (ja) * 1997-01-10 1998-07-31 Mitsutoyo Corp 画像測定装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH068171A (ja) * 1992-06-29 1994-01-18 Shimadzu Corp マイクロマニピュレータ用操作装置
JPH07103735A (ja) * 1993-10-05 1995-04-18 Mitsutoyo Corp 非接触画像計測システム
JPH10197224A (ja) * 1997-01-10 1998-07-31 Mitsutoyo Corp 画像測定装置
JPH10197223A (ja) * 1997-01-10 1998-07-31 Mitsutoyo Corp 画像測定装置

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