JPH01293477A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣパターン、マスク、電子部品等の形状を測
定する測定装置に関する。

〔発明の概要〕

第４図は従来の測定装置のブロック図である。

同図において１は基台であり、所定の位置に設置、固定
される。２はテーブルであり、ハンドル３と４を回転す
ることにより、基台１に対して前後左右方向に移動可能
と石っている。テーブル２上には測定の対象となる例え
ばＩＣ等の対象物５が載置される。６は電子顕微鏡、７
は電子顕微鏡６を介して対象物５を撮影するＴＶカメラ
である。

ＴＶカメラ７の出力は合成回路１１を介してＣＲＴ等の
表示手段１３に供給される。発生手段１２は例えば水平
方向の線と、これと垂直に交叉する線からなるマークの
画像信号を発生する。この画像信号は合成回路１１によ
りＴＶカメラ７からの画像信号と重畳され、表示手段１
３に供給される。その結果表示手段１３の画面の中央に
はマークが固定１表示される。これに対してハンドル３
又は４を所定の方向に回転させることによりテーブル２
（従って対象物５）を移動させると、対象物５の画像は
表示手段１３の画面上を移動する。

テーブル２にはエンコーダ（図示せず）が取り付けられ
ており、その出力が検出手段２１に供給されている。検
出手段２１はエンコーダの出力からテーブル２の基台１
に対する位置を検出する。検出手段２１の出力は例えば
コンピュータ等よりなる制御手段２２に供給される。

入力平極２３は例えば複数の操作スイッチから構成され
ている。第５図はこれらのスイッチの一部を示している
。同図においてＡ乃至Ｇは測定モードを、Ｈ乃至Ｏはア
ライメントモードを、Ｐ乃至Ｕは入力モードを、各々選
択するとき操作されるスイッチである。これらの各スイ
ッチに、第１表乃至第３表に示す如き機能が対応されて
いる。

例えばいまテーブル２上に第６図に示す如き形状の対象
物が載置されていたとすると、その画像が表示手段１３
上に表示される。この対象物５の形状を測定するため、
先ずアライメントモードが選定される６例えばスイッチ
Ｈが選択されたとき、制御手段２２は最初に入力される
２つの点を結ぶ線をＸ軸とし、３番目に入力される点か
らＸＳへの垂線をＹ軸とし、その交点を原点○とするよ
うに演算する。次に操作者は３つの点を入力する入力モ
ードを選定する。例えばスイッチＰが選択されたとき、
各点は１点づつ入力指定される。

次に３点の位置を入力するため、ハンドル３と４を操作
し、テーブル２を水平及び垂直方向に移動させる。、テ
ーブル２の位置を移動させることにより表示手段１３上
の対象物の画像を移動させ、その所定の点Ｐ□をマーク
の位置に一致させる。・この位置で入力手段２３を構成
する他のスイッチ（インキ−）が操作される。このとき
制御手段２２は検出手段２１が出力するテーブル２の検
出位置をメモリ２４に記憶させる。同様にして点Ｐ２、
Ｐ３の位置が順次入力、記憶される。

３つの点Ｐ工、Ｐ２、Ｐ３が記憶されたとき、制御手段
２２はこの３つの点を基準にしてＸ軸とＹ軸を演算する
。

このようにしてアライメントが決定されたとき、次に測
定が行われる。例えばスイッチＡを操作すると、所定点
の座標が測定、演算される。再びハンドル３と４を操作
し、対象物の点Ｐ４をマークに一致させ、インキ−を操
作すると、Ｘ、Ｙ軸座標系における点Ｐ４の座標（ａ、
ｂ）が制御手段２２により演算される。この演算結果も
メモリ２４に記憶される。

以下同様にして複数の所定点の座標を測定、演算するこ
とができる。

これらの測定結果は必要に応じプリンタ２５により紙等
に印字することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の装置はこのように、各測定点毎にテーブルを移動
させる必要があるため、操作性が悪く、測定に時間がか
かる欠点がある。

そこで本発明は操作性を向上し、測定時間を短縮できる
ようにするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の測定装置は、テーブル上に載置された対象物を
ＴＶカメラで撮影し、その画像を表示手段に表示させ、
表示手段の表示を児ながら対象物の形状を測定子る装置
↓こ用いる装置において、対原物の画像に重畳して表示
されるマークの画像信号を発生する発生手段と、マーク
の表示位置を変更する変更手段と、マークの位置を記憶
するメモリと、メモリにマークの位置を記憶させるとき
操作される入力手段と、マークの位置から対象物の形状
を演算する演算手段とを備える。

〔作用〕

例えばマウス等の変更手段を操作することにより、マー
クの表示位置を移動、変更させる。従うてマークを所定
位置に移動させた後、入力手段を操作することにより、
マークが位置する測定点が測定される。

従って測定時間を短縮することができる。

〔実施例〕

第１図は本発明の測定装置のブロック図であり、第４図
における場合と対応する部分には同一の符号を付しであ
る。第１図において３１は検出手段である。本発明の発
生手段１２は固定マーク（従来のマークに対応する）と
移動マークとを発生するが、検出手段３１はこの移動マ
ークの表示位置を検−出する。３２は発生手段であり、
メモリ２４に記憶した測定結果に対応した画像を発生す
る。

３３は選択メニュー、所定のスイッチ等に対応した画像
を発生する発生手段である。３４は例えばマウス等の変
更手段であり、移動マークの表示位置を変更するとき操
作される。その他の構成は従来の場合と基本的に同様で
ある。

しかしてその動作を説明する。前述した場合と同様にＴ
Ｖカメラ７より出力された対象物の画像が合成回路１１
を介して表示手段１３に出力、表示される。−力発生回
路３３が出力するスイッチの画像が合成回路１１に入力
され、ＴＶカメラ７からの画像に重畳されている。その
結果表示手段１３の画面上には例えば第３図に示すよう
な画像が表示される。すなわちその略中夫にはＴＶカメ
ラ７からの対象物の画像が表示され、またその上側と下
側には選択メニューの文字が、その右側にはスイッチが
、各々表示される。表示手段１３の画面の表面には入力
手段２３の一部を構成するタッチスイッチが設けられ、
表示部の所定の位置を指等で触れるｍ；とにより所定の
入力が行われるようになっている。

例えば画面上側又は下側の表示１．２又は３を指で触れ
ると、右側の各スイッチにはアライメントモード、測定
モード又は入力モードの各スイッチＡ乃至Ｇ、Ｈ乃至Ｏ
又はＰ乃至Ｕが各々対応表示される。、第３図はアライ
メントモードが選択され、スイッチＨ乃至Ｏが表示され
ている状態を表わしている。これらのいずれかのスイッ
チ（表示部）を触れることにより所定のモードが入力さ
れる。

先ずアライメントモードを設定するため、画面上方のア
ライメントモードの表示部１を指で触れると、その部分
の輝度が反転しく第３図中ハツチングを施して示しであ
る）、そのモードが選択されたことが判るようになって
いる。このとき画面右側の各表示領域に８つのスイッチ
Ｈ乃至Ｏが対応、表示される。ここで例えばスイッチ（
表示部）Ｋを指で触れると、そのモードが制御手段２２
に指令、入力される。このとき制御手段２２は次に入力
モードを自動的に選択し、その表示部３の輝度を反転さ
せるとともに、画面右側の表示領域にスイッチＰ乃至Ｕ
を対応表示させる。ここで操作者は所定のスイッチ（例
えばスイッチＰ）を選択する。

次に操作者はハンドル３．４を操作してテーブル２を移
動させる。対象物の所定の測定点を固定マーク（第３図
のＸ軸とＹ軸の交点０）に一致させ、そこでインキ−を
操作し、第１番目の測定点Ｐ１を入力する。同様にハン
ドルを操作して対象物の画像を移動させ、第２番目の測
定点Ｐ２を入力する。このアライメントモードにの場合
２つの点Ｐ□とＰ２を結ぶ直線がＸ軸とされ、第１番目
の点Ｐ□が原点０とされる。

このようにして入力された測定点ＰいＰ２の位置に対応
する検出手段２１の出力がメモリ２４に記憶される。

アライメントモードにおける入力が完了し、基準軸が設
定されたとき、制御手段２２は発生手段１２を制御し、
゛移動マーク（第３図中子字状のマ−ク）を発生させる
。勿論固定マークと移動マークの両方を最初から同時に
表示するようにしてもよいが、そうすると測定点をいず
九のマークに合わせればよいのか不明確となるので、実
施例のように最初は一方のマークのみを表示するように
するのが好ましい。

次１こ測定、が行われるため、移動マークの表示と同時
に測定モードが自動的に選択され、右側の表示領域にス
イッチＡ乃至Ｇが対応、表示されるｂ操作者は所定のス
イッチ（例えばスイッチＡ）を選択する。

さらに操作者は変更手段３４としてのマウスを操作する
。制御手段２２はマウスの操作に対応して検出手段３１
を介して発生手段１２を制御し、移動マークの表示位置
を変更させる。移動マークを所定の測定点に移動させた
とき、インキ−が操作される。検出手段３１は移動マー
クの位置を、その時点における基準点（現在の場合原点
Ｏ）からの相対的位置として検出している。インキ１を
操作したとき、この移動マークの位置が測定点の１位置
としてメモリ２４に記憶される。

同様にしてマウスを操作し、その画面内における他の測
定点を順次測定する。

各測定点の位置が測定されると、その間の距離等は演算
手段としての制御手段２２により自動的に演算され、メ
モリ２４に記憶される。

第３図には対象物の画像が全て画面内に表示されている
例を示しているが、対象物が大きい場合、画面には画像
の一部しか表示されない。このような場合更にハンドル
３．４を操作して対象物の画像を移動させ、新たな基準
点（測定点）を固定マークの交点（このときの交点は座
標の原点ではない）に位置させる。そしてインキ−を操
作し、その位置に対応する検出手段３１の出力を記憶さ
せる。

この新たな基準点が設定された後、前述した場合と同様
にマウスを操作して移動マークを移動させ、各測定点を
測定する。

メニュー画面上の測定結果のモードが選択されたとき、
制御手段２２はメモリ２４と発生手段３２を制御するユ
゛このとき発生手段３２はメモリ２４の記憶データに対
応してそれまでに完了している測定結果に対応した画像
を生成する。この画像がＴＶカメラ７からの画像に代え
て表示手段１３に表示される。第２図はこの画像の例を
表わしている。この例においては右上方の部分及び左下
方の円の部分が未だ測定されていないことを示している
。・操作１者は必要に応じこのモードを選択し、測定結
果を確認することにより、測定漏れの発生を防止するこ
とができる。

測定結果は必要に応じプリンタ２５により紙等に印字さ
れる。またメモリ２４の一部として磁気ディスク等を用
い、他のコンピュータ等により処理させるようにするこ
とも可能である。

以上においては基準点の位置をテーブルの位置として、
他の測定点の位置を移動マークの位置として、各々測定
するようにしたが、対象物が小さい場合、基準点の位置
も移動マークの位置として測定するようにすることも可
能である。

尚移動マークの表示位置が画面の外周に行く程、実際の
測定点との誤差が大きくなるおそれがある。

そこで移動マークの表示位置と実際の測定点との誤差を
補正する値をメモリ２４を構成するＲＡＭ等に予め記憶
させ、この補正値を測定値として最終的に記憶あるいは
出力させるようにすることも可能である。

さらに上記実施例においてはＴＶカメラからの画像とメ
ニュー画像とを同時に表示させるようにしたが、両者を
別画面に表示し、所定の選択をしたときのみ対象物の画
像を表示させるようにすることも可能である。但し、実
施例のようにした方が、対象物を確認しながらスイッチ
の選択ができるので、操作性が向上する。

〔発明の効果〕

以上の如く本発明によれば、ＣＲＴ等の表示手段に表示
された移動マークを移動させ、その位置を測定点の位置
として測定するようにしたので、対象物を移動させる場
合に較べ、測定のための操作が簡単となり、測定時間を
短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の測定装置のブロック図、第２図はその
測定結果の表示画像の説明図、第３図はその表示画面の
説明図、 第４図は従来の測定装置のブロック図。 第５図はそのスイッチの説明図、 第６図はその表示画面の説明図である。 １・・、・基育 ２・・・テーブル ３．４・・・ハンドル ５・・・対象物 ６・・・電子顕微鏡 ７・・・ＴＶカメラ １１・・・合成回路 １２・・・発生手段 １３・・・表示手段 ２１・・・検出手段 ２２・・・制御手段 ２３・・・入力手段 ２４・・・メモリ ２５・・・プリンタ ３１・・・検出手段 ３２．３３・・・発生手段 ３４・・・変更手段 以上 特許出願人　株式会社フローベル

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　テーブル上に載置された対象物をＴＶカメラで撮影し
   、その画像を表示手段に表示させ、表示手段の表示を見
   ながら対象物の形状を測定する装置に用いる装置におい
   て、 対象物の画像に重畳して表示されるマークの画像信号を
   発生する発生手段と、 マークの表示位置を変更する変更手段と、 マークの位置を記憶するメモリと、 メモリにマークの位置を記憶させるとき操作される入力
   手段と、 マークの位置から対象物の形状を演算する演算手段とを
   備える測定装置。