JPH10302702A - 電子顕微鏡の像表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子顕微鏡の像表示装置において、表示してい
る試料の場所と大きさを容易に知ることにある。 【解決手段】本発明は、試料微動駆動装置から得られる
試料位置信号および、走査像駆動装置からの倍率情報に
基づき、表示像の周囲に表示される目盛り（ルーラ）で
構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査電子顕微鏡の
像表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子顕微鏡の試料は鏡体内の試料室の試
料微動装置に固定され観察される。試料の観察している
場所は試料微動装置に付けられた目盛りによって読み取
るか、操作パネルに表示された試料微動駆動装置からの
数値によって読み取っていた。さらには、その数値を基
に、試料微動装置の全移動範囲を表わした四角形や円形
の中に十字線で現在位置を表示する試料位置表示装置な
ども使用されていた。この表示装置では記憶装置と組合
わせて、記憶しておきたい場所の印を表示画面に付けた
り、その場所を指定することで、試料を自動的に移動さ
せることも可能であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来からの
試料位置表示装置では、倍率の情報が記憶・表示されて
おらず、位置の記憶も視野中心の一点に限られていたた
め、倍率が違っていたりするとそのイメージがつかめず
表示された試料位置を基に前に見ていた視野を探すのは
難しかった。

【０００４】特に、電子顕微鏡の像は倍率の範囲が広
く、倍率により見えかたが大きく異なるので問題となっ
ていた。

【０００５】試料の大きさや、倍率などをわかり易くす
るためには、公知例（特願昭60−74176 号明細書）にあ
るように、ミクロンマーカと呼ばれる目盛りを表示する
こともあるが、これだけでは、試料位置との関係が分か
らないので解決にはならない。

【０００６】

【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために本発明は、表示された試料像の周囲に倍率や試料
位置に基づいた目盛りを付けている。この目盛りは試料
の移動と共に移動し、倍率によって、その単位や表示が
変化するため、位置と大きさの情報が同時に読み取れ
る。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の構成要素を図１に示す。
電子銃１から出た電子線２は、収束レンズ３および対物
レンズ４によって小さく絞られ試料面上に照射される。

【０００８】試料６は試料微動装置７に固定され、試料
微動駆動装置８によりＸ軸，Ｙ軸の２方向に動かされ観
察したい場所が選択される。

【０００９】試料６から出た２次電子は電子線検出器９
により検出され、増幅器１０で増幅された後、像表示装
置１２に入力される。同時に、偏向コイル５に走査像駆
動装置１１より走査電流を流し、電子線で試料面上を走
査することにより、試料の２次電子像を、像表示装置１
２に得ることができる。

【００１０】図２ないし図４に本発明による像表示装置
１２の表示例を示す。図２は、２次電子像の周囲に試料
微動駆動装置８Ｘおよび８Ｙからの試料位置信号およ
び、走査像駆動装置１１からの倍率情報に基づいた目盛
りを表示している。図３は、試料微動駆動装置を少し動
かしたところを示しており、２次電子像が動くのと同時
に目盛りも動いている。図４は、その場所で倍率を変化
させたところを示し、２次電子像の大きさが小さくなる
と共に目盛りも縮小されている。

【００１１】目盛りの単位は、倍率によりmm，μｍ，ｎ
ｍ等でも任意の単位でも良く、また、表示している倍率
によってその単位を変えていくことも可能である。

【００１２】目盛り上に印（マーカ）を付けることで、
観察した場所を記憶しておくことや、元の場所に戻すこ
とが可能になる。目盛り上に付ける印は、その点のみで
なく試料の記憶しておきたいある範囲に対応した印とす
ることで、目盛りに付けた印も表示している倍率に応じ
て大きさが変化していくので、観察していた部分の様子
が、直感的に理解できる利点がある。

【００１３】たとえば、範囲の指定はカーソルで指定さ
れた２点を対角とする長方形でかこまれた領域とし、そ
のＸ，Ｙ軸の対応する部分に印を付けることで行われ
る。

【００１４】試料毎に、観察した場所や、特徴的な場所
に付けた印を記憶しておくことにより、他の試料と交換
した時も、各試料毎にあらかじめ決めておいた原点に目
盛りを合わせることによって容易に今まで観察していた
場所を見つけることが可能になる。

【００１５】さらに、印を色づけすることで、試料の特
徴や形状などによる分類もできる。また、目盛りを、基
準となる試料で校正しておけば長さの測定も可能であ
る。

【００１６】試料の回転や傾斜が可能な試料微動装置の
場合は、回転や傾斜の中心からの距離で表示目盛りに対
する補正を行うことにより、印の目盛り上の位置を常に
正しくしておくことは容易である。

【００１７】本発明は、走査形電子顕微鏡に限るもので
なく、透過形電子顕微鏡などとテレビカメラを組合わせ
た像表示装置においてもその効果は同じである。

【００１８】

【発明の効果】本発明によれば、試料の位置のみでなく
大きさも直接読み取れるので、像の観察や評価が非常に
容易になる。また、点のみでなく試料のある範囲に対応
した印とすることで、自動的に倍率も含めた視野に移動
・表示することも可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成を説明するための簡潔に表わした
説明図。

【図２】本発明の実施による表示例の説明図。

【図３】本発明の実施による表示例の説明図。

【図４】本発明の実施による表示例の説明図。

【符号の説明】

１…電子銃、２…電子線、３…収束レンズ、４…対物レ
ンズ、５…偏向コイル、６…試料、７…試料微動装置、
８…試料微動駆動装置、９…２次電子検出器、１０…増
幅器、１１…走査像駆動装置、１２…像表示装置。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】試料に荷電粒子線を照射し、上記試料から
   発生した信号をもとに像表示をするＣＲＴからなる像表
   示装置とその表示信号発生回路を有する荷電粒子線照射
   装置において、拡大表示像の周囲に試料の拡大倍率およ
   び表示位置に基づく目盛りを表示したことを特徴とする
   電子顕微鏡の像表示装置。
2. 【請求項２】請求項１において、上記目盛り上に上記試
   料の位置や範囲などの記憶などのためのマーカが入れら
   れる電子顕微鏡などの像表示装置。
3. 【請求項３】請求項２において、上記マーカは複数の使
   用が可能で、表示色などによって区別される電子顕微鏡
   の像表示装置。