JP2000036274A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
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- JP2000036274A JP2000036274A JP10204705A JP20470598A JP2000036274A JP 2000036274 A JP2000036274 A JP 2000036274A JP 10204705 A JP10204705 A JP 10204705A JP 20470598 A JP20470598 A JP 20470598A JP 2000036274 A JP2000036274 A JP 2000036274A
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000003550 marker Substances 0.000 abstract description 2
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】マウスなどのポインティング装置で操作をした
ときに、微動範囲を気にしなければならない。 【解決手段】微動範囲を表示するとともに、微動範囲内
に限定したマウスのポインティング操作により、微動範
囲内での位置指定により、操作性がよく、迅速な操作を
実現する。
ときに、微動範囲を気にしなければならない。 【解決手段】微動範囲を表示するとともに、微動範囲内
に限定したマウスのポインティング操作により、微動範
囲内での位置指定により、操作性がよく、迅速な操作を
実現する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型電子顕微鏡
に係り、特に、画像を表示する画像表示装置の上で、マ
ウス等のポインティング装置の操作により、試料の微動
操作を行うようにした装置に関する。
に係り、特に、画像を表示する画像表示装置の上で、マ
ウス等のポインティング装置の操作により、試料の微動
操作を行うようにした装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型電子顕微鏡では、電子ビームを試
料上で最も細くするための焦点調整，非点収差を補正す
る非点収差補正，画像の明るさ調整，倍率の設定、その
他様々な調整を行って、良好な画像を得ることが出来
る。この際、観察を行いたい試料の位置を探すため、低
倍率から大まかな位置を求め、高倍率へと倍率を上げて
いき、所望の像を得るために試料の微動を行う。この
際、手動の微動装置であれば、つまみ等を回して位置を
探していた。
料上で最も細くするための焦点調整，非点収差を補正す
る非点収差補正，画像の明るさ調整，倍率の設定、その
他様々な調整を行って、良好な画像を得ることが出来
る。この際、観察を行いたい試料の位置を探すため、低
倍率から大まかな位置を求め、高倍率へと倍率を上げて
いき、所望の像を得るために試料の微動を行う。この
際、手動の微動装置であれば、つまみ等を回して位置を
探していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような装置の場
合、試料微動を行いながら画像観察を行う時は、微動範
囲を確認しながら像観察を行わなければならない。この
時に、粒子線を照射するレンズと試料微動装置あるいは
試料が衝突しないように、微動範囲に注意をしなければ
ならなかった。また、Ｘ線分析等を行うために、他の検
出器を挿入した場合、検出器を挿入したことによる、微
動可能範囲を考慮しなければならなかった。
合、試料微動を行いながら画像観察を行う時は、微動範
囲を確認しながら像観察を行わなければならない。この
時に、粒子線を照射するレンズと試料微動装置あるいは
試料が衝突しないように、微動範囲に注意をしなければ
ならなかった。また、Ｘ線分析等を行うために、他の検
出器を挿入した場合、検出器を挿入したことによる、微
動可能範囲を考慮しなければならなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この問題を解決し、画像
から目を離すことなく、かつ、微動範囲に注意を払うこ
となく、試料の微動を行いながら像観察が行えるよう
に、微動範囲を表示することにより、操作性のよい装置
が実現できる。
から目を離すことなく、かつ、微動範囲に注意を払うこ
となく、試料の微動を行いながら像観察が行えるよう
に、微動範囲を表示することにより、操作性のよい装置
が実現できる。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１、本発明の第一の実施例を走
査顕微鏡について示す。
査顕微鏡について示す。
【０００６】走査型電子顕微鏡本体１は、電子源２，第
一収束レンズ３，２組の非点収差補正コイル４，偏向コ
イル５，第二収束レンズ６，光電子増倍管を用いた二次
電子線検出器８などで構成され、制御装置９で制御され
る。試料７から発生した二次電子線は、二次電子線検出
器８で検出され、増幅器１０で増幅され、制御装置９の
中の、画像処理装置１１で二次元画像データに構成さ
れ、パーソナルコンピュータなどの計算機１２を経由し
て、陰極管モニタなどの画像表示器１５の表示画面の中
に設定した画像表示領域１６に表示される。
一収束レンズ３，２組の非点収差補正コイル４，偏向コ
イル５，第二収束レンズ６，光電子増倍管を用いた二次
電子線検出器８などで構成され、制御装置９で制御され
る。試料７から発生した二次電子線は、二次電子線検出
器８で検出され、増幅器１０で増幅され、制御装置９の
中の、画像処理装置１１で二次元画像データに構成さ
れ、パーソナルコンピュータなどの計算機１２を経由し
て、陰極管モニタなどの画像表示器１５の表示画面の中
に設定した画像表示領域１６に表示される。
【０００７】計算機１２には、ポインティング装置１３
が接続され、ポインティング装置１３の移動により、表
示画面上に表示される位置表示マーカ２２の位置を動か
し、かつその位置の座標値を取得することができる。
が接続され、ポインティング装置１３の移動により、表
示画面上に表示される位置表示マーカ２２の位置を動か
し、かつその位置の座標値を取得することができる。
【０００８】ポインティング装置１３の操作により、以
下の処理を行う。
下の処理を行う。
【０００９】（１）図２中ＸＹ座標系の１点をポインテ
ィングデバイス装置１３を用いて座標値を指定すること
により、以下の式により試料微動装置１４を制御するも
のとする。但し、Ｖｘ，ＶｙはＶｘ：Ｘ方向への移動速
度、Ｖｙ：Ｙ方向への移動速度、Ｖ０：単位となる移動
速度。
ィングデバイス装置１３を用いて座標値を指定すること
により、以下の式により試料微動装置１４を制御するも
のとする。但し、Ｖｘ，ＶｙはＶｘ：Ｘ方向への移動速
度、Ｖｙ：Ｙ方向への移動速度、Ｖ０：単位となる移動
速度。
【００１０】
【数１】ｉ）Ｘ＞＝Ｙ Ｖｘ＝Ｖ０，Ｖｙ＝｜Ｙ／Ｘ｜Ｖ０
【００１１】
【数２】ii）Ｘ＜Ｙ Ｖｘ＝｜Ｘ／Ｙ｜Ｖ０，Ｖｙ＝Ｖ０ （２）ポインティングデバイス装置１３により指定され
た座標値の方向に試料微動装置１４を移動させることに
より、観察している画像を移動させるものとする。
た座標値の方向に試料微動装置１４を移動させることに
より、観察している画像を移動させるものとする。
【００１２】（３）図３中のＸＹ−Ｚ座標系の１点をポ
インティングデバイス装置１３を用いて座標を指定する
ことにより、試料微動装置１４を制御するものとする。
または、数値入力により、Ｚ，Ｔ（傾斜）を指定するも
のとする。この時、試料面１７が表示されることによ
り、電子源３との相対位置が確認されるため、試料面４
と電子源３との相対位置が確認出来る。両者の衝突によ
る電子源３の損失を回避することが出来る。また、計算
機１２により、移動範囲を制限することにより、オペレ
ーターの誤操作による電子源３の損失を回避することが
出来るため、オペレーターは像観察に専念することが出
来る。
インティングデバイス装置１３を用いて座標を指定する
ことにより、試料微動装置１４を制御するものとする。
または、数値入力により、Ｚ，Ｔ（傾斜）を指定するも
のとする。この時、試料面１７が表示されることによ
り、電子源３との相対位置が確認されるため、試料面４
と電子源３との相対位置が確認出来る。両者の衝突によ
る電子源３の損失を回避することが出来る。また、計算
機１２により、移動範囲を制限することにより、オペレ
ーターの誤操作による電子源３の損失を回避することが
出来るため、オペレーターは像観察に専念することが出
来る。
【００１３】（４）（１）或いは（２）の操作により、
オペレーターは、移動範囲の制限を意識することなく、
ポインティングデバイス装置１３を用いて座標位置を指
定することにより、試料微動装置１４を制御して、探し
ている像を観察することが可能となる。
オペレーターは、移動範囲の制限を意識することなく、
ポインティングデバイス装置１３を用いて座標位置を指
定することにより、試料微動装置１４を制御して、探し
ている像を観察することが可能となる。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、マ
ウス等のポインティグ操作により、微動範囲を気にする
ことなく、画像観察を行うことができ、操作性のよい装
置を実現できる。
ウス等のポインティグ操作により、微動範囲を気にする
ことなく、画像観察を行うことができ、操作性のよい装
置を実現できる。
【図１】本発明の第一の実施例を示す走査型電子顕微鏡
装置の構成図。
装置の構成図。
【図２】Ｘ−Ｙ座標系の表示例を示す図。
【図３】ＸＹ−Ｚ座標系の表示例を示す特性図。
【図４】観察像とイメージナビゲーションの表示例を示
す図。
す図。
１…走査型電子顕微鏡本体、２…電子源、３…第一収束
レンズ、４…非点収差補正コイル、５…偏向コイル、６
…第二収束レンズ、７…試料、８…二次電子検出器、９
…制御装置、１０…増幅器、１１…画像処理装置、１２
…計算機、１３…ポインティング装置、１４…試料微動
装置、１５…画像表示器、１６…画像表示領域、１７…
試料面、１８…観察像、１９…イメージナビゲーショ
ン。
レンズ、４…非点収差補正コイル、５…偏向コイル、６
…第二収束レンズ、７…試料、８…二次電子検出器、９
…制御装置、１０…増幅器、１１…画像処理装置、１２
…計算機、１３…ポインティング装置、１４…試料微動
装置、１５…画像表示器、１６…画像表示領域、１７…
試料面、１８…観察像、１９…イメージナビゲーショ
ン。
Claims (1)
- 【請求項１】粒子線を試料表面に照射，走査し、該試料
表面から発生する二次電子線，反射電子線およびその他
の粒子線信号を検出して画像を生成し、該画像を陰極線
管の画像表示装置上に表示する機能と、該試料を移動す
るための試料微動装置を備え、前記画像表示装置に、位
置指定装置（ポインティング装置）を付加することによ
り、試料微動範囲を確認しながら画像観察を行うことを
特徴とする走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10204705A JP2000036274A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10204705A JP2000036274A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000036274A true JP2000036274A (ja) | 2000-02-02 |
Family
ID=16494959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10204705A Pending JP2000036274A (ja) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000036274A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101035061B1 (ko) * | 2007-10-16 | 2011-05-19 | 주식회사 쎄크 | 실시간 측정 기능을 갖는 전자주사현미경 및 실시간측정방법 |
-
1998
- 1998-07-21 JP JP10204705A patent/JP2000036274A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101035061B1 (ko) * | 2007-10-16 | 2011-05-19 | 주식회사 쎄크 | 실시간 측정 기능을 갖는 전자주사현미경 및 실시간측정방법 |
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