JP3041353B2 - 荷電粒子ビーム走査型画像表示装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム走査型画像表示装置Info
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- JP3041353B2 JP3041353B2 JP10275576A JP27557698A JP3041353B2 JP 3041353 B2 JP3041353 B2 JP 3041353B2 JP 10275576 A JP10275576 A JP 10275576A JP 27557698 A JP27557698 A JP 27557698A JP 3041353 B2 JP3041353 B2 JP 3041353B2
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- Japan
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- particle beam
- sample
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
査型画像表示装置に関し、特にその試料観察位置の位置
合わせ機構に関する。
荷電粒子強度を試料像としてコンピュータ画面に表示さ
せている荷電粒子ビーム走査型画像表示装置において、
試料像を見ながらステージを動かして観察視野を拡大す
るという操作を通常行っている。
て、詳細に観察したい試料像の位置へマウスポインタを
動かしてマウスをシングルクリックすることで、クリッ
クされた試料像の位置へ試料ステージを移動させる機構
を持っている。この操作で観察倍率を上げて詳細に観察
することが可能になっている。この操作のほかに、試料
像として表示されている中で特定の部位の大きさを知り
たいときにはマウスポインタを前記部位の端に持ってゆ
きマウスボタンを押して、押し続けながら前記部位のも
う一方の端にもってゆくとマウスをドラッグした長さに
応じてその長さを試料観察倍率に合わせて表示する機構
がある。
ることができる。以降この操作を測長操作と呼ぶ。また
この操作のほかに、荷電粒子ビームを局所的に照射する
ことで微細加工するエリアを決定するときも、同じ様な
操作になる。つまり表示されている試料像のうえにマウ
スポインタをもっていき、マウスボタンを押し、押し続
けながらマウスポインタを動かしそのドラッグした範囲
を微細加工エリアとする操作である。
の機能は同時に動作させると不都合を生じるので、マウ
スをクリックしたときの機能切り替えを別に行う必要が
あった。
ながら試料観察位置の位置合わせと行うときはまずマウ
スクリックしたときの機能切り替えを位置合わせモード
にしてからマウスポインタを試料表示像の上にもってゆ
きマウスクリックしなければならない。この時オペレー
タは試料像を見ている視点から、前記機能切り替えのた
めにその操作がどこにあるか探す必要があった。
試料観察位置の位置合わせを行うときはまずマウスクリ
ックしたときの機能切り替えを位置合わせモードにして
からマウスポインタを試料表示像の上にもってゆきマウ
スクリックしなければならない。この時もオペレータは
試料像を見ている視点から、前記機能切り替えのために
その操作がどこにあるか探す必要があった。
レータが試料像だけを見ての操作ができなかった。また
試料観察位置の位置合わせを行うためにマウスクリック
を行ってもステージが移動しないことがある。このとき
になって初めてオペレータはどうしてステージが動かな
いのかを考える。
わせモードになっていないことに気がつく。これらの経
験はオペレータにとって試料観察の位置合わせ操作が動
作するときとしないときがあることを知り、動作の確実
性を欠いた装置という印象を与えることになる。
本発明では、試料観察位置の位置合わせのための機能切
り替えを廃止し、マウスポインタを試料像の上にもって
ゆきマウスボタンをダブルクリックするといつでもクリ
ックした位置に試料ステージが移動する機構にしたもの
である。
詳細に説明する。図１は本発明のシステム構成を表す。
荷電粒子源１から発生する荷電粒子ビームａは集束レン
ズ系２，偏向機構３を通って試料ステージ４に載置され
た試料５に照射される。荷電粒子ビームａが集束レンズ
系２を通過するときにそのレンズ効果で収束されて試料
５に照射される。この照射により二次荷電粒子ｂが発生
し二次電子検出器６により捕捉されコンピュータ７にそ
の強度が取り込まれる。偏向機構３は荷電粒子ビームａ
が試料４に照射される位置をｘ方向とｙ方向に振ること
ができる。偏向機構３もコンピュータ７により制御され
るので、ｘ方向／ｙ方向に振った位置と二次荷電粒子検
出器６の強度の情報を合わせることにより試料５のイメ
ージデータがコンピュータ７で得られる。
ズ系２、偏向機構３、試料ステージ４を制御する機構を
有している。そのほかにコンピュータ７は表示機器８と
マウス９を備えており表示機器８で表示されているマウ
スカーソル１３（図２参照）はマウス９の動きと連動し
ている。この表示機器８の中の一部の領域に前記イメー
ジデータを表示している。表示機器８に表示されている
のは前記イメージデータのほかに制御、操作に必要なソ
フトウェアボタンが配置されている。
一例を表している。操作画面の中には試料像を表示する
試料像表示エリア１０、測長ボタン１１，加工枠入力ボ
タン１２のソフトウェアボタンが配置されている。必要
に応じてその他のソフトウェアボタンも配置されるがこ
こでは明示していない。試料像表示エリア１０の中に表
示されている試料像の上のさらに詳しく観察したいとこ
ろへマウスカーソル１３をもってゆき、マウス９をダブ
ルクリックする。
のマウスカーソル１３の位置と試料像表示エリア１０の
中心との距離から、試料ステージ４の移動量に変換して
試料ステージ４を移動させる。この試料ステージ移動が
終了すると、先ほどのさらに詳しく観察したいところが
試料像表示エリア１０の表示中心に表示されている。
スドラッグすると長さを測定することができる測長ボタ
ン１１やビーム照射エリアを制限する範囲を入力できる
加工枠入力ボタン１２が機能するかしないかの状態に関
わりなく上記観察位置合わせ操作が可能である。そのた
め測長ボタン１１をマウスクリックして選択状態にす
る。そして試料像表示エリア１０のなかに表示されてい
る測定対象物の一方の端にマウスカーソル１３をもって
ゆきマウス９のボタンを押す。ボタンを押し続けたまま
マウスカーソル１３をもう一方の端に動かすと前記対象
物の長さを測ることができる。 この操作は何回でも繰
り返し操作ができいろいろな長さを測ることができる。
これらの操作中に前記測定対象物が小さくて倍率を上げ
て測定する場合は、まず前記測定対象物のところにマウ
スカーソル１３をもってゆきマウス９をダブルクリック
する。この操作でステージは前記対象物が試料像表示エ
リア１０の中心にくるようにステージが移動するので倍
率を大きくして前記対象物を拡大観察できるようにな
る。
１を選択状態にしたり、非選択状態に戻したりする必要
が全くない。そのため上記一連の操作において試料像表
示エリア１０に視線を集中して操作することが可能にな
る。本実施例ではマウスドラッグ操作による機能切り替
えの例として測長ボタン１１や加工枠入力ボタン１２で
説明したがその他のマウスドラッグ機能切り替えがあっ
てもマウス９をダブルクリックするという操作でステー
ジを視野中心に合わせる操作が可能である。この操作を
マウス操作によるダブルクリックセンタリングと呼ぶ。
クリックセンタリング動作を説明したが、マウスの代わ
りにトラックボールなどのほかのポインティングデバイ
スを使っても同様の効果が得られることは自明である。
切替モードに関係なくいつでも同じ操作で観察位置の位
置合わせ機能が可能である。
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 荷電粒子源と前記荷電粒子源から引き出
された荷電粒子ビームを集束するための集束レンズ系か
らなる荷電粒子ビーム発生部と、前記荷電粒子ビームを
偏向走査するための偏向機構と、前記荷電粒子ビームが
照射される試料を載置し移動可能な試料ステージと、前
記荷電粒子ビームを照射することにより発生する二次荷
電粒子を検出する二次荷電粒子検出器と、前記二次荷電
粒子検出器の出力強度を読み込んで二次荷電粒子像を表
示する表示機器を有するコンピュータと、前記コンピュ
ータの入力手段のマウスとからなり、所望の機能の選択
ボタンをマウスクリックした後前記所望の機能をマウス
ドラッグにより実行させる荷電粒子ビーム走査型画像表
示装置において、前記所望の機能の選択非選択によら
ず、前記マウスを操作する事により前記表示機器のうえ
に追随して移動するマウスポインタを前記二次荷電粒子
像の所望の位置にもってゆき、前記マウスをダブルクリ
ックすることにより、前記マウスポインタが表示されて
いた前記二次荷電粒子像の位置へ前記試料ステージを移
動させることにより前記所望の位置を前記表示機器の試
料表示エリアの表示中心にすることを特徴とする荷電粒
子ビーム走査型画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275576A JP3041353B2 (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 荷電粒子ビーム走査型画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275576A JP3041353B2 (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 荷電粒子ビーム走査型画像表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000106119A JP2000106119A (ja) | 2000-04-11 |
| JP3041353B2 true JP3041353B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=17557388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10275576A Expired - Lifetime JP3041353B2 (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 荷電粒子ビーム走査型画像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3041353B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015184039A (ja) | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線分析装置 |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP10275576A patent/JP3041353B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000106119A (ja) | 2000-04-11 |
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