JP2005235665A - 暗視野走査透過電子顕微鏡および観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査透過電子顕微鏡の投射レンズと電子線検出器の間に設置された偏向コイルや制限回折像しぼりを用い、電子線検出器に特定回折方向の電子線のみを入射させる。
【効果】着目した結晶面の存在する部分を明るい像として、それ以外の部分を暗い像として走査透過電子顕微鏡の拡大像を形成できる。
【選択図】図1
Description
以下にこれら従来の観察法を記載し、後ほど述べる本出願の方法との違いを明確にしたい。
(1)任意の回折電子線を電子線検出器で検知するため、回折像と電子線検出器の相対的な位置関係を調整する手段を設ける。
(2)電子線検出器位置で回折点同士が重ならないように回折点のディスク径を小さく収束させる手段を設ける。
(3)観察したい回折指数の回折電子線のみを用いて画像を構成する。
(1)試料と電子線検出器の間に偏向コイルを設けることで、回折像と電子線検出器の相対的な位置関係を調整できるようにした。
(2)偏向コイルと電子線検出器の間に制限回折像しぼりを設けた。これにより、着目した回折電子線が電子線検出器に入射させ、他回折電子線を遮断することで、特定の回折電子線のみを用いた結像を可能にした。さらに、暗視野像観察時にはコンデンサしぼりの穴径を小さくすることで、試料への照射角αを小さくし、回折点のディスク径を小さくした。また、光軸方向に試料、電子線検出器を移動できるようにし、回折像を電子線検出器位置でフォーカスさせ、回折点のディスク径を小さくした。
4:第2コンデンサレンズ、5:対物レンズ前磁場、6:試料、7:対物レンズ後磁場、
8:対物しぼり、9:後焦点面回折像、10:拡大像A、11:投射レンズA、
12:拡大像B、13:投射レンズB、14:拡大像、15:CCDカメラ、
16:コンピュータ、17:拡大回折像、18:制限視野しぼり、
19:試料ステージと試料ホルダ、20:入射電子線A、21:入射電子線B、
22:透過電子線A、23:回折電子線A、24:回折電子線B、25:透過電子線B、
26:回折電子線C、27:回折電子線D、30:スキャンコイル、
31:暗視野電子線検出器、32:明視野電子線検出器、33:制限回折像しぼり、
40:偏向コイルA、41:偏向コイルB、50:透過電子線スポット、
51:回折電子線スポット、52:暗視野電子線検出器内径、
53:暗視野電子線検出器外径、60:入射電子線、61:結晶面A、62:結晶面B、
63:結晶面C、70:光軸
81:移動装置、82:移動装置、83:移動装置、84:電圧印加装置、
85:電圧印加装置、86:電圧印加装置
300:データ収集開始・停止ボタン、303:解像度選択プルダウンメニュー、
304:走査速度選択プルダウンメニュー、305:回折像焦点制御・表示バー、
306:カメラ長制御・表示バー、308:結果画面表示切替ボタン、
310:材料・面方位選択プルダウンメニュー、311:表示画像輝度調整バー、
312:コメント入力欄、313:明視野像、314:暗視野像、315:回折像、
316:スポット測定位置・測定値表示、317:透過電子、318:しぼり径表示、
319:ポインタ、320:ポインタ。
Claims (11)
- 試料を保持する試料台と、
該試料の表面上で電子線を走査するための照射光学系と、
該電子線の走査により試料を透過した電子線を検出する検出器と、
該検出器で検出された信号から前記試料の透過像を形成する手段と、
該透過像を表示する手段とを有し、
前記試料を透過した電子線から所望の結晶指数面からの回折線のみを前記検出器へ到達させる手段を有する電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記所望の結晶指数面からの回折線のみを前記検出器へ到達させる手段として、
前記試料台と検出器との間に配置された制限回折絞りと、該制限回折絞りの移動装置とを備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項2に記載の電子顕微鏡において、
更に前記制限回折絞りと前記試料台との間に配置された偏向コイルを備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記制限回折絞りは絞り穴径を可変とする機能を有することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記形成された透過像を記憶する画像格納手段を有し、
前記表示手段に表示された透過像を切換えるための入力手段とを有することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記偏向コイルに印加する電圧の制御手段を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記透過電子検出器として、暗視野検出器と明視野検出器の2つを備え、
更に、該暗視野検出器と明視野検出器とを移動する手段とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 試料を保持する試料台と、
該試料の表面上で電子線を走査するための照射光学系と、
該電子線の走査により試料を透過した電子線を検出する二次元電子線検出器と、
該検出器で検出された信号から前記試料の透過像を形成する画像処理装置と、
該透過像を表示する表示手段と、
所望の回折線指数を入力するための入力手段とを有し、
前記表示手段に表示すべき回折線画像の指数の入力要求を表示し、
前記画像処理装置は、
前記入力要求に応じて入力された指数の値に基づき、前記二次元電子線検出器の検出信号から、該指数に対応する回折電子線に相当する信号を抽出し、
該抽出された信号から回折線画像を形成し、
該形成した回折線画像を前記表示装置へ表示することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項8に記載の電子顕微鏡において、
前記二次元電子線検出器がCCDから成ることあることを特徴とする電子顕微鏡。 - 電子線を被観察試料の表面上に走査することにより該試料を透過する透過電子線を生成し、
該透過電子線から所望の指数の回折線のみを抽出し、
当該抽出された回折電子線から電子線画像を形成し、
形成した画像を表示することを特徴とする走査透過像観察方法。 - 請求項10に記載の走査透過像観察方法において、
前記試料を透過した電子線を画像表示し、
前記所望の回折指数の入力要求を表示手段に表示し、
該入力要求に対する入力値に対応する指数の回折電子線が電子線検出器に照射されるように透過電子線の偏向量を算出し、
前記入力された指数の回折電子線が電子線検出器に到達するように制限回折しぼり位置を調整し、
該制限絞りを通過した電子線を検出し、
検出された検出信号から前記入力された指数に対応する回折透過電子線像を形成し、
前記表示手段に表示することを特徴とする走査透過像観察方法。
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JP2004045582A JP2005235665A (ja) | 2004-02-23 | 2004-02-23 | 暗視野走査透過電子顕微鏡および観察方法 |
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206005A (ja) * | 2006-02-06 | 2007-08-16 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
JP2009021156A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Hitachi Ltd | 荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム顕微鏡 |
JP2011181501A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 透過電子顕微鏡 |
WO2014061690A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
JP2015023010A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
EP3483914A2 (en) | 2017-11-13 | 2019-05-15 | Jeol Ltd. | Charged particle beam device with a detector holding stand |
US10340118B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Jeol Ltd. | Scanning transmission electron microscope and method of image generation |
CN111982945A (zh) * | 2019-05-24 | 2020-11-24 | 北京纳米能源与系统研究所 | 基于超快透射电镜系统获取时间分辨暗场像的方法及应用 |
CN112630238A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-04-09 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种空洞的量测方法 |
CN113237904A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-08-10 | 上海科技大学 | 一种提高相干x射线衍射图样信噪比的方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0765710A (ja) * | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Hitachi Ltd | Mim構造素子およびその製造方法 |
JPH11250850A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-17 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡及び顕微方法並びに対話型入力装置 |
JP2000021346A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 走査透過型電子顕微鏡 |
JP2000188077A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2003014667A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-15 | Hitachi Ltd | 電子線を用いた観察装置及び観察方法 |
-
2004
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0765710A (ja) * | 1993-08-30 | 1995-03-10 | Hitachi Ltd | Mim構造素子およびその製造方法 |
JPH11250850A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-17 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡及び顕微方法並びに対話型入力装置 |
JP2000021346A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 走査透過型電子顕微鏡 |
JP2000188077A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
JP2003014667A (ja) * | 2001-07-05 | 2003-01-15 | Hitachi Ltd | 電子線を用いた観察装置及び観察方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007206005A (ja) * | 2006-02-06 | 2007-08-16 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン欠陥検査方法および装置 |
JP2009021156A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-29 | Hitachi Ltd | 荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム顕微鏡 |
JP2011181501A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 透過電子顕微鏡 |
WO2014061690A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
JP2015023010A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
US10340118B2 (en) | 2016-11-28 | 2019-07-02 | Jeol Ltd. | Scanning transmission electron microscope and method of image generation |
EP3483914A2 (en) | 2017-11-13 | 2019-05-15 | Jeol Ltd. | Charged particle beam device with a detector holding stand |
US10629407B2 (en) | 2017-11-13 | 2020-04-21 | Jeol Ltd. | Charged particle beam device |
CN111982945A (zh) * | 2019-05-24 | 2020-11-24 | 北京纳米能源与系统研究所 | 基于超快透射电镜系统获取时间分辨暗场像的方法及应用 |
CN111982945B (zh) * | 2019-05-24 | 2023-04-28 | 北京纳米能源与系统研究所 | 基于超快透射电镜系统获取时间分辨暗场像的方法及应用 |
CN112630238A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-04-09 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种空洞的量测方法 |
CN112630238B (zh) * | 2020-11-25 | 2023-12-26 | 长江存储科技有限责任公司 | 一种空洞的量测方法 |
CN113237904A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-08-10 | 上海科技大学 | 一种提高相干x射线衍射图样信噪比的方法 |
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