JP2015184039A - Ｘ線分析装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 広大な試料ステージ中において精密な位置決めを行うための操作性を向上させることができるＸ線分析装置を提供すること。【解決手段】 試料台と、試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、試料から発生する二次Ｘ線を検出する検出器と、試料台と一次Ｘ線との相対的な位置を調整する位置調整機構と、試料台上の試料観察像を撮像する観察機構と、試料観察像を観察用画面９ａに表示するディスプレイ部と、ディスプレイ部の画面上の位置をポインタＰで入力可能でドラッグ・アンド・ドロップ操作が可能な入力手段とを有したコンピュータとを備え、コンピュータが、入力手段により観察用画面の中心領域Ａ１内でドラッグ操作されホールド状態で中心領域外の任意の位置までポインタＰが移動されると、中心領域に対する任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で試料台を移動させる機能を有している。【選択図】図２

Description

本発明は、有害物質の検出等が可能で製品のスクリーニング等あるいはメッキの膜厚測定等に使用される蛍光Ｘ線分析装置等のＸ線分析装置に関する。
蛍光Ｘ線分析は、Ｘ線源から出射されたＸ線を試料に照射し、試料から放出される特性Ｘ線である蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出することで、そのエネルギーからスペクトルを取得し、試料の定性分析若しくは定量分析又は膜厚測定を行うものである。この蛍光Ｘ線分析は、試料を非破壊で迅速に分析可能なため、工程・品質管理などで広く用いられている。近年では、高精度化・高感度化が図られて微量測定が可能になり、特に材料や複合電子部品などに含まれる有害物質の検出を行う分析手法として普及が期待されている。
このような蛍光Ｘ線分析を行う装置では、通常、Ｘ線照射部位（測定部位）を定めるためにＣＣＤカメラ等による試料観察像をディスプレイの画面上に表示し、画面上にてマウスやタッチパネル等のポインティングデバイスを使用して試料ステージ（試料台）の移動を操作している。蛍光Ｘ線分析装置では、水平方向のＸＹ軸と垂直方向のＺ軸との３軸座標上を駆動するものが一般的であるが、特にＸＹ軸が位置決めで頻繁に操作される。
近年、微細化が進む部品や基板パターンを測定するために、装置のＸ線ビーム径は小さく、またカメラの視野も小さくなる傾向があり、相対的に試料ステージ全体の大きさが大きくなっている。このため、広い試料ステージの中の微小な位置決めを迅速に行うために、操作体系の改善が検討されている。
従来、例えば特許文献１では、走査型荷電粒子ビームの装置であるが、マウスクリックに複数の機能を持たせ、さらにシングルクリックとダブルクリックとでこれらを使い分けることで、ツールバーボタンなどの領域へマウスのポインタを移動する手間を減らし、操作性の向上を図っている。
このような従来の技術では、例えばマウスによって画面周囲のボタンを押し、ボタンを指している間だけ、その方向に試料ステージを動かす操作（ＸＹ移動操作）と、マウス等でクリックした画像上の点を測定対象として画面中央にもってくるように試料ステージを駆動する操作（中央移動操作）と、微小位置に合わせる場合はカメラの倍率を拡大する操作（拡大操作）とがある。このうち上記ＸＹ移動操作においては、試料ステージの移動速度をツールバーのボタンで切り替える操作が一般的であった。
特開２０００−１０６１１９号公報
上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、従来の技術では、上記ＸＹ移動操作において試料ステージの移動速度をツールバーのボタンで切り替える操作が一般的であったが、現在位置から離れた点へ精密に移動する手順は、まず上記ＸＹ移動操作で移動速度を切り替えながら粗い位置決めを行い、目的の点をカメラの視野内までもってきた上で、上記中央移動操作で精密な位置決めを行っている。ここで、さらに微小な位置決めが必要な場合は、上記拡大操作の倍率変更で位置決めし易くしている。しかしながら、移動速度の切り替えや、上記ＸＹ移動操作と上記中央移動操作との間でマウスのカーソルを画面上で大きく動かさなければならず、精密な位置決め完了までに時間がかかってしまう不都合があった。また、上記拡大操作においては、ツールバーの倍率変更ボタンなどにマウスのポインタ（カーソル）を移動する必要があり、やはり操作性が低かった。
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、広大な試料ステージ中において精密な位置決めを行うための操作性を向上させることができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係るＸ線分析装置は、試料を設置可能な試料台と、前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する二次Ｘ線を検出する検出器と、前記試料台と前記一次Ｘ線との相対的な位置を調整する位置調整機構と、前記試料台上の試料観察像を撮像する観察機構と、前記位置調整機構を制御すると共に、前記試料観察像を観察用画面に表示するディスプレイ部と前記ディスプレイ部の画面上の位置をポインタで入力可能でドラッグ・アンド・ドロップ操作がポインタで可能な入力手段とを有したコンピュータとを備え、前記コンピュータが、前記入力手段により前記観察用画面の中心領域内でドラッグ操作されホールド状態で前記中心領域外の任意の位置まで前記ポインタが移動されると、前記中心領域に対する前記任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で前記位置調整機構を駆動して前記試料台を移動させる機能を有していることを特徴とする。
このＸ線分析装置では、コンピュータが、入力手段により観察用画面の中心領域内でドラッグ操作されホールド状態で中心領域外の任意の位置までポインタが移動されると、中心領域に対する前記任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で位置調整機構を駆動して試料台を移動させる機能を有しているドラッグ・アンド・ドロップ操作を行うだけで、試料台の移動方向及び移動速度を設定して操作することができる。すなわち、ドラッグの開始点とドラッグ方向とによって位置調整機構による試料台の移動方向が定まり、ドラッグの開始点からホールド状態で移動した位置までの距離に応じて移動速度が定まる。したがって、従来では画面において試料観察像の外にあるボタンで設定していた試料台の移動速度を、本発明ではドラッグ距離によって直感的に指示することができると共に、スキャン中でも随時変更することも可能になる。
第２の発明に係るＸ線分析装置は、第１の発明において、前記コンピュータが、半径が段階的に大きく設定された複数の同心円線と、前記同心円線のうち最小径である最小同心円線から最大径の最大同心円線まで放射線状に延びた複数の放射分割線とで構成される網目線を前記観察用画面に表示すると共に、前記網目線で前記観察用画面を複数の分割領域に区分けし、前記中心領域が、前記最小同心円線内であり、前記任意の位置が、前記複数の分割領域であることを特徴とする。
すなわち、このＸ線分析装置では、網目線で観察用画面を複数の分割領域に区分けし、中心領域が、最小同心円線内であり、ホールド状態でポインタが移動される任意の位置が、複数の分割領域であるので、網目線で区切られたセルである分割領域の位置によって移動方向と移動速度とを段階的に定めることができる。また、同心円線で区切ることによって、上下方向と左右方向と斜め方向との各距離が同じになり、どちら向きに動かす場合も同じ操作量で実現することができる。
第３の発明に係るＸ線分析装置は、第１又は第２の発明において、前記入力手段が、前記ディスプレイ部の画面にポインタを表示し、回転可能なホイールを有して前記ホイールの回転操作に応じた入力が可能なマウスであり、前記コンピュータが、前記入力手段により前記ホイールの回転操作がされると前記ホイールの回転方向に応じて前記観察機構による前記試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有していることを特徴とする。
すなわち、このＸ線分析装置では、コンピュータが、入力手段によりホイールの回転操作がされるとホイールの回転方向に応じて観察機構による試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有しているので、ツールバー等の倍率変更ボタンを押す必要が無く、操作性をさらに改善することができる。
第４の発明に係るＸ線分析装置は、第１又は第２の発明において、前記入力手段が、前記ディスプレイ部の画面に触れることで位置入力が可能でピンチイン及びピンチアウトのピンチ操作に応じた入力が可能なタッチパネルであり、前記コンピュータが、前記入力手段により前記ピンチ操作がされると前記ピンチインか前記ピンチアウトかに応じて前記観察機構による前記試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有していることを特徴とする。
すなわち、このＸ線分析装置では、コンピュータが、入力手段によりピンチ操作がされるとピンチインかピンチアウトかに応じて観察機構による試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有しているので、ツールバー等のボタンを押す必要が無く、操作性をさらに改善することができる。したがって、位置決め精度の高くない指先によるタッチパネル上の操作でも、直感的に試料台の操作を行うことができる。
本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るＸ線分析装置によれば、コンピュータが、入力手段により観察用画面の中心領域内でドラッグ操作されホールド状態で中心領域外の任意の位置までポインタが移動されると、中心領域に対する任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で位置調整機構を駆動して試料台を移動させる機能を有しているので、ドラッグ・アンド・ドロップ操作を行うだけで、試料台の移動方向及び移動速度を設定して操作することができる。したがって、このＸ線分析装置では、ドラッグ・アンド・ドロップの簡易な操作によって広大な試料ステージ中でも精密な位置決めを容易に行うことができ、操作性を向上させることができる。
更に、従来のようにＸＹの移動操作を行う場合に、一度入力手段の操作を中断してツールバーのＸＹ移動用のボタンにポインタを移動するという操作が不要であり、観察用画面中の任意の位置でドラッグしたまま移動したい方向にポインタを移動させる連続的な操作により行うことができる。同様に、移動速度を変更する場合も、ツールバーの移動速度調整用のボタンに移動することなく、それまでの操作を中断することなく連続的に速度の増減が可能となる。このように、本発明によれば、試料観察中に操作を中断することによるステージの減速停止がなく、スキャン中であっても随時移動させたい方向及び距離を入力手段のドラッグ距離により直感的に指示することが可能であり、大幅に操作性を向上させることができる。
本発明に係るＸ線分析装置の一実施形態を示す概略的な全体構成図である。 本実施形態において、ディスプレイ部の画像例を示す図である。
以下、本発明に係るＸ線分析装置の本実施形態を、図１及び図２を参照しながら説明する。
本実施形態のＸ線分析装置１は、例えば二次Ｘ線として蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、図１に示すように、試料Ｓを設置可能な試料台２と、試料Ｓに対して一次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線源３と、一次Ｘ線Ｘ１を照射された試料Ｓから発生する二次Ｘ線Ｘ２を検出する検出器４と、試料台２と一次Ｘ線Ｘ１との相対的な位置を調整する位置調整機構５と、試料台２上の試料観察像を撮像する観察機構８と、位置調整機構５を制御すると共に、試料観察像を観察用画面９ａに表示するディスプレイ部９とディスプレイ部９の画面上の位置をポインタＰで入力可能でドラッグ・アンド・ドロップ操作が可能な入力手段Ｍとを有したコンピュータＣとを備えている。
上記コンピュータＣは、図２に示すように、入力手段Ｍにより観察用画面９ａの中心領域Ａ１内でドラッグ操作されホールド状態で中心領域Ａ１外の任意の位置までポインタＰが移動されると、中心領域Ａ１に対する前記任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で位置調整機構５を駆動して前記試料台２を移動させる機能を有している。すなわち、コンピュータＣは、上記機能を行うためのソフトウェアのプログラムに基づいて位置調整機構５の制御を行う。
また、このコンピュータＣは、半径が段階的に大きく設定された複数の同心円線Ｃ１〜Ｃ４と、同心円線Ｃ１〜Ｃ４のうち最小径である最小同心円線Ｃ１から最大径の最大同心円線Ｃ４まで放射線状に延びた複数の放射分割線Ｒとで構成される網目線Ｎを観察用画面９ａに表示すると共に、網目線Ｎで観察用画面９ａを複数の分割領域Ｄに区分けし、中心領域Ａ１が、最小同心円線Ｃ１内であり、前記任意の位置が、複数の分割領域Ｄとされている。すなわち、網目線Ｎで区切られるセルである分割領域Ｄ単位で移動方向と移動速度とが決定される。
このように本実施形態では、等間隔で拡径された４つの同心円線Ｃ１〜Ｃ４と、中心から等間隔の角度で放射された８つの放射分割線Ｒとで網目線Ｎが構成されている。したがって、ドラッグする距離で動かす速度が３段階に分かれていると共に、ドラッグする方向が８方向に分かれている。なお、網目線Ｎは、入力手段Ｍによるドラッグ・アンド・ドロップ操作の間だけ観察用画面９ａに表示される。
上記入力手段Ｍは、ポインティグデバイスであって、ディスプレイ部９の画面にポインタ（カーソル）Ｐを表示し、回転可能なホイールＨを有してホイールＨの回転操作に応じた入力が可能なマウスである。また、コンピュータＣは、入力手段ＭによりホイールＨの回転操作がされるとホイールＨの回転方向に応じて観察機構８による試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有している。
上記観察機構８は、試料台２上の試料Ｓを含む試料観察像を撮像するＣＣＤカメラである。
また、上記光学系８ａは、一次Ｘ線Ｘ１の光軸上に配されたハーフミラー又はビームスプリッタであって、一次Ｘ線Ｘ１をそのまま試料台２に向けて透過させると共に、観察機構８の光軸を試料台２に向けて変更させ試料観察像を撮像可能にしている。
このコンピュータＣは、ＣＰＵ等で構成され、試料観察像及び分析結果を表示可能なディスプレイ部９を備えている。なお、試料観察像は、図１に示すようにディスプレイ部９の観察用画面９ａに表示され、観察用画面９ａの中心が一次Ｘ線Ｘ１の照射位置に対応している。
なお、コンピュータＣは、入力手段Ｍによって観察用画面９ａ上の任意の位置でクリックされると、クリックされた位置を観察用画面９ａの中心に持ってくるように、位置調整機構５により試料台２を移動させる機能を有している。
上記試料台２は、試料Ｓが載置可能であり、位置調整機構５は、上部に試料台２を配してコンピュータＣにより制御され、試料台２をＸＹ方向（水平方向）及びＺ方向（垂直方向）に進退可能なＸＹ軸ステージ及びＺ軸ステージである。
上記Ｘ線源３は、一次Ｘ線Ｘ１を照射可能なＸ線管球であって、管球内のフィラメント（陰極）から発生した熱電子がフィラメント（陰極）とターゲット（陽極）との間に印加された電圧により加速されターゲットのＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）などに衝突して発生したＸ線を一次Ｘ線Ｘ１としてベリリウム箔などの窓から出射するものである。なお、Ｘ線源３の先端側には、一次Ｘ線Ｘ１を集光して試料台２上の試料Ｓに照射するモノキャピラリ、コリメータ又はポリキャピラリなどの集光素子（図示略）が設置されている。
この検出器４は、Ｘ線入射窓に設置されている半導体検出素子（例えば、ｐｉｎ構造ダイオードであるＳｉ（シリコン）素子）（図示略）を備え、Ｘ線光子１個が入射すると、このＸ線光子１個に対応する電流パルスが発生するものである。この電流パルスの瞬間的な電流値が、入射した特性Ｘ線のエネルギーに比例している。また、検出器４は、半導体検出素子で発生した電流パルスを電圧パルスに変換、増幅し、信号として出力するように設定されている。
なお、このＸ線分析装置１では、検出器４に接続され検出器４からの信号を分析する分析器（図示略）を備えている。この分析器は、上記信号から電圧パルスの波高を得てエネルギースペクトルを生成する波高分析器（マルチチャンネルパルスハイトアナライザー）である。
コンピュータＣは、ディスプレイ部９の画面に観察用画面９ａと共に観察機構８の焦点調整用ボタンＢ１と、位置調整機構５による試料台２のＺ軸移動用ボタンＢ２と、位置調整機構５による試料台２のＸＹ方向移動用ボタンＢ３とを表示する機能を有している。上記焦点調整用ボタンＢ１及びＺ軸移動用ボタンＢ２は、それぞれ低速調整用と高速調整用とに分けられている。これらの焦点調整用ボタンＢ１又はＺ軸移動用ボタンＢ２の上にポインタＰを移動させた状態で入力手段Ｍによりクリックすることで、観察機構８の焦点調整や試料台２の位置調整が可能である。
本実施形態において、観察用画面９ａ上で試料台２の位置調整を行う場合、入力手段Ｍによるクリック操作かドラッグ操作かで区別される。クリック操作された場合は、上述したようにクリックした位置を観察用画面９ａの中心に持ってくるように位置調整機構５により試料台２が移動される。
また、中央領域Ａ１内でドラッグ操作がされた場合、コンピュータＣは観察用画面９ａに網目線Ｎを表示する。この状態で、入力手段ＭによってドラッグをホールドしたままポインタＰを観察用画面９ａ上で移動させると同時に、移動方向に応じて位置調整機構５により試料台２を移動させる。すなわち、ドラッグ操作の開始点が中央領域Ａ１内である場合に位置調整機構５が駆動され、ドラッグする方向（ドラッグがホールドされた状態で移動するポインタＰの方向）によって試料台２が移動する方向が定まる。なお、ドラッグがホールドされた状態で移動させたポインタＰの軌跡は、観察用画面９ａ上で線として表示される。
さらに、ホールド状態で移動したポインタＰの距離によって、試料台２の移動速度が定まる。すなわち、中央領域Ａ１からポインタＰまでの距離が長いほど移動速度が高く設定される。例えば、図２において、中央領域Ａ１から分割領域Ｄ１にポインタＰが移動された場合よりも、中央領域Ａ１から分割領域Ｄ３にポインタＰが移動操作された場合の方が、同じ移動方向であるが試料台２の移動速度が高く設定される。
次に、入力手段ＭによりポインタＰがいずれかの分割領域Ｄまで移動されてドロップ操作がされると、コンピュータＣが、位置調整機構５による試料台２の移動を止めると共に、観察用画面９ａにおける網目線Ｎの表示を消す。
したがって、このＸ線分析装置１は、観察用画面９ａ上だけで試料台２の移動を行う操作体系を有している。
なお、本実施形態では、装置のハードウェアの制約等に基づいて、一つの分割領域Ｄ内ではどの位置にポインタＰを移動しても移動方向及び移動速度は同じに設定されており、全体として段階的に移動方向及び移動速度が設定されるようになっているが、分割領域Ｄによらず、単に中央領域Ａ１内におけるドラッグ操作の開始点に対し、移動された中央領域Ａ１外におけるポインタＰの位置の方向及び距離に応じて、連続的に移動方向及び移動速度を定めるように設定しても構わない。
このように本実施形態のＸ線分析装置１では、コンピュータＣが、入力手段Ｍにより観察用画面９ａの中心領域Ａ１内でドラッグ操作されホールド状態で中心領域Ａ１外の任意の位置までポインタＰが移動されると、中心領域Ａ１に対する前記任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で位置調整機構５を駆動して試料台２を移動させる機能を有しているので、ドラッグ・アンド・ドロップ操作を行うだけで、試料台２の移動方向及び移動速度を設定して操作することができる。
したがって、従来では試料観察像が表示される観察用画面９ａの外にあるボタンで設定していた試料台２の移動速度を、本実施形態ではドラッグ距離によって直感的に指示することができると共に、スキャン中でも随時変更することも可能になる。
また、網目線Ｎで観察用画面９ａを複数の分割領域Ｄに区分けし、中心領域Ａ１が、最小同心円線Ｃ１内であり、ホールド状態でポインタＰが移動される任意の位置が、複数の分割領域Ｄであるので、網目線Ｎで区切られた分割領域Ｄの位置によって移動方向と移動速度とを段階的に定めることができる。また、同心円線Ｃ１〜Ｃ４で区切ることによって、上下方向と左右方向と斜め方向との各距離が同じになり、どちら向きに動かす場合も同じ操作量で操作可能になる。
さらに、コンピュータＣが、入力手段ＭによりホイールＨの回転操作がされるとホイールＨの回転方向に応じて観察機構８による試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有しているので、ツールバー等の倍率変更ボタンを押す必要が無く、操作性をさらに改善することができる。
なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記実施形態では、波高分析器でＸ線のエネルギーと強度とを測定するエネルギー分散方式のＸ線分析装置に適用したが、二次Ｘ線を分光結晶により分光し、Ｘ線の波長と強度を測定する波長分散方式のＸ線分析装置に適用しても構わない。
また、上記実施形態では、入力手段としてマウスを用いたが、他の例として、ディスプレイ部の画面に触れることで位置入力が可能でピンチイン及びピンチアウトのピンチ操作に応じた入力が可能なタッチパネルをポインティングデバイス（入力手段）として設けても構わない。この場合、ディスプレイ部にタッチパネル機能が設けられ、ディスプレイ部の画面に触れた指先がポインタとなる。また、この場合のコンピュータは、このタッチパネルによりピンチ操作がされるとピンチインかピンチアウトかに応じて観察機構による試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有している。すなわち、ピンチイン操作が行われると試料観察像の表示倍率を下げ、ピンチアウト操作が行われると試料観察像の表示倍率を上げるように設定されている。
このように上記の他の例では、コンピュータが、タッチパネルによりピンチ操作がされるとピンチインかピンチアウトかに応じて観察機構による試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有しているので、ツールバー等のボタンを押す必要が無く、操作性をさらに改善することができる。
なお、マウスを使用した場合と同様に、タッチパネルを入力手段とした場合も、上述した方法と同様に、指先でドラッグ・アンド・ドロップ操作することで位置調整機構により試料台を移動させることができる。したがって、位置決め精度の高くない指先によるタッチパネル上の操作でも、直感的に試料台の操作を行うことができる。
１…Ｘ線分析装置、２…試料台、３…Ｘ線源、４…検出器、５…位置調整機構、８…観察機構、９…ディスプレイ部、９ａ…観察用画面、Ａ１…観察用画面の中心領域、Ｃ…コンピュータ、Ｃ１〜Ｃ４…同心円線、Ｄ，Ｄ１〜Ｄ３…分割領域、Ｈ…ホイール、Ｍ…入力手段、Ｎ…網目線、Ｐ…ポインタ、Ｓ…試料、Ｘ１…一次Ｘ線、Ｘ２…二次Ｘ線

Claims (4)

  1. 試料を設置可能な試料台と、
    前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、
    前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する二次Ｘ線を検出する検出器と、
    前記試料台と前記一次Ｘ線との相対的な位置を調整する位置調整機構と、
    前記試料台上の試料観察像を撮像する観察機構と、
    前記位置調整機構を制御すると共に、前記試料観察像を観察用画面に表示するディスプレイ部と前記ディスプレイ部の画面上の位置をポインタで入力可能でドラッグ・アンド・ドロップ操作が可能な入力手段とを有したコンピュータとを備え、
    前記コンピュータが、前記入力手段により前記観察用画面の中心領域内でドラッグ操作されホールド状態で前記中心領域外の任意の位置まで前記ポインタが移動されると、前記中心領域に対する前記任意の位置の方向及び距離に応じた移動方向及び移動速度で前記位置調整機構を駆動して前記試料台を移動させる機能を有していることを特徴とするＸ線分析装置。
  2. 請求項１に記載のＸ線分析装置において、
    前記コンピュータが、半径が段階的に大きく設定された複数の同心円線と、前記同心円線のうち最小径である最小同心円線から最大径の最大同心円線まで放射線状に延びた複数の放射分割線とで構成される網目線を前記観察用画面に表示すると共に、前記網目線で前記観察用画面を複数の分割領域に区分けし、
    前記中心領域が、前記最小同心円線内であり、前記任意の位置が、前記複数の分割領域であることを特徴とするＸ線分析装置。
  3. 請求項１又は２に記載のＸ線分析装置において、
    前記入力手段が、前記ディスプレイ部の画面にポインタを表示し、回転可能なホイールを有して前記ホイールの回転操作に応じた入力が可能なマウスであり、
    前記コンピュータが、前記入力手段により前記ホイールの回転操作がされると前記ホイールの回転方向に応じて前記観察機構による前記試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有していることを特徴とするＸ線分析装置。
  4. 請求項１又は２に記載のＸ線分析装置において、
    前記入力手段が、前記ディスプレイ部の画面に触れることで位置入力が可能でピンチイン及びピンチアウトのピンチ操作に応じた入力が可能なタッチパネルであり、
    前記コンピュータが、前記入力手段により前記ピンチ操作がされると前記ピンチインか前記ピンチアウトかに応じて前記観察機構による前記試料観察像の表示倍率を変更させる機能を有していることを特徴とするＸ線分析装置。
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