JP7173277B2 - 分析装置 - Google Patents
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Description
図2を参照して、電子ビーム照射装置50は、電子銃1と、偏向コイル2と、対物レンズ3と、試料ステージ4と、試料ステージ駆動部5と、複数の分光器6a,6bと、偏向コイル制御部7と、電子検出器8とを備える。電子銃1、偏向コイル2、対物レンズ3、試料ステージ4、分光器6a,6bおよび電子検出器8は図示しない計測室内に設けられる。X線の計測中は、計測室内は排気されて真空に近い状態とされる。
図5にはさらに、第2PD21の各部(図5の表では、トラックボール215、スクロール216、Lボタン213、Rボタン214)を操作することで、フォーカス変更、非点補正および倍率変更といった制御が行なわれる例が示されている。
Claims (6)
- 荷電粒子ビームを試料に照射し、前記試料から放出される信号を検出するように構成された荷電粒子ビーム照射装置と、
第1入力機器と通信可能に構成され、前記第1入力機器によって指定された分析条件に従って、前記荷電粒子ビーム照射装置の検出信号に基づいて前記試料を分析するように構成された第1処理部と、
第2入力機器および前記第1処理部と通信可能に構成され、前記荷電粒子ビーム照射装置の検出信号から前記試料の観察画像を生成するとともに、前記第2入力機器からの信号に応じて前記荷電粒子ビーム照射装置を制御するように構成された第2処理部と、
前記第1処理部と通信可能に構成され、前記分析条件を示すためのアイコンを表示するための第1ディスプレイと、
前記第2処理部と通信可能に構成され、前記分析条件および前記第2処理部により生成された前記観察画像と、前記荷電粒子ビーム照射装置を制御するためのアイコンとを表示するための第2ディスプレイとを備え、
前記第1入力機器は、前記第1ディスプレイに表示されるアイコンおよび前記第2ディスプレイに表示されるアイコンを操作するための操作入力を受け付け可能に構成され、
前記第2入力機器は、前記荷電粒子ビーム照射装置の制御に特化した制御用ポインティングデバイスを含み、
前記第2処理部は、前記制御用ポインティングデバイスに対する操作入力を前記荷電粒子ビーム照射装置の制御信号に変換する、分析装置。 - 前記荷電粒子ビーム照射装置は、前記試料上の分析対象領域において前記荷電粒子ビームを走査させるように構成された走査部を含み、
前記制御用ポインティングデバイスは、複数の操作入力を受け付け可能に構成され、
前記第2処理部は、前記複数の操作入力を前記走査部の制御信号に変換するように構成される、請求項1に記載の分析装置。 - 前記複数の操作入力は、前記制御用ポインティングデバイスに加えられる前記走査部の制御のための複数の動きのそれぞれによる入力であり、
前記第2処理部は、前記制御用ポインティングデバイスに対応するポインタを前記第1
ディスプレイおよび前記第2ディスプレイのどちらにも表示しない状態で、前記複数の操作入力を前記走査部の制御信号に変換する、請求項2に記載の分析装置。 - 前記第1入力機器は、前記第1ディスプレイおよび前記第2ディスプレイに表示されるアイコンを操作するための操作用ポインティングデバイスを含み、
前記操作用ポインティングデバイスに対応するポインタは、前記第1ディスプレイおよび前記第2ディスプレイに表示可能であり、
前記操作用ポインティングデバイスに対応するポインタが前記第1ディスプレイに表示されるときには、前記第1処理部は、
前記操作用ポインティングデバイスに対する操作入力を前記第1ディスプレイに表示されたポインタの操作に変換し、
前記第1ディスプレイに表示されたポインタの操作を、前記第1ディスプレイに表示されたアイコンの操作に変換し、
前記操作用ポインティングデバイスに対応するポインタが、前記第1ディスプレイの端部を超えて、前記第2ディスプレイに移動すると、前記第1処理部は、
前記操作用ポインティングデバイスに対する操作入力を前記第2ディスプレイに表示されたポインタの操作に変換し、
前記第2ディスプレイに表示されたポインタの操作を、前記第2ディスプレイに表示されたアイコンの操作に変換する、請求項1~3のいずれか1項に記載の分析装置。 - 前記第2処理部は、前記複数の操作入力のそれぞれと、前記走査部の制御信号との対応づけを変更することが可能である、請求項2に記載の分析装置。
- 前記第2処理部は、前記第2入力機器からの信号に応じた前記荷電粒子ビーム照射装置の制御と、前記第1処理部を介して伝送された前記第1入力機器からの信号に応じた前記荷電粒子ビーム照射装置の制御とを切り換え可能に構成される、請求項1~5のいずれか1項に記載の分析装置。
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