JP2759680B2 - 分析システム - Google Patents

分析システム

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JP2759680B2
JP2759680B2 JP1187056A JP18705689A JP2759680B2 JP 2759680 B2 JP2759680 B2 JP 2759680B2 JP 1187056 A JP1187056 A JP 1187056A JP 18705689 A JP18705689 A JP 18705689A JP 2759680 B2 JP2759680 B2 JP 2759680B2
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    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/2206—Combination of two or more measurements, at least one measurement being that of secondary emission, e.g. combination of secondary electron [SE] measurement and back-scattered electron [BSE] measurement
    • G01N23/2208—Combination of two or more measurements, at least one measurement being that of secondary emission, e.g. combination of secondary electron [SE] measurement and back-scattered electron [BSE] measurement all measurements being of a secondary emission, e.g. combination of SE measurement and characteristic X-ray measurement

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Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電子顕微鏡と、電子線が照射されて試料か
ら発生する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析
装置とを備えた分析システムに係り、特に、該電子顕微
鏡および各分析装置間のデータ転送を可能にするインタ
ーフェース手段を具備した分析システムに関するもので
ある。
（従来の技術） 一次粒子線としてイオン／電子ビームを試料に照射
し、試料から発生する二次電子、二次イオン、特性Ｘ線
などの二次粒子線を分析することによって、あるいは、
試料を透過した電子線のエネルギを分析することによっ
て試料の元素を同定したり、該元素の結合状態を分析す
る装置が知られている。
このような分析装置は、電子顕微鏡と組み合わせて分
析システムとして用いることができ、観察位置の決定は
電子顕微鏡による観察像に基づいて行われる。
このような場合には、各分析装置の検出器をを電子顕
微鏡の適所に設置する必要があり、例えば、EDX（Energ
y Dispersive Xray）分析装置のように試料から発生す
る特性Ｘ線を検出して元素の同定を行う装置では、その
Ｘ線検出部は試料近傍の適所に設置し、また、EELS（El
ectron Energy Loss Spectroscope）分析装置のよう
に、試料を透過した電子線のエネルギを分析して元素を
同定する装置では、その検出部を試料下方の適所に設置
する。
分析装置のセッティングが終了して分析が開始される
と、それぞれの分析装置による分析結果は、それぞれの
装置から個々に出力される。このとき、同定が可能な元
素の種類は分析装置ごとに限られているため、実際の分
析結果は、各分析装置の分析結果を照らし合わせて求め
られる。
すなわち、分析装置として例えば前記EDXおよびEELS
を併用したとすると、EDXはナトリウム（Na;原子番号1
1）からウラン（U;原子番号92）までの元素の定性およ
び定量分析を行うことができる。
一方、EELSはリチウム（Li;原子番号３）のような軽
元素から重元素まで、容易に検出することができ、さら
には、元素の結合状態に関する情報を得ることができる
が、元素によっては検出しにくいものもある。
そこで、実際の分析結果は、両者の分析結果を照らし
合わせて、いずれかの装置において検出されている元素
のすべてが実際の分析結果とされる。たとえば、EDXに
よる分析結果がNa、Ca,Geであり、EELSによる分析結果
がLi、Ｂ、Na、Caであるならば、Li、Ｂ、Na、Ca、Geが
実際の分析結果とされる。
（発明が解決しようとする課題） 上記したように、従来技術においては分析装置が電子
顕微鏡と組み合わされてはいたが、該分析装置は別々に
操作しなければならなかったために、分析システムとし
ての操作性が悪かった。
また、通常の分析では、EDXによる分析だけでも一カ
所あたり200秒程度の時間を要する。したがって、分析
箇所が15カ所あるような場合にはオペレータは最低でも
50分以上拘束されてしまい、負担が大きかった。
さらに、該分析装置による分析結果は各々の装置から
別々に出力されるために、実際の分析結果は、オペレー
タがそれぞれの分析結果を照らし合わせて求めなければ
ならなかった。したがって、特に分析箇所が多数あるよ
うな場合には、オペレータの負担が大きいという問題が
あった。
本発明の目的は、以上に述べた問題点を解決し、電子
顕微鏡に複数種の分析装置を接続してなる分析システム
において、複数種の分析装置を一括して操作でき、分析
結果の認識を容易に行えるようにした分析システムを提
供することである。
（課題を解決するための手段） 前記の問題点を解決するために、本発明では、電子顕
微鏡と分析装置とをインターフェース手段を介して接続
した分析システムにおいて、以下のような手段を講じ
た。
（１）インターフェースを介して他の分析装置による分
析結果を収集する分析結果収集手段と、最終的な分析結
果を決定して出力する分析結果決定・出力手段とを、前
記電子顕微鏡および各分析装置のいずれか一つに、また
は複数に分散して具備するようにした。
（２）分析手順入力手段と、分析手順登録手段と、分析
システム制御手段とを、前記電子顕微鏡および各分析装
置のいずれか一つに、または複数に分散して、さらに具
備するようにした。
（３）インターフェース手段を介して接続される分析シ
ステム端末装置をさらに具備し、前記分析結果収集手段
と、分析結果決定・出力手段とを、さらには前記分析手
順入力手段と、分析手順登録手段と、分析システム制御
手段とを、該分析システム端末装置、電子顕微鏡、およ
び各分析装置のいずれか一つに、または複数に分散して
具備するようにした。
（作用） 上記した（１）の構成によれば、各分析装置による分
析装置が一カ所にまとめられ、一括して扱えるようにな
るので、オペレータの負担を低減することができるよう
になる。
また、（２）の構成によれば、さらに電子顕微鏡およ
び複数種の分析装置が一括制御できるようになるので、
システムの操作性が向上する。
さらに、（３）の構成によれば、コンピュータ等の多
機能の制御装置によって分析結果の処理、各装置の一括
制御が可能になるので、高度で複雑な処理、制御が可能
になる。
（実施例） 以下に、図面を参照して本発明を詳細に説明する。
［第１実施例］ 第１図は本発明の一実施例である、試料分析機能を備
えた電子顕微鏡（分析システム）の主要部の構成を示し
た図である。同図において、図示しない電子源から放出
された電子線１は、照射レンズ２によって絞られ、試料
ホルダ11にセットされた試料３上に、通常は直径が1.0n
m程度の微小な電子線スポットを形成する。
電子線１が照射された試料３からは、該試料を構成す
る元素特有のエネルギを有する特性Ｘ線が放出される。
この特性Ｘ線はＸ線検出器12によって検出され、検出信
号ａは記憶手段を備えたEDX分析装置16へ入力される。E
DX16は検出信号ａに基づいてＸ線スペクトルを表示画面
上に表示すると共に、同定した元素をプリントアウトす
る。
一方、試料３を透過した電子線は結像レンズ系６によ
って偏向された後に蛍光板７上に照射され、蛍光板７上
には、通常約10万〜100万倍に拡大された透過電子顕微
鏡像（Transmission Electron Microscope像;TEM像）が
形成される。
また、試料３は試料ホルダ11の中に着脱が可能なよう
に収納されており、電子顕微鏡による視野は、電気的に
駆動されるＸ方向アクチュエータ５およびＹ方向アクチ
ュエータ10で試料３を移動することによって調整され
る。
このアクチュエータ５、10は演算装置14に接続され、
該アクチュエータ５、10による観察位置の座標は演算装
置14に入力される。蛍光板７の下部には電子線速度分析
装置８が設置されており、試料を透過した電子線はここ
でエネルギ分光され、検出器９によって検出される。該
検出信号ｂは記憶手段を備えたEELS分析装置17に入力さ
れ、該EELS17Zは、検出信号ｂに基づいてエネルギスペ
クトルを表示画面上に表示すると共に、同定した元素を
プリントアウトする。
さらに、電子顕微鏡20、EDX16、およびEELS17には、R
S−232C、GP−IBといった共通仕様の標準インターフェ
ース18−１〜18−３が組み込まれており、各装置間で
は、各種の信号のやり取りが共通バス15を介して自由に
行われる。
なお、点線で示した分析システム端末装置50に関して
は、後に本発明の他の実施例として説明する。
第５図は、前記演算装置14、EDX16、およびEELS17の
主要部の構成の一実施例を具体的に示したブロック図で
ある。
同図において、演算装置14は、分析箇所あるいは分析
順序といった分析手順を入力する分析手段入力手段31
と、該入力された分析手順を登録する分析手順登録手段
33と、電子顕微鏡の動作を制御する顕微鏡制御部21と、
インターフェース18−１を介して入力される他の分析装
置による分析結果を収集する分析結果収集手段34と、該
分析結果収集手段34に収集された種々の分析結果を参照
して最終的な分析結果を決定し、出力する分析結果決定
・出力手段35と、後に詳述するように、前記分析手順に
応じてこれらの手段を制御する分析システム制御手段32
とによって構成されている。
EDX16は、Ｘ線検出器12からの検出信号に基づいて分
析を行うEDX制御部22と、該分析結果を記憶する分析結
果記憶手段26とによって構成されている。
EELS17は、電子線検出器９からの検出信号に基づいて
分析を行うEELS制御部23と、該分析結果を記憶する分析
結果記憶手段37とによって構成されている。
このような構成の分析システムを用いた分析方法を、
第４図のフローチャートを用いて詳細に説明する。
ステップS1では、試料３の分析点の座標を予め全て登
録するために、比較的大きなスポット径（10分の数ミク
ロン）で電子線を試料に照射して試料の観察像を電子顕
微鏡の表示装置（図示せず）に表示する。第２図は、該
表示装置に表示される試料の様子を簡略化して示したも
のであり、本実施例では、観察しようとする箇所がＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆの６カ所あるものとする。該試料
は、通常、直径が3mmほどの円形で、図中＋印は電子線
が縮小されて照射される位置を示したものである。
この様な観察像が表示されると、ステップS2におい
て、オペレータは、まず分析点Ａが＋印の位置に来るよ
うに、分析手順入力手段31を操作してアクチュエータ
５、10を動かし、このときのアクチュエータ５、10の座
標を分析手順登録手段33に登録する。なお、分析を目的
とする位置は、このような低倍率で像を観察することに
よって比較的簡単に決定することができ、分析位置への
照射位置の移動も、高倍率観察時に比べて極めて容易で
ある。
ステップS3では、全ての分析点の座標登録が終了した
か否かが判定され、終了していない場合はステップS2に
戻り、以後、同様にして、分析点B,C…Ｆの座標位置を
全て分析手順登録手段33に登録する。このときに各分析
点の写真撮影を行うか否かの指定も併せて行う。
全ての観察座標の登録が終了すると、ステップS4で
は、EDX16およびEELS17を初期設定するための情報を分
析手順入力手段31によって入力する。入力された前記情
報は分析システム制御手段32で電気信号に変換された後
にインターフェース18−１を介して共通バス15に出力さ
れる。
共通バス15に出力された該信号は、さらに、インター
フェース18−２、18−３を介してそれぞれEDX16およびE
ELS17に入力される。EDX16およびEELS17では、入力され
た信号に応じてEDX制御部22およびEELS制御部23が初期
設定される。
観察座標の登録、各分析装置の初期設定が終了し、オ
ペレータによって分析の開始が指示されると、ステップ
S5では、以下に説明するように、一連の観察・分析動作
が実行される。
ステップS5aでは、演算装置14の分析システム制御手
段32が、分析手順登録手段33に登録された前記分析点の
座標情報に応じて顕微鏡制御部21を制御する。顕微鏡制
御部21では、該座標情報に応じてアクチュエータ５、10
を駆動し、これによって、初めは前記分析点Ａに電子線
が照射されるように試料３が移動される。
試料３が所定の位置に達すると、ステップS5bでは、
分析システム制御手段32が、分析点Ａに関して写真撮影
が指定されているか否かを前記分析手順に基づいてチェ
ックし、指定されている場合は、顕微鏡制御部21によっ
て螢光板７が開かれ、図示しない撮像装置によって写真
撮影が行われる。
写真撮影が終了すると、ステップS5cでは、顕微鏡制
御部21によって電子線が細く集束されて分析点Ａに照射
され、さらに、分析システム制御手段32からEDX16に、
インターフェース18−１、18−２を介して分析開始信号
が出力され、このときに該分析点Ａから発生する特性Ｘ
線がＸ線検出器12によって検出される。
検出信号ａはEDX制御部22に入力され、該EDX制御部22
は、検出信号ａに応じたＸ線スペクトルを表示画面に表
示すると共に、分析結果、すなわち分析された元素をメ
モリあるいはフロッピディスクによって構成される分析
結果記憶手段36に記憶する。
ステップS5dでは、分析システム制御手段32からEELS1
7に、インターフェース18−１、18−３を介して分析開
始信号が出力され、試料３を透過した電子線が、電子線
速度分析管８において偏向された後に電子線検出器９に
よって検出される。検出信号ｂはEELS制御部23に入力さ
れ、該EELS制御部23はエネルギスペクトルを表示画面に
表示すると共に、分析結果を分析結果記憶手段37に記憶
する。
このようにして分析点Ａの分析が終了すると、ステッ
プS5eでは、全ての分析点の分析が終了したか否かが分
析システム制御手段32において判定され、終了していな
い場合にはステップS5aに戻り、分析手順として登録さ
れた他の分析点の座標情報に応じてアクチュエータ５、
10が駆動され、以下同様にして分析点Ｂ、Ｃ…Ｆの分析
が行われる。各分析結果は、それぞれの分析装置に記憶
される。
第３図は、上記した一連の試料の移動、写真撮像、お
よび検出データの取込みタイミングを示した図である。
以上のようにして、全ての分析点での分析が終了する
と、ステップS6では、分析システム制御手段32によっ
て、EDX16の分析結果記憶手段36およびEELS17の分析結
果記憶手段37に記憶されている各分析点ごとの分析結果
が、インターフェースを介して収集され、分析結果収集
手段34に記憶される。
ステップS7では、分析結果決定・出力35が、この収集
された分析結果を照らし合わせて最終的な分析結果を求
め、これをプリントアウトする。
本実施例によれば、 （１）全ての分析装置の制御が、電子顕微鏡20の演算装
置14によって行えるので、複数種の装置が一括制御でき
るようになって操作性が向上する。
（２）各分析装置での分析結果が一カ所に収集され、該
収集された分析結果を照らし合わせることによって最終
的な分析結果が求められるので、オペレータを煩わすこ
となく正確な分析が行えるようになる。
（３）多数の箇所の分析が自動的に行われるので、オペ
レータの拘束時間が短縮される。
等の効果がある。
なお、上記した実施例では、電子顕微鏡20の演算装置
14を操作して分析手順を作成し、各分析装置の動作指令
の出力、分析結果の記憶、分析結果の照らし合わせ等
も、演算装置14が該分析手順に基づいて行うものとして
説明したが、本発明はこれのみに限定されるものではな
く、以下のような形態をとることも考えられる。
［第２実施例］ 第６図は本発明の第２の実施例を説明するための図で
あり、本実施例では、特にEELS17の構成に特徴があるの
で、ここでは、EELS17の主要部の構成のブロック図のみ
を示した。
本実施例では、EELS17が、EELS制御部23と、分析手順
入力手段31と、分析システム制御手段32と、分析手順登
録手段33と、分析結果収集手段34と、分析結果決定・出
力手段35とによって構成されており、各手段の機能は前
記第５図に関して説明したものと同一である。
このような構成のEELSでは、前記と同様にして分析手
順入力手段31を操作して、分析手順を作成し、該分析手
順を分析手順登録手段33に登録する。オペレータによっ
て分析の開始が指示されると、該分析手順に応じた各種
の制御信号が、分析システム制御手段32からインターフ
ェース18−３を介して共通バス15に出力され、その後、
電子顕微鏡20、EDX16に出力される。
制御信号を受けた電子顕微鏡20は、その内容に応じて
試料ステージを移動し、試料ステージが予定の位置に達
すると、移動完了信号をインターフェース18−１を介し
て共通バス15に出力する。
EELS17の分析システム制御手段32は、該移動終了信号
が入力されると、EDX16に対してインターフェース18−
３を介して分析開始指令を出力する。該分析開始指令を
受けたEDX16は、前記と同様にして特定Ｘ線を検出し、
その分析結果を記憶する。
分析が終了すると、EDX16は分析完了信号をインター
フェース18−２を介して共通バス15に出力する。インタ
ーフェース18−３を介して分析完了信号を受けた前記分
析システム制御手段32は、EELS制御部23を制御して自身
による分析を実行させ、その分析結果を受け取ると、該
分析結果を分析結果収集手段34に記憶する。
このようにして、全ての分析点での分析が終了する
と、EELS17は、EDX16に記憶されている各分析点ごとの
分析結果をインターフェースを介して収集し、これを分
析結果収集手段34に記憶する。
分析結果決定・出力手段35は、収集されたEDX16によ
る分析結果とEELS17による分析結果とを照らし合わせて
最終的な分析結果を求め、これをプリントアウトする。
そして、以上の説明から明らかなように、本実施例で
はEELS17が本分析システムの制御を全て司どるので、電
子顕微鏡20には、EELS17からの制御信号に応じて試料ス
テージを移動させる手段のみがあれば十分であり、第５
図に関して説明したような、分析手順入力手段31、分析
システム制御手段32、分析手順登録手段33、分析結果収
集手段34、分析結果決定・出力手段35は不必要となる。
なお、本実施例では、EDX16の分析結果を、必要に応
じてEELS17の表示画面に適宜呼び出すことも可能であ
る。
［第３実施例］ 第７図は本発明の第３の実施例を説明するための図で
あり、本実施例も、特にEELS17の構成に特徴があるの
で、ここでは、EELS17の主要部の構成のブロック図のみ
を示した。
本実施例では、EELS17が、EELS制御部23と、分析手順
入力手段31と、分析システム制御手段32と、分析手順登
録手段33と、分析結果記憶手段37とによって構成されて
いる。
このような構成のEELSでは、前記と同様にして分析手
順入力手段31を操作して、分析手順を作成し、該分析手
順を分析手順登録手段33に登録する。オペレータによっ
て分析の開始が指示されると、該分析手順に応じた各種
の制御信号が、分析システム制御手段32からインターフ
ェース18−３を介して共通バス15に出力され、その後、
電子顕微鏡20、EDX16に出力される。
ここで、本実施例では、EDX16の分析結果はもちろん
のこと、EELS17の分析結果もインターフェースを介して
前記電子顕微鏡20の演算装置14に収集されるようにす
る。分析結果が収集された該演算装置14は、これらを照
らし合わせて最終的な分析結果を出力する。
このように、本実施例では分析を実行させるための種
々の制御はEELS17によって行われ、分析結果の収集、各
分析結果の照らし合わせ等の処理は電子顕微鏡20で行わ
れる。
したがって、電子顕微鏡20には、第５図に関して説明
した第１の実施例と比較すると、分析手順入力手段31と
分析手順登録手段33とが不必要となる。
［他の実施例］ なお、上記した実施例では、各分析点の分析結果が各
分析装置に一旦記憶され、後にまとめて収集されるもの
として説明したが、分析結果は各分析点ごとに収集され
るようにしても良い。
また、接続する分析装置もEDX、EELSに限定されるも
のではなく、AES、IMA、XMA等の分析装置であっても良
い。
さらに、上記した実施例では、電子顕微鏡あるいは分
析装置のいずれかに各種の機能を付加するものとした
が、第１図に点線で示したように、パーソナルコンピュ
ータ等によって構成され、分析システムを制御する機能
を有する分析システム端末装置50を前記インターフェー
スに接続し、該分析システム端末装置50によって各種の
制御、分析結果の記憶、分析結果の照らし合わせ等を行
うようにしても良い。
さらに、前記分析点Ａ〜Ｆの近傍を集中的に分析した
いのであれば、該分析点（Ｘ＝X0、Ｙ＝Y0）の周囲の座
標を次式に基づいて登録すれば良い。
Xn＝X0＋ｎΔＸ（ｎ＝1,2,3…） （１）式 Ym＝Y0＋ｍΔＹ（ｍ＝1,2,3…） （２）式 このように、本実施例では、 分析手順を入力する手段 分析手順を登録する手段 分析手順に従って各装置の動作を制御する制御手段 各分析装置の分析結果をまとめて記憶する手段 各分析結果に基づいて最終的な分析結果を決定し、表
示する手段 が、分析システムを構成する各装置の一つに、または複
数の装置に分散して設けられるようにすると共に、各装
置のいずれもが、それぞれの間の各種の信号を互にやり
取りするためのインターフェースを具備するようにした
点に特徴がある。
この結果、本実施例によれば、複数種の装置が一括制
御できるようになり、さらには、分析結果も一括して扱
えるようになるので、システムの操作性が向上し、オペ
レータの負担を低減することができる。
なお、上記した各実施例では、複数種の装置の一括制
御および分析結果の一括処理のいずれもが実現できる場
合について説明したが、分析結果を一括して扱えるよう
にすることのみが要求され、複数種の装置を一括制御す
ることが要求されないのであれば、前記、の手段の
みを各装置の一つに、または複数の装置に分散して設け
れば良い。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、以
下のような効果が達成される。
（１）全ての分析装置を一括制御ができるようになって
操作性が向上する。
（２）各分析装置での分析結果が一括して扱えるように
なるので、オペレータを煩わすことなく正確な分析が行
えるようになる。
（３）多数の箇所の分析が自動的に行われるので、オペ
レータの拘束時間が短縮される。
（４）インターフェースにコンピュータ等の分析システ
ム端末装置を接続し、これによって分析結果の処理およ
び各装置の制御を行うようにすれば、さらに高度で複雑
な処理、制御が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例である分析システムの主要部
の構成を示した図、第２図は試料上での分析点の位置を
示した図、第３図は分析の実行タイミングを示した図、
第４図は分析方法を示したフローチャート、第５図は本
発明の第１の実施例の主要部の構成を示したブロック
図、第６図は本発明の第２の実施例を説明するためのEE
LSのブロック図、第７図は本発明の第３の実施例を説明
するためのEELSのブロック図である。 １……電子線、２……照射レンズ、３……試料、５、10
……アクチュエータ、６……結像レンズ系、７……蛍光
板、８……電子線速度分析装置、９……検出器、11……
試料ホルダ、12……Ｘ線検出器、14……演算装置、15…
…共通バス、16……EDX分析装置、17……EELS分析装
置、18−１〜18−３……インターフェース、20……電子
顕微鏡、31……分析手順入力手段、32……分析システム
制御手段、33……分析手順登録手段、34……分析結果収
集手段、35……分析結果決定・出力手段、36、37……分
析結果記憶手段、50……分析システム端末装置
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−113152（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−14670（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−72054（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−168325（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−214745（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 23/00 - 23/227

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】電子顕微鏡、電子線の照射に応じて試料か
    ら発生する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析
    装置、および該電子顕微鏡および各分析装置間のデータ
    転送を可能にするインターフェース手段を具備した分析
    システムにおいて、 前記インターフェースを介して、他の分析装置による分
    析結果を収集する分析結果収集手段と、 前記分析結果収集手段に収集された種々の分析結果を参
    照して最終的な分析結果を決定し、出力する分析結果決
    定・出力手段とを、前記電子顕微鏡および各分析装置の
    いずれか一つに、または複数に分散して具備したことを
    特徴とする分析システム。
  2. 【請求項２】試料の分析手順を入力する分析手順入力手
    段と、入力された分析手順を登録する分析手順登録手段
    と、該登録された分析手順に応じて電子顕微鏡および各
    分析装置を制御する分析システム制御手段とを、前記電
    子顕微鏡および各分析装置のいずれか一つに、または複
    数に分散して、さらに具備したことを特徴とする特許請
    求の範囲第１項記載の分析システム。
  3. 【請求項３】電子顕微鏡、電子線の照射に応じて試料か
    ら発生する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析
    装置、分析システム端末装置、および該電子顕微鏡と各
    分析装置と分析システム端末装置との間のデータ転送を
    可能にするインターフェース手段を具備した分析システ
    ムにおいて、 前記インターフェースを介して、他の分析装置による分
    析結果を収集する分析結果収集手段と、前記分析結果収
    集手段に収集された種々の分析結果を参照して最終的な
    分析結果を決定して出力する分析結果決定・出力手段の
    少なくとも一方を前記分析システム端末装置に具備し、
    一方のみを分析システム端末装置に具備したときは、他
    方を電子顕微鏡および各分析装置のいずれか一方に具備
    したことを特徴とする分析システム。
  4. 【請求項４】電子顕微鏡、電子線の照射に応じて試料か
    ら発生する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析
    装置、分析システム端末装置、および該電子顕微鏡と各
    分析装置と分析システム端末装置との間のデータ転送を
    可能にするインターフェース手段を具備した分析システ
    ムにおいて、 試料の分析手順を入力する分析手順入力と、入力された
    分析手順を登録する分析手順登録手段と、該登録された
    分析手順に応じて電子顕微鏡および各分析装置を制御す
    る分析システム制御手段と、前記インターフェースを介
    して、他の分析装置による分析結果を収集する分析結果
    収集手段と、前記分析結果収集手段に収集された種々の
    分析結果を参照して最終的な分析結果を決定して出力す
    る分析結果決定・出力手段の少なくとも一つを前記分析
    システム端末装置に具備し、全てを分析システム端末装
    置に具備したとき以外は、残りを電子顕微鏡および各分
    析装置のいずれか一つに、または複数に分散して具備し
    たことを特徴とする分析システム。
  5. 【請求項５】前記分析手順には、試料上での分析位置が
    予定の順序で複数登録されることを特徴とする特許請求
    の範囲第２項または第４項のいずれかに記載の分析シス
    テム。
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