JPH0351749A

JPH0351749A - 分析システム

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Publication number: JPH0351749A
Application number: JP1187056A
Authority: JP
Inventors: Shigeto Isagozawa; 成人砂子沢; Hiroyuki Kobayashi; 弘幸小林
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-07-19
Filing date: 1989-07-19
Publication date: 1991-03-06
Anticipated expiration: 2013-05-28
Also published as: EP0409209A2; EP0409209A3; US5142149A; JP2759680B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、電子顕微鏡と、電子線が照射されて試料から
発生する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析装
置とを備えた分析システムに係り、特に、該電子顕微鏡
および各分析装置間のデータ転送を可能にするインター
フェース手段を具備した分析システムに関するものであ
る。

（従来の技術）一次粒子線としてイオン／電子ビームを試料に照射し、
試料から発生する二次電子、二次イオン、特性Ｘ線など
の二次粒子線を分析することによって、あるいは、試料
を透過した電子線のエネルギを分析することによって試
料の元素を同定したり、該元素の結合状態を分析する装
置が知られている。

このような分析装置は、電子顕ｍ鏡と組み合わせて分析
システムとして用いることができ、観察位置の決定は電
子顕微鏡による観察像に基づいて行われる。

このような場合には、各分析装置の検出器を電子顕微鏡
の適所に設置する必要があり、例えば、Ｅ　Ｄ　Ｘ　（
Ｅｎｅｒｇｙ　Ｄｌｓｐｅｒｓｉｖｅ　Ｘｒａｙ）分析
装置のように試料から発生する特性Ｘ線を検出して元素
の同定を行う装置では、そのＸ線検出部を試料近傍の適
所に設置し、また、Ｅ　Ｅ　Ｌ　Ｓ　（Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｎＥｎｅｒｇｙ　Ｌｏｓｓ　５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｅ
）分析装置のように、試料を透過した電子線のエネルギ
を分析して元素を同定する装置では、その検出部を試料
下方の適所に設置する。

分析装置のセツティングが終了して分析が開始されると
、それぞれの分析装置による分析結果は、それぞれの装
置から個々に出力される。このとき、同定が可能な元素
の種類は分析装置ごとに限られているため、実際の分析
結果は、各分析装置の分析結果を照らし合わせて求めら
れる。

すなわち、分析装置として例えば前記ＥＤＸおよびＥＥ
ＬＳを併用したとすると、ＥＤＸはナトリウム（Ｎａ；
原子番号１１）からウラン（Ｕ；原子番号９２）までの
元素の定性および定ｍ分析を行うことができる。

一方、ＥＥＬＳはリチウム（Ｌｉ；原子番号３）のよう
な軽元素から重元素まで、容易に検出することができ、
さらには、元素の結合状態に関する情報を得ることがで
きるが、元素によっては検出しにくいものもある。

そこで、実際の分析結果は、両者の分析結果を照らし合
わせて、いずれかの装置において検出されている元素の
すべてが実際の分析結果とされる。

たとえば、ＥＤＸによる分析結果がＮａ５Ｃａ。

Ｇｅであり、ＥＥＬＳによる分析結果がＬｉ、Ｂ。

Ｎａ５Ｃａであるならば、Ｌ　ｌ　％　Ｂ　ｓ　Ｎ　ａ
　ＳＣａ　ｓＧｅが実際の分析結果とされる。

（発明が解決しようとする課′Ａ）上記したように、従来技術においては分析装置が電子顕
微鏡と組み合わされてはいたが、該分析装置は別々に操
作しなければならなかったために、分析システムとして
の操作性が悪かった。

また、通常の分析では、ＥＤＸによる分析だけでも一カ
所あたり２００秒程度の時間を要する。

したがって、分析箇所が１５カ所あるような場合にはオ
ペレータは最低でも５０分以上拘束されてしまい、負担
が大きかった。

さらに、該分析装置による分析結果は各々の装置から別
々に出力されるために、実癲の分析結果は、オペレータ
がそれぞれの分析結果を照らし合わせて求めなければな
らなかった。したがって、特に分析箇所が多数あるよう
な場合には、オペレータの負担が大きいという問題があ
った。

本発明の目的は、以にに述べた問題点を解決し、電子顕
微鏡に複数種の分析装置を接続してなる分析システムに
おいて、複数種の分析装置を一括して操作でき、分析結
果の認識を容易に行えるようにした分析システムを提供
することである。

（課届を解決するための手段）前記の問題点を解決するために、本発明では、電子顕微
鏡と分析装置とをインターフェース手段を介して接続し
た分析システムにおいて、以下のような手段を講じた。

（１）インターフェースを介して他の分析装置による分
析結果を収集する分析結果収集手段と、最終的な分析結
果を決定して出力する分析結果決定・出力手段とを、前
記電子顕微鏡および各分析装置のいずれか一つに、また
は段数に分散して具備するようにした。

（２）分析手順人力手段と、分Ｉｎ手順登録手段と、分
析システム制御手段とを、前記電子顕微鏡および各分析
装置のいずれか一つに、または段数に分散して、さらに
具備するようにした。

（３）インターフェース手段を介して接続される分析シ
ステム端末装置をさらに具備し、前記分析結果収集手段
と、分析結果決定・出力手段とを、さらには前記分析手
順入力手段と、分析手順登録手段と、分析システム制御
手段とを、該分析システム端末装置、電子顕微鏡、およ
び各分析装置のいずれか一つに、または複数に分散して
具備するようにした。

（作用）上記した（１）の構成によれば、各分析装置による分析
結果が一カ所にまとめられ、−括して扱えるようになる
ので、オペレータの負担を低減することができるように
なる。

また、（２）の構成によれば、さらに電子顕微鏡および
複数種の分析装置が一括制御できるようになるので、シ
ステムの操作性が向−Ｌする。

さらに、（３）の構成によれば、コンピュータ等の多機
能の制御装置によって分析結果の処理、各装置の一括制
御が可能になるので、高度で複雑な処理、制御が可能に
なる。

（実施例）以下に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

［第１実施例］第１図は本発明の一実施例である、試料分析機能を備え
た電子顕微！（分析システム）の主要部の構成を示した
図である。同図において、図示しない電子源から放出さ
れた電子線１は、照射レンズ２によって絞られ、試料ホ
ルダ１１にセットされた試料３上に、通常は直径が１０
ｎｍ程度の微小な電子線スポットを形成する。

電子線１が照射された試料３からは、該試料を構成する
元素特有のエネルギを有する特性Ｘ線が放出される。こ
の特性Ｘ線はＸ線検出器１２によって検出され、検出信
号ａは記憶手段を備えたＥＤＸ分析装置１６へ入力され
る。ＥＤＸ１６は検出信号ａに基づいてＸ線スペクトル
を表示画面上に表示すると共に、同定した元素をプリン
トアウトする。

一方、試料３を透過した電子線は結像レンズ系６によっ
て偏向された後に蛍光板７上に照射され、蛍光板７上に
は、通常約ｌＯ万〜１００万倍に拡大された透過電子顕
微ｖＬ像（ＴｒａｎｓｍｌｓｓｌｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎ
　Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ像、ＴＥＭ像）が形成される。

また、試料３は試料ホルダ１１の中に着脱が可能なよう
に収納されており、電子顕微鏡による視野は、電気的に
駆動されるＸ方向アクチュエータ５およびＹ方向アクチ
ュエータ１０で試料３を移動することによって調整され
る。

このアクチュエータ５．１０は演算装置１４に接続され
、該アクチュエータ５．１０による観察位置の座標は演
算装置１４に入力される。蛍光板７の下部には電子線速
度分析装置８が設置されており、試料を透過した電子線
はここでエネルギ分光され、検出器９によって検出され
る。該検出信号すは記憶手段を備えたＥＥＬＳ分析装置
１７に人力され、該ＥＥＬＳ　１７は、検出信号すに基
づいてエネルギスペクトルを表示画面上に表示すると共
に、同定した元素をプリントアウトする。

さらに、電子顕微鏡２０、ＥＤＸ１６、およびＥＥＬＳ
　１７には、Ｒ５−２３２Ｃ，ＧＰ−ＩＢといった共通
仕様の標準インターフェース１８−１〜１８−３が組み
込まれており、各装置間では、各種の信号のやり取りが
共通バス１５を介して自由に行われる。

なお、点線で示した分析システム端末装置５０に関して
は、後に本発明の他の実施例として説明する。

第５図は、前記演算装置１４、ＥＤＸ１６、およびＥＥ
ＬＳ　１７の主要部の構成の一実施例を具体的に示した
ブロック図である。

同図において、演算装置１４は、分析箇所あるいは分析
順序といった分析手順を入力する分析手順入力手段３１
と、該入力された分析手順を登録する分析手順登録手段
３３と、電子顕微鏡の動作を制御する顕微鏡制御部２１
と、インターフェース１８−１を介して入力される他の
分析装置による分析結果を収集する分析結果収集手段３
４と、該分析結果収集手段３４に収集された種々の分析
結果を参照して最終的な分析結果を決定し、出力する分
析結果決定・出力手段３５と、後に詳述するように、前
記分析手順に応じてこれらの手段を制御する分析システ
ム制御手段３２とによって構成されている。

ＥＤＸ１６は、Ｘ線検出器１２からの検出信号に基づい
て分析を行うＥＤＸ制御部２２と、該分析結果を記憶す
る分析結果記憶手段３６とによって構成されている。

ＥＥＬＳ　１７は、電子線検出器９からの検出信号に基
づいて分析を行うＥＥＬＳ制御部２３と、該分析結果を
記憶する分析結果記憶手段３７とによって構成されてい
る。

このような構成の分析システムを用いた分析方法を、第
４図のフローチャートを用いて詳細に説明する。

ステップＳｔでは、試料３の分析点の座標を予め全て登
録するために、比較的大きなスポット径（１０分の数ミ
クロン）で電子線を試料に照射して試料の観察像を電子
顕微鏡の表示装ｒＩｔ（図示せず）に表示する。第２図
は、該表示装置に表示される試料の様子を節部化して示
したものであり、本実施例では、観察しようとする箇所
がＡ、Ｂ。

Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆの６カ所あるものとする。該試料は、通
常、直径が３ｔｘｍはどの円形で、図中＋印は電子線が
縮小されて照射される位置を示したものである。

この様な観察像が表示されると、ステップＳ２において
、オペレータは、まず分析点Ａが十印の位置に来るよう
に、分析手順入力手段３１を操作してアクチュエータ５
、ｌＯを動かし、このときのアクチュエータ５．１０の
座標を分析手順登録手段３３に登録する。なお、分析を
目的とする位置は、このように低倍率で像を観察するこ
とによって比較的簡単に決定することができ、分析位置
への照射位置の移動も、＾倍率観察時に比べて極めて容
易である。

ステップＳ３では、全ての分析点の座標登録が終了した
か否かが判定され、終了していない場合はステップＳ２
に戻り、以後、同様にして、分析点Ｂ、　Ｃ・・・Ｆの
座標位置を全て分析手順登録手段３３に登録する。この
ときに各分析点の写真撮影を行うか否かの指定も併せて
行う。

全ての観察座標の登録が終了すると、ステップＳ４では
、ＥＤＸ１６およびＥＥＬＳ１７を初期設定するための
情報を分析手順入力手段３１によって入力する。入力さ
れた前記情報は分析システム制御手段３２で電気信号に
変換された後にインターフエース１８−１を介して共通
バス１５に出力される。

共通バス１５に出力された該信号は、さらに、インター
フェース１８−２．１８−３を°介してそれぞれＥＤＸ
１６およびＥＥＬＳ　１７に入力される。ＥＤＸ１６お
よびＥＥＬＳ　１７では、人力された信号に応じてＥＤ
Ｘ制御部２２およびＥＥＬＳ制御部２３が初期設定され
る。

観察座標の登録、各分析装置の初期設定が終了し、オペ
レータによって分析の開始が指示されると、ステップＳ
５では、以下に説明するように、一連の観察・分析動作
が実行される。

ステップＳ５ａでは、演算装置１４の分析システム制御
手段３２が、分析手順登録手段３３に登録された前記分
析点の座標情報に応じて顕微鏡制御部２１を制御する。

顕微鏡制御部２１では、該座標情報に応じてアクチュエ
ータ５．１０を駆動し、これによって、初めは前記分析
点Ａに電子線が照射されるように試料３が移動される。

試料３が所定の位置に達すると、ステップＳ５ｂでは、
分析システム制御手段３２が、分析点Ａに関して写真撮
影が指定されているか否を前記分析手順に基づいてチエ
ツクし、指定されている場合は、顕微鏡制御部２１によ
って螢光板７が開かれ、図示しない撮像装置によって写
真撮影が行われる。

写真撮影が終了すると、ステップＳ５ｃでは、顕微鏡制
御部２１によって電子線が細く集束されて分析点Ａに照
射され、さらに、分析システム制御手段３２からＥＤＸ
１６に、インターフェース１ｇ−１，１８−２を介して
分析開始信号が出力され、このときに該分析点Ａから発
生する特性Ｘ線がＸ線検出器１２によって検出される。

検出信号ａはＥＤＸ＄ＩＩ御部２２に入部２２、該ＥＤ
Ｘ制御部２２は、検出信号ａに応じたＸ線スペクトルを
表示画面に表示すると共に、分析結果、すなわち分析さ
れた元素をメモリあるいはフロッピディスクによって構
成される分析結果記憶手段３６に記憶する。

ステップＳ５ｄでは、分析システム制御手段３２からＥ
ＥＬＳ　１７に、インターフェース１８−１．１８−３
を介して分析開始信号が出力され、試料３を透過した電
子線が、電子線速度分析管８において偏向された後にｆ
ｆｉ？−線検出器９によって検出される。検出信号ｂ　
Ｔ、ｔ　Ｅ　Ｅ　Ｌ　Ｓ制御部２３に入力され、該ＥＥ
ＬＳ制御部２３はエネルギスペクトルを表示画面に表示
すると共に、分析結果を分析結果記憶手段３７に記憶す
る。

このようにして分析点Ａの分析が終了すると、ステップ
Ｓ５ｅでは、全ての分析点の分析が終了したか否かが分
析システム制御手段３２において判定され、終了してい
ない場合にはステップ８５ａに戻り、分析手順として登
録された他の分析点の座標情報に応じてアクチュエータ
５．１０が駆動され、以下同様にして分析点Ｂ、Ｃ・・
・Ｆの分析が行われる。各分析結果は、それぞれの分析
装置に記憶される。

第３図は、上記した一連の試料の移動、写真撮影、およ
び検出データの取込みタイミングを示した図である。

以上のようにして、全ての分析点での分析が終了すると
、ステップＳ６では、分析システム制御手段３２によっ
て、ＥＤＸ１６の分析結果記憶手段３６およびＥＥＬＳ
　１７の分析結果記憶手段３７に記憶されている各分析
点ごとの分析結果が、インターフェースを介して収集さ
れ、分析結果収集手段３４に記憶される。

ステップＳ７では、分析結果決定・出力３５が、この収
集された分析結果を照らし合わせて最終的な分析結果を
求め、これをプリントアウトする。

本実施例によれば、（り全ての分析装置の制御が、電子Ｗ１ＷＩ鏡２０の演
算装置１４によって行えるので、庚数種の装置が一括制
御できるようになって操作性が向上する。

（２）各分析装置での分析結果が一カ所に収集され、該
収集された分析結果を照らし合わせることによって最終
的な分析結果が求められるので、オペレータを煩わすこ
となく正確な分析が行えるようになる。

（３）多数の箇所の分析が自動的に行われるので、オペ
レータの拘束時間が短縮される。

等の効果がある。

なお、上記した実施例では、電子顕微鏡２０の演算装置
１４を操作して分析手順を作成し、各分析装置の動作指
令の出力、分析結果の記憶、分析結果の照らし合わせ等
も、演算装置１４が該分析手順に基づいて行うものとし
て説明したが、本発明はこれのみに限定されるものでは
なく、以下のような形態をとることも考えられる。

［第２実施例］第６図は本発明の第２の実施例を説明するための図であ
り、本実施例では、特にＥＥＬＳ　１７の構成に特徴が
あるので、ここでは、ＥＥＬＳ１７の主要部の構成のブ
ロック図のみを示した。

本実施例では、ＥＥＬＳ　１７が、ＥＥＬＳ制御部２３
と、分析手順入力手段３１と、分析システム制御手段３
２と、分析手順登録手段３３と、分析結果収集手段３４
と、分析結果決定・出力手段３５とによって構成されて
おり、各手段の機能は前記第５図に関して説明したもの
と同一である。

このような構成のＥＥＬＳでは、前記と同様にして分析
手順入力手段３１を操作して、分析手順を作成し、該分
析手順を分析手順登録手段３３に登録する。オペレータ
によって分析の開始が指示されると、該分析手順に応じ
た各種の制御信号が、分析システム制御手段３２からイ
ンターフェース１８−３を介して共通バス１５に出力さ
れ、その後、電子顕＠鏡２０、ＥＤＸ１６に出力される
。

制御信号を受けた電子顕微鏡２０は、その内容に応じて
試料ステージを移動し、試料ステージが予定の位置に達
すると、移動完了信号をインターフェース１８−１を介
して共通バス１５に出力する。

ＥＥＬＳ　１７の分析システム制御手段３２は、該移動
終了信号が入力されると、ＥＤＸ１６に対してインター
フェース１８−３を介して分析開始指令を出力する。該
分析開始指令を受けたＥＤＸ１６は、前記と同様にして
特定Ｘ線を検出し、その分析結果を記憶する。

分析が終了すると、ＥＤＸ１６は分析完了信号をインタ
ーフェース１８−２を介して共通バス１５に出力する。

インターフェース１８−３を介して分析完了信号を受け
た前記分析システム制御手段３２は、ＥＥＬＳ制御部２
３を制御して自身による分析を実行させ、その分析結果
を受は取ると、該分析結果を分析結果収集手段３４に記
憶する。

このようにして、全ての分析点での分析が終了すると、
ＥＥＬＳ　１７は、ＥＤＸ１６に記憶されている各分析
点ごとの分析結果をインターフェースを介して収集し、
これを分析結果収集手段３４に記憶する。

分析結果決定・出力手段３５は、収集されたＥＤＸ１６
による分析結果とＥＥＬＳ　１７による分析結果とを照
らし合わせて最終的な分析結果を求め、これをプリント
アウトする。

そして、以上の説明から明らかなように、本実施例では
ＥＥＬＳ　１７が本分析システムの制御を全て司どるの
で、電子顕微鏡２０には、ＥＥＬＳ１７からの制御信号
に応じて試料ステージを移動させる手段のみがあれば十
分であり、第５図に関して説明したような、分析手順人
力手段３１、分析システム制御手段３２、分析手順登録
手段３３、分析結果収集手段３４、分析結果決定・出力
手段３５は不必要となる。

なお、本実施例では、ＥＤＸ１６の分析結果を、必要に
応じてＥＥＬＳ　１７の表示画面に適宜呼び出すことも
可能である。

［第３実施例］第７図は本発明の第３の実施例を説明するための図であ
り、本実施例も、特にＥＥＬＳ　１７の構成に特徴があ
るので、ここでは、ＥＥＬＳ１７の主要部の構成のブロ
ック図のみを示した。

本実施例では、ＥＥＬＳ　１７が、ＥＥＬ、Ｓ制御部２
３と、分析手順人力手段３１と、分析システム制御手段
３２と、分析手順登録手段３３と、分析結果記憶手段３
７とによって構成されている。

このような構成のＥＥＬＳでは、前記と同様にして分析
手順人力手段３１を操作して、分析手順を作成し、該分
析手順を分析手順登録手段３３に登録する。オペレータ
によって分析の開始が指示されると、該分析手順に応じ
た各種の制御信号が、分析システム制御手段３２からイ
ンターフェース１８−３を介して共通バス１５に出力さ
れ、その後、電子顕微鏡２０、ＥＤＸｌ　６に出力され
る。

ここで、本実施例では、ＥＤＸｌ６の分析結果はもちろ
んのこと、ＥＥＬＳ　１７の分析結果もインターフェー
スを介して前記電子顕微鏡２０の演算装置１４に収集さ
れるようにする。分析結果が収集された該演算装置１４
は、これらを照らし合わせて最終的な分析結果を出力す
る。

このように、本実施例では分析を実行させるための種々
の制御はＥＥＬＳ　１７によって行われ、分析結果の収
集、各分析結果の照らし合わせ等の処理は電子顕微鏡２
０で行われる。

したがって、電子顕微ｔｆｉ２０には、第５図に関して
説明した第１の実施例と比較すると、分析手順人力手段
３１と分析手順登録手段３３とが不必要となる。

［他の実施例］なお、上記した実施例では、各分析点の分析結果が各分
析装置に一旦記憶され、後にまとめて収集されるものと
して説明したが、分析結果は各分析点ごとに収集される
ようにしても良い。

また、接続する分析装置もＥＤＸ％ＥＥＬＳに限定され
るものではなく、ＡＥＳ、ＩＭＡ。

ＸＭＡ等の分析装置であっても良い。

さらに、上記した実施例では、電子顕微鏡あるいは分析
装置のいずれかに各種の機能を付加するものとしたが、
第１図に点線で示したように、パーソナルコンピュータ
等によって構成され、分析システムを制御する機能を有
する分析システム端末装置５０を前記インターフェース
に接続し、該分析システム端末装置５０によって各種の
制御、分析結果の記憶、分ｔｌｉ結果の照らし合わせ等
を行うようにしても良い。

さらに、前記分析点Ａ−Ｆの近傍を集中的に分析したい
のであれば、該分析点（Ｘ−ＸＯ、Ｙ−ＹＯ）の周囲の
座標を次式に基づいて登録すれば良い。

Ｘｎ　　−ＸＯ＋　　ｎΔＸ　　　（ｎ＝１，２．３−
）（１）式％式％）（２）式このように、本実施例では、 ■分析手順を入力する手段 ■分析手順を登録する手段 ■分析手順に従って各装置の動作を制御する制御手段 ■各分析装置の分析結果をまとめて記憶する手段■各分
析結果に基づいて最終的な分析結果を決定し、表示する
手段が、分析システムを構成する各装置の一つに、または複
数の装置に分散して設けられるようにすると共に、各装
置のいずれもが、それぞれの間で各種の信号を互にやり
取りするためのインターフェースを具備するようにした
点に特徴がある。

この結果、本実施例によれば、複数種の装置が一括制御
できるようになり、さらには、分析結果も一括して扱え
るようになるので、システムの操作性が向上し、オペレ
ータの負担を低減することができる。

なお、上記した各実施例では、複数種の装置の一括制御
および分析結果の一括処理のいずれもが実現できる場合
について説明したが、分析結果を一括して扱えるように
することのみが要求され、複数種の装置を一括制御する
ことが要求されないのであれば、前記■、■の手段のみ
を各装置の一つに、またはｔ！数の装置に分散して設け
れば良い。

（発明の効果）以」二の説明から明らかなように、本発明によれば、以
下のような効果が達成される。

（１）全ての分析装置を一括制御できるようになって操
作性が向上する。

（２）各分析装置での分析結果が一括して扱えるように
なるので、オペレータを煩わすことなく正確な分析が行
えるようになる。

（４）インターフェースにコンピュータ等の分析システ
ム端末装置を接続し、これによって分析結果の処理およ
び各装置の制御を行うようにすれば、さらに高度で複雑
な処理、制御が１１能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である分析システムの主要部
の構成を示した図、第２図は試料上での分析点の位置を
示した図、第３図は分析の実行タイミングを示した図、
第４図は分析方法を示したフローチャート、第５図は本
発明の第１の実施例の主要部の構成を示したブロック図
、第６図は本発明の第２の実施例を説明するためのＥＥ
ＬＳのブロック図、第７図は本発明の第３の実施例を説
明するためのＥＥＬＳのブロック図である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電子顕微鏡、電子線の照射に応じて試料から発生
する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析装置、
および該電子顕微鏡および各分析装置間のデータ転送を
可能にするインターフェース手段を具備した分析システ
ムにおいて、前記インターフェースを介して、他の分析装置による分
析結果を収集する分析結果収集手段と、前記分析結果収
集手段に収集された種々の分析結果を参照して最終的な
分析結果を決定し、出力する分析結果決定・出力手段と
を、前記電子顕微鏡および各分析装置のいずれか一つに
、または複数に分散して具備したことを特徴とする分析
システム。
（２）試料の分析手順を入力する分析手順入力手段と、
入力された分析手順を登録する分析手順登録手段と、該
登録された分析手順に応じて電子顕微鏡および各分析装
置を制御する分析システム制御手段とを、前記電子顕微
鏡および各分析装置のいずれか一つに、または複数に分
散して、さらに具備したことを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の分析システム。
（３）電子顕微鏡、電子線の照射に応じて試料から発生
する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析装置、
分析システム端末装置、および該電子顕微鏡と各分析装
置と分析システム端末装置との間のデータ転送を可能に
するインターフェース手段を具備した分析システムにお
いて、前記インターフェースを介して、他の分析装置による分
析結果を収集する分析結果収集手段と、前記分析結果収
集手段に収集された種々の分析結果を参照して最終的な
分析結果を決定して出力する分析結果決定・出力手段の
少なくとも一方を前記分析システム端末装置に具備し、
一方のみを分析システム端末装置に具備したときは、他
方を電子顕微鏡および各分析装置のいずれか一方に具備
したことを特徴とする分析システム。
（４）電子顕微鏡、電子線の照射に応じて試料から発生
する信号を検出して試料分析を行う複数種の分析装置、
分析システム端末装置、および該電子顕微鏡と各分析装
置と分析システム端末装置との間のデータ転送を可能に
するインターフェース手段を具備した分析システムにお
いて、試料の分析手順を入力する分析手順入力手段と、入力さ
れた分析手順を登録する分析手順登録手段と、該登録さ
れた分析手順に応じて電子顕微鏡および各分析装置を制
御する分析システム制御手段と、前記インターフェース
を介して、他の分析装置による分析結果を収集する分析
結果収集手段と、前記分析結果収集手段に収集された種
々の分析結果を参照して最終的な分析結果を決定して出
力する分析結果決定・出力手段の少なくとも一つを前記
分析システム端末装置に具備し、全てを分析システム端
末装置に具備したとき以外は、残りを電子顕微鏡および
各分析装置のいずれか一つに、または複数に分散して具
備したことを特徴とする分析システム。
（５）前記分析手順には、試料上での分析位置が予定の
順序で複数登録されることを特徴とする特許請求の範囲
第１項ないし第４項のいずれかに記載の分析システム。