JP2010107334A - 電子線を用いるx線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が任意に指定する。プログラム26は、予め決めてあるX線分析装置の確認項目についての設定状態を収集し、指定されている分析モードに対して、波長分散型X線分光器とエネルギー分散型X線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件をデータベース25から読出し、収集された設定状態が設定条件を満たしているかを判定し、その判定結果を表示装置24に表示する。
【選択図】図1
Description
L=2R×sinθ (1)
である。一方、分光結晶に入射するX線の回折条件は、X線の波長をλ、分光結晶の面間隔をdとすると、ブラッグの条件から、下式(2)が成り立つ。
2d×sinθ=n×λ (2)
ここに、nは回折次数で正の整数である。nが2以上の回折線は一般に高次回折線(以下、「高次線」と略称することがある)と称される。
式(1)と(2)から、下式(3)が導かれる。
L=(2R/2d)×n×λ (3)
分光位置Lを測ることにより、回折された特性X線の波長λを知ることができる。特性X線は元素固有の波長を有するので、波長λから試料に含まれる元素の同定が行える。また、測定された特性X線の強度から試料に含まれる元素の濃度を知ることができる。
細く絞った電子線を試料に照射し、該試料表面から発生する特性X線を検出して元素分析を行なうX線分析装置であって、
細く絞った電子線を試料上の任意の位置に照射する手段と、
試料位置を前記電子線の照射方向に対して垂直方向及び平行方向に移動させる手段と、
波長分散型X線分光器とエネルギー分散型X線分光器とを備えたX線分析装置において、
点分析と線分析と面分析のそれぞれの分析モードに応じて、前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とのそれぞれについて、それぞれのX線分光器を使用して分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件が格納されたデータベースと、
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が指定するための分析モード指定手段と、
予め決めてある前記X線分析装置の確認項目についての設定状態を収集する収集手段と、
前記分析モード指定手段によって指定された分析モードに対して、前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件を前記データベースから読出し、前記収集手段によって収集された前記設定状態が前記設定条件を満たしているかを判定する判定手段と、
前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とについての前記判定手段による判定結果を操作者に対して通知する通知手段と、
を備えることを特徴とする。
プログラム26の実行終了の操作が行なわれない限り、ステップS6からステップS1に戻り、ステップS1以下の一連の処理が続行される。
EB…電子線、S…分析点、1…電子銃、2…集束レンズ、3…対物レンズ、4…試料、5…特性X線、6…波長分散型X線分光器(WDS)、7…エネルギー分散型X線分光器(EDS)、8…照射電流検出器、9…走査コイル、10…仕切り弁、11…EOS制御系、12…分光結晶、13…X線検出器、14…WDS駆動系、15…EDS測定制御系、16…EDS測定制御系、17…試料ステージ、18…XY移動機構、19…Z微動機構、20…Z粗動機構、21…試料ステージ制御系、22…測定制御装置、23…入力装置、24…表示装置、25…データベース、26…プログラム、26a…指定部、26b…収集部、26c…判定部、26d…通知部、30…半導体X線検出器、31…保護筒、31a…X線通過孔、32…熱伝導材、33…ウィンドウ、34…入射X線制限絞り板、34a,34b,34c…絞り孔、35…回転支持棒、40,41…表示ランプ、42,43,44,45…ラジオボタン
Claims (5)
- 細く絞った電子線を試料に照射し、該試料表面から発生する特性X線を検出して元素分析を行なうX線分析装置であって、
細く絞った電子線を試料上の任意の位置に照射する手段と、
試料位置を前記電子線の照射方向に対して垂直方向及び平行方向に移動させる手段と、
波長分散型X線分光器とエネルギー分散型X線分光器とを備えたX線分析装置において、
点分析と線分析と面分析のそれぞれの分析モードに応じて、前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とのそれぞれについて、それぞれのX線分光器を使用して分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件が格納されたデータベースと、
点分析と線分析と面分析のうちのどの分析モードによって分析を行なうかを操作者が指定するための分析モード指定手段と、
予め決めてある前記X線分析装置の確認項目についての設定状態を収集する収集手段と、
前記分析モード指定手段によって指定された分析モードに対して、前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とによる分析が適切に行なえるために満たすべき設定条件を前記データベースから読出し、前記収集手段によって収集された前記設定状態が前記設定条件を満たしているかを判定する判定手段と、
前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とについての前記判定手段による判定結果を操作者に対して通知する通知手段と、
を備えることを特徴とするX線分析装置。 - 前記判定手段は、前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とのそれぞれについて別々に、前記設定状態が前記設定条件を満たしているかを判定するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
- 前記通知手段は、前記波長分散型X線分光器と前記エネルギー分散型X線分光器とのそれぞれについて、前記設定状態が前記設定条件を満たしているか否かをランプの点灯と消灯状態の切り替えによって通知するようにしたことを特徴とする請求項1又は2の何れかに記載のX線分析装置。
- 前記ランプは、前記X線分析装置に備えられているコンピュータのウィンドウ上に表示される擬似的ランプであることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のX線分析装置。
- 前記設定状態が前記設定条件を満たしているか否かの判定結果を前記確認項目別に操作者に対して通知する項目別通知手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
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