JP5329380B2 - モノクロメータのスリット位置制御方法及び装置並びに分析電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
(1)請求項1記載の発明は、入射した荷電粒子線を受けて、エネルギー分散を起こさせるエネルギーフィルタを有し、エネルギー分散面上に設置したエネルギー選択スリットを介して所望のエネルギー幅の電子線を取り出すようにしたモノクロメータにおいて、前記エネルギー選択スリットに流れる電流を検出し、検出した電流値が最小となるように前記エネルギー選択スリットを光軸に垂直な方向に移動させる、ようにしたことを特徴とする。
(1)請求項1記載の発明によれば、エネルギー選択スリットに流れる電流が最小となるように、つまりエネルギー選択スリットを通過する電流が最大となるようにエネルギー選択スリットを光軸に垂直な方向に移動させるので、モノクロメータの調整を短時間で行なうことができる。
2 モノクロメータ
3 フィルタ電源
4 電流計
5 スリット位置制御手段
6 蛍光板
7 光電返還部
8 モニタ
9 フィルタ制御部
10 操作部
11 光軸
21 エネルギーフィルタ
22 エネルギー選択スリット
Claims (3)
- 入射した荷電粒子線を受けて、エネルギー分散を起こさせるエネルギーフィルタを有し、エネルギー分散面上に設置したエネルギー選択スリットを介して所望のエネルギー幅の電子線を取り出すようにしたモノクロメータにおいて、
前記エネルギー選択スリットに流れる電流を検出し、
検出した電流値が最小となるように前記エネルギー選択スリットを光軸に垂直な方向に移動させる、
ようにしたことを特徴とするモノクロメータのスリット位置制御方法。 - 入射した荷電粒子線を受けて、エネルギー分散を起こさせるエネルギーフィルタを有し、エネルギー分散面上に設置したエネルギー選択スリットを介して所望のエネルギー幅の電子線を取り出すようにしたモノクロメータにおいて、
前記エネルギー選択スリットに流れる電流を検出する電流検出手段と、
該電流検出手段により検出した電流値が最小となるように前記エネルギー選択スリットを光軸に垂直な方向に移動させるスリット位置制御手段、
とを有することを特徴とするモノクロメータのスリット位置制御装置。 - 前記請求項2記載のエネルギーフィルタとエネルギー選択スリットをその内部に含み、モノクロメータとして働かせることで、高エネルギー分解能での電子エネルギー損失分光を可能とする分析電子顕微鏡。
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JP2009283732A JP5329380B2 (ja) | 2009-12-15 | 2009-12-15 | モノクロメータのスリット位置制御方法及び装置並びに分析電子顕微鏡 |
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JP2009283732A JP5329380B2 (ja) | 2009-12-15 | 2009-12-15 | モノクロメータのスリット位置制御方法及び装置並びに分析電子顕微鏡 |
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